CN1894554A - 测量透明样品厚度的方法和装置 - Google Patents

Abstract

一种用于测量透明样品(2)特别是玻璃条或者玻璃块的厚度的装置，包括使用：第一光束(L1)，特别是第一激光束，其以第一入射角(α1)射到样品(2)的前表面(8)；第二光束(L2)，特别是第二激光束，其以第二入射角(α2)射到样品(2)的前表面(8)，第一入射角(α1)和第二入射角(α2)不相同；以及，至少一个检测器(11，12)，用于检测第一和第二入射光束(L1，L2)被样品反射的光束(L1’，L1”，L2’，L2”)，并且用于确定它们的位置。为了还能够进行曲率校正，至少一个基本上平行于第一或第二光束(L1，L2)的入射光束(L3)射向样品(2)的前表面(8)，并且提供至少一个检测器(11)，用以检测平行光束(L3)被样品(2)反射的光束(L3’)，并且用于确定它的位置。本发明还涉及相应的方法。

Description

测量透明样品厚度的方法和装置

技术领域

本发明涉及一种用于测量透明样品特别是玻璃条或者玻璃块的厚度的装置，该样品优选具有平滑表面，所述装置具有第一光束，特别是第一激光束，其以第一入射角倾斜地入射到样品的前表面上，具有第二光束，特别是第二激光束，其以第二入射角倾斜地入射到样品的前表面上，第一入射角和第二入射角是不同的，并且具有至少一个检测器，用于检测第一和第二入射光束被样品反射的光束，并且用于确定它们的位置。本发明还涉及一种相应的用于测量厚度的方法，其优选地可以借助于本发明的装置实现。

背景技术

在玻璃块、玻璃条等的制造过程中对玻璃厚度进行标准化。这些标准厚度具有在制造过程中会出现的公差。在大规模制造中，如果有可能通过对厚度进行连续测量和稳定的工艺以低公差限制制造玻璃，则可以保留大量的玻璃。而且，如果可以基于好的控制能力在预定的机器宽度范围内扩大可出售玻璃的宽度，则可以增加好玻璃的产出。即使当在浮法玻璃工厂中对厚度进行切换的时候，如果可以连续测量，则可以减小从一个厚度到另一个厚度的时间，并且这同样增加了可出售玻璃的产出。

用于非接触地自动测量透明材料厚度的装置已知用于监控透明物质的玻璃或材料厚度，在该装置中激光束以特定的角度射到将被测量的表面。激光束在测量物体的前侧部分反射。光束的另一部分折射进入材料中，在后侧反射，并且再次在前侧折射，从而两个光束被测量物体回射。两个反射光束的间距是对测量物体厚度的测量并被相应地估算。

为了即使在测量物体的表面不平行且尽管测量物体和测量装置之间倾斜情况下获得可靠的测量值，德国4143186A1提出一种装置，其分别具有两个激光源、两个分束器、以及两个线传感器，其被对称地设置在偏光棱镜处，以便来自激光源的光束以变化的方向被引导到测量物体上，并且在它的前侧和后侧反射的光束又通过偏光棱镜和分束器射到直线传感器上。其缺点是，光束路径比较复杂并且需要大量的光学元件。此外其不能检测和校正材料样品的曲率，并且因此，测量的不准确性会影响测量结果。

发明内容

因此，本发明的目的是提出一种厚度测量的可能性，该测量可以容易地实现并且能够准确地确定厚度。

在一开始所描述的装置的情况下可以达到该目的，因为：至少一个基本平行于第一或第二光束的入射光束射向样品的前表面，并且提供至少一个检测器，用于检测平行光束的被样品反射的光束并用于确定它的位置。通过设置平行于从左边或右边入射的第一或第二激光束的另一个激光束，并且通过在样品的例如前表面反射这些平行光束，可以在检测的表面部分确定样品可能的曲率半径。为此，以与玻璃的已知距离测量这两个反射光束的间距。然后根据已知的曲率半径可以获得对将要测量的样品厚度的校正。根据这三个光束的设置，可以以简单的方式进行倾斜校正、楔角校正和曲率校正，从而根据本发明的装置的厚度传感器高准确地确定厚度，并且相对简单、设计紧凑。

由于平行入射的第三光束只用来进行曲率校正，根据本发明可以提供该第三光束，将该光束形成为可以被断开，以避免在进行不需要第三光束的测量中的扰动影响。这特别应用于倾斜校正和楔角校正。

根据本发明的优选实施例，入射光束和/或反射光束位于共同的光束平面内。从而对测量结果的说明和对设计的实施变得非常容易。

根据本发明，该装置和该透明样品能够相对于对方顺序移动，特别是，还能够在监控玻璃条和玻璃块正在进行的制造的过程中用于玻璃制造中。这允许对制造过程进行连续监控。为此，该装置被提供指定的引导装置，借助于其，可以将样品例如玻璃块或玻璃条引导穿过该装置。引导装置还用于将透明样品在用于检测其厚度的装置前面对齐，以便样品能够在该厚度传感器的前面以限定的对齐方式设置。特别是，用于样品表面相对于装置的光学系统特别是它的测量头对齐。

由于，通常横向于玻璃的图示方向或移动方向的光缺陷比图示方向上的光扰动大，因此，假设静止的厚度传感器，当样品的相对移动的方向特别是样品的图示方向或移动方向位于入射光束和/或反射光束的共同的光束平面内，优选垂直于样品法线的时候，这对定位这些缺陷是非常有利的。当然，然而，本发明也能够在相对移动方向没有位于共同的光束平面内而是与其横截时应用。

为了实现厚度传感器的对称设计，以有利于说明测量结果，第一入射角和第二入射角可以位于由第一和第二光束所限定的光束平面内，并位于入射区域中关于样品法线的两个不同侧上。如果，假设厚度传感器在样品前方不是水平地设置，样品法线没有位于该共同的光束平面内，则将样品法线在光束平面内的投影用作参考。特别是，当位于样品法线两侧的入射角的绝对值相等时是有利的。它们具有例如大小为45°的量级。

为了检测反射光束，根据本发明，可以将两个检测器设置为彼此相隔一定的间距，并优选垂直于样品的表面，它们的传感器表面优选朝向彼此。通常可以提供这样的传感器设置，以在两个检测器中以空间分辨的方式检测所有在样品反射的入射光束。可以考虑使用CCD芯片，直线摄影机或者其它空间分辨检测器作为检测器。

根据本发明所推荐的是，在样品上的第一、第二和第三入射光束的入射区域比两个相对的检测器的间距小，该检测器优选用于检测所有反射光束。有利地选择由在样品前表面入射的所有入射光束的射入点所限定的入射区域，以便在检测器上检测所有反射光束。

为了减少所需要的光源特别是激光的数量，根据优选实施例，可以提供两个分束器，以便从一个光束产生三个光束。因此，根据本发明的厚度传感器的制造从而成本效率更高。此外，整个调节比较简单，由于从分束器出射的光束以预定角度出射，从而根据本发明的系统的光束引导是在对原始光束、分束器单元以及(如果适当的话)限定光束测量头的两个反射镜进行调节之后设置。这里，分束器能够输出与转换光束成90°角的输出光束。因此，借助于两个平行的反射镜容易产生45°的入射角，这两个反射镜垂直于样品的假想表面法线放置。这里，用于产生第三光束的一个分束器可以被设计为可开关的，以便开启和关闭第三光束。

为了适当地估算测量结果，提供连接到至少一个检测器上的估算装置，用于确定样品的厚度，特别是进行倾斜校正、角度校正和/或曲率校正。特别是，随后描述的本发明方法在该估算单元中实施，但是，所述方法也可以不应用于上述装置中。

在本发明用于测量透明样品特别是具有平滑表面的样品的厚度的方法中，提供第一光束，该光束以第一入射角倾斜地入射到样品的前表面，并且确定在前表面反射的光束和在后表面反射的光束的位置，以及提供第二光束，该光束以与第一入射角不同的第二入射角倾斜地入射到样品的前表面，并且确定在前表面反射的光束和在后表面反射的光束的位置，根据第一光束和/或第二光束在前表面和后表面上反射的光束的间距确定透明样品的厚度，并且通过比较反射光束的至少一部分的位置来进行倾斜和/或楔角校正。

此外，为了进一步检测样品可能的曲率，提供至少一个平行于第一或第二光束的第三光束，该光束基本上以已知的间距倾斜地入射到前表面，也即处于可能的调节精度之内，并且通过确定这些平行光束在前表面和后表面上分别反射的光束的位置来进行曲率校正。

优选，第一光束和第二光束从由它们所限定的光束平面内在样品的前表面上的关于入射区域中的样品法线的不同侧入射。在这种情况下，入射区域是入射光束射到样品的区域。尽管，在有利的构造中，这些相互接近以便保持测量头的整个尺寸尽可能地小，它们至少以轻微偏移的方式射到该表面以便避免不同光束路径的混合，所述混合在测量和估算电子器件上所需要的费用较高。在该方法的应用中，样品和厚度传感器优选对齐，以便样品法线位于第一和第二以及(如果合适的话)第三入射和反射光束的共同的光束平面内。

为了获得系统的高对称度，以便于解释测量结果，第一和第二入射角的绝对值可以相等，并且优选为约45°。

根据本发明，为了进行倾斜和/或楔角校正，当从优选在前表面上所反射的光束的位置射到检测器时，确定与样品的间距，当间距不一致时采取倾斜和/或楔角校正。当比较与样品的间距时，可以考虑不同的光束路径，例如通过不同绝对值的入射角。

根据本发明，根据第一和第二光束的反射光束的不一致间距，可以确定楔角或倾斜角，借助于其，对前述确定的厚度值进行校正。

根据本发明，为了确定曲率，可以确定第三光束的反射光束和与其基本平行的第一或第二光束的反射光束之间的间距，并且可以进行曲率校正。为此，有利地是，曲率半径和/或曲率角度由第三光束和与其基本平行的第一或第二光束的反射光束之间的间距确定。然后对通过倾斜或楔角校正所校正的前述厚度值作进一步校正。

而且，根据本发明可以使用关系式D＝2/R来根据曲率半径R确定折射光焦度D。

附图说明

本发明的其它优点、特征和可能的应用也可以从以下对具体实施例的描述以及附图中体现。在这种情况下，所有描述和/或图示的特征无论其与权利要求书地结合或者其背景技术，仍只是本发明的一部分。

在附图中，

图1示出了本发明的测量透明样品厚度的装置的平面图；

图2示出了用于确定厚度的光束路径的示意图；

图3示出了用于倾斜校正的光束路径的示意图；

图4示出了用于楔角校正的光束路径的示意图；

图5示出了用于曲率校正的光束路径的示意图；

图6示出了用于确定具有曲率的样品的厚度的光束路径的示意图。

具体实施方式

图1示出了厚度传感器1，其构成用于测量优选具有平滑表面的透明样品的厚度的装置。该样品是玻璃条2或者玻璃块。

厚度传感器1具有激光器(未示出)，其产生穿过两个相互前后放置的分束器3、4的聚焦平行光或者激光束L。该激光束L在分束器3、4中分成共三个激光束L1、L2、L3。第一激光束L1沿激光束L的方向横穿两个分束器3、4，以近似45°的角度射到第一反射镜5，并且在那里被反射。在第二分束器4中，第二激光束L2以近似90°的角度从激光束L耦合出射，以近似45°的角度射到第二反射镜6并且在那里被反射。两个反射镜5、6限定光束空间，形成厚度传感器1的测量头，并且其被相互平行地放置在分束器3、4的相对边上，其反射表面彼此面对。放置在这里的反射镜5、6与玻璃条2的表面垂直。因此使得厚度传感器1基本上关于激光束L1和L2镜像对称。然而，本发明并不限于该有利的布置。

被反射镜5、6偏转的激光束L1和L2通过前开口7入射到玻璃条2的前表面8，且以都为45°的入射角α1和α2射向厚度传感器1的玻璃条2，在光束L1和L2的入射区域10中入射角α1和α2相对于样品法线9具有不同的符号，且入射角α1和α2绝对值相同，光束L1和L2从不同的方向，特别是从左边和右边入射到玻璃条2的前表面8。

在那里，入射光束L1和L2被部分反射，并且作为反射激光束L1’、L2’入射到适当放置的检测器11和12上。入射光束L1和L2的另一部分折射到玻璃条2中，然后在后表面13上反射，并且在前表面8上再次折射之后从玻璃条2中出射。这些在后表面13上反射的激光束L1”和L2”基本上平行于在前表面上反射的光束L1’和L2’，并且也入射到检测器11和12上。

为此，将检测器11、12分别以平行的方式放置在反射镜5、6的前面，并且其传感器表面彼此面对，且基本上垂直于玻璃条的表面8排列。将检测器11和12布置成能够分别收集第一和第二入射激光束L1和L2的两个反射激光束L1’和L1”或者L2’和L2”，并且能够确定它们的位置。检测器11、12具有位置分辨传感器，在该传感器的帮助下，能够精确地确定入射到其上的光束的位置。CCD芯片、有线摄影机或者这些传感器都适用于这个目的。

在分束器4上游的分束器3中产生了入射激光束L3，其与第二入射激光束L2平行，并且与激光束L2类似，在反射镜6上偏转，并在组件精度范围内以间隔s平行于激光束L2。第三激光束L3在入射区域10射到玻璃条2的前表面8。这里，将入射区域10定义为入射激光束L1、L2、L3射到前表面的区域。该入射区域10比两个相对的检测器11、12的间隔小，并且延伸为约超过其间隔一半。将激光束L1、L2、L3和检测器11、12布置成，第二和第三入射光束L2和L3的反射光束L2’、L2”和L3’入射到检测器11的传感器表面上，并且第一入射光束L1的反射光束L1’和L1”入射到检测器12的传感器表面上。

可以使用厚度传感器1中的检测器11、12的相对于玻璃条2的已知位置、或者它们的最佳测量位置，以确定反射激光束L1’、L1”、L2’、L2”和L3’的相对于玻璃条2的前表面8、和/或相互间的精确位置的绝对项。在估算装置(未示出)中，使用该信息来确定玻璃条2的厚度d，并且进行倾斜度、楔角和曲率校正。

三个入射光束L1、L2和L3限定了公共的光束平面14，在所述平面中包括样品法线9。因此，反射光束L1’、L1”、L2’、L2”和L3’也位于该光束平面14上。即使这种布置是优选的，在本发明的厚度传感器1的情况中，也有可能入射和反射激光束的光束平面不在一个平面。在这种情况下，该样品法线也不位于一个光束平面内。

可以使用前述厚度传感器1，特别是为了在制造过程中即时测量样品2、具体是玻璃条或者玻璃块的厚度d。在这种情况下，接着移动玻璃条2或者玻璃块经过厚度传感器，并连续地或者在预定的时间间隔内测量样品2的厚度d。优选，玻璃条2的移动方向15也位于该公共的光束平面14内。

以下解释说明了本发明用于确定厚度d的方法。优选借助厚度传感器1来执行本方法，特别是，所述传感器垂直于玻璃条2放置。

为了确定玻璃条2的厚度d，首先根据激光束L1在玻璃条2的前和后表面8、13上反射的激光束L1’、L1”的间距d’计算玻璃条2的厚度d。假如，给定平行的前和后表面8、13，玻璃是完全平的，且入射角α1精确知道，则能够借助简单的方法确定厚度d，以下借助附图2说明该简单的方法。

如图2所示，以入射角α1从左边入射的激光束L1在玻璃条的前表面8上部分反射，并且作为反射激光束L1’以相同的出射角α1出射。激光束L1的另一部分折射进入玻璃条2中，在玻璃条2的后表面13上反射，并且作为反射光束L1”以相同的出射角α1出射且平行于在前表面8上反射的激光束L1’偏移。

通过使用已知的入射和出射角α(L1的α1)和检测器12相对于玻璃条2的布置，由在检测器12上的光束L1’和L1”的位置数据来确定两个反射激光束L1’、L1”之间的垂直间距d’。

然后，从如下公式中得出玻璃条2的厚度

$d=d^{\′}\·\frac{\sqrt{n^2-{\sin }^2\mathrm{\α}}}{\sin 2\mathrm{\α}},$

d’是反射激光束L1’、L1”之间的垂直间距，n是折射率，α与入射角α1相等。根据公式d′＝M·sinα，从在检测器12上的光束L1’和L1”的测量间距M得出间距d’。

以相应的方式，可以使用以入射角α2从右边入射的激光束12确定玻璃条2的厚度。这导致了两个第一厚度值d1和d2，其在理想情况下是一致的。

然而，在实际中，不能得到前述所假设的已知不变的入射角α和平坦的且平行的样品表面。而且，存在横向于玻璃条2的图示方向或移动方向15的光扰动。由于在图示方向15上的光扰动通常基本上较小，因此三个光束L1、L1’和L1”位于与玻璃条的图示方向15相同的光束面14内。该扰动对实际应用的影响可以通过该几何设置来消除。

例如，还可以倾斜玻璃条2的滚轮轨道，以便入射角α＝α1、α2将采用不同的值。使用第二入射激光束L2用于校正，其不是从左边而是从右边入射并且位于同一光束平面14内。同时，还可以通过该系统确定且校正可能存在的玻璃条2的楔角，以下根据图3和4解释该方法的步骤。

当入射光束L1没有在与厚度传感器1垂直对齐的玻璃条2上、且在样品法线9与厚度传感器的对称轴一致的情况下反射，而是在以倾斜角σ倾斜的玻璃条2上放射时，光束平面14内的出射角不等于假想的入射角α＝α1，而是等于α＝α1+σ。

不仅对从左边入射的光束L1而且对从右边入射的光束L2使用倾斜校正，为了清楚起见，在图3中未示出所述从右边入射的光束。取而代之，为了比较，示出以出射角α1在水平的玻璃条2上射出的不带附图标记的光束，该光束与图2中的光束L1’相对应。

第二光束L2的入射角α则为α＝α2-σ。结果，第一和第二光束L1和L2所反射的光束L1’、L1”和L2’、L2”不再如同由于厚度传感器1的对称设计将会导致的情况、以相同的到玻璃条2的间距射到检测器11、12。因此，当在前表面8上所反射的光束L1’射到检测器12的间距b1与在前表面上所反射的光束L2’射到检测器11的间距b2不相等时，必须进行楔角校正。这在以下描述：

为了确定倾斜角σ，在检测器12中确定在前表面8反射的光束L1’与前表面8的间距b1，沿未倾斜的样品2的样品法线9的方向确定间距b1。

已知检测器12与第一光束L1的入射点之间在沿玻璃条2的表面8的方向、即垂直于样品法线9的方向的间距a，以下适用于从左边入射的光束L1：

$\mathrm{tg}(\mathrm{\α}+\mathrm{\σ})=\frac{\mathrm{\α}}{b_1}$

相应地以下适用于从右边入射的光束L2(图3中未示出)：

$\mathrm{tg}(\mathrm{\α}+2\mathrm{\σ})=\frac{\mathrm{\α}}{b_2}$

b1-b2的差值能够由所测量的位置或由在前表面8上所反射的光束L1’和L2’来确定。选择差值用于计算是有利的，因为玻璃条整体升高的常量排出(stand out)。假设α＝α1＝α2，能够计算倾斜角σ。对从左边或者从右边所入射的光束L1或L2的设定入射角α＝α1＝α2精确地增加或者减少该角，并且因此为了确定厚度d而在该等式使用的入射角必须适当地校正，以便准确地确定玻璃条2的厚度d。

而且，玻璃条2本身可能具有楔角δ，如图4所示。当在前表面和后表面8、13上反射的激光束L1’、L1”和L2’、L2”之间的间距M1和M2不相等时，玻璃条2具有一个楔角。这可以从检测器上的反射光束L1’、L1”和L2’、L2”的位置来确定。

假设存在楔角δ，根据图4可以确定从左边和右边入射的光束L1和L2相应的厚度值d1和d2，然后根据其平均值可以得出样品2的厚度d。还可以平均反射光束L1’和L1”或L2’和L2”之间的间距M1和M2，并且根据其确定样品的厚度。

此外，玻璃条可能是弯曲的。为了确定这种情况，第三激光束L 3平行于前两个入射光束中的一个(在所示的情况中为激光束L2)射入，并与其相隔从厚度传感器1的设计已知的间距s。这里，根据图5所示的实例，与图1相比，光束L2、L 3的光束方向反转。然而，这对于功能性原理并不重要。光束L2、L3在前表面上的反射能够用于确定样品2的曲率半径R，这可以借助图5来解释。

在弯曲样品2的前表面8上反射的光束L2’和L3’以间距S’入射到检测器11上。当间距S’不能通过关系式S’＝s/cosα得出，其中假设入射光束L2和L3的入射角为α，则在玻璃条2下侧存在曲率。反射光束L2’和L3’的位置能够用于确定曲率半径R，然后根据图6用于计算样品2的厚度d。

在入射光束L1和L2两种情况下都确定测量值。然后这些值产生两个厚度值d1和d2，根据该值得到平均值。特别是，两个入射光束的入射角α1和α2以及从而角度β1和β2不同。它们在对玻璃条2的倾斜校正的情况下得出。

最后，可以考虑另一个校正，在以平行方式入射的光束L2和L3不是十分平行的情况下需要该校正。

当应用上述方法时，能够以0.1％的高精度确定透明样品的玻璃或材料厚度，在该方法中，可以相继应用倾斜校正、楔角校正和曲率校正。本发明装置优选用于该目的。

附图标记列表

1                  厚度传感器

2                  样品，玻璃条

3、4               分束器

5、6               反射镜

7                  开口

8                  前表面

9                  样品法线

10                 入射区域

11、12             检测器

13                 后表面

14                 光束平面

15                 移动方向

L                  光束，激光束

L1、L2、L3         入射激光束

L1’、L2’、L3’        在前表面反射的激光束

L1”、L2”                    在后表面反射的激光束

a，A               光束入射到玻璃条的入射点到检测器的与玻璃条平行的间距

b，B               激光束在检测器上的位置到玻璃条的与玻璃条平行的间距

d                  玻璃条的厚度

d’                                   在前表面和后表面反射的激光束的垂直间距

s                  平行入射的激光束的间距

M，S’                             在检测器上的反射激光束的间距

R                  曲率半径

α                                    入射角

σ                                    倾斜角

δ                 楔角

Claims (18)

1.一种用于测量透明样品(2)特别是玻璃条或者玻璃块的厚度的装置，

具有第一光束(L1)，特别是第一激光束，其以第一入射角(α1)倾斜地入射到所述样品(2)的前表面(8)上，

具有第二光束(L2)，特别是第二激光束，其以第二入射角(α2)倾斜地入射到所述样品(2)的前表面(8)上，

所述第一入射角(α1)与所述第二入射角(α2)不相同，

以及具有至少一个检测器(11，12)，用于检测所述第一和第二入射光束(L1，L2)被所述样品(2)反射的光束(L1’，L1”，L2’，L2”)，并且用于确定它们的位置，其特征在于

至少一个基本上平行于所述第一或第二光束(L1，L2)的入射光束(L3)射向所述样品(2)的前表面(8)，以及

至少一个检测器(11)被提供，用以检测所述平行光束(L3)被所述样品(2)所反射的光束(L3’)，并且用于确定其位置。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于所述第三光束(L3)可以被关闭。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于所述入射光束(L1，L2，L3)和/或反射光束(L1’，L1”，L2’，L2”，L3’)位于共同的光束平面(14)内。

4.如前述权利要求中的一项所述的装置，其特征在于所述装置(1)和所述透明样品(2)相对于彼此移动。

5.如权利要求3和4所述的装置，其特征在于相对移动的方向(15)位于所述入射光束(L1，L2，L3)和/或所述反射光束(L1’，L1”，L2’，L2”，L3’)的共同的光束平面(14)内。

6.如前述权利要求中的一项所述的装置，其特征在于所述第一入射角(α1)和第二入射角(α2)位于由所述第一和第二光束(L1，L2)所限定的光束平面(14)内，并位于入射区域(10)中的关于样品法线(9)的不同侧上。

7.如前述权利要求中的一项所述的装置，其特征在于两个检测器(11，12)被放置为彼此相隔一个间距、并优选垂直于所述样品(2)的表面(8)。

8.如前述权利要求中的一项所述的装置，其特征在于在所述样品(2)上的所述第一、第二和第三入射光束(L1，L2，L3)的所述入射区域(10)比两个相对的用于检测反射光束(L1’，L1”，L2’，L2”，L3’)的检测器的间距小。

9.如前述权利要求中的一项所述的装置，其特征在于两个分束器(3，4)，其用于从一个光束(L)产生三个光束(L1，L2，L3)。

10.如前述权利要求中的一项所述的装置，其特征在于估算装置，其被连接到至少一个所述检测器(11，12)，用于确定所述样品(2)的厚度，特别是倾斜校正、楔角校正和/或曲率校正被实施。

11.一种用于测量透明样品(2)的厚度的方法，特别是具有如权利要求1到9所述的装置(1)，

其中第一光束(L1)以第一入射角(α1)倾斜地入射到所述样品(2)的前表面(8)上，并且确定在所述前表面(8)反射的光束(L1’)和在所述后表面(13)反射的光束(L1”)的位置，

其中第二光束(L2)以与所述第一入射角(α1)不同的第二入射角(α2)倾斜地入射到所述样品(2)的前表面(8)上，并且确定在所述前表面(8)反射的光束(L2’)和在所述后表面(13)反射的光束(L2”)的位置，

根据所述第一光束(L1)和/或第二光束(L2)在所述前表面(8)和后表面(13)上反射的光束(L1’，L1”，L2’，L2”)的间距确定所述透明样品(2)的厚度，以及

通过比较所述反射光束(L1’，L1”，L2’，L2”)的至少一部分的位置，来进行倾斜和/或楔角校正，其特征在于

至少第三光束(L3)以已知间距(s)基本平行于所述第一或第二光束(L2)地倾斜地入射到所述前表面(8)，并且通过确定这些平行光束(L2，L3)在所述前表面(8)和后表面(13)上分别反射的光束(L2’，L3’)的位置来进行曲率校正。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于所述第一光束(L1)和第二光束(L2)在由它们所限定的光束平面(14)中、在所述样品(2)的前表面(8)上、从相对于入射区域(10)中的样品法线(9)的不同侧入射。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于所述第一和第二入射角(α1，α2)绝对值相等并且优选为45°。

14.如权利要求11到13中的一项所述的方法，其特征在于为了进行倾斜和/或楔角校正，每次根据优选在所述前表面(8)上反射的光束(L1’，L2’)的位置确定与所述样品(2)的间距，当所述间距不一致时进行楔角或倾斜校正。

15.如权利要求14所述的方法，其特征在于从所述反射光束的不一致的间距来确定楔角或倾斜角(δ，σ)。

16.如权利要求11到15中的一项所述的方法，其特征在于确定所述第三光束(L3)和与其基本平行的第一或第二光束(L2)的反射光束(L3’，L2’)之间的间距，并且如果合适，进行曲率校正。

17.如权利要求16所述的方法，其特征在于从所述第三光束(L3)和与其基本平行的第一或第二光束(L2)的反射光束(L3’，L2’)之间的间距确定曲率半径(R)和/或曲率角度。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于从所述曲率半径(R)确定折射光焦度。

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