CN1971151A - 无尘室气体整流装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种无尘室气体整流装置，其在无尘室的天花板下方相隔预定距离，架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层，使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱，可增强气体垂直层流效果，且结构简单，成本低，节省能源。
Description
一、技术领域
本发明涉及净化设施，尤其涉及一种可以增强气体层流(laminar flow)效应及节省送风机数量的无尘室气体整流装置。
二、背景技术
诸如半导体之类的高科技精密产品，其制造过程必须在完全洁净的无尘室内进行，才能确保成品的质量。
参阅图1所示，为一般现有无尘室10的运作程序结构，其必须在距离地面11的适当高度位置，设置具有通气孔的地板12，屋顶下面必须设置采用骨材组装成轻钢架13，然后再在各轻钢架的框格上放置天花板14及精密过滤器15，通过空调装置(图中未示由地板12底下进行抽吸，使空气循环，并经过一个初级过滤器16后，再送入天花板14与楼层板所形成的空间室17，且经由天花板14上的精密过滤器15滤除灰尘后，再送入无尘室10中。
这种循环气体是经由各个精密过滤器15送入无尘室10，而无尘室10内垂直层流效果越好，室内的清洁度越佳。然而，有的无尘室10面积极广，且精密过滤器15的价格昂贵，所以，如果要在整个天花板14全部装置精密过滤器15，则所需费用可观，因此一般的无尘室根据其等级需求，大都是装设部分精密过滤器15，大部分则直接将天花板14放置在轻钢架13上。这样，天花板14下的气流与精密过滤器15下方的气流压力不平均，容易形成扰流(turbulent flow)现象，产生的粉尘在扰流区101漂浮，无法顺利向下降，从而影响气体垂直层流的效果，致使不易维持无尘室清洁度的等级。
如果不计成本，提高精密过滤器15的装设密度，甚至达到整个天花板都装设精密过滤器15，也会因为每一个精密过滤器15的出风压力未必都相同，使气体垂直层流的压力具有误差，所以仍有需要改进的空间。
三、发明内容
本发明的主要目的在于克服现有产品存在的上述缺点，而提供一种无尘室气体整流装置，其具有增强气体垂直层流的功效。
本发明的另一目的在于提供一种无尘室气体整流装置，其在天花板出风口下方一预定距离处形成一个正压气压舱，该气压舱底面为均布的供气体流通细网孔隙，使不全面装设精密过滤器的情况，也可达到预定的层流的效果，且结构简单，成本低，减少送风机数量，节省能源，符合经济效益原则。
本发明的目的是由以下技术方案实现的。
本发明无尘室气体整流装置，其特征在于，无尘室的天花板下方相隔预定距离，架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层，使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱。
前述的无尘室气体整流装置，其中整流网层与天花板的距离在25至55cm之间。
前述的无尘室气体整流装置，其中整流网层呈独立形状架设在天花板下方。
前述的无尘室气体整流装置，其中整流网层呈连接形状吊挂在天花板下方。
前述的无尘室气体整流装置，其中整流网层包括，一轻钢架体，其是以骨材构成具有数个排列的框格，且通过吊件连接在天花板的骨材下；数个整流网，是跨置在框格上。
前述的无尘室气体整流装置，其中整流网具有一网框，并通过该网框的嵌入体嵌套在框格的定位槽。
本发明无尘室气体整流装置的有益效果是，其在无尘室的天花板下方相隔预定距离，架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层，使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱，可以增强气体垂直层流(1aminar flow)效果，结构简单，成本低，可以维持无尘室清洁度等级，减少送风机数量，节省能源。
四、附图说明
图1为现有无尘室结构示意图。
图2为本发明较佳实施例结构示意图。
图3为本发明整流网层一实施例示意图。
图4为本发明整流网层另一实施例示意图。
图中主要标号说明：20天花板、21骨材、22精密过滤器、23遮板、30整流网层、31轻钢架体、311骨材、312吊件、32框格、321定位槽、33整流网、34网框、341嵌入体、40正压气压舱。
五、具体实施方式
参阅图2所示，为本发明的较佳实施例，其在无尘室的天花板20下方相隔预定距离，架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层30，使整流网层30与该天花板20之间构成一个正压气压舱40。
该整流网层30与天花板20的距离在25至55cm之间为较佳。但不限定于此，也可根据无尘室的面积及需求进行调整。
参阅图3所示，为本发明无尘室气体整流装置的整流网层30的一种实施例，其是呈独立形状架设在天花板20的下方，其可由单一整流网33构成，但不限定于此，其适用于面积较小的无尘室。
参阅图4所示，为本发明无尘室气体整流装置的整流网层30的另一实施例，其呈连接形状吊挂在天花板20的下方，其包括：一轻钢架体31，其是以骨材311构成具有数个排列的框格32，且通过吊件312连接在天花板20的骨材21下；数个整流网33，是跨置在框格32上。为使整流网33能够稳固定位，可在整流网33的周边设有一网框34，并通过该网框34的嵌入体341由上而下嵌套在框格32的定位槽321中。
整流网33的面积可根据实际需要设制，其可选用金属网、塑胶或合成材料等材质构成，具有均布的微细流通孔隙，使通过的气流及气压能够获得均匀分布。
由上所述可知，本发明仅需要在天花板20底面，架设一整流网层30，即可使该夹层之间构成一个正压气压舱40，由于天花板20在精密过滤器22或遮板23下方的气流压力不均匀，但是经过正压气压舱40后，压力释放后平均分布，再由整流网层30均布的供气体流通细网孔隙后，会形成均压的垂直气流，故，可增强无尘室内的气体层流(laminar flow)效果。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (6)
1、一种无尘室气体整流装置，其特征在于，无尘室的天花板下方相隔预定距离，架设具有供气体流通细网孔隙的整流网层，使整流网层与该天花板之间构成一个正压气压舱。
2、根据权利要求1所述的无尘室气体整流装置，其特征在于，所述整流网层与天花板的距离在25至55cm之间。
3、根据权利要求1所述的无尘室气体整流装置，其特征在于，所述整流网层呈独立形状架设在天花板下方。
4、根据权利要求1所述的无尘室气体整流装置，其特征在于，所述整流网层呈连接形状吊挂在天花板下方。
5、根据权利要求4所述的无尘室气体整流装置，其特征在于，所述整流网层包括，一轻钢架体，其是以骨材构成具有数个排列的框格，且通过吊件连接在天花板的骨材下；数个整流网，是跨置在框格上。
6、根据权利要求5所述的无尘室气体整流装置，其特征在于，所述整流网具有一网框，并通过该网框的嵌入体嵌套在框格的定位槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200510016342 CN1971151A (zh) | 2005-11-23 | 2005-11-23 | 无尘室气体整流装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200510016342 CN1971151A (zh) | 2005-11-23 | 2005-11-23 | 无尘室气体整流装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1971151A true CN1971151A (zh) | 2007-05-30 |
Family
ID=38112086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200510016342 Pending CN1971151A (zh) | 2005-11-23 | 2005-11-23 | 无尘室气体整流装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1971151A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021167722A (ja) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
-
2005
- 2005-11-23 CN CN 200510016342 patent/CN1971151A/zh active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021167722A (ja) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
| JP7102032B2 (ja) | 2021-07-15 | 2022-07-19 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Open date: 20070530 |