CN1942323A - 一种流体喷射装置 - Google Patents

Abstract

一种流体喷射装置，包括第一流体输送源(204)，具有与基体表面连接的第一流体输送源边，沿第一流体输送源设置的第一激发电阻(202a)，其设置成可对第一电流作出反应，加热第一流体输送源(204)提供的流体；和基准导体(250)。基准导体(250)设置成可传导第一激发电阻(202a)的第一电流，其中基准导体(250)设置在第一流体输送源边和第一激发电阻(202a)之间。

Description

一种流体喷射装置

相关申请

本申请涉及专利申请No.(尚未得到序列号)，其律师文号为No.200208168-1，题目为“流体喷射装置”；专利申请No.(尚未得到序列号)，其律师文号为No.200208780-1，题目为“带有地址发生器的流体喷射装置”；专利申请No.(尚未得到序列号)，其律师文号为No.200311485-1，题目为“带有设置成环路结构的闸门的装置”；专利申请No.(尚未得到序列号)，其律师文号为No.200209559-1，题目为“流体喷射装置”；和专利申请No.(尚未得到序列号)，其律师文号为No.200209237-1，题目为“带有标识单元的流体喷射装置”；各专利转让给本申请的受让人，与本专利同一天申请，各专利的内容在本文参考引用，如同在文中发表。

背景技术

喷墨打印系统，作为流体喷射系统的一个实施例，可包括打印头，墨水源，其可提供液体墨水到打印头；和控制打印头的电子控制器。作为流体喷射机构一实施例的打印头通过多个孔或喷嘴喷射墨滴。朝打印介质，如纸张，喷射墨水可在打印介质上打印出图像。喷嘴一般设置成一排或多排，使得当打印头和打印介质相对移动时，从喷嘴按适当顺序喷出的墨水使字符或图像在打印介质上打印出。

在普通的热喷墨打印系统，打印头通过快速加热小体积的位于蒸发腔的墨水，从喷嘴喷射出墨水滴。墨水用小电加热器加热，如薄膜电阻，本文中称作激发电阻。加热墨水使得墨水蒸发从喷嘴喷射出。

为喷射一滴墨水，控制打印头的电控制器促动打印头外部的电源输送电流。电流通过选择的激发电阻，加热选择的对应蒸发腔中的墨水，并通过对应的喷嘴喷射墨水。已知的墨滴发生器包括激发电阻、对应的蒸发腔和对应的喷嘴。

喷墨打印机头已经取得进步，已经增加打印头的墨滴发生器的数量，以改善打印速度和/或质量。打印头的液滴发生器数量的增加已经导致打印头单元所要求的输入垫的数量的相应增加，以便对数量增加的激发电阻通电。在一类打印头中，各激发电阻连接到对应的输入垫，提供能量使激发电阻带电。因为激发电阻的数量增加，每个激发电阻都有一个输入垫变得难以实现。

在另一种具有启动机构(Primitives)的打印头中，每个输入垫的液滴发生器的数量大量增加。单个电源导线提供能量到一个启动机构的所有激发电阻。各激发电阻串联到电源导线和对应的场效应晶体管(FET)的漏-源路径。启动机构的各FET的栅极连接到单独的可带电的地址导线，该地址导线由多个启动机构共用。

制造商在继续减少输入垫的数量，增加打印头单元的液滴发生器的数量。输入垫数量较少的打印头一般价格要比具有较多输入垫的打印头低。另外，具有较多液滴发生器的打印头一般打印质量和/或打印速度较高。为了保持成本和提供特定的打印区高度，打印头单元尺寸不能随液滴发生器数量增加而大幅度变化。当液滴发生器密度增加且输入垫的数量减少时，打印头单元的布置变得更加复杂。

为了这些和其他的原因，需要本发明。

附图说明

图1是显示喷墨打印系统一个实施例的框图；

图2是显示打印头单元的一个实施例的视图；

图3是显示打印头单元的一个实施例的沿墨水输送槽的液滴发生器的设置的视图；

图4是打印头单元一实施例使用的激发单元实施例的视图；

图5是显示喷墨打印头激发单元阵列的一个实施例的示意图；

图6是显示打印头单元的布置的一个实施例的方框图；

图7是显示打印头单元的基准导体的布置的一实施例的方框图；

图8是显示打印头单元的第一金属层一部分的实施例的平面图；

图9A是显示打印头单元实施例沿图8的位置线9A的部分截面视图；

图9B是显示打印头单元实施例沿图8的位置线9B的部分截面视图；

图10是显示打印头单元实施例的沿图9B的位置线10的部分的视图；

图11是显示打印头单元的一个实施例中激发线的布置的方框图；

图12是显示打印头单元一部分的实施例的平面图；

图13是显示打印头单元的一实施例的沿图12的位置线13的部分截面视图。

具体实施方式

在下面的详细介绍中，参考作为详细介绍一部分的附图，其中显示了本发明的特定实施例。在这方面，使用方位词，如上，下，前，后，前端，尾端等表示所介绍附图的方位。因为本发明的实施例的部件可位于许多不同的方位，方位词用来进行说明，而不是用来限制。应当知道，还可以采用其他的实施例，可以进行结构或逻辑改变，这未脱离本发明的范围。因此，下面的详细介绍不应认为是限制性的，本发明的范围由所附权利要求来限定。

图1显示了喷墨打印系统20的一个实施例。喷墨打印系统20构成流体喷射系统的一个实施例，流体喷射系统包括流体喷射机构，如喷墨打印头组件22，和流体供应组件，如墨水供应组件24。喷墨打印系统20还包括安装组件26，介质传输组件28，和电子控制器30。至少一个电源32提供能量到喷墨打印系统20的电气元件。

在一个实施例中，喷墨打印组件22包括至少一个打印头或打印头单元40，可通过多个小孔或喷嘴34朝打印介质36喷射墨水液滴，对打印介质36进行打印。打印头40是流体喷射装置的一个实施例。打印介质36可以是任何类型的适合的片状材料，如纸张，卡片纸，幻灯片，聚脂薄膜，织物和类似材料。一般地，喷嘴34设置成一个或多个排列或阵列，当喷墨打印头组件22和打印介质36相对移动时，从喷嘴34喷射的适当顺序的墨水可使字符，符号和/或其他图形或图像被打印到打印介质36。尽管下面的介绍涉及从打印头组件22喷射墨水，应当知道其他的液体，流体或流动材料，包括清洁流体，也可从打印头组件22喷射。

墨水供应组件24作为流体供应组件的一个实施例，可提供墨水到打印头组件22，其包括容器38，用于储存墨水。这样墨水可从容器36流到喷墨打印头组件22。墨水供应组件24和喷墨打印头组件22可形成单向墨水输送系统或循环墨水输送系统。对于单向墨水输送系统，基本上所有提供给喷墨打印头组件22的墨水在打印过程中消耗掉。对于循环墨水输送系统，只有部分提供给打印头组件22的墨水在打印过程中消耗掉。这样，打印过程中未消耗的墨水返回到墨水供应组件24。

在一个实施例中，喷墨打印头组件22和墨水供应组件24一起容纳于墨盒或墨笔。墨盒或墨笔是流体喷射机构的一实施例。在另一实施例中，墨水供应组件24独立于喷墨打印头组件22，通过界面连接件如供应管(未显示)提供墨水到喷墨打印头组件22。任一个实施例中，墨水供应组件24的容器38可取出，更换和/或重新填充。在一个实施例中，喷墨打印头组件22和墨水供应组件24一起容纳于墨盒，容器38包括位于墨盒的局部容器，还可包括位于墨盒外的较大容器。这样，单独的较大容器用于重新补充局部容器。因此，单独的较大容器和/或局部容器可取下，更换和/或重新填充。

安装组件26用于相对介质传输组件28定位喷墨打印头组件22，介质传输组件28相对喷墨打印头组件22定位打印介质36。因此，打印区37在喷嘴34附近形成，位于喷墨打印头组件22和打印介质36之间的区域。在一个实施例中，喷墨打印头组件22是扫描型打印头组件。这样，安装组件26可包括载体(未显示)，用于相对介质传输组件28移动喷墨打印头组件22来扫描打印介质36。在另一实施例中，喷墨打印头组件22是非扫描型打印头组件。这样，安装组件26固定喷墨打印头组件22于相对介质传输组件28的预定位置。因此，介质传输组件28可相对喷墨打印头组件22定位打印介质36。

电子控制器或打印机控制器30一般包括处理器，固件和其他电子器件或其组合，用于与喷墨打印头组件22，安装组件26和介质传输组件28通讯和进行控制。电子控制器30接收来自主系统，如计算机，的数据39，一般设有存储器，以暂时储存数据39。通常，数据39通过电子线路，红外线，光学线路或其他信息传输路径发送到喷墨打印系统20。数据39代表了进行打印的文件和/或文档。这样，数据39形成了喷墨打印系统20的打印任务，可包括一个或多个打印任务指令和/或指令参数。

在一个实施例中，电子控制器30控制喷墨打印头组件22从喷嘴34喷射墨滴。这样，电子控制器30形成喷射墨滴图案，在打印介质36上形成字符，符号，和/或其他图形或图像，喷射墨滴的图案由打印任务指令和/或指令参数确定。

在一个实施例中，喷墨打印头组件22包括一打印头40。在另一实施例中，喷墨打印头组件22是宽阵列的或多头的打印头组件。在一宽阵列的实施例中，喷墨打印头组件22包括载体，可支承打印头单元40，提供打印头单元40和电子控制器30之间的电通讯，提供打印头单元40和墨水供应组件24之间的流体连通。

图2是显示打印头单元40的一实施例的部分视图。打印头单元40包括打印或流体喷射件42的阵列。打印件42在基体44上形成，基体上形成墨水输送槽46。这样，墨水输送槽46提供液体墨水到打印件42。墨水输送槽46是流体输送源的一实施例。流体输送源的其他实施例包括但不限于对应的各个墨水输送孔，对应的蒸发腔和多个较短的墨水输送沟，各自供应对应的一组流体喷射件。薄膜结构48上设有墨水输送通道54，可与基体44上形成的墨水输送槽46连通，多孔层50设有前表面50a和在前表面50a形成的喷嘴口34。多孔层50还设有喷嘴腔或蒸发腔56，其连通喷嘴口34和薄膜结构48的墨水输送通道54。激发电阻52位于蒸发腔56内，导线58电连接激发电阻52到电路，控制施加电流通过选择的激发电阻。文中提到的液滴发生器60包括激发电阻52，喷嘴腔或蒸发腔56和喷嘴口34。

打印期间，墨水从墨水输送槽46通过墨水输送通道54流到蒸发腔56。喷嘴口34可连通到激发电阻52，当激发电阻52带电时，使得蒸发腔56中的墨水液滴通过喷嘴口34(基本正交于激发电阻52的平面)朝打印介质喷出。

打印头单元40的示例性实施例包括热打印头，压电打印头，静电打印头，或现有技术已知的其他类型的流体喷射机构，这些机构可集成到多层结构。基体44可由硅，玻璃，陶瓷或稳定的聚合物形成，薄膜结构48可包括一个或多个二氧化硅，碳化硅，氮化硅，钛，有机硅玻璃或其他适合材料制成的钝化或绝缘层。薄膜结构48还包括至少一个导电层，其形成激发电阻52和导线58。在一个实施例中，导电层可包括铝，金，钽，钽-铝或其他金属或金属合金。在一个实施例中，激发单元电路，如下面的详细介绍，在基体和薄膜层实现，如基体44和薄膜结构48。

在一实施例中，多孔层50包括光成像的环氧树脂，如称作SU8的环氧树脂，由美国马萨诸塞州Newton市的Micro-Chem公司向市场推出。SU8或其他聚合物制造多孔层50的示例性技术在美国专利No.6,162,589进行了详细介绍，其内容在本文参考引用。在一个实施例中，多孔层50由二个单独层组成，分别称为阻挡层(即，干燥膜光致抗蚀剂阻挡层)和金属多孔层(如镍，铜，铁/镍合金，钯，金或铑层)，形成于阻挡层上。其他的适合材料也可用于形成多孔层50。

图3是显示打印头单元40一实施例的沿墨水输送槽46设置的液滴发生器60的视图。墨水输送槽46包括相对的侧壁46a和46b。液滴发生器60设置成沿着相对的墨水输送槽侧壁46a，46b。全部n个墨滴发生器60沿着墨水输送槽46设置，m个液滴发生器60沿墨水输送槽侧壁46a设置，n-m个液滴发生器60沿着墨水输送槽侧壁46b设置。在一个实施例中，n等于沿墨水输送槽侧壁46设置的200个液滴发生器60，m等于分别沿着墨水输送槽两侧壁46a，46b设置的100个液滴发生器60。在另一实施例，适当数目的液滴发生器60沿着墨水输送槽46设置。

墨水输送槽46提供墨水到沿墨水输送槽46设置的n个液滴发生器60。n个液滴发生器分别包括激发电阻52，蒸发腔56和喷嘴34。n个蒸发腔56分别通过至少一个墨水输送槽54流体连通到墨水输送槽46。液滴发生器60的激发电阻52可带电，以可控顺序从蒸发腔56通过喷嘴34喷射流体，在打印介质36上打印出图像。

图4显示了打印头单元40一个实施例的激发单元70的示意图。激发单元70包括激发电阻52，电阻驱动开关72，和存储电路74。激发电阻52是液滴发生器60的一部分。驱动开关72和存储电路74是控制施加电流通过激发电阻52的电路的一部分。激发单元70形成薄膜结构48，并位于基体44上。

在一实施例中，激发电阻52是薄膜电阻，驱动开关72是场效应晶体管(FET)。激发电阻52电连接到激发线76和驱动开关72的漏-源路径。驱动开关72的漏-源路径还电连接到基准线78，基准线78连接到基准电压，如接地电压。驱动开关72的栅极电连接到存储电路74，控制驱动开关72的状态。

存储电路74电连接到数据线80和启动线82。数据线80接收数据信号，其代表了图像的一部分。启动线82接收启动信号，可控制存储电路74的操作。存储电路74当受到启动信号的启动时存储一比特的数据。存储数据位的逻辑电平确定了驱动开关72的状态(即通或断，导通或非导通)。启动信号可包括一个或多个选择信号和一个或多个地址信号。

激发线76接收包括能量脉冲的能量信号和提供能量脉冲到激发电阻52。在一个实施例中，能量脉冲由电子控制器30提供，具有定时的起始时间和定时的持续时间，以提供适当的能量，加热和蒸发液滴发生器60的蒸发腔56中的流体。如果驱动开关72接通(导通)，能量脉冲加热激发电阻52，加热和从液滴发生器60喷射流体。如果驱动开关72关断(非导通)，能量脉冲不加热激发电阻52，流体仍保留在液滴发生器60。

图5是显示喷墨打印头激发单元阵列，标号为100，的一实施例的示意图。激发单元阵列100包括多个激发单元70，设置成n个激发组102a-102n。在一个实施例中，激发单元70设置成6个激发组102a-102n。在其他实施例中，激发单元70可设置成任何适当数量的激发组102a-102n，如4个或更多个激发组102a-102n。

阵列100中的激发单元70示意地设置成L排和m列。L排的激发单元70电连接，使线104接收启动信号。各排的激发单元70，下面称作激发单元70的排分组或分组，电连接到一组分组启动线106a-106L。分组启动线106a-106L接收分组启动信号SG1，SG2，...SGL，可启动对应的激发单元70分组。

m列分别电连接到m个数据线108a-108m，可接收数据信号D1，D2，...Dm。各列包括位于n个激发组102a-102n的激发单元70，各激发单元70列，下面称作数据线组或数据组，电连接到数据线108a-108m中的一个。换句话，各数据线108a-108m电连接到一列中的各激发单元70，包括激发组102a-102n中的激发单元70。例如，数据线108a电连接到最左列的各激发单元70，包括各激发组102a-102n中的激发单元70。数据线108b电连接到相邻列中的各激发单元70，依此类推，包括数据线108m，其电连接到最右列的各激发单元70，包括各激发组102a-102n中的激发单元70。

在一个实施例中，阵列100设置成有6个激发组102a-102n，6个激发组102a-102n分别包括13个分组和8个数据线组。在另一实施例中，阵列100设置成任何数量的激发组102a-102n，形成任何适当数量的分组和数据线组。在任何实施例中，激发组102a-102n不限于具有相同数量的分组和数据线组。而是，与其他的激发组102a-102n相比，各激发组102a-102n可具有不同数量的分组和/或数据线组。此外，与其他的分组相比，各分组可具有不同数量的激发单元70；与其他数据线组相比，各数据线组可具有不同数量的激发单元70。

各激发组102a-102n中的激发单元70电连接到一个激发线110a-110n。在激发组102a，各激发单元70电连接到激发线110a，可接收激发信号或能量信号FIRE1。在激发组102b，各激发单元70电连接到激发线110b，可接收激发信号或能量信号FIRE2，依此类推，直到包括激发组102n，其中的各激发单元70电连接到激发线110n，可接收激发信号或能量信号FIREn。此外，激发组102a-102n的各激发单元70电连接到公用基准线112，其连接到地线。

操作中，向分组启动线106a-106L提供分组启动信号SG1，SG2，...SGL，以启动一个分组的激发单元70。启动的激发单元70储存提供给数据线108a-108m的数据信号D1，D2，...Dm。数据信号D1，D2...Dm储存在启动的激发单元70的存储电路74。各储存的数据信号D1，D2，...Dm确定了一个启动的激发单元70的驱动开关72的状态。驱动开关72被设置成导通或未导通，取决于储存的数据信号值。

在选择的驱动开关72的状态被确定后，能量信号FIRE1-FIREn提供到对应于激发组102a-102n的激发线110a-110n，其中激发组包括选择的分组的激发单元70。能量信号FIRE1-FIREn包括能量脉冲。能量脉冲提供给选择的激发线110a-110n，对具有导通驱动开关72的激发单元70中的激发电阻52通电。带电的激发电阻52加热和喷射墨水到打印介质36，打印出由数据信号D1，D2，...Dm代表的图像。启动激发单元70分组，储存数据信号D1，D2，...Dm于启动的分组，及提供能量信号FIRE1-FIREn到启动分组中的激发电阻52的过程继续进行直到打印停止。

在一个实施例中，由于能量信号FIRE1-FIREn提供到选择的激发组102a-102n，分组启动信号SG1，SG2，...SGL改变，选择并启动不同激发组102a-102n中的另一分组。新启动的分组储存提供给数据线108a-108m的数据信号D1，D2，...Dm，能量信号FIRE1-FIREn提供给激发线110a-110n中的一个，使新启动的激发单元70中的激发电阻52带电。在任何时刻，只有一个分组的激发单元70被分组启动信号SG1，SG2，...SGL启动，储存提供给数据线108a-108m的数据信号D1，D2...Dm。在这方面，数据线108a-108m上的数据信号D1，D2，...Dm是时分多路数据信号。还有，在能量信号FIRE1-FIREn提供到选择的激发组102a-102n的同时，选择的激发组102a-102n中只有一个分组包括设置成导通的驱动开关72。但是提供给不同激发组102a-102n的能量信号FIRE1-FIREn可以而且必然重叠。

图6是显示打印头单元200的布置的一个实施例的方框图。打印头单元200包括6个激发组202a-202f，2个墨水输送槽204，206，6个激发线208a-208f和启动线210。激发线208a-208f分别对应于激发组202a-202f。启动线210提供分组启动信号SG1，SG2...SGL到激发组202a-202f，以启动选择的排分组。

6个激发组202a-202f沿墨水输送槽204，206设置。激发组202a和202d沿墨水输送槽204设置。激发组202c和202f沿墨水输送槽206设置。激发组202b，202e沿两个墨水输送槽204，206设置。墨水输送槽204，206互相平行。墨水输送槽204，206包括沿打印头单元200的Y向延伸的长度。在一个实施例中，墨水输送槽204，206供应相同颜色的墨水，如黑色，黄色，红紫色，蓝绿色墨水，到激发组202a-202f的液滴发生器60。在另一实施例中，各墨水输送槽204和206供应不同颜色的墨水到液滴发生器60。

激发组202a-202f分为8个用D1-D8表示的数据线组。各数据线组D1-D8包括6个激发组202a-202f的激发单元70。数据线组D1-D8的各激发单元70电连接到8个数据线108a-108h(见图5)中对应的一个。212a-212f表示的数据线组D1包括电连接到数据线108a的激发单元70。214a-214f表示的数据线组D2包括电连接到数据线108b的激发单元70。216a-216f表示的数据线组D3包括电连接到数据线108c的激发单元70。218a-218f表示的数据线组D4包括电连接到数据线108d的激发单元70。220a-220f表示的数据线组D5包括电连接到数据线108e的激发单元70。222a-222f表示的数据线组D6包括电连接到数据线108f的激发单元70。224a-224f表示的数据线组D7包括电连接到数据线108g的激发单元70。226a-226f表示的数据线组D8包括电连接到数据线108h的激发单元70。打印头单元200的各激发单元70只电连接到一个数据线108a-108h，各数据线108a-108h电连接到对应的数据线组D1-D8的激发单元70的所有存储电路74。

激发组1(FG1)202a沿墨水输送槽204的第一部分设置。墨水输送槽204包括相对的墨水输送槽侧壁204a，204b，沿打印头单元200的Y向延伸。打印头单元200的激发单元70包括激发电阻52，其是液滴发生器60的一部分。FG1 202a的液滴发生器60沿墨水输送槽204的两侧壁204a和204b设置。FG1 202a的液滴发生器60流体连通到墨水输送槽204，以接收墨水输送槽204的墨水。

数据线组D1-D6的液滴发生器60，用位于FG1 202a的212a，214a，216a，218a，220a，222a代表，沿墨水输送槽204的一侧204a设置。数据线组D7，D8的液滴发生器60，用224a，226a代表，沿墨水输送槽204的相对侧204b设置。在212a，214a，216a，218a，220a，222a的数据线组D1-D6的液滴发生器60设置在打印头单元200一侧200a和墨水输送槽204之间。在224a和226a的数据线组D7，D8的液滴发生器60沿打印头单元200的内通道设置，位于墨水输送槽204和墨水输送槽206之间。

在一个实施例中，在212a，214a，216a，218a，220a，222a的数据线组D1-D6的液滴发生器60沿墨水输送槽204的侧壁204a的长度设置，使得在212a的数据线组D1邻接214a的数据线组D2，D2位于212a的数据线组D1和216a的数据线组D3之间。218a的数据线组D4位于216a的数据线组D3和220a的数据线组D5之间。222a的数据线组D6靠近220a的数据线组D5。224a和226a的数据线组D7和D8的液滴发射器60沿墨水输送槽204的相对侧204b设置，使得212a的数据线组D1相对224a的数据线组D7，214a的数据线组D2相对226a的数据线组D8。

激发组4(FG4)202d沿墨水输送槽204的第二部分设置。FG4 202d的液滴发生器60沿墨水输送槽204的两侧壁204a，204b设置并流体连通到墨水输送槽204，以接收墨水输送槽204的墨水。212d，214d，216d，218d，220d，222d代表的数据线组D1-D6的液滴发生器60沿墨水输送槽204一侧204a设置，224d，226d代表的数据线组D7，D8的液滴发生器60沿墨水输送槽204的相对侧204b设置。212d，214d，216d，218d，220d，222d的数据线组D1-D6的液滴发生器60设置在打印头单元200的一侧200a和墨水输送槽204之间。224d，226d的数据线组D7，D8的液滴发生器60沿打印头单元200的内通道设置，位于墨水输送槽204和墨水输送槽206之间。

在一个实施例中，212d，214d，216d，218d，220d，222d的数据线组D1-D6的液滴发生器60沿墨水输送槽204的侧壁204a的长度设置，使得212d的数据线组D1邻接214d的数据线组D2，D2位于212d的数据线组D1和216d的数据线组D3之间。218d的数据线组D4位于216d的数据线组D3和220d的数据线组D5之间。222d的数据线组D6靠近220d的数据线组D5。224d和226d的数据线组D7和D8的液滴发射器60沿墨水输送槽204的相对侧204b设置，使得220d的数据线组D5相对224d的数据线组D7，222d的数据线组D6相对226d的数据线组D8。

激发组3(FG3)202c沿墨水输送槽206的第一部分设置。墨水输送槽206包括相对的墨水输送槽侧壁206a，206b，沿打印头单元200的Y向延伸。打印头单元200的激发单元70包括激发电阻52，其是液滴发生器60的一部分。FG3 202c的液滴发生器60沿墨水输送槽206的两侧壁206a和206b设置。FG3 202c的液滴发生器60流体连通到墨水输送槽206，以接收墨水输送槽206的墨水。

FG3 202c的212c，214c，216c，218c，220c，222c代表的数据线组D1-D6的液滴发生器60沿墨水输送槽204的一侧206a设置，224c，226c代表的数据线组D7，D8的液滴发生器60沿墨水输送槽206的相对侧206b设置。212c，214c，216c，218c，220c，222c的数据线组D1-D6的液滴发生器60设置打印头单元200的一侧200b和墨水输送槽206之间。224c，226c的数据线组D7，D8的液滴发生器60沿打印头单元200的内通道设置，位于墨水输送槽204和墨水输送槽206之间。

在一个实施例中，在212c，214c，216c，218c，220c，222c的数据线组D1-D6的液滴发生器60沿墨水输送槽206的侧壁206b的长度设置，使得212c的数据输送线组D1邻接214c的数据线组D2，D2位于212c的数据线组D1和216c的数据线组D3之间。218c的数据线组D4位于216c的数据线组D3和220c的数据线组D5之间。222c的数据线组D6靠近220c的数据线组D5。224c和226c的数据线组D7和D8的液滴发射器60沿墨水输送槽206的相对侧206a设置，使得212c的数据线组D1相对224c的数据线组D7，214c的数据线组D2相对226c的数据线组D8。

激发组6(FG6)202f沿墨水输送槽206的第二部分设置。FG6 202f的液滴发生器60沿墨水输送槽206的两侧壁206a和206b设置并流体连通到墨水输送槽206，以接收墨水输送槽206的墨水。212f，214f，216f，218f，220f，222f代表的数据线组D1-D6的液滴发生器60沿墨水输送槽206的一侧206b设置，224f，226f代表的数据线组D7，D8的液滴发生器60沿墨水输送槽206的相对侧206a设置。212f，214f，216f，218f，220f，222f的数据线组D1-D6的液滴发生器60设置在打印头单元200的一侧200b和墨水输送槽206之间。224f，226f的数据线组D7，D8的液滴发生器60沿打印头单元200的内通道设置，位于墨水输送槽204和墨水输送槽206之间。

在一个实施例中，在212f，214f，216f，218f，220f，222f的数据线组D1-D6的液滴发生器60沿墨水输送槽206的一侧206b的长度设置，使得212f的数据线组D1邻接214f的数据线组D2，D2位于212f的数据线组D1和216f的数据线组D3之间。218f的数据线组D4位于216f的数据线组D3和220f的数据线组D5之间。222f的数据线组D6靠近220f的数据线组D5。224f和226f的数据线组D7和D8的液滴发生器60沿墨水输送槽206的相对侧206a设置，使得220f的数据线组D5相对224f的数据线组D7，222f的数据线组D6相对226f的数据线组D8。

激发组2(FG2)202b沿墨水输送槽204和206的第一部分设置。FG2 202b的液滴发生器60沿墨水输送槽204d的侧壁204b和206的侧壁206a设置。212b，216b，220b和224b代表的数据线组D1，D3，D5和D7的液滴发生器60沿墨水输送槽204的一侧204b设置，并流体连通到墨水输送槽204，以接收墨水输送槽204的墨水。214b，218b，222b和226b代表的数据线组D2，D4，D6和D8的液滴发生器60沿墨水输送槽206的一侧206a设置，以接收墨水输送槽206的墨水。FG2 202b的液滴发生器60设置在墨水输送槽204和206之间。

在一个实施例中，212b，216b，220b和224b代表的数据线组D1，D3，D5和D7的液滴发生器60沿墨水输送槽204的侧壁204b的长度设置；214b，218b，222b和226b的数据线组D2，D4，D6和D8的液滴发生器60沿墨水输送槽206的侧壁206a的长度设置。沿墨水输送槽204侧壁204b的FG2 202b的212b的数据线组D1从沿侧壁204a的FG1 202a的216a的数据线组D3越过，或与其相对。FG2 202b的216b的数据线组D3相对FG1 202a的218a的数据线组D4。FG2 202b的220b的数据线组D5相对FG1 202a的220a的数据线组D5。FG2 202b的224b的数据线组D7相对FG1 202a的222a的数据线组D6。

沿着墨水输送槽206，FG2 202b的214b的数据线组D2沿着墨水输送槽206的侧壁206a，并从沿侧壁206b的FG3 202c的216c的数据线组D3越过，或与之相对。FG2 202b的218b的数据线组D4相对FG3 202c的218c的数据线组D4。FG2 202b的222b的数据线组D6相对FG3 202c的220c的数据线组D5；FG2 202b的226b的数据线组D8相对FG3 202c的222c的数据线组D6。

激发组5(FG5)202e沿墨水输送槽204和206的第二部分设置。FG5 202e的液滴发生器60沿墨水输送槽204的侧壁204b和墨水输送槽206的侧壁206a设置。212e，216e，220e和224e代表的数据线组D1，D3，D5和D7的液滴发生器60沿墨水输送槽204的一侧204b设置，并流体连通到墨水输送槽204，以接收墨水输送槽204的墨水。214e，218e，222e和226e代表的数据线组D2，D4，D6和D8的液滴发生器60沿墨水输送槽206一侧206a设置，以接收墨水输送槽206的墨水。FG5 202e的液滴发生器60设置在墨水输送槽204和206之间。

在一个实施例中，212e，216e，220e和224e代表的数据线组D1，D3，D5和D7的液滴发生器60沿墨水输送槽204的侧壁204b的长度设置；214e，218e，222e和226e的数据线组D2，D4，D6和D8的液滴发生器60沿墨水输送槽206的侧壁206a的长度设置。沿墨水输送槽204侧壁204b的FG5 202e的212e的数据线组D1从沿侧壁204a的FG4 202d的212d的数据线组D1越过，或与其相对。FG5 202e的216e的数据线组D3相对FG4 202d的214d的数据线组D2。FG5 202e的220e的数据线组D5相对FG4 202d的216d的数据线组D3。FG5 202e的224e的数据线组D7相对FG4 202d的218d的数据线组D4。

沿着墨水输送槽206，FG5 202e的214e的数据线组D2沿着墨水输送槽206的侧壁206a，并从沿侧壁206b的FG6 202f的212f的数据线组D1越过，或与之相对。FG5 202e的218e的数据线组D4相对FG6 202f的214f的数据线组D2。FG5 202e的222e的数据线组D6相对FG6 202f的216f的数据线组D3；FG5 202e的226e的数据线组D8相对FG6 202f的218f的数据线组D4。

在一个实施例中，打印头单元200包括672个液滴发生器60。6个激发组202a-202f各包括112个液滴发生器60。激发组202a-202f中212，214，216，218，220，222，224和226位置的数据线组D1-D8的各部分包括14个液滴发生器60，使得各激发组202a-202f包括14排分组，连接到8个数据线108a-108h。在其他实施例中，打印头单元200可包括任何适当数量的液滴发生器60，如600个液滴发生器60，每个激发组可设置成任何适当的液滴发生器图案，每个数据线组或部分数据线组具有适当的液滴发生器图案。此外，打印头单元200可包括任何适当数量的激发组和任何数量的数据线组。

导电激发线208a-208f电连接到激发组202a-202f的液滴发生器60的激发电阻52。激发线208a电连接到FG1的202a的各激发电阻52。激发线208a设置在打印头单元200的一侧200a和墨水输送槽204之间及墨水输送槽204和206之间。激发线208a连接到墨水输送槽204的一端部204c，形成基本为J形或基本为U形的激发线。激发线208a设置在侧面200a和墨水输送槽204之间的部分电连接到212a，214a，216a，218a，220a和222a的数据线组D1-D6的激发电阻52。激发线208a设置在墨水输送槽204和墨水输送槽206之间的部分电连接到224a和226a的数据线组D7，D8的激发电阻52。激发线208a接收和提供包括能量脉冲的能量信号FIRE1到FG1 202a的激发电阻52。

激发线208d电连接到FG4 202d的各激发电阻52。激发线208d设置在打印头单元200的一侧200a和墨水输送槽204之间及墨水输送槽204和206之间。激发线208d连接到墨水输送槽204的一端部204d，形成基本为J形或基本为U形的激发线。激发线208d设置在侧面200a和墨水输送槽204之间的部分电连接到212d，214d，216d，218d，220d和222d的数据线组D1-D6的激发电阻52。激发线208d设置在墨水输送槽204和墨水输送槽206之间的部分电连接到224d和226d的数据线组D7，D8的激发电阻52。激发线208d接收和提供包括能量脉冲的能量信号FIRE4到FG4 202d的激发电阻52。

激发线208c电连接到FG3 202c的各激发电阻52。激发线208c设置在打印头单元200一侧200b和墨水输送槽206之间及墨水输送槽204和206之间。激发线208c连接到墨水输送槽206的一端部206c，形成基本为J形或基本为U形的激发线。激发线208c设置在侧面200b和墨水输送槽206之间的部分电连接到212c，214c，216c，218c，220c和222c的数据线组D1-D6的激发电阻52。激发线208c的设置在墨水输送槽204和墨水输送槽206之间的部分电连接到224c和226c的数据线组D7，D8的激发电阻52。激发线208c接收和提供包括能量脉冲的能量信号FIRE3到FG3 202c的激发电阻52。

激发线208f电连接到FG6的202f的各激发电阻52。激发线208f设置在打印头单元200一侧200b和墨水输送槽206之间及墨水输送槽204和206之间。激发线208f连接到墨水输送槽206的一端部206d，形成基本为J形或基本为U形的激发线。激发线208f设置在侧面200b和墨水输送槽206之间的部分电连接到212f，214f，216f，218f，220f和222f的数据线组D1-D6的激发电阻52。激发线208f设置在墨水输送槽204和墨水输送槽206之间的部分电连接到224f和226f的数据线组D7，D8的激发电阻52。激发线208f接收和提供包括能量脉冲的能量信号FIRE6到FG6 202f的激发电阻52。

激发线208b电连接到FG2 202b的各激发电阻52。激发线208b设置在墨水输送槽204和206之间。激发线208b的一部分230位于靠近墨水输送槽204的212b，216b，220b和224b的数据线组D1，D3，D5，D7的激发单元70对面。激发线208b的另一部分232位于靠近墨水输送槽206的214b，218b，222b，226b的数据线组D2，D4，D6，D8的激发单元70的对面。部分230，232在墨水输送槽204和206之间的234电连接到一起，激发线208b的第三部分或后部分236电连接到第一和第二部分230，232并朝向打印头单元200的侧面200c延伸。激发线208b接收和提供包括能量脉冲的能量信号FIRE2到FG2 202b的激发电阻52。

激发线208e电连接到FG5的202e的各激发电阻52。激发线208e设置在墨水输送槽204和206之间。激发线208e的一部分240位于靠近墨水输送槽204的212e，216e，220e和224e的数据线组D1，D3，D5，D7的激发单元70对面。激发线208e的另一部分242位于靠近墨水输送槽206的214e，218e，222e，226e的数据线组D2，D4，D6，D8的激发单元70的对面。部分240，242在墨水输送槽204和206之间的244电连接到一起，激发线208e的第三部分或后部分246电连接到第一和第二部分240，242并朝向打印头单元200的侧面200d延伸。激发线208e接收和提供包括能量脉冲的能量信号FIRE5到FG5 202e的激发电阻52。

启动线210电连接到激发组202a-202f的排分组的激发单元70。启动线210电连接到排分组的激发单元70，如前面介绍的启动线106a-106L。启动线210接收分组启动信号SG1，SG2，...SGL，并提供接收到的信号到排分组的激发单元70。分组启动信号SG1，SG2，...SGL使得排分组激发单元70接收和储存提供到数据线108a-108h的数据信号D1-D8。

启动线210位于墨水输送槽204和打印头单元侧面200a之间，及墨水输送槽206和打印头单元侧面200b之间。此外，启动线210在墨水输送槽204和206之间延伸。启动线210沿打印头单元200的一侧200c延伸。在一实施例中，一些启动线210分成两组启动线。一组提供启动信号到激发组202a-202c，另一组提供启动信号到激发组202d-202f。

图7是显示打印头单元200的基准导体250的布置的一个实施例的方框图。打印头单元200包括6个激发组202a-202f，两个墨水输送槽204，206及基准导体250。基准导体250电连接到各激发组202a-202f的各激发单元70。各激发单元70的各驱动开关72的漏-源路径电连接到基准导体250。此外，基准导体250电连接到基准电压，如接地电压。在一个实施例中，基准导体250通过外触点连接到外电路或接地路径(见图15)。

激发组202a-202f沿墨水输送槽204和206设置。激发组202a和202d沿墨水输送槽204设置，激发组202c和202f沿墨水输送槽206设置。激发组202b和202e沿墨水输送槽204和206设置。

激发组202a-202f分成8个数据线组D1-D8，分别用212，214，216，218，220，222，224和226代表。212，214，216，218，220，222，224和226代表的各数据线组D1-D8包括各激发组202a-202f的激发单元70。212，214，216，218，220，222，224和226的各数据线组D1-D8的各激发单元70电连接到8个数据线108a-108h中的对应一个。212，214，216，218，220，222，224和226的各数据线组D1-D8的各激发组202a-202f沿墨水输送槽204和206设置，如前面的详细介绍。

墨水输送槽204和206间隔开并互相平行。各墨水输送槽204和206的长度沿打印头单元200的Y向延伸。墨水输送槽204包括沿墨水输送槽204长度的相对侧壁204a，204b。墨水输送槽206包括沿墨水输送槽206长度的相对侧壁206，206b。墨水输送槽204和206提供墨水到激发组202a-202f的液滴发生器60。

基准导体250包括第一部分250a，第二部分250b，第三部分250c和第四部分250d，在墨水输送槽204，206的各端电连接到一起。基准导体250沿墨水输送槽204的相对侧壁204a，204b设置，并沿墨水输送槽206的相对侧壁206a，206b设置。部分250a-250d沿打印头单元200的侧面200c和打印头单元200的侧面200d电连接到一起。

基准导体250的第一部分250a位于FG1 202a的212a，214a，216a，218a，220a和222a的数据线组D1-D6的各激发单元70的对面。基准导体250的第一部分250a也位于FG4 202d的212d，214d，216d，218d，220d和222d的数据线组D1-D6的各激发单元70的对面。第一部分250a沿墨水输送槽204的侧壁204a设置，位于墨水输送槽204和打印头单元200的侧面200a之间。

基准导体250的第二部分250b位于FG1 202a的224a和226a的数据线组D7，D8的激发单元70，FG2 202b的212b，216b，220b和224b的数据线组D1，D3，D5，D7的激发单元70，FG5 202e的212e，216e，220e和224e的数据线组D1，D3，D5，D7的激发单元，FG4 202d的224d和226d的数据线组D7，D8的各激发单元70的对面。第二部分250b沿墨水输送槽204的侧壁204b设置，位于墨水输送槽204和206之间。

基准导体250的第三部分250c位于FG3 202c的224c和226c的数据线组D7，D8的激发单元70，FG2 202b的214b，218b，222b和226b的数据线组D2，D4，D6，D8的激发单元70，FG5 202e的214e，218e，222e和226e的数据线组D2，D4，D6，D8的激发单元，FG6 202f的224f和226f的数据线组D7，D8的各激发单元70的对面。第三部分250c沿墨水输送槽206的侧壁206a设置，位于墨水输送槽204和206之间。

基准导体250的第四部分250d位于FG3 202c的212c，214c，216c，218c，220c和222c的数据线组D1-D6的激发单元70，FG6 202f的212f，214f，216f，218f，220f，和222f的数据线组D1-D6的激发单元70的对面。第四部分250d沿墨水输送槽206的侧壁206b设置，位于墨水输送槽206和打印头单元200的侧面200b之间。基准导体250的部分250a-250d沿打印头单元200的侧面200c和200d电连接到一起。

图8是显示沿打印头单元200的第一金属层的部分300的一实施例的平面图，显示出多层的重叠区和非重叠区。介绍的实际结构可在一层或多层上形成。

部分300包括三个激发单元，用302a-302c表示；墨水输送槽206和基准导体250。三个激发单元302a-302c类似于打印头单元200的激发单元70，例如FG3 202c的224c的数据线组D7一部分的激发单元70。激发单元320a-302c包括存储电路74a-74c，驱动开关72a-72c和52a-52c表示的激发电阻。

激发单元302a包括存储电路74a，驱动开关72a和激发电阻52a。激发电阻52a包括第一电阻区304a，第二电阻区306a和导电短路杆308a。第一电阻区304a和第二电阻区306a是分离的电阻区，通过导电短路杆308a电连接到一起。存储电路74a通过基体导线310a电连接到驱动开关72a的栅极。驱动开关72a的漏-源路径的一侧电连接到基准导体250。基准导体250接触驱动开关72a，基准导体250设置在驱动开关72a的至少一部分上，即位于某层上。驱动开关72a的漏-源路径的另一侧电连接到驱动开关导线312a，其电连接驱动开关72a的漏-源路径到第一电阻区304a。第二电阻区306a通过激发线导线314a电连接到激发线208c。

激发单元302b包括存储电路74b，驱动开关72b和激发电阻52b。激发电阻52b包括第一电阻区304b，第二电阻区306b和导电短路杆308b。第一电阻区304b和第二电阻区306b是分离的电阻区，通过导电短路杆308b电连接到一起。存储电路74b通过基体导线310b电连接到驱动开关72b的栅极。驱动开关72b的漏-源路径的一侧电连接到基准导体250。基准导体250接触驱动开关72b，基准导体250设置在驱动开关72b的一部分上。驱动开关72b的漏-源路径的另一侧电连接到驱动开关导线312b，其电连接驱动开关72b的漏-源路径到第一电阻区304b。第二电阻区306b通过激发线导线314b电连接到激发线208c。

激发单元302c包括存储电路74c，驱动开关72c和激发电阻52c。激发电阻52c包括第一电阻区304c，第二电阻区306c和导电短路杆308c。第一电阻区304c和第二电阻区306c是分离的电阻区，通过导电短路杆308c电连接到一起。存储电路74c通过基体导线310c电连接到驱动开关72c的栅极。驱动开关72c的漏-源路径电连接到基准导体250。基准导体250接触驱动开关72c，基准导体250设置在驱动开关72c的至少一部分上。驱动开关72c的漏-源路径的另一侧电连接到驱动开关导线312c，其电连接驱动开关72c的漏-源路径到第一电阻区304c。第二电阻区306c通过激发线导线314c电连接到激发线208c。

激发单元302a-302c形成于打印头单元200的半导体基体320上。存储电路74a-74c，驱动开关72a-72c，和基体导线310a-310c在打印头单元200的基体320上形成。基准导体250，驱动开关导线312a-312c，激发线导线314a-314c和短路杆308a-308c作为在基体320上形成的第一金属层的一部分。此外，第一电阻区304a-304c和第二电阻区306a-306c作为电阻层的一部分。在另一实施例中，部分的基准导体250可在第一金属层和第二金属层(未显示)上形成。

墨水输送槽206在基体320上形成，可提供墨水到激发电阻52a-52c。墨水输送槽206包括墨水输送槽边322，其位于基体320的表面。墨水输送槽边322沿墨水输送槽206的长度与基体320的表面连接。在324的基准导体250沿墨水输送槽206设置，与墨水输送槽边322间隔开。墨水输送槽206的相对侧206a包括墨水输送槽边322，墨水输送槽206的相对侧壁206b包括类似于墨水输送槽边322的墨水输送槽边。此外，墨水输送槽204的相对侧边204a，204b分别包括连接到基体320表面的墨水输送边，其类似于墨水输送槽边322。

基准导体250的一部分在第一金属层上形成，其他部分可以在第二金属层上形成，或不在其上形成，设置在存储电路74a-74c和墨水输送槽206之间。驱动开关导线312a-312c，激发线导线314a-314c和激发电阻52a-52c与基准导体250绝缘，设置在激发电阻区326a-326c。激发电阻区326a包括驱动开关导线312a，激发线导线314a和激发电阻52a。激发电阻区326b包括驱动开关导线312b，激发线导线314b和激发电阻52b。激发电阻区326c包括驱动开关导线312c，激发线导线314c和激发电阻52c。

基准导体250设置在存储电路74a-74c和激发电阻区326a-326c之间的各驱动开关72a-72c部分上，包括驱动开关导线312a-312c。基准导体250还设置在墨水输送槽边322和激发电阻区326a-326c之间，包括激发电阻52a-52c。此外，基准导体250设置在相邻的激发单元302a-302c的激发电阻区326a-326c之间。基准导体250基本为平面，位于存储电路74a-74c和墨水输送槽边322之间。基准导体250具有较大的或增大的区域，因为基准导体250的部分设置在墨水输送槽边322和激发电阻区326a-326c之间。较大区域的基准导体250减少了激发单元70之间的能量变化，提供了更均匀的墨水图案。

在上面介绍的实施例中，基准导体250设置在墨水输送槽边322和激发电阻区326a-326c之间，还设置在相邻的激发单元302a-302c的激发电阻区326a-326c之间，并基本与之共面。在这个实施例中，基准导体250基本与激发电阻52a-52c共面，但不与墨水输送槽边共面。在一个实施例中，墨水输送槽边也与基准导体250共面。在一实施例中，激发电阻52a-52c不与基准导体250共面。然而，在所有的这些实施例中，基准导体设置在墨水输送槽边和激发电阻之间，还设置在相邻的激发单元的激发电阻区之间，不管是否有平面关系。

操作中，激发电阻302a-302c其中一个在某个时刻受激发或带电。在一示例性操作中，存储电路74a提供电压水平于驱动开关72a的栅极，以关断或接通驱动开关72a。激发线208c接收能量信号FIRE 3并通过激发线导线314a提供能量脉冲到第二电阻区306a。

如果驱动开关72a导通，能量脉冲提供电流通过激发电阻52a，驱动开关导线312a和驱动开关72a，到达基准导体250。基准导体250电连接到基准电压，如接地电压，电流流过基准导体250到接地点。

当电流流过基准导体250时，电流流过存储电路74a-74c和激发电阻区326a-326c之间，包括驱动开关导线312a-312c。电流还流过相邻的激发电阻区326a-326c之间，流过墨水输送槽边322和激发电阻区326a-326c之间，包括激发电阻52a-52c。

激发单元302a-320c在部分300的布置类似于激发单元70沿打印头单元200的墨水输送槽204和206的布置。此外，基准导体250在部分300的布置类似于基准导体250沿墨水输送槽204的相对侧壁204a，204b；及沿打印头单元200的墨水输送槽206的相对侧壁206a，206b的布置。

图9A和图9B分别显示打印头单元200的一个实施例的沿图8的位置线9A和9B的部分截面图。图9A和9B未按比例绘制。

参考图9A和9B，打印头单元200包括多孔层400，第一金属层402，第二金属层404，绝缘层406和基体320。驱动开关72a和墨水输送槽206在基体320形成，基体包括基体表面320a。墨水输送槽206包括墨水输送槽边322，其连接到基体表面320a。第一金属层402在基体表面320a形成。绝缘层406在第一金属层402和基体表面320a形成。

多孔层400具有前表面400a和前表面400a上的喷嘴开口412。多孔层400还设有喷嘴腔或蒸发腔414，流体路径或墨水输送路径416在其中形成。52a代表的激发电阻至少部分位于蒸发腔414下，蒸发腔位于激发电阻52a和喷嘴开口412之间。墨水输送路径416位于蒸发腔414和墨水输送通道410之间。蒸发腔414连通喷嘴开口412和墨水输送路径416。墨水输送路径416连通蒸发腔414和墨水输送通道410，墨水输送通道410连通墨水输送槽206。墨水输送槽206通过墨水输送通道410和墨水输送路径416提供墨水到蒸发腔414。

第一金属层402在基体320上形成，并通过绝缘层406与第二金属层404绝缘。第一金属层402包括导电层418和电阻层420。导电层418用适当的导体材料制成，如铝-铜；电阻层420用适当的电阻材料制成，如钽-铝。第一金属层402包括多个导线和打印头单元200的元件，包括基准导体250，驱动开关导线312a，激发线导线324a和激发电阻52a。

激发电阻52a在第一金属层402形成，包括第二电阻区306a和短路杆308a。第二电阻区306a包括电阻层420。导电层418未设置在第二电阻区306a。短路杆308a包括导电层418和电阻层420。第二电阻区306a电连接到短路杆308a和激发线导线314a。

激发线导线314a在第一金属层402形成，包括导电层418和电阻层420。激发线导线314a通过在绝缘层406上形成的孔422电连接到第二金属层404。绝缘层406上的孔422用材料填充以电连接激发线导线314a到第二金属层404。

基准导体250设置在基体320上的驱动开关72a部分，位于激发电阻52a和墨水输送槽边322之间。基准导体250电连接到驱动开关72a的漏-源路径的一侧。驱动开关72a的漏-源路径的另一侧电连接到驱动开关导线312a，导线电连接到激发电阻52a的第一电阻区304a(见图9B)。基准导体250和驱动开关导线312a作为第一金属层402的一部分，包括导电层418和电阻层420。

在一实施例中，绝缘层406包括设置在第一金属层402的绝缘钝化层，金属层包括基准导体250和激发电阻52a。绝缘层406沿墨水输送槽边322设置。绝缘层406覆盖基准导体250，位于激发电阻52a和墨水输送槽边322之间，可防止墨水接触和腐蚀基准导体250。

在一实施例中，绝缘层406设置在短路杆308a和第二电阻区306a上，以防止墨水接触和腐蚀短路杆308a和第二电阻区306a。在一实施例中，绝缘层406设置到激发线导线314a，驱动开关导线312a和基准导体250的位于驱动开关72a的部分。孔422在绝缘层406上蚀刻成，电连接激发线导线314a(第一金属层402)和第二金属层404。绝缘层406成为适当的绝缘材料的一部分。在一实施例中，绝缘层406包括两层，例如，硅-碳化物层和硅-氮化物层。

第二金属层404包括激发线208c，其通过孔422电连接到激发线导线314a。第二金属层404包括第一层424，用适当的材料制成，如钽；和第二层426，用适当的导电材料制成，如金。第一层424设置成通过孔422接触激发线导线314a。此外，第一层424设置在绝缘层406的位置428，位于第二电阻区306a之上。当墨水受到激发电阻52a的加热时，在428的第一层424可保护绝缘层406。第二层426是设置在第一层424上的导电金层，形成激发线208c。激发线208c接收能量信号FIRE3，并提供能量脉冲到第二电阻区306a和激发电阻52a，加热墨水和通过喷嘴412从蒸发腔414喷射墨水。

参考图9B，激发电阻52a在第一金属层402形成，包括第一电阻区304a和短路杆308a。第一电阻区304a包括电阻层420。导电层418未设置在第一电阻区304a。第一电阻区304a电连接到短路杆308a和驱动开关导线312a。

在一实施例中，绝缘层406设置在短路杆308a和第一电阻区304a。在一实施例中，绝缘层406设置在驱动开关导线312a和基准导体250位于驱动开关72a上的部分。

第二金属层404的第一层424设置在绝缘层406上的位置428，位于第一电阻区304a之上。当墨水被激发电阻52a加热时，428的第一层424可保护绝缘层406。

操作中，存储电路74a启动，接收数据，接通或关断驱动开关72a。存储电路74a提供电压到驱动开关72a的栅极，以导通驱动开关72a或使其关断。激发线208c接收能量脉冲并提供到第二电阻区306a。如果驱动开关72a是导通的，能量脉冲形成能量电流，流过激发线208c和激发线导线314a，到达第二电阻区306a。电流流过第二电阻区306a和短路杆308a，到达第一电阻区304a和驱动开关导线312a。电流流过导通的驱动开关72a的漏-源路径，到达基准导体250，离开打印头单元200。当电流流过基准导体250时，电流流过激发电阻区326a-326c之间，到达基准导体250位于激发电阻52a和墨水输送槽边322之间的部分。

在图9A，9B所显示的实施例中，导电层418的高度范围在0.3-1.5微米，在实施例中为0.5微米；电阻层420的范围在0.3-1.5微米，在实施例中是0.5微米。在这个实施例中，第一层424具有的高度范围在0.3-1.5微米，在实施例中为0.36微米，第二层426的高度类似于电阻层420的高度。

金属层1和金属层2中的激发线，接地线，地址线的位置的实施例在共同未决的专利申请No.10/787,573中显示和公开，该专利内容在本文中参考引用。

图10是显示打印头单元200的沿图9B位置线10的部分300的一实施例的示意图。打印头单元200包括墨水输送槽206，流体路径或墨水输送路径416a-416c和414a-414c表示的蒸发腔。墨水输送路径416a-416c和蒸发腔414a-414c对应于激发单元302a-302c。墨水输送路径416a和蒸发腔414a对应激发单元302a。墨水输送路径416b和蒸发腔414b对应激发单元302b，墨水输送路径416c和蒸发腔414c对应激发单元302c。

蒸发腔414a-414c包括在428a-428c的第一层424，位于第一电阻区304a-304c和第二电阻区306a-306c之上。蒸发腔414a包括位于第一电阻区304a和第二电阻区306a之上的428a的第一层424。蒸发腔414b包括位于第一电阻区304b和第二电阻区306b之上的428b的第一层424。蒸发腔414c包括位于第一电阻区304c和第二电阻区306c之上的428c的第一层424。

基准导体250位于激发电阻区326a-326c各侧。基准导体250位于激发电阻区326a-326c和存储电路和430表示的通道区之间。基准导体250还位于相邻的激发电阻区326a-326c之间。此外，基准导体250设置在墨水输送路径416a-416c之下，激发电阻区326a-326c和墨水输送槽边322之间。在324的基准导体250沿墨水输送槽206的长度位于墨水输送槽边322的附近。

墨水输送槽206流体连通到墨水输送路径416a-416c，其分别流体连通到蒸发腔414a-414c。基准导体250通过绝缘层406与从墨水输送槽206通过墨水输送路径416a-416c流动的墨水绝缘。来自墨水输送槽206的墨水流过墨水输送路径416a-416c到达蒸发腔414a-414c，蒸发腔位于覆盖基准导体250的绝缘层406之上。

图11是显示打印头单元200的一个实施例的激发线208a-208f的布置的方框图。打印头单元200包括激发线208a-208f，数据线108a-108h和墨水输送槽204，206。各激发线208a-208f对应激发组202a-202f其中一个，并电连接到对应激发组202a-202f中的所有激发电阻52。各数据线108a-108h对应数据线组212，214，216，218，220，222，224和226其中一个，并电连接到对应数据线组212，214，216，218，220，222，224和226中的所有激发单元70。各数据线108a-108h电连接到各激发组202a-202f中的激发单元70。

数据线108a-108h接收数据信号D1-D8，提供数据信号D1-D8到各激发组202a-202f中的激发单元70。数据线108a接收数据信号D1并提供数据信号D1到各激发组202a-202f中的数据线组212。数据线108b接收数据信号D2并提供数据信号D2到各激发组202a-202f中的数据线组214。数据线108c接收数据信号D3并提供数据信号D3到各激发组202a-202f中的数据线组216。数据线108d接收数据信号D4并提供数据信号D4到各激发组202a-202f中的数据线组218。数据线108e接收数据信号D5并提供数据信号D5到各激发组202a-202f中的数据线组220。数据线108f接收数据信号D6并提供数据信号D6到各激发组202a-202f中的数据线组222。数据线108g接收数据信号D7并提供数据信号D7到各激发组202a-202f中的数据线组224。数据线108h接收数据信号D8并提供数据信号D8到各激发组202a-202f中的数据线组226。

数据线108a-108h沿打印头单元200的墨水输送槽204和206设置。数据线108a-108f的一部分沿墨水输送槽204设置，位于墨水输送槽204和打印头单元侧面200a之间。数据线108a-108f的其他部分沿墨水输送槽206设置，位于墨水输送槽206和打印头单元侧面200b之间。还有，数据线108a，108c，108e，108g和108h的部分沿墨水输送槽204设置，位于墨水输送槽204和墨水输送槽206之间；数据线108b，108d，108f，108g和108h的部分沿墨水输送槽206设置，位于墨水输送槽206和墨水输送槽204之间。

设置在墨水输送槽204和打印头单元侧面200a之间的数据线108a-108f部分电连接到FG1 202a的数据线组212a，214a，216a，218a，220a和222a的激发单元70，并电连接到FG4 202d的数据线组212d，214d，216d，218d，220d和222d的激发单元70。数据线108a电连接到数据线组212a和212d的激发单元70。数据线108b电连接到数据线组214a和214d的激发单元70。数据线108c电连接到数据线组216a和216d的激发单元70。数据线108d电连接到数据线组218a和218d的激发单元70。数据线108e电连接到数据线组220a和220d的激发单元70。数据线108f电连接到数据线组222a和222d的激发单元70。

设置在墨水输送槽206和打印头单元侧面200b之间的数据线108a-108f部分电连接到FG3 202c的数据线组212c，214c，216c，218c，220c和222c的激发单元70，并电连接到FG6 202f的数据线组212f，214f，216f，218f，220f和222f的激发单元70。数据线108a电连接到数据线组212c和212f的激发单元70。数据线108b电连接到数据线组214c和214f的激发单元70。数据线108c电连接到数据线组216c和216f的激发单元70。数据线108d电连接到数据线组218c和218f的激发单元70。数据线108e电连接到数据线组220c和220f的激发单元70。数据线108f电连接到数据线组222c和222f的激发单元70。

沿墨水输送槽204设置的数据线108a，108c，108e，108g和108h部分，位于墨水输送槽204和墨水输送槽206之间，电连接到FG1202a，FG2 202b，FG4 202d和FG5 202e的激发单元70。数据线108a电连接到数据线组212b和212e的激发单元70。数据线108c电连接到数据线组216b和216e的激发单元70。数据线108e电连接到数据线组220b和220e的激发单元70。数据线108g电连接到数据线组224a，224b，224d和224e的激发单元70。数据线108h电连接到数据线组226a，226d的激发单元70。

沿墨水输送槽206设置的数据线108b，108d，108f，108g和108h部分，位于墨水输送槽206和墨水输送槽204之间，电连接到FG2202b，FG3 202c，FG5 202e和FG6 202f的激发单元70。数据线108b电连接到数据线组212b和212e的激发单元70。数据线108c电连接到数据线组214b和214e的激发单元70。数据线108d电连接到数据线组218b和218e的激发单元70。数据线108f电连接到数据线组222b和222e的激发单元70。数据线108g电连接到数据线组224c，224f的激发单元70。数据线108h电连接到数据线组226b，226c，226e，226f的激发单元70。

激发线208a-208f接收能量信号FIRE1，FIRE2，...FIRE6并提供能量信号FIRE1，FIRE2，...FIRE6到激发组202a-202f的激发单元70。激发线208a接收能量信号FIRE1，并提供能量信号FIRE1到FG1202a的所有激发单元70。激发线208b接收能量信号FIRE2，并提供能量信号FIRE2到FG2 202b的所有激发单元70。激发线208c接收能量信号FIRE3，并提供能量信号FIRE3到FG3 202c的所有激发单元70。激发线208d接收能量信号FIRE4，并提供能量信号FIRE4到FG4 202d的所有激发单元70。激发线208e接收能量信号FIRE5，并提供能量信号FIRE5到FG5 202e的所有激发单元70。激发线208f接收能量信号FIRE6，并提供能量信号FIRE6到FG6 202f的所有激发单元70。

各激发线208a-208f提供能量到激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。能量通过能量信号FIRE1，FIRE2，...FIRE6提供到激发电阻52。能量加热激发电阻52，以加热和喷射液滴发生器60的墨水。提供到激发电阻52能量的大小变化可导致墨滴的尺寸和形状不均匀，导致打印图象扭曲。为了均匀喷射墨水，各激发线208a-208f设置成可保持激发电阻52之间有适当能量变化。

能量变化是通过激发组202a-202f其中一个的任何两个激发电阻52发散能量的最大百分比差。最大能量一般提供给最接近结合垫(bond pad)的激发电阻52，当只有一个激发电阻52带电时结合垫接收能量信号FIRE1，FIRE2，...FIRE6。最小能量一般提供给最远离结合垫(bond pad)的激发电阻52，当排分组的所有激发电阻52带电时，结合垫接收能量信号FIRE1，FIRE2，...FIRE6。影响能量变化的结构布置包括激发线长度，激发线宽度，激发线导体深度和接地线，即基准导体250，的尺寸。在一实施例中，接地线部分，即各基准导体部分250a，250b，250c和250d，的宽度小于800微米。在另一实施例中，大约为96微米宽。在这个实施例中，激发线的宽度可在50和500微米之间。这些尺寸只是用于某个示例性实施例。其他的实施例可使用其他的尺寸和形状。10-15％的能量变化是优选的，能量变化20％已经证明是适当的能量变化。

激发组202a-202f和激发线208a-208f设置在打印头单元200，以实现激发电阻52之间的适当能量变化。代替激发组202a-202f其中一个的所有激发单元70沿墨水输送槽204或206的一侧设置，造成长激发线208a-208f，一个激发组202a-202f的激发单元70沿墨水输送槽204或20中一个的两侧设置，或沿墨水输送槽204和206设置。这样可减少对应的激发线208a-208f的长度。

激发组202a的激发单元70沿墨水输送槽204的两侧设置，激发组202d的激发单元70也沿墨水输送槽204的两侧设置。激发线208a和208d分别沿墨水输送槽204的相对侧设置，在墨水输送槽204的一端204c或204d相连接。各激发线208a，208d沿墨水输送槽一侧的长度，比之沿墨水输送槽204另一侧的长度，要长一些，形成了基本为J形的激发线208a，208d。

激发组202c的激发单元70沿墨水输送槽206的两侧设置，激发组202f的激发单元70也沿墨水输送槽206的两侧设置。激发线208c和208f分别沿墨水输送槽206的相对侧设置，在墨水输送槽206的一端206c或206d相连接。各激发线208c，208f沿墨水输送槽206的一侧的长度，比之沿墨水输送槽206另一侧的长度，要长一些，形成了基本为J形的激发线208c，208f。

激发组202b的激发单元70沿墨水输送槽204和206设置，激发组202e的激发单元70也沿墨水输送槽204和206设置。激发线208b和208e分别沿墨水输送槽204和206设置，在墨水输送槽204和206之间相连接。各激发线208b，208e包括设置在墨水输送槽204和206之间的后部分。后部分延伸激发线208b，208e到打印头单元200的一侧，形成基本为叉状(羊角状)激发线208b，208e。与只沿一个墨水输送槽204或206一侧延伸的激发线相比，基本为J形和基本为叉状的激发线208a-208f的长度可短些。

基本为J形的激发线208a电连接到激发单元70，其沿墨水输送槽204的相对侧设置。550表示的第一部分电连接到FG1 202a的6个数据线组212a，214a，216a，218a，220a和222a的激发单元70。552表示的第二部分电连接到FG1 202a的2个数据线组224a和226a的激发单元70。第一部分550通过位于墨水输送槽204端部204c的第三部分554电连接到第二部分552。第一部分550沿墨水输送槽204的长度在Y向上比第二部分552长。

第一部分550提供能量信号FIRE1到6个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。第二部分552提供能量信号FIRE1到2个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。W1的第一部分550比W2的第二部分552宽些。第一部分550，第二部分552和第三部分554成为部分的第二金属层。此外，第一部分550包括双层金属部分，在556处用影线表示，成为第二金属层的一部分，沿打印头单元侧面200a连接到第一金属层。双层部分556和宽度为W1的第一部分550保持激发电阻52之间有适当的能量变化。

基本为J形的激发线208d电连接到激发单元70，其沿墨水输送槽204的两侧设置。558表示的第一部分电连接到FG4 202d的6个数据线组212d，214d，216d，218d，220d和222d的激发单元70。560表示的第二部分电连接到FG4 202d的2个数据线组224d和226d的激发单元70。第一部分558通过位于墨水输送槽204端部204d的第三部分562电连接到第二部分560。第一部分558沿墨水输送槽204的长度在Y向上比第二部分560长。

第一部分558提供能量信号FIRE4到6个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。第二部分560提供能量信号FIRE4到2个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。W1的第一部分558比W2的第二部分560宽些。第一部分558，第二部分560和第三部分562成为部分的第二金属层。此外，第一部分558包括双层金属部分，在564处用影线表示，成为第二金属层的一部分，沿打印头单元侧面200a连接到第一金属层。双层部分564和宽度为W1的第一部分558保持激发电阻52之间有适当的能量变化。

基本为J形的激发线208c电连接到激发单元70，其沿墨水输送槽206的两侧设置。566表示的第一部分电连接到FG3 202c的6个数据线组212c，214c，216c，218c，220c和222c的激发单元70。568表示的第二部分电连接到FG3 202c的2个数据线组224c和226c的激发单元70。第一部分566通过位于墨水输送槽206端部206c的第三部分570电连接到第二部分568。第一部分566沿墨水输送槽206的长度在Y向上比第二部分568长。

第一部分566提供能量信号FIRE3到6个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。第二部分568提供能量信号FIRE3到2个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。W1的第一部分566比W2的第二部分568宽些。第一部分566，第二部分568和第三部分570成为第二金属层的一部分。此外，第一部分566包括双层金属部分，在572处用影线表示，成为第二金属层的一部分，沿打印头单元侧面200b连接到第一金属层。双层部分572和宽度为W1的第一部分566保持激发电阻52之间有适当的能量变化。

基本为J形的激发线208f电连接到沿墨水输送槽206的相对侧设置的激发单元70。574代表的第一部分电连接到FG6 202f的6个数据线组212f，214f，216f，218f，220f，222f的激发单元70。576代表的第二部分电连接到FG6 202f的两个数据线组224f，226f的激发单元70。第一部分574通过位于墨水输送槽206一端206d的第三部分578电连接到第二部分576。第一部分574沿墨水输送槽206的长度在Y向上比第二部分576长些。

第一部分574提供能量信号FIRE6到6个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。第二部分576提供能量信FIRE6到两个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。第一部分574在W1处要比在W2的第二部分576宽。第一部分574，第二部分576和第三部分578成为第二金属层的一部分。此外，第一部分574包括双层金属部分，其在580用影线表示，成为第二金属层的一部分，沿打印头单元侧面200b电连接到第一金属层。双层部分580和宽度W1的第一部分574在激发电阻52之间保持适当的能量变化。

基本为叉形的激发线208b电连接到沿墨水输送槽204和206设置的激发单元70。582代表的第一部分电连接到FG6 202b的4个数据线组212b，216b，220b，224b的激发单元70。584代表的第二部分电连接到FG2 202b的4个数据线组214b，218b，222b，226b的激发单元70。第一部分582通过第三部分或后部分586电连接到第二部分584。第一部分582在沿Y向的长度和沿X向的宽度上类似于第二部分584。

第一部分582提供能量信号FIRE2到4个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。第二部分584提供能量信FIRE2到4个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。第一部分582和第二部分584成为第二金属层的一部分，在W3的宽度比宽度部分W2要宽。

第三部分586提供能量信号FIRE2到8个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关52。第三部分586成为第二金属层的一部分，并包括后双层金属部分，在588处用影线表示。在588的后双层金属部分包括第二金属层，电连接到第一金属层。后双层金属部分588和宽度为W3的第一和第二部分582，584在激发电阻52之间保持适当的能量变化。

基本为叉形的激发线208e电连接到沿墨水输送槽204和206设置的激发单元70。590代表的第一部分电连接到FG5 202e的4个数据线组212e，216e，220e，224e的激发单元70。592代表的第二部分电连接到FG5 202e的4个数据线组214e，218e，222e，226e的激发单元70。第一部分590通过第三部分或后部分594电连接到第二部分592。第一部分590在沿Y向的长度和沿X向的宽度上类似于第二部分592。

第一部分590提供能量信号FIRE5到4个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。第二部分592提供能量信FIRE5到4个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关72。第一部分590和第二部分592成为第二金属层的一部分，在W3的宽度比宽度部分W2要宽。

第三部分594提供能量信号FIRE5到8个激发电阻52，其连接到导通的驱动开关52。第三部分594成为第二金属层的一部分，并包括后双层金属部分，在596处用影线表示。596的后双层金属部分包括第二金属层，电连接到第一金属层。后双层金属部分596和宽度为W3的第一和第二部分590，592在激发电阻52之间保持适当的能量变化。

图12是显示打印头单元200的部分600的一个实施例的平面图。部分600包括三个激发单元，用602a-602c表示；墨水输送槽204，基准导体250和激发线208a。三个激发单元602a-602c类似于设置在打印头单元200的激发单元70，如FG1 202a的212a的数据线组D1的一部分的激发单元70。激发单元602a-602c包括激发电阻52，存储电路74和驱动开关72，如激发电阻652a-652c，存储电路674a和驱动开关672a。激发线208a已经剖开以显示激发单元602a。

激发单元602a包括储存回路674a，驱动开关672a和激发电阻652a。激发电阻652a包括第一电阻区604a，第二电阻区606a和导电短路杆608a。第一电阻区604a和第二电阻区606a是分离的电阻区，通过短路杆608a电连接到一起。存储回路674a通过基体导线610a电连接到驱动开关672a的栅极。驱动开关672a的漏-源路径的一侧电连接到基准导体250。基准导体250接触驱动开关672a的设置基准导体250的地方。驱动开关672a的漏-源路径的另一侧电连接到驱动开关导线612a，其电连接驱动开关672a的漏-源路径到第一电阻区604a。第二电阻区606a通过激发线导线614a电连接到激发线208a。

激发单元602b包括储存回路，设置在激发线208a下面的驱动开关和激发电阻652b，其未设置在激发线208a下面。激发电阻652b包括第一电阻区604b，第二电阻区606b和导电短路杆608b。第一电阻区604b和第二电阻区606b是分离的电阻区，通过导电短路杆608b电连接到一起。存储回路和激发单元602b的驱动开关通过基体导线电连接到一起。驱动开关的漏-源路径的一侧电连接到基准导体250。基准导体250接触驱动开关的设置基准导体250的地方。驱动开关的漏-源路径的另一侧电连接到驱动开关导线612b，其电连接驱动开关的漏-源路径到第一电阻区604b。第二电阻区606b通过激发线导线614b电连接到激发线208a。

激发单元602c包括储存回路，设置在激发线208a下面的驱动开关和激发电阻652c，其未设置在激发线208a下面。激发电阻652c包括第一电阻区604c，第二电阻区606c和导电短路杆608c。第一电阻区604c和第二电阻区606c是分离的电阻区，通过导电短路杆608c电连接到一起。存储回路和激发单元602c的驱动开关通过基体导线电连接到一起。驱动开关的漏-源路径的一侧电连接到基准导体250。基准导体250接触驱动开关的设置基准导体250的地方。驱动开关的漏-源路径的另一侧电连接到驱动开关导线612c，其电连接驱动开关的漏-源路径到第一电阻区604c。第二电阻区606c通过激发线导线614c电连接到激发线208a。

激发单元602a-602c在打印头单元200的半导体基体320上形成。存储回路74，如存储回路674a；驱动开关72，如驱动开关672a；和基体导线，如基体导线610a，在打印头单元200的基体320上形成。基准导体250，驱动开关导线612a-612c，激发线导线614a-614c和短路杆608a-608c成为形成于基体320的第一金属层的一部分。此外，第一电阻区604a-604c和第二电阻区606a-606c成为电阻层的一部分。

墨水输送槽204在基体320上形成，提供墨水到激发电阻652a-652c。墨水输送槽204包括墨水输送槽边622，位于基体320的表面。墨水输送槽边622沿墨水输送槽204与基体320的表面连接。基准导体250沿墨水输送槽204设置，并与墨水输送槽边622间隔开，在624成为第一金属层的一部分。墨水输送槽204的相对侧204a包括墨水输送槽边622，墨水输送槽204的相对侧204b包括墨水输送槽边，其类似于墨水输送槽边622。此外，墨水输送槽206的各相对侧206a和206b包括连接到基体320表面的墨水输送槽边，其类似于墨水输送槽边622。

基准导体250成为第一金属层的一部分，位于存储回路74，如储存回路74a；和墨水输送槽204之间。驱动开关导线612a-612c，激发线导线614a-614c和激发电阻652a-652c与基准导体250绝缘，设置在激发电阻区626a-626c。激发电阻区626a包括驱动开关导线612a，激发线导线614a和激发导体652a。激发电阻区626b包括驱动开关导线612b，激发线导线614b和激发电阻652b。激发电阻区626c包括驱动开关导线612c，激发线导线614c和激发电阻652c。

基准导体250设置在各驱动开关72部分上，位于存储回路74和激发电阻区626a-626c之间。基准导体250还设置在墨水输送槽边622和激发电阻区626a-626c之间。此外，基准导体250设置在激发电阻区626a-6126c之间。基准导体250在存储回路74和墨水输送槽边322之间基本为平面。由于基准导体250位于墨水输送槽边622和激发电阻区626a-626c之间的部分，基准导体250具有较大或增加的区域。增大区域的基准导体250减少了激发单元之间能量变化并提供更均匀的墨水图案。

激发线208a包括第二金属层，其设置在激发电阻区626a-626c部分上，并从激发电阻区626a-626c延伸到打印头单元200一侧200a。激发线208a的第二金属层设置在驱动开关导线612a-612c和激发线导线614a-614c的部分，并通过从第二金属层到第一金属层的孔电连接到激发线导线614a-614c。激发线208a的第二金属层还设置在基准导体250的激发电阻区626a-626c到存储回路74之间部分。此外，激发线208a的第二金属层设置在启动和数据线之上，启动和数据线在第一金属层上的基准导体250和打印头单元200侧面200a之间延伸。激发线208a包括556处的双层部分，其包括在630的第一金属层，第一金属层通过孔电连到激发线208a的第二金属层。556处的双层部分沿打印头单元200的侧面200a设置。

操作中，某时刻激发单元602a-602c中的一个受激发或带电。在一示例性操作中，存储回路674a提供一定电压水平到驱动开关672a的栅极，使驱动开关672a导通或关断。激发线208a接收能量信号FIRE1并通过激发线导线614a提供能量脉冲到第二电阻区606a。

如果驱动开关672a是导通的，能量脉冲提供电流通过激发电阻652a，驱动开关导线612a和驱动开672a到达基准导体250。基准导体250电连接到基准电压，例如接地电压，电流流过基准导体250到接地点。

激发单元602a-602c在部分600的布置类似与激发单元70沿打印头单元200的墨水输送槽204和206的设置。此外，激发线208a和基准导体250在部分600的布置类似于激发线208和基准导体250在打印头单元200的布置。

图13显示了打印头单元200的一个实施例沿图12的位置线13的部分截面图。图13为了简化未按比例绘制。部分截面包括多孔层400，第二金属层404，绝缘层406，第一金属层402和基体320。驱动开关672a和墨水输送槽204在基体320上形成，基体包括基体表面320a。墨水输送槽204包括墨水输送槽边622，连接到基体表面320a。第一金属层402在基体表面302a上形成。绝缘层406在第一金属层402和基体表面320a上形成，形成了墨水输送槽710。

多孔层400具有前表面400a和在前表面400a上的喷嘴开口712。多孔层400还具有喷嘴腔或蒸发腔714和在其上形成流体路径或墨水输送路径716。652a表示的激发电阻至少部分位于蒸发腔714之下，位于激发电阻652a和喷嘴开口712之间。墨水输送路径716位于蒸发腔714和墨水输送通道710之间。蒸发腔714连通到喷嘴开口712和墨水输送路径716。墨水输送路径716连通蒸发腔714和墨水输送通道710，其连通墨水输送槽204。墨水输送槽204通过墨水输送通道710和墨水输送路径716提供墨水到蒸发腔714。

第一金属层402在基体320上形成，通过绝缘层406与第二金属层404绝缘。第一金属层包括导电层418和电阻层420。导电层418用适当的导电材料制成，如铝-铜；电阻层420用适当的电阻材料制成，如钽-铝。在一实施例中，第一金属层402包括多个导线和元件，其包括基准导体250，驱动开关导线612a，激发线导线614a，激发电阻652a和部分激发线208a。

激发电阻652a在第一金属层402形成，并包括第二电阻区606a和短路杆608a。第二电阻区606a包括电阻层420。导电层418未设置在第二电阻区606a。短路杆608a包括导电层418和电阻层420。第二电阻区606a电连接到短路杆608a和激发线导线614a。

激发线导线614a在第一金属层402上形成，包括导电层418和电阻层420。激发线导线614a通过在绝缘层406上形成的孔702电连接到第二金属层404。绝缘层406上的孔722充填了导电材料，可电连接激发线导线614a到第二金属层404。

基准导体250设置在基体320上的驱动开关672a上方部分，位于激发电阻652a和墨水输送槽边622之间。基准导体250电连接到驱动开关672a的漏-源路径的一侧。驱动开关672a的漏-源路径的另一侧电连接到驱动开关导线612a，其电连接到激发电阻652a的第一电阻区604a。基准导体250和驱动开关导线612a成为第一金属层402的一部分，包括导电层418和电阻层420。

绝缘层406是设置在第一金属层402上的绝缘钝化层，包括基准导体250和激发电阻652a。绝缘层406形成墨水输送通道710，并沿墨水输送槽边622设置。绝缘层406覆盖激发电阻652a和墨水输送槽边622之间的基准导体250，可防止墨水接触和腐蚀基准导体250。绝缘层406也设置在短路杆608a和第二电阻区606a之上，以防止墨水接触和腐蚀短路杆608a和第二电阻区606a。此外，绝缘层406设置在激发线导线614a，驱动开关导线612a和位于驱动开关672a上的基准导体250之上。孔722在绝缘层406蚀刻出，以电连接激发线导线614a到第二金属层404。孔723在绝缘层406上蚀刻出，填充了导电材料，以电连接第二金属层404到第一金属层402，形成双层部分556。绝缘层406成为适当的绝缘材料的一部分。在一实施例中，绝缘层406包括两层，例如，硅-碳化物层和硅-氮化物层。

部分激发线208a在第二金属层404上形成，并通过孔722电连接到激发线导线614a。第二金属层404包括第一层424，其用适当材料制成，例如钽；和第二层426，用适当的导电材料制成，如金。第一层424设置成通过孔722可接触激发线导线614a。第一层424还设置成通过孔723接触第一金属层402，形成激发线208a的双层部分556。另外，第一层424设置在覆盖第二电阻区606a的绝缘层406上的728。当墨水被激发电阻652a加热时，728的第一层424保护绝缘层406。第二层426是导电的金层，设置在第一层42上，以形成部分激发线208a。激发线208a接收能量信号FIRE1并提供能量脉冲到激发线导线614a和第二电阻区606a，通过激发电阻652a加热和从蒸发腔714通过喷嘴712喷射墨水。

尽管已经显示和介绍了特定的实施例，所属领域的技术人员应当认识到，可以对所显示和介绍的特定实施例进行不同的替代和/或等效实施，这未脱离本发明的范围。本发明希望覆盖对文中讨论的特定实施例的任何改进或变化。因此，本发明只受权利要求及其等效体的限定。

Claims (21)

1.一种流体喷射装置，包括：

第一流体输送源，具有与基体表面连通的第一流体输送源边；

第一激发电阻，沿第一流体输送源设置，其设置成可对第一电流反应，加热第一流体输送源提供的流体；和

基准导体，设置成可传导第一激发电阻的第一电流，其中所述基准导体设置在第一流体输送源边和第一激发电阻之间。

2.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于，所述基准导体设置在至少两个第一激发电阻之间。

3.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于，所述装置包括驱动开关，其中各驱动开关电连接到第一激发电阻中对应的一个，基准导体设置在驱动开关的一部分上。

4.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于，所述装置包括激发电阻区，其沿第一流体输送源设置，其中所述基准导体设置在至少两个相邻的激发电阻区之间。

5.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于，所述装置包括在第一层上形成的驱动开关，在第二层上形成的激发电阻区，其沿第一流体输送源设置，其中所述基准导体设置在相邻的激发电阻区之间和部分驱动开关上。

6.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于，所述基准导体沿第一输送槽的相对侧和沿第一流体输送源的相对侧的整个长度设置。

7.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于，所述第一激发电阻沿第一流体输送源的两侧设置，基准导体设置在第一激发电阻和第一流体输送源边之间，沿着第一流体输送源的两侧中的一侧；基准导体还设置在第一激发电阻和第二流体输送源边之间，沿着第一流体输送源的两侧中的另一侧。

8.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于，所述装置包括第二流体输送源，具有与基体表面连接的第二流体输送源边；和第二激发电阻，其中第二激发电阻的第一部分沿第一流体输送源设置，其设置成可对第二电流反应，加热第一流体输送源提供的流体；第二激发电阻的第二部分沿第二流体输送源设置，其设置成可对第二电流反应，加热第二流体输送源提供的流体；其中基准导体设置成可传导第二激发电阻的第二电流，位于第一流体输送源边和第二激发电阻的第一部分之间，和第二流体输送源边和第二激发电阻的第二部分之间。

9.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于，所述装置包括：

蒸发腔，流体连通到第一流体输送源；和

绝缘层，设置成可绝缘基准导体和从流体输送源流到蒸发腔的流体，其中基准导体设置在蒸发腔和第一流体输送源边之间。

10.一种流体喷射装置，包括：

第一流体输送源，具有第一流体输送源边；

第一蒸发腔，流体连通到第一流体输送源；

基准导体，设置在第一蒸发腔和第一流通输送源边之间，和

绝缘结构，设置成可绝缘基准导体和流过第一流体输送源边到达第一蒸发腔的流体。

11.根据权利要求10所述的流体喷射装置，其特征在于，所述基准导体设置在至少两个第一蒸发腔之间。

12.根据权利要求10所述的流体喷射装置，其特征在于，所述基准导体沿第一流体输送源的两侧设置。

13.根据权利要求10所述的流体喷射装置，其特征在于，所述第一蒸发腔沿第一流体输送源的相对侧设置，基准导体设置在第一蒸发腔和第一流体输送源边之间，沿着第一流体输送源的一侧，并设置在第一蒸发腔和第二流体输送源边之间，沿着第一流体输送源的另一侧。

14.根据权利要求10所述的流体喷射装置，其特征在于，所述装置包括流体路径，其中各流体路径流体连通第一流体输送源和第一蒸发腔中对应的一个，所述基准导体通过绝缘结构与流过流体路径的流体绝缘。

15.根据权利要求10所述的流体喷射装置，其特征在于，所述装置包括：

第二流体输送源，具有第二流体输送源边；和

第二蒸发腔，流体连通到第二流体输送源，其中，所述基准导体设置在第二蒸发腔和第二流体输送源边之间，绝缘结构设置成绝缘基准导体和流过第二流体输送源边到达第二蒸发腔的流体。

16.根据权利要求15所述的流体喷射装置，其特征在于，所述第二蒸发腔沿第二流体输送源的相对侧设置，所述基准导体设置在第二蒸发腔和第二流体输送源之间，沿着第二流体输送源的一侧；还设置在第二蒸发腔和第三流体输送源边之间，沿着第二流体输送源的另一侧。

17.根据权利要求10所述的流体喷射装置，其特征在于，所述装置还包括激发电阻，其中各激发电阻设置在第一蒸发腔中对应的一个，设置成可对电流作出反应，加热第一流体输送源提供的流体，基准导体设置成可传导激发电阻的电流。

18.根据权利要求17所述的流体喷射装置，其特征在于，所述装置包括驱动开关，其中各驱动开关电连接到对应的一个激发电阻和基准导体之间。

19.根据权利要求10所述的流体喷射装置，其特征在于，所述基准导体设置在两个激发电阻之间，并位于驱动开关一部分上。

20.一种流体喷射装置，包括：

流体输送源；

沿流体输送源设置的激发电阻，设置成可对电流作出反应，加热流体输送源提供的流体；和

基准导体，设置成可传导激发电阻的电流，其中所述基准导体设置在两个激发电阻之间。

21.根据权利要求20所述的流体喷射装置，其特征在于，所述装置包括沿流体输送源设置的激发电阻区，其中基准导体设置在相邻的激发电阻区之间。

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