CN1873466A - 一种多束激光光束合成的光学系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种多束激光光束合成的光学系统及方法，通过两束或多束半导体激光器共用一个准直透镜的方法，所需光学元件数量递减，系统光路被缩短，这一系列的因素不但实现了光学系统的小型化，而且系统本身的可靠性也得到很大的提高；本发明可通过带有透镜面的“透镜型合束棱镜”和参与合束的所有光束共用的准直透镜的组合来实现多光束的整形并合束。通过此结构能够把光学系统中使用的光学和机械元件的数量减少到最低限度，从而使光路短缩而系统小型化；再加上此系统各光束被准直之前，先通过合束保持光束的发散性，以防止合成一束后的多束激光由于机械和其他环境因素所引起的各光束相对于共同光束的偏离，极大地增强了整个光学系统的信赖性和稳定性。
Description
技术领域
本发明涉及适用于多束激光光束进行光束合成的光学系统及方法。
背景技术
以往，获得多波长的单一激光光束一般采用合束棱镜或是合束分光镜，对多个不同单一波长的半导体激光器(LD)或其他激光进行合束。对于具有发散光束的半导体激光器等激光器，要先对被合成之前的半导体激光器的发散光束进行准直。这样，在多个光束在被合成的时候，每个半导体激光器都要先设计一套准直系统，从而使系统比较大而复杂。
如图1所示为一般激光合束系统的简单制作方法：两个不同波长的半导体激光器11与半导体激光器12，分别通过准直透镜13进行光束准直，再通过合束棱镜14进行光束合束。利用被合束的两束光具有不同的波长，使其中一束光被透过而另一束光被全反射，以实现两个激光器输出合束后的光束16。
上述方法是对两束已经准直好的平行光来进行的。然而，为把两束平行光束调整成合成一束且同轴性很好的平行光，对合束棱镜14或合束镜片的调整具有很高的要求。一般需要有高精度调节机构的调整架。即使这样，被同轴的两束平行光在些微的机械变动，形变或环境因素的影响下还是很容易发生光轴偏离。
此外，由于使用上的需要，被合成后的各个光束成分应具备基本上相同的光束形状，光束分布和光束发散角。因而处理多个发散光束时，由于使用上的需要，被合成后的各个光束成分应具备基本相同的光束形状、光束分布和光束发散角。因而在处理多个发散光束时，先用各自独立的光学整形系统进行光束整形，直到经过整形的光束参数匹配了再合成为一束激光。
这样，基于以往的技术，对于两个以上(含两个)激光器进行合束时，需要使用很多的光学元件。实现合束所需要的光路也相对地较长，合束系统的实际尺寸也较大。由此带来了复杂的光学系统光路调整问题；另外，光路中使用的光学元件越多，所需要的组装结构件也随着增多；且造成了光学系统本身的复杂性。用这样的光学系统实现多光束合成后，各个激光光束所拥有的光学元件及其组装夹具，如果受到任何外界环境的影响，或是随时间推移所产生的微小的偏移，都会对整个系统的光束的输出特性发生影响。
近年，随着半导体制造技术的发展，半导体激光器的发光波段从以往仅有的红光到近红外，已经逐步拓宽到短波段的蓝光和紫外波段。而在可见光波段，随着LD泵浦YAG激光器技术的发展，LD所不能覆盖的绿光等波段，器件正逐步在实现小型化和微型化。这些紫外，以及蓝绿红光和近红外半导体激光器和激光器的多波长化和小型化，对于生物和遗传工程，医疗和诊断以及其他光谱和半导体检测等各种工业和科学上的应用有着很广泛的前景。小型化的多波长单一光束的激光器也成为这些应用领域所需求的光源。因此，本发明所涉及的课题是具有很重要的应用意义。
发明内容
本发明要解决的主要内容是，尽可能地把多光束合成的光学系统进行简单化和小型化。换言之，即要寻找有效的途径，把合束光学系统所含有的光学和机械元件数量压缩到最小限度。
因此，本发明的目的是提供一种小型化的多束激光光束合成的光学系统及方法。
本发明所提供的一种多束激光光束合成的光学系统，包括多束激光光束、准直透镜、激光合束镜，其特征在于，该光学系统为多束激光光束共用一个准直透镜的光学结构。
在上述的多束激光光束合成的光学系统中，激光合束镜是偏振分束片、偏振分束棱镜或分光片。
在上述的多束激光光束合成的光学系统中，激光光束可以为半导体激光器，也可以为半导体泵浦激光器。
在上述的多束激光光束合成的光学系统中，准直透镜可以为单透镜，非球面透镜或组合准直透镜组。
本发明提供了一种多束激光光束合成的方法，其特征在于：对于具有不同光束形状和光束发散角的两束以上的激光光束进行合束时，激光合束镜与准直透镜组合对单束或多束激光在合束前进行预整形，再合束并准直，使输出的多束激光具有相同或相近的光束形状分布、光束直径，光束发散角以及出光方向与出光位置，以通过激光合束镜与准直透镜组合实现光束整形，合束与准直，使光学变换后获得相同或相近的激光的光束形状分布，光束直径及发散角的光束输出。
在上述多束激光光束合成的方法中，激光合束在准直之前，采用激光合束镜对激光光束进行合束后再准直到适合使用要求的激光输出。
在上述多束激光光束合成的方法中，述激光合束镜是偏振分束片、偏振分束棱镜或分光片。
在上述多束激光光束合成的方法中，激光光束可以为半导体激光器所产生的光束，也可以为半导体泵浦激光器所产生的光束。
在上述多束激光光束合成的方法中，准直透镜为非球面透镜或组合准直透镜组。
本发明还提供了一种激光合束镜，激光合束镜为透镜型合束棱镜，并在该棱镜上制作曲率面，对激光光束合束前进行预整形。
采用了上述的技术解决方案，即通过两束或多束半导体激光器共用一个准直透镜的方法，所需光学元件数量递减而系统光路被缩短，这一系列的因素不但实现了光学系统的小型化，而且系统本身的可靠性也得到很大的提高。本发明并且可通过带有透镜面的“透镜型合束棱镜”和参与合束的所有光束共用的准直透镜的，组合来实现多光束的整形并合束。通过此结构能够把光学系统中使用的光学和机械元件的数量减少到最低限度，从而使光路短缩而系统小型化。再加上此系统各光束被准直之前先通过合束，保持了光束的发散性，有效防止合成一束后的多束激光，由于机械和其他环境因素所引起的各光束相对于共同光束的偏离，极大地增强了整个光学系统的信赖性和稳定性。
附图说明
图1是一般常用的两个激光束被整形准直后再进行合束的现有合束光学系统。
图2是本发明用棱镜把半导体激光器先进行合束然后再共用一个透镜准直的光学系统。
图3是本发明带有能合成两束激光并具有预整形功能的“透镜型合束棱镜”的光学系统的结构图。
图4是图3中LD1的等效光路；
图5是图3中LD2的等效光路；
图6是本发明的具有光束特性补偿机能的3光束合成光学系统。
其中的标号含义分别为：
11 第一半导体激光器
12 第二半导体激光器
13 对光束进行整形和准直的透镜
14 两光束合束棱镜
15 LD1光透过，LD2光全反射镀膜面。
16 合成后光束形状
21 LD1
22 LD2
23 合束棱镜或分光片
24 LD1光透过，LD2光全反射镀膜面。
25 两个LD光束整形兼准直的共用透镜。
26 合成后LD1的光束形状。
27 合成后LD2的光束形状。
31 LD1
32 LD2
33 透镜型合束棱镜。
34 LD1光透过，LD2光全反射镀膜面。
35 LD1光补偿曲率面；根据情况可以是球面/非球面/柱面或非圆柱形状中的任一种。
36 LD2光补偿曲率面；根据情况可以是球面/非球面/柱面或非圆柱形状中的任一种。
37 两个LD光束整形兼准直的共用透镜。
38 LD1光束形状
39 LD2光束形状
41 半导体激光器泵浦固体微型532nm绿光激光器。
42 LD1
43 Nd:YVO4激光晶体。
44 KTP倍频非线性光学晶体。
45 三光束合成用的“透镜型合束棱镜”。
46 532激光器光束补偿用的球面。
47 LD2
48 LD2光补偿曲率面，根据情况可以是球面/非球面/柱面或非圆柱形状中的任一种
49 532nm光透过，LD2光全反射镀膜面。
50 LD3
51 LD3光补偿曲率面；根据情况可以是球面/非球面/柱面或非圆柱形状中的任一种
52 532nm和LD2光透过，LD3光全反射镀膜面
53 三光束合成一束后共用的整形及准直透镜
54 三光束合成后的激光束形状
具体实施方式
本发明的思路之一：如图2所示，两个或两个以上激光光束首先通过棱镜进行合束，即把两个未准直的半导体激光器21与22通过一个棱镜23合束，然后两束激光共用一个透镜或组透镜25进行准直，以实现光学系统的小型化。对此光学系统进行光轴调整的关键是：要把两个半导体激光器21和22的发光点调整到与共用准直透镜25的后方焦点相重合。首先在未准直之前，两个半导体激光器的光束都是发散角大于10度以上的非平行光，对合束棱镜的调整精度要求不高；其次是被合成一束的两个发散光束共用一个准直透镜25，这样两束光被合成一束的光轴对半导体激光器的位置偏移不敏感，被合束后的各激光光束相对于共同的光轴有不易于偏离的特性。
另外但还有一个问题普遍存在，一般各厂家，各种规格和各种波长的半导体激光器都有不同的光束发散角，且大多数的半导体激光器在出射面两个互相垂直的方向分为快光轴和慢光轴，快光轴的发散角要大于慢光轴的发散角。因此被结合的各个半导体激光器在各自的特殊方向上还具有不同的光束发散角，如此若仅用一个准直透镜25系统，被同轴准直后的各束激光将可能具有不同的发散角和光束直径，并且每束激光在快光轴与慢光轴方向的发散角和光束直径也可能不相同。
如前所述，为了使被合成一束的激光中各原有光束成分都具有同样或尽量接近的光束特性，对于发散角很大的半导体激光器等光源在进行合束之前，必须要对其进行光束整形，使不同光束的参数匹配到适合要求。
本发明的思路之二：如图3所示，在图2光学系统的基础上，把合束棱镜设计成可以对多个不同光束特性的激光束分别进行预整形的“透镜型合束棱镜”，其与准直透镜组合作用下把多个激光准直合束成具有相同或相近光束特性的同光轴传播的单一光束。考虑到以上因素，本发明如图3所示，采用一个能够根据各个半导体激光器的特性分别对其光束形状和发散角进行予整形的“透镜型合束棱镜33”来对各光束实行合束。如图3所示的曲率面35和36：这些曲率面，可以根据其所面向的半导体激光器本征具有不同的光束特性来专门设计以使合束后其具有相同或尽量相近的共同光束特性，如光斑大小和光束发散角等等。用如此“透镜型合束棱镜”方法可以实现具有不同光束特性的多个半导体激光器进行光束合成，且被合成后同光轴传输的各个光束具有同样或非常接近的光束特性，便于在各种实际应用装置中的使用。
通过以下附图的描述，可以进一步理解本发明的目的、具体结构特征和优点。
如图2所示，本发明的一个具体实施例。
首先把两个未准直的半导体激光器21与22通过一个合束镜23合束，然后两束激光共用一个准直透镜25进行准直，以实现光学系统的小型化。
合束镜23可以是偏振分束片、偏振分束棱镜PBS、分光片或其他分光元件；准直透镜25可以是非球面透镜、组透镜、或其他准直透镜系统。
对此光学系统进行光轴调整的关键是，要把两个半导体激光器21和22的发光点调整到和共用准直透镜25的后方焦点相重合。而未准直的两个半导体激光器光束都是发散角大于10度的非平行光，对合束棱镜的调整精度要求不高。如此，通过两束或多束半导体激光器共用一个准直透镜25的方法，所需光学元件数量递减，系统光路被缩短，这一系列的因素不但实现了光学系统的小型化，而且系统本身的可靠性有很大的提高。
图3所示的为本发明一个具体实施例：其特点在于能够使各光束合成后具有同样或非常相近的光束形状、大小及发散角。
本发明的另一个实施例：“透镜型合束棱镜33”和多光束共用一个准直透镜37。
采用一个能够根据各个半导体激光器的特性，并且分别对其光束形状和发散角进行预整形的“透镜型合束棱镜33”来对各光束实行合束。如图3所示的透镜型合束棱镜33可以是偏振分束镜或其他组合分光系统；曲率面35和36：可以是球面、或非球面、折射率分布型GRIN(梯度折射率渐变)球面，或者是圆柱面或非球面柱面或GRIN型的柱面。这些曲率面，可以根据其所面向的半导体激光器本征具有不同的光束特性来专门设计，使合束后具有相同或尽量相近的共同光束特性，如光斑大小和光束发散角等。而且用如此“透镜型合束棱镜”方法可以实现具有不同光束特性的多个半导体激光器进行光束合成，被合成后同光轴传输的各个光束具有同样或非常接近的光束特性，便于在各种实际应用装置中的使用。
准直透镜37可以为非球面透镜、组透镜、或其他准直透镜系统。
如图3所示，“透镜型合束棱镜33”是按两个半导体激光器各自的光束特性设计了两个曲率面，并对其进行预整形。而后各自的透镜面和后置的两光束共用的透镜37构成组合准直透镜，对两个半导体激光器分别进行光束整形和合束，最终以获得一个同光轴传播的两波长激光束，并使不同波长的激光具有相同或非常相近的光斑大小和光束发散角。
为对本发明关键光路图3的原理进行更详细的说明，相对图3的LD131，我们引入图4的等效光路。具有曲率面35透镜特性的透镜型合束棱镜33，根据LD1光束特性实际情况实施光束预整形，而后这个透镜和后置的共用准直透镜37形成组合透镜对LD131光束不但实行了整形而且实现了准直。
图5的原理同图4，是相对于图3的LD232进行整形和准直的等效光路。
如上述两图等效光路所示，在图3的实施形态光路中，LD131和LD232两束激光是通过不同的组合透镜被整形和准直的，这样的光路通过对“透镜型合束棱镜”和准直透镜的特殊设计，可以使被合束的两束激光具有同样或非常相近的光斑尺寸和光束发散角特性。
本发明对于3个及3个以上的激光，根据上述同样原理的光学系统，导入“透镜型合束棱镜”和共用的准直透镜，同样可以实现对各个光束分别整形处理且最终为同光轴传输的多光束合束。
如图6所示，是三个激光束合束的一个具体实施例。
其中532nm波长的微型绿光激光器41是由半导体激光器42、激光晶体Nd3+:YVO4(掺钕钒酸钇)43与倍频晶体KTP(KTiOPO4磷酸钛氧钾)44构成。LD247和LD350是两个半导体激光器。对于如此的3个激光器，通过前述原理图中“透镜型合束棱镜45”对三个光束分别予以整形再合束，最后通过三者共用的准直透镜53使三者实现整形和准直，最终实现了具有相同或相近的光斑尺寸和光束发散角等光束特性的三光束合束。
尽管本发明对结构特征和方法功用是以具体语言作说明的，但应理解，所附权利要求书所限定的本发明并非一定得限于所说明的具体特征或功用。相反，这些具体特征和功用只是作为所要求保护的本发明的示范性实施方式加以披露的。
Claims (10)
1.一种多束激光光束合成的光学系统，包括多束激光光束、准直透镜、激光合束镜，其特征在于，该光学系统为多束激光光束共用一个准直透镜的光学结构。
2.根据权利要求1所述的多束激光光束合成的光学系统，其特征在于，所述激光合束镜是偏振分束片、偏振分束棱镜或分光片。
3.根据权利要求1所述的多束激光光束合成的光学系统，其特征在于，所述的激光光束可以为半导体激光器，也可以为半导体泵浦激光器。
4.根据权利要求1所述的多束激光光束合成的光学系统，其特征在于，所述准直透镜可以为单透镜，非球面透镜或组合准直透镜组。
5.一种多束激光光束合成的方法，其特征在于：对于具有不同光束形状和光束发散角的两束以上的激光光束进行合束时，激光合束镜与准直透镜组合对单束或多束激光在合束前进行预整形，再合束并准直，使输出的多束激光具有相同或相近的光束形状分布、光束直径，光束发散角以及出光方向与出光位置，以通过激光合束镜与准直透镜组合实现光束整形，合束与准直，使光学变换后获得相同或相近的激光的光束形状分布，光束直径及发散角的光束输出。
6.根据权利要求5所述的多束激光光束合成的方法，其特征在于，激光合束在准直之前，采用激光合束镜对激光光束进行合束后再准直到适合使用要求的激光输出。
7.根据权利要求5所述的多束激光光束合成的方法，其特征在于，所述激光合束镜是偏振分束片、偏振分束棱镜或分光片。
8.根据权利要求5所述的多束激光光束合成的方法，其特征在于，所述的激光光束可以为半导体激光器所产生的光束，也可以为半导体泵浦激光器所产生的光束。
9.根据权利要求5所述的多束激光光束合成的方法，其特征在于，所述准直透镜为非球面透镜或组合准直透镜组。
10.一种激光合束镜，其特征在于：该激光合束镜为透镜型合束棱镜，并在该棱镜上制作曲率面，对激光光束合束前进行预整形。
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|---|---|
| CN (1) | CN1873466A (zh) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101369717B (zh) * | 2008-09-25 | 2010-06-23 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 多重光束耦合大功率半导体激光装置 |
| CN101916964A (zh) * | 2010-08-05 | 2010-12-15 | 中国兵器工业第二〇五研究所 | 大功率半导体激光器光束偏振合成装置 |
| CN102500921A (zh) * | 2011-11-14 | 2012-06-20 | 镭射谷科技(深圳)有限公司 | 复路激光焊接装置 |
| CN104741779A (zh) * | 2015-04-22 | 2015-07-01 | 深圳市创鑫激光股份有限公司 | 一种激光输出头及激光加工机台 |
| CN105278115A (zh) * | 2015-08-05 | 2016-01-27 | 中国科学院光电研究院 | 激光器的光路调试装置及系统 |
| CN105486483A (zh) * | 2016-01-11 | 2016-04-13 | 北京中科思远光电科技有限公司 | 基于时空复用技术的激光光束合成方法 |
| CN107121366A (zh) * | 2016-02-25 | 2017-09-01 | 天津同阳科技发展有限公司 | 基于反射光路的开放式扬尘在线监测系统消光比测量装置 |
| TWI637604B (zh) * | 2016-06-30 | 2018-10-01 | 聚威科技股份有限公司 | Optical fiber laser transmission system with laser light splitting device |
| CN108826026A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-11-16 | 苏州汇影光学技术有限公司 | 一种模块化可叠加紫外led光源模组 |
| CN110918994A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-03-27 | 西安铂力特增材技术股份有限公司 | 一种slm双光斑成形系统 |
| CN112781438A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-05-11 | 陕西奥润激光技术有限公司 | 一种基于双激光耦合的自动步枪模拟射击光源系统 |
-
2005
- 2005-05-30 CN CN 200510026283 patent/CN1873466A/zh active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101369717B (zh) * | 2008-09-25 | 2010-06-23 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 多重光束耦合大功率半导体激光装置 |
| CN101916964A (zh) * | 2010-08-05 | 2010-12-15 | 中国兵器工业第二〇五研究所 | 大功率半导体激光器光束偏振合成装置 |
| CN102500921A (zh) * | 2011-11-14 | 2012-06-20 | 镭射谷科技(深圳)有限公司 | 复路激光焊接装置 |
| CN102500921B (zh) * | 2011-11-14 | 2016-02-03 | 镭射谷科技(深圳)有限公司 | 复路激光焊接装置 |
| CN104741779A (zh) * | 2015-04-22 | 2015-07-01 | 深圳市创鑫激光股份有限公司 | 一种激光输出头及激光加工机台 |
| CN105278115B (zh) * | 2015-08-05 | 2020-04-07 | 中国科学院光电研究院 | 激光器的光路调试装置及系统 |
| CN105278115A (zh) * | 2015-08-05 | 2016-01-27 | 中国科学院光电研究院 | 激光器的光路调试装置及系统 |
| CN105486483A (zh) * | 2016-01-11 | 2016-04-13 | 北京中科思远光电科技有限公司 | 基于时空复用技术的激光光束合成方法 |
| CN107121366A (zh) * | 2016-02-25 | 2017-09-01 | 天津同阳科技发展有限公司 | 基于反射光路的开放式扬尘在线监测系统消光比测量装置 |
| TWI637604B (zh) * | 2016-06-30 | 2018-10-01 | 聚威科技股份有限公司 | Optical fiber laser transmission system with laser light splitting device |
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