CN1849733A - 用于锁定到可调谐激光器的传输峰值的查找及跟踪控制 - Google Patents

Abstract

用于执行波长锁定的伺服或控制技术及设备采用相移调制方案来调整激光器腔中的一个或多个光学元件(F1，F2)，以便把激光振荡频率向预期信道频率锁定。控制器(420)包括高带宽模式和低带宽模式。当最初锁定到新信道时，高带宽控制器模式可用于提供更大能量来驱动致动器，以便实现更快查找。当误差信号达到零误差的预定门限以内时，控制器可转换到较低带宽模式，向致动器提供较少功率，以便平缓地接近目标频率以及避免超调。较低带宽控制器模式可将噪声电平保持较低，以及向可调谐激光器提供更好的频率跟踪稳定性。

Description

用于锁定到可调谐激光器的传输峰值的查找及跟踪控制

发明领域

[0001]本发明的一个实施例涉及激光器，更具体来说，涉及可调谐激光器。

背景信息

[0002]波分复用(WDM)是一种用于通过相同光纤同时传送多个信道的数据的技术。在发射机端，对于各信道采用具有不同波长(颜色)的光来调制不同的数据信道。光纤可通过这种方式同时携带多个信道。在接收端，采用适当的波长滤波技术在解调之前可易于分离这些复用信道。

[0003]通过光纤传送更大量的数据的需要产生了所谓的密集波分复用(DWDM)。DWDM涉及把附加信道封装到给定带宽空间中。DWDM系统中的相邻信道之间所得到的更窄间隔要求来自发射激光二极管的精确波长精确度。

[0004]可调谐激光器提供节省成本的灵活选择供光网络应用使用。单个可调谐激光器可取代DWDM链路中的数百个固定波长激光器的任一个，因而为降低成本提供了极大的可能性。它们还允许对阵列中激光器之间的波长间隔的精确控制。调谐激光振荡频率的能力还放宽了制造公差，并且有助于健壮的激光器组件，它们可调谐为补偿环境温度变化以及因老化作用引起的漂移。可调谐激光器还提供允许灵活的网络管理以及适合于重新配置的优点。这提供可便捷地适应新的顾客服务的更有效的带宽使用。

[0005]对于测试和测量使用、光学组件的波长表征、光纤网络及其它应用，对可调谐激光器存在不断增长的需求。在密集波分复用(DWDM)光纤系统中，多个分开的数据流同时在单一光纤中传播，其中各数据流通过在特定信道频率或波长的激光器的调制输出来创建。当前，以波长计大约0.4纳米或者大约50GHz的信道间隔是可实现的，在当前可用的光纤和光纤放大器的带宽范围内允许多达128个信道由单一光纤承载。更大的带宽要求将来很可能产生更小的信道间隔。

[0006]DWDM系统在很大程度上基于分布式反馈(DFB)激光器，它与反馈控制环中关联的参考标准具配合工作，其中参考标准具定义国际电信联盟(ITU)波长网格。与各个DFB激光器的制造关联的统计变化产生波长网格上的信道中心波长的分布，因而各个DFB发射机仅可用于单个信道或者少量相邻信道。

[0007]已经研制连续可调外腔激光器来克服各个DFB装置的限制。已经研制各种激光调谐机构来提供外腔波长选择，例如用于透射和反射中的机械调谐光栅。外腔激光器应当能够以可选择波长来提供稳定的单模输出，同时有效地抑制与处于腔的增益带宽内的外腔模关联的激光发射。这些目标一直难以实现，并且相应地需要一种以可选择波长提供稳定的单模操作的外腔激光器。

附图简介

[0008]通过结合附图参照以下详细说明，将更好地理解本发明的上述方面以及许多附带的优点，附图中，相似的参考标号在各个视图中表示相似部分，除非另有说明：

[0009]图1是外腔二极管激光器(ECDL)的一般实施例的示意图；

[0010]图2是图表，说明调制ECDL激光器腔的光路长度对于激光模的频率和激光器输出强度的调制所具有的效果；

[0011]图3是图表，说明调制激励输入信号和所得响应输出信号可如何结合以便计算解调误差信号；

[0012]图4是根据本发明的一个实施例的ECDL的示意图，其中，铌酸锂块用作光路长度调整元件；

[0013]图5是具有单模式带宽控制器的可调谐激光器的腔锁定过程的时间响应的图表；以及

[0014]图6是根据本发明的实施例、具有多带宽模式控制器的可调谐激光器的腔锁定过程的图表。

详细说明

[0015]公开用于执行在信道变化期间锁定外腔二极管激光器(ECDL)的腔长度的波长锁定的伺服或控制技术和设备的实施例。在以下描述中，提出了大量具体细节，以便提供对本发明的实施例的透彻理解。但是，本领域的技术人员会知道，可在没有这些具体细节的一种或多种的情况下或者采用其它方法、组件、材料等来实施本发明。在其它情况下，没有详细描述和表示众所周知的结构、材料或操作，以免影响对本发明的若干方面的理解。

[0016]本说明中提到“一个实施例”或“实施例”表示结合该实施例所述的特定特征、结构或特性包含在本发明的至少一个实施例中。因此，短语“在一个实施例中”或“在实施例中”在本说明的各个位置中的出现不一定都指的是同一个实施例。此外，具体特征、结构或特性可通过任何适当方式结合在一个或多个实施例中。

[0017]作为概述，图1中表示可用于实现以下所述的本发明的若干方面的ECDL 100的一般实施例。ECDL 100包括其中包含二极管增益芯片102的增益介质。二极管增益芯片102包括法布里-珀罗二极管激光器，其中包括部分反射前小面104以及涂敷了抗反射(AR)涂层以使其表面的反射最小的基本上无反射的后小面106。二极管增益芯片102可选地可包括在增益介质上的弯曲波导结构，以便实现无反射后小面106。外腔元件包括二极管腔内准直透镜108、调谐滤波元件110、腔长度调制元件112以及反射元件114。一般来说，反射元件114可包括反射镜、光栅、棱镜或者也可代替元件110来提供调谐滤波功能的其它反射器或反向反射器。输出侧组件包括二极管输出准直透镜116、光隔离器118以及聚焦输出光束122使其进入输出光纤124的光纤聚焦透镜120。

[0018]ECDL 100的基本操作如下。可控电流I被提供给二极管增益芯片102(增益介质)，从而在二极管结上产生电压差，它产生光能量(光子)的发射。发出的光子在共同定义激光器腔的端部的部分反射前小面104与反射元件114之间来回传递。当光子来回传递时，产生多个谐振或“激光”模。在激光模下，光能量(光子)的一部分临时占据激光器外腔，如腔内光束126所示；同时，激光器外腔中的光子的一部分最终通过部分反射前小面104。

[0019]包含通过部分反射前小面104离开激光器腔的光子的光经过二极管输出准直透镜116，它使光准直为输出光束122。输出光束则经过光隔离器118。光隔离器用来防止反射回去的光重新进入激光器外腔，并且一般是可选元件。在光束通过光隔离器之后，由光纤聚焦透镜120使其进入输出光纤124。一般来说，输出光纤124可包括偏振保持类型或单模类型、如SMF-28。

[0020]通过输入电流的适当调制(一般对于高达2.5GHz的通信速率)或者通过输出光束(未示出)的光路中设置的外部元件的调制(对于10GHz和40GHz通信速率)，数据可被调制在输出光束上，以便产生光数据信号。这种信号可进入光纤并根据光通信领域内众所周知的做法通过基于光纤的网络来传送，从而提供极高带宽的通信能力。

[0021]ECDL的激光模是腔端部之间的总光路长度(腔光路长度)的函数；即，光通过各种光学元件和那些元件与由部分反射前小面104和反射元件114所规定的腔端部之间的空间时经过的光路长度。这包括二极管增益芯片102、二极管腔内准直透镜108、调谐滤波元件110以及腔长度调制元件112，再加上光学元件之间的路径长度(即通常为气体、如空气的占据ECDL腔的传输介质的路径长度)。更准确地说，总光路长度是通过各光学元件和传输介质的路径长度乘以那个元件或介质的折射系数后的和。

[0022]如上所述，在激光模下，光子以谐振频率在腔端反射器之间来回传递，谐振频率是腔光路长度的函数。实际上，没有调谐滤波元件，激光器将以多个频率进行谐振。为简洁起见，如果把外部激光器建模为法布里-珀罗腔，则这些频率可由下式确定：

$\mathrm{Cl}=\frac{\mathrm{\λx}}{2n}---\left(1\right)$

[0023]其中λ＝波长，Cl＝腔的长度，x＝任意整数即1，2，3，...，以及n＝介质的折射率。谐振频率的数量由增益谱的宽度确定。此外，增益谱的形状一般为具有中央峰的抛物线-因此，在中心波长的各侧的激光模(通常称作边模)的强度迅速下降。

[0024]下面会进一步详细说明，各种技术可适用于“调谐”激光器，从而以对应于预期通信信道的频率产生光输出信号。例如，这可通过调整一个或多个调谐元件、如调谐滤波元件110以产生腔光路长度的相应变化、从而改变激光模频率来实现。调谐滤波元件衰减不希望的激光模，使得输出光束实质上包含具有窄带宽的相干光。

[0025]理想情况是，希望使与ECDL设计用于的各种信道频率对应的频率范围上的输出光束的功率最大。虽然一种显而易见的解决方案可能只是提供更多驱动电流，但是，这单独不起作用，因为驱动电流的变化改变二极管增益芯片的光学特性(例如光路长度)。此外，许多二极管增益芯片仅在输入电流的有限范围上工作。

[0026]根据本发明的若干方面，一种用于产生最大功率输出的技术是通过相位控制调制来执行“波长锁定”。在这种技术中，提供“抖动”或调制信号以导致激光器腔的光路长度中的相应调制。这产生调制相移效应，从而产生激光模的小调频。这种调频的结果产生输出光束的强度(功率)的相应调制、又称作调幅。这种调幅可采用各种技术来检测。在一个实施例中，在向激光二极管提供恒定电流时监测激光二极管结电压(激光二极管芯片102上的电压差)，其中，电压与输出光束的强度成反比，例如，最小测量二极管结电压对应于最大输出强度。在另一个实施例中，分束器用来分离输出光束的一部分，使得分离部分的强度可由光电装置、如光电二极管来测量。光电二极管所测量的强度与输出光束的强度成正比。然后，所测量的调幅可用来产生解调误差信号，它被反馈给伺服控制环，从而调整激光器的(实质上)连续光路长度，以便产生最大强度。

[0027]上述方案在图2中示意表示。该图表表示功率输出曲线(PO)，它说明当激光模接近由信道频率中心线200所表示的预期信道时产生的典型功率输出曲线。采用相移调制方案的伺服环的目的是调整激光器腔中的一个或多个光学元件，使得激光振荡频率朝预期信道频率移动。这通过采用从激光模的调频所产生的解调误差信号来实现。在这种技术中，调制信号被提供给腔中的光学元件、如光长度调制元件112，以便调制腔的光路长度。与激光的信道间隔相比，这种调制比较小。例如，在一个实施例中，调制可能具有4MHz的偏移，而信道间隔为50GHz。

[0028]调制信号202A、202B和202C分别对应于(平均)激光频率204A、204B和204C。激光频率204A低于预期信道频率，激光频率204C高于预期信道频率，而204B则接近预期信道频率。每个调制信号产生输出光束的强度中的相应调制；这些强度调制分别表示为调制幅度波形206A、206B和206C。一般来说，强度调制可通过以上所述的用于确定输出光束的强度的方式来测量。

[0029]如图2所示，波形206A、206B和206C的峰-谷幅度直接被它们相应的调频信号202A、202B和202C的调制限制与功率输出曲线PO相交的点所牵制，例如调制信号202A的相交点208和210所示。这样，当激光频率更接近预期信道频率时，输出光束的测量强度的峰-谷幅度减小。在激光频率和信道频率一致的点上，这个值变为最小。

[0030]此外，如图3所示，腔长度误差可由下式导出：

[0031]其中非斜体i是虚数，φ表示激励输入(即调制信号202A、202B和202C)与包含调幅输出波形206A、206B和206C的响应输出之间的相位差，以及ω是调制的频率。积分解可通过通常为以下所述类型的数字伺服环的谨慎时间抽样方案来精确近似，如时间样本标记300所示。

[0032]除了提供误差幅度之外，上述方案还提供误差方向。例如，当激光频率错误地处于预期信道频率的一侧(所述实例中为更低)时，激励和响应波形实质上将同相。这将产生正的总误差值。相反，当激光频率处于预期信道频率的另一侧(在本例中为更高)时，激励和响应波形实质上将异相。因此，总误差值将为负的。

[0033]一般来说，调制的波长锁定频率ω应当被选择为低于激光频率的若干数量级。例如，在一个实施例中，范围500Hz-100kHz中的调制频率可与185-199THz的激光频率配合使用。

[0034]在图4中，ECDL 400表示为包括ECDL 100公共的、具有相同参考标号的各种元件，例如增益二极管芯片102、透镜108、116和120等。信道选择子系统可包括波长选择控制块502。注意，虽然波长选择控制块表示为处于控制器420的外部，但是，这个块的控制方面可由控制器420单独提供。波长选择控制块502提供电气输出504和506，用于分别控制滤波器F1和F2的温度。在一个实施例中，温度控制元件设置在圆形标准具的周边，如TEC 508和510所示。嵌入滤波器内部的加热器也可用来控制标准具的温度。相应的RTD512和514用于向波长选择控制块502返回温度反馈信号。

[0035]一般来说，标准具用于激光器腔中以提供滤波功能。它们用作法布里-珀罗谐振器。使光束通过标准具的结果在激光器输出中产生一组传输峰值(又称作通带)。传输峰值的间隔(按照频率，又称作空闲谱范围)取决于标准具的两个面、例如滤波器F1的面516和518以及滤波器F2的面520和522之间的距离。当标准具的温度改变时，使标准具的材料膨胀或收缩，从而使面之间的距离变化。这有效地改变标准具的光路长度，这可用于移动传输峰值。

[0036]滤波器的作用是累积的。因此，除所选信道激光模以外的所有激光模实质上可通过对准各滤波器的单个传输峰值来衰减。在一个实施例中，两个标准具的配置被选取，使得标准具的相应空闲谱范围略有不同。这使传输峰值能够在与游标尺所使用的类似的游标微调技术下被校准。在一个实施例中，称作“网格生成器”的滤波器之一配置成具有对应于通信信道网格、如ITU波长网格的空闲谱范围，而且峰值与ITU信道频率对齐。通过将相应网格生成器标准具的温度保持在预定温度，这个波长网格实质上保持固定。同时，称作信道选择器的另外的标准具的温度经过调整，以便相对网格生成器的来移动其传输峰值。通过以这种方式移动滤波器的传输峰值，对应于信道频率的传输峰值可被调准，从而产生与所选信道频率对应的腔激光模。在另一个实施例中，两种滤波器的传输峰值均被移动，以便选择信道。

[0037]一般来说，这些方案的任一个可通过采用其中存储了关于相应信道的标准具温度的信道-标准具滤波器温度查找表来实现，如查找表524所示。查找表中的标准具温度/信道值通常可通过校准程序、通过统计数据来获得，或者根据适合于调谐数据的调谐函数来计算。响应输入信道选择444，相应的标准具温度从查找表524中被检索，并采用本领域众所周知的适当温度控制环路来用作标准具的目标温度。

[0038]ECDL 400还可包括具有反射背面414的腔光路长度调制元件412。更具体来说，腔光路长度调制元件包括与后侧反射镜耦合的铌酸锂(LiNbO3)相位调制器。反射材料可选地可涂敷到相位调制器的背面。铌酸锂是一种当在其上施加电压时改变其折射率(光通过材料的速度与光通过真空的速度之比)的材料。因此，通过在LiNbO3相位调制器上提供调制电压信号，可使激光器外腔的光路长度调制或“抖动”，从而产生调频信号，例如以上所述的信号202A、202B和202C。

[0039]ECDL 400的各种光学组件安装或者耦合到热可控基板或“基片”416上。在一个实施例中，一个或多个热电冷却器(TEC)元件418、如珀耳帖元件安装在基片416上或者集成到其中，使得基片的温度可经由输入电信号精确控制。由于材料随着温度变化而膨胀和收缩，基片的长度能够极精确地调整。长度的调整引起部分反射前小面104与反射元件414之间的距离的变化，从而产生激光器腔的光路长度的变化。因此，控制基片的温度可用来调整激光模的频率。一般来说，基片的温度控制将用于很细致的调谐调整，而通过调谐滤波元件110来进行较粗略的调谐调整，下面会更详细地说明。

[0040]对于波长锁定，控制器420产生调制或“抖动”波长锁定信号422，它由放大器424进行放大。例如，在一个实施例中，调制波长锁定信号422可包括具有恒定频率的正弦波，例如具有大约889Hz的频率的2伏峰-峰信号。经放大的调制波长锁定信号则被提供到LiNbO3相位调制器412的表面，而相反表面则连接到地，从而提供LiNbO3材料上的电压差。因此，调制器、因而整个激光器腔的光路长度以调制频率(例如889Hz)进行调制。在一个实施例中，2伏峰-峰电压差产生大约4MHz的频移。

[0041]这个路径长度调制产生输出光束122的强度中的调制，它在一个实施例中由光电检测器426来检测。如图4所示，分束器428设置在输出光束122的光路中，使输出光束的一部分被引向光电检测器426。在一个实施例中，光电检测器426包括光电二极管，它响应所接收的光强度(hvdet)而产生电压电荷。相应的电压V_PD则被反馈到控制器420。在一个可选实施例中，增益二极管芯片上的结电压(V_J)而不是V_PD被用作强度反馈信号。如前面参照图3所述的腔长度误差信号则根据V_PD或V_J的幅度调制和相位、结合调制波长锁定信号422来得出。

[0042]控制器420包括数字伺服环，它配置成根据以上参照图2和图3所述的调频方案来调整基片416的温度，使腔长度误差信号最小。响应误差信号，产生温度控制信号430中的适当调整。基片温度的调整引起整个腔长度、因而激光振荡频率的相应变化。这又引起(理想情况)激光振荡频率与预期信道频率之间差异的减小，因而完成控制环。为了达到初始条件，或者为了控制基片温度，热阻装置(RTD)434或者热敏电阻或热电偶可用于向控制器420提供温度反馈信号434。

[0043]把可调谐激光器调谐到目标频率(即新信道)时，调谐速度以及频率稳定性对操作极为重要。本发明的实施例提供改进速度以及频率稳定性的解决方案。

[0044]最初把ECDL 400调谐到新频率(信道)时，腔长度如图2所示处于波峰(P_O)的任一侧，并且移动而到达传输曲线的峰。根据一个实施例，控制器420包括高带宽模式和低带宽模式。在这个初始时间周期中，高带宽控制器模式可用于向致动器、如基片TEC 418提供更多能量，以便实现更高速的查找。当腔长度误差信号到达预定门限以内时，控制器可转换到较低带宽控制器模式以便接近目标(传输曲线的峰值)以及保持锁定在峰值。在这种跟踪模式中，较低带宽控制器能够将噪声电平保持较低，并且向可调谐激光器提供更好的频率稳定性。

[0045]通过采用可变带宽控制器所得到的改进通过比较图5和图6所示的时间响应图来证明。图5是腔锁定过程的跟踪的一个实例，并且说明当使用单带宽控制器时的情况。图5的上图绘出在腔锁定过程中误差信号612对时间。误差信号的零点对应于传输曲线的峰值。图5的下图示出控制可调谐激光器的腔长度的TEC 418的温度。如图所示，采用单带宽模式控制器，最终达到目标，其中误差信号保持为比较接近零。在这个实例中，大约需要3秒钟锁定到目标。

[0046]图6说明其中使用了可变带宽控制器的情况，并且表示根据本发明的实施例的腔锁定过程的跟踪。在查找阶段，控制器420的较高带宽模式允许基片TEC 418的温度极快地上升。但是，如分解图80所示，当误差信号刚好接近零时，控制器420转换到采用较低带宽滤波器或模式的跟踪模式，使得平缓地接近零误差信号，从而避免超过目标频率。此外，在稳定状态中，可调谐激光器的频率稳定性可通过在采用较低带宽控制器的跟踪模式时使误差信号保持为极接近零来得到改进。在这个实例中，控制器420在误差信号的绝对值大于约0.03时处于查找模式，以及当误差信号处于+/-0.03的门限范围内时转换到跟踪模式。这无疑只是作为实例，因为范围可能更大或更小，取决于应用以及激光器的工作容限。多模式控制器420可通过多种控制器方案的任一个来实现，例如超前/滞后控制器或PID(比例积分微分)控制器。在查找模式中，还可使用继电器式或类似的开环控制器。在查找模式中时，处于高带宽模式的控制器420可采用更大的功率来驱动TEC 418，例如，驱动功率可能是大约2或3瓦，以及在跟踪模式中，处于较低带宽模式的控制器可减小功率，以便采用例如大约0.1-0.2瓦来驱动TEC 418。

[0047]如图6所示，采用双模式控制器，仅用大约1.7秒将图5中的相同可调谐激光器锁定到相同频率。因此，通过采用双模式控制器，就不必在可调谐激光器的速度与频率稳定性之间进行折衷。因此，可同时优化查找以及跟踪伺服，从而极大地改进可调谐激光器的性能。

[0048]虽然已经根据可调谐激光器的腔锁定伺服来描述了实施例，但是所述技术也可用于可调谐滤波器(图4的F1和F2)的标准具的温度控制。可调谐激光器中的标准具的温度控制用于将传输曲线移动到预期频率。这种技术也可适用于采用不同类型的致动器来调谐到所请求频率的所有其它类型的可调谐激光器。

[0049]以上包括摘要中所述的本发明的所述实施例的描述并不是要穷举本发明的各个方面或者将本发明限定于所公开的精确形式。虽然本文为了说明目的而描述了本发明的具体实施例和实例，但是相关领域的技术人员会知道，在本发明的范围内，各种等效修改是可行的。

[0050]可根据以上详细描述对本发明进行这些修改。以下权利要求中使用的术语不应当理解为将本发明限制到说明及权利要求中所公开的具体实施例。相反，本发明的范围完全由以下权利要求来确定，这些权利要求将根据权利要求释义的已制定原则来解释。

Claims (23)

1.一种可调谐激光器，包括：

致动器，驱动可调谐激光器的调谐元件；

多带宽模式控制器，包括高带宽模式和较低带宽模式，

所述控制器最初在所述高带宽模式中驱动所述致动器，当与目标频率关联的误差信号处于门限范围内时转换到所述较低带宽模式。

2.如权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述调谐元件包括热电冷却器(TEC)。

3.如权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述调谐元件包括标准具和滤波器其中之一。

4.如权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述高带宽模式采用第一功率等级来驱动所述致动器，以及所述较低带宽模式采用第二功率等级来驱动所述致动器，所述第一功率等级大于所述第二功率等级。

5.如权利要求4所述的可调谐激光器，其特征在于，所述第一功率等级包括较高功率，以及所述第二功率等级包括较低功率。

6.如权利要求4所述的可调谐激光器，其特征在于，所述误差信号从送往光路长度调制元件的抖动信号中导出。

7.如权利要求6所述的可调谐激光器，其特征在于，所述光路长度调制元件包括铌酸锂(LiNbO₃)相位调制器。

8.如权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，处于所述高带宽模式的所述控制器包括继电器式控制器或者开环控制器。

9.如权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述控制器包括超前/滞后控制器和比例积分微分(PID)控制器其中之一。

10.一种调谐激光器的方法，包括：

抖动所述激光器的腔长度，以便产生目标频率的传输峰值误差信号；

以第一功率等级驱动致动器，以便使所述误差信号向零移动；

当所述误差信号在接近零的门限范围以内时，以小于所述第一功率等级的第二功率等级驱动所述致动器。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述抖动包括向相位调制器提供电压信号，以便调制所述激光器的腔长度。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，所述电压信号包括恒定频率的大致正弦波信号。

13.如权利要求10所述的方法，其特征在于，驱动所述致动器包括改变热电冷却器(TEC)的温度。

14.如权利要求10所述的方法，其特征在于，驱动所述致动器包括调谐标准具或滤波器其中之一。

15.一种系统，包括：

外腔二极管激光器(ECDL)；

致动器，驱动所述ECDL的调谐元件；

多带宽模式控制器，包括用于查找新目标频率的高带宽模式以及用于跟踪所述目标频率的较低带宽模式，

所述控制器最初在所述高带宽模式中驱动所述致动器，然后，当与目标频率关联的误差信号处于门限范围以内时，在所述较低带宽模式中驱动所述致动器。

16.如权利要求15所述的系统，其特征在于，所述调谐元件包括热电冷却器(TEC)。

17.如权利要求15所述的系统，其特征在于，所述调谐元件包括标准具和滤波器其中之一。

18.如权利要求15所述的系统，其特征在于，所述高带宽模式采用第一功率等级来驱动所述致动器，以及所述较低带宽模式采用第二功率等级来驱动所述致动器，所述第一功率等级大于所述第二功率等级。

19.如权利要求18所述的系统，其特征在于，所述第一功率等级包括较高功率，以及所述第二功率等级包括较低功率。

20.如权利要求15所述的系统，其特征在于，所述误差信号从送往光路长度调制元件的抖动信号中导出。

21.如权利要求20所述的系统，其特征在于，所述光路长度调制元件包括铌酸锂(LiNbO₃)相位调制器。

22.如权利要求15所述的系统，其特征在于，所述控制器包括采取所述高带宽模式的继电器式控制器或者其它开环控制器。

23.如权利要求15所述的系统，其特征在于，所述控制器包括超前/滞后控制器和比例积分微分(PID)控制器其中之一。

Images