CN1769991A - 用于具有寿命结束现象的显示装置的系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明揭示用于在一电子显示器900上显示寿命结束图像的系统及方法。在存在足够的水蒸汽时，无需继续激活显示器即会在MEMS显示装置上显示寿命结束图像。该图像可响应于用户输入、响应于在显示器封装内探测到一预定含量的水蒸汽、根据预存储的装置寿命、或者根据显示装置及封装的寿命的自然到期来显示。

Description

用于具有寿命结束现象的显示装置的系统及方法

技术领域

本发明的技术领域涉及微机电系统(MEMS)，更具体而言，涉及一种用于在一MEMS显示装置上显示寿命结束消息的方法及装置。

背景技术

微机电系统(MEMS)包括微机械元件、激励器及电子元件。微机械元件可采用沉积、蚀刻或其他可蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的若干部分或可添加若干层以形成电和机电装置的微机械加工工艺制成。一种类型的MEMS装置被称为干涉式调制器。干涉式调制器可包含一对导电板，其中之一或二者均可全部或部分地透明及/或为反射性，且在施加一个适当的电信号时能够相对运动。其中一个板可包含一沉积在一衬底上的静止层，另一个板可包含一通过一气隙与该静止层隔开的金属膜。上述装置具有广泛的应用范围，且在此项技术中，利用及/或修改这些类型装置的特性、以使其性能可用于改善现有产品及制造目前尚未开发的新产品将颇为有益。

与传统的有机发光二极管(OLED)显示器相比，MEMS显示装置对在组装与运行期间的水分及氧气的灵敏度降低。不同于OLED，MEMS显示器可在环境条件下封装且在显示器封装中的相对湿度高达10％时也可工作。由于对湿度灵敏度的约束条件放松，因而与OLED整个装置失效相反，能够对MEMS显示器进行操控以在受到过量水分影响时产生一寿命结束图像。

发明内容

本发明的一个实施例是一种在一微机电系统(MEMS)显示器上显示一图像的方法。该实施例包括一种使一MEMS显示器接触水蒸汽并响应于用户输入而激活所述显示器的方法。该方法还包括响应于所述激活而在所述显示器上显示一预定图像，其中在不持续激活的情况下显示所述图像。

本发明的另一实施例是一种微机电系统(MEMS)显示装置，其具有一囊封于一封装内的MEMS显示器。在该实施例中，一水蒸汽传感器位于所述封装内并耦接至所述MEMS显示器。所述水蒸汽传感器经配置以检测所述封装内的高于一预定含量的水蒸汽并响应于此而产生一预定图像的显示。

本发明的又一实施例是一种制作一显示装置的方法。该实施例包括：在一衬底上提供一微机电系统(MEMS)装置且还提供一水蒸汽传感器。该实施例还提供一种将所述MEMS装置密封至一背板以形成一显示装置的方法，其中所述水蒸汽传感器经配置以探测所述封装中的水蒸汽含量。

本发明的再一实施例是一种通过如下方法制成的MEMS显示装置：在一衬底上提供一微机电系统(MEMS)装置且还提供一水蒸汽传感器。在该实施例中，通过将所述MEMS装置密封至一背板以形成一显示装置来制成所述MEMS显示器，其中所述水蒸汽传感器经配置以探测所述封装中的水蒸汽含量。

本发明的又一实施例是一种显示装置，其包括用于透射光的透射构件。该实施例还提供用于对透射穿过所述透射构件的光进行调制的调制构件及用于覆盖所述调制构件以形成一封装构件的覆盖构件。此外，该实施例具有经配置以探测所述封装构件中水蒸汽的存在的检测构件。

本发明的另一实施例是一种在一包含复数个显示元件的微机电系统(MEMS)显示器上显示一图像的方法。所述方法包括：提供一MEMS显示器及配置所述MEMS显示器，以使一旦所述MEMS显示器的预确定的寿命到期，即显示一预定图像。该方法还在所述MEMS显示器的预确定的寿命已到期时显示所述预定图像。

另一实施例是一种制作一经配置以显示一预定图像的MEMS装置的方法，其包括：提供一MEMS装置及配置所述MEMS显示器，以使一旦所述MEMS显示器的预确定的寿命已到期，即显示一预定图像。

另一实施例是一种通过如下方法制成的MEMS装置：提供一MEMS装置及配置所述MEMS显示器，以使一旦所述MEMS显示器的预确定的寿命已到期，即显示一预定图像。

其他实施例包括一种经配置以显示一预定图像的MEMS装置。该实施例提供用于显示一图像的MEMS显示构件及配置构件，所述配置构件用于一旦所述MEMS显示构件的预确定的寿命已到期，即显示一预定图像。

本发明的还一实施例包括一种经配置以显示一预定图像的MEMS装置。该实施例包括一MEMS显示器，其中所述显示器经配置以在所述MEMS显示器的预确定的寿命已到期时显示一预定图像。

附图说明

图1为一等轴图，其显示一干涉式调制器显示器的一实施例的一部分，其中一第一干涉式调制器的一可移动反射层处于一释放位置，且一第二干涉式调制器的一可移动反射层处于一受激励位置。

图2为一系统方框图，其显示一包含一3×3干涉式调制器显示器的电子装置的一实施例。

图3为图1所示干涉式调制器的一实例性实施例的可移动镜位置与所施加电压的关系图。

图4为一组可用于驱动干涉式调制器显示器的行和列电压的示意图。

图5A显示在图2所示的3x3干涉式调制器显示器中的一个实例性显示数据帧。

图5B显示可用于写入图5A所示帧的行信号及列信号的一个实例性时序图。

图6A为一图1所示装置的剖面图。

图6B为一干涉式调制器的一替代实施例的一剖面图。

图6C为一干涉式调制器的另一替代实施例的一剖面图。

图7为一MEMS装置的封装结构的一实施例的剖面图。

图8为一具有可显示寿命结束图像的电子显示器的无线电话手持装置的一

实施例的正视图。

图9A为一具有水蒸汽传感器及传感器电路的MEMS显示装置的方块图。

图9B为一包括一水蒸汽传感器的MEMS显示装置封装结构的一实施例的局部剖面图，该水蒸汽传感器经配置以检测存在高于一预定含量的水蒸汽。

图10为一显示一MEMS显示器实施例的一部分的等轴图，其中在预选定MEMS元件中的空腔高度小于未选定MEMS元件的空腔高度。

图11为一包含干燥剂量减少的区域的MEMS显示装置封装结构的一实施例的剖面图。

图12A为一显示器的实施例的示意图，其中已施加降低的温度以显示一寿命结束图像。

图12B为一显示器的实施例的示意图，其中已施加高温以显示一寿命结束图像。

图13A及13B为系统方块图，其显示一包含复数个干涉式调制器的视觉显示装置的一实施例。

具体实施方式

下文将对经配置以显示一寿命结束图像的MEMS显示装置、及在一MEMS显示装置中显示一寿命结束图像的方法的复数个实施例进行说明。某些方法包括由用户激活显示器以在有意地使显示器受到水蒸汽影响时显示一预定的寿命结束图像。在一实施例中，在受到水蒸汽影响后激活一开关或某些按钮的一组合即会激活预定图像，此后无需用户进行任何进一步的输入即可保持显示该预定图像。在某些实施例中，将MEMS显示装置配置成探测显示装置封装内水蒸汽的含量并激活显示器以便显示预定图像。下文将参照图8-11进一步详细地说明MEMS显示装置及显示寿命结束图像的方法的其他实施例。

下文说明是针对本发明的某些具体实施例。不过，本发明可通过许多种不同的方式实施。在本说明中，会参照附图，在附图中，相同的部件自始至终使用相同的编号标识。根据以下说明容易看出，本发明可在任一构造用于显示图像-无论是动态图像(例如视频)还是静态图像(例如静止图像)，无论是文字图像还是图片图像-的装置中实施。更具体而言，本发明可在例如(但不限于)以下等众多种电子装置中实施或与这些电子装置相关联：移动电话、无线装置、个人数据助理(PDA)、手持式计算机或便携式计算机、GPS接收器/导航器、照像机、MP3播放器、摄录机、游戏机、手表、时钟、计算器、电视监视器、平板显示器、计算机监视器、汽车显示器(例如里程表显示器等)、驾驶舱控制装置及/或显示器、照像机景物显示器(例如车辆的后视照像机显示器)、电子照片、电子告示牌或标牌、投影仪、建筑结构、包装及美学结构(例如一件珠宝的图像显示器)。与本文所述MEMS装置具有类似结构的MEMS装置也可用于非显示应用，例如用于电子切换装置。

图1中显示一个含有一干涉式MEMS显示元件的干涉式调制器显示器实施例。在这些装置中，像素处于亮状态或暗状态。在亮(“开(on)”或“打开(open)”)状态下，显示元件将入射可见光的一大部分反射至用户。在处于暗(“关(off)”或“关闭(closed)”)状态下时，显示元件几乎不向用户反射入射可见光。视不同的实施例而定，可颠倒“开”与“关”状态的光反射性质。MEMS像素可构造成主要在所选色彩下反射，以除黑色和白色之外还可实现彩色显示。

图1为一等轴图，其显示一视觉显示器的一系列像素中的两相邻像素，其中每一像素包含一MEMS干涉式调制器。在某些实施例中，一干涉式调制器显示器包含一由这些干涉式调制器构成的行/列阵列。每一干涉式调制器包括一对反射层，该对反射层定位成彼此相距一可变且可控的距离，以形成一至少具有一个可变尺寸的光学谐振空腔。在一实施例中，其中一个反射层可在两个位置之间移动。在本文中称为释放状态的第一位置上，该可移动层的位置距离一固定的局部反射层相对远。在第二位置上，该可移动层的位置更近地靠近该局部反射层。根据可移动反射层的位置而定，从这两个层反射的入射光会以相长或相消方式干涉，从而形成各像素的总体反射或非反射状态。

在图1中显示的像素阵列部分包括两个相邻的干涉式调制器12a和12b。在左侧的干涉式调制器12a中，显示一可移动的高度反射层14a处于一释放位置，该释放位置距一固定的局部反射层16a一预定距离。在右侧的干涉式调制器12b中，显示一可移动的高度反射层14b处于一受激励位置处，该受激励位置靠近固定的局部反射层16b。

固定层16a、16b导电、局部透明且局部为反射性，并可通过例如在一透明衬底20上沉积将一个或多个各自为铬及氧化铟锡的层而制成。所述各层被图案化成平行条带，且可形成一显示装置中的行电极，如将在下文中所进一步说明。可移动层14a、14b可形成为由沉积在支柱18顶部的一或多个沉积金属层(与行电极16a、16b正交)及一沉积在支柱18之间的中间牺牲材料构成的一系列平行条带。在牺牲材料被蚀刻掉以后，这些可变形的金属层与固定的金属层通过一规定的气隙19隔开。这些可变形层可使用一具有高度导电性及反射性的材料(例如铝)，且该些条带可形成一显示装置中的列电极。

在未施加电压时，空腔19保持位于层14a、16a之间，且可变形层处于如图1中像素12a所示的一机械弛豫状态。然而，在向一所选行和列施加电位差之后，在所述行和列电极相交处的对应像素处形成的电容器被充电，且静电力将这些电极拉向一起。如果电压足够高，则可移动层发生形变，并被压到固定层上(可在固定层上沉积一介电材料(在该图中未示出)，以防止短路，并控制分隔距离)，如图1中右侧的像素12b所示。无论所施加的电位差极性如何，该行为均相同。由此可见，可控制反射与非反射像素状态的行/列激励与传统的LCD及其他显示技术中所用的行/列激励在许多方面相似。

图2至图5B显示一个在一显示应用中使用一干涉式调制器阵列的实例性过程及系统。图2为一系统方框图，该图显示一可体现本发明各方面的电子装置的一个实施例。在该实例性实施例中，所述电子装置包括一处理器21，其可为任何通用单芯片或多芯片微处理器，例如ARM、Pentium^、Pentium II^、PentiumIII^、Pentium IV^、Pentium^Pro、8051、MIPS^、Power PC^、ALPHA^，或任何专用微处理器，例如数字信号处理器、微控制器或可编程门阵列。按照业内惯例，可将处理器21配置成执行一个或多个软件模块。除执行一个操作系统外，还可将该处理器配置成执行一个或多个软件应用程序，包括网页浏览器、电话应用程序、电子邮件程序或任何其它软件应用程序。

在一实施例中，处理器21还配置成与一阵列控制器22进行通信。在一实施例中，该阵列控制器22包括向一像素阵列30提供信号的一行驱动电路24及一列驱动电路26。图1中所示的阵列剖面图在图2中以线1-1示出。对于MEMS干涉式调制器，所述行/列激励协议可利用图3所示的这些装置的滞后性质。其可能需要例如一10伏的电位差来使一可移动层自释放状态变形至受激励状态。然而，当所述电压自该值降低时，在所述电压降低回至10伏以下时，所述可移动层将保持其状态。在图3的实例性实施例中，在电压降低至2伏以下之前，可移动层不会完全释放。因此，在图3所示的实例中，存在一大约为3-7伏的电压范围，在该电压范围内存在一施加电压窗口，在该窗口内所述装置稳定在释放或受激励状态。在本文中将其称为“滞后窗口”或“稳定窗口”。对于一具有图3所示滞后特性的显示阵列而言，行/列激励协议可设计成在行选通期间，向所选通行中将被激励的像素施加一约10伏的电压差，并向将被释放的像素施加一接近0伏的电压差。在选通之后，向像素施加一约5伏的稳态电压差，以使其保持在行选通使其所处的任何状态。在被写入之后，在该实例中，每一像素均承受一处于3-7伏的“稳定窗口”内的电位差。该特性使图1所示的像素设计在相同的所施加电压条件下稳定在一既有的激励状态或释放状态。由于干涉式调制器的每一像素，无论处于激励状态还是释放状态，实质上均是一由所述固定反射层及移动反射层所构成的电容器，因此，该稳定状态可在一滞后窗口内的电压下得以保持而几乎不消耗功率。如果所施加的电位恒定，则基本上没有电流流入像素。

在典型应用中，可通过根据第一行中所期望的一组受激励像素确定一组列电极而形成一显示帧。此后，将一行脉冲施加于第1行的电极，从而激励与所确定的列线对应的像素。此后，将所确定的一组列电极变成与第二行中所期望的一组受激励像素对应。此后，将一脉冲施加于第2行的电极，从而根据所确定的列电极来激励第2行中的相应像素。第1行的像素不受第2行的脉冲的影响，因而保持其在第1行的脉冲期间所设定到的状态。可按顺序性方式对全部系列的行重复上述步骤，以形成所述的帧。通常，通过以某一所期望帧数/秒的速度连续重复该过程来用新显示数据刷新及/或更新这些帧。还有很多种用于驱动像素阵列的行及列电极以形成显示帧的协议亦为人们所熟知，且可用于本发明。

图4、5A及图5B显示一种用于在图2所示的3×3阵列上形成一显示帧的可能的激励协议。图4显示一组可用于具有图3所示滞后曲线的像素的可能的行及列电压电平。在图4的实施例中，激励一像素包括将相应的列设定至-V_bias，并将相应的行设定至+ΔV，其可分别对应于-5伏及+5伏。释放像素则是通过将相应的列设定至+V_bias并将相应的行设定至相同的+ΔV、由此在所述像素两端形成一0伏的电位差来实现。在那些其中行电压保持0伏的行中，像素稳定于其最初所处的状态，而与该列处于+V_bias还是-V_bias无关。

图5B为一显示一系列行及列信号的时序图，该些信号施加于图2所示的3×3阵列，其将形成图5A所示的显示布置，其中受激励像素为非反射性。在写入图5A所示的帧之前，像素可处于任何状态，在该实例中，所有的行均处于0伏，且所有的列均处于+5伏。在这些所施加电压下，所有的像素稳定于其现有的受激励状态或释放状态。

在图5A所示的帧中，像素(1，1)、(1，2)、(2，2)、(3，2)及(3，3)受到激励。为实现这一效果，在第1行的一“行时间”期间，将第1列及第2列设定为-5伏，将第3列设定为+5伏。此不会改变任何像素的状态，因为所有像素均保持处于3-7伏的稳定窗口内。此后，通过一自0伏上升至5伏然后又下降回至0伏的脉冲来选通第1行。由此激励像素(1，1)和(1，2)并释放像素(1，3)。阵列中的其它像素均不受影响。为将第2行设定为所期望状态，将第2列设定为-5伏，将第1列及第3列设定为+5伏。此后，向第2行施加相同的选通脉冲将激励像素(2，2)并释放像素(2，1)和(2，3)。同样，阵列中的其它像素均不受影响。类似地，通过将第2列和第3列设定为-5伏，并将第1列设定为+5伏对第3行进行设定。第3行的选通脉冲将第3行像素设定为图5A所示的状态。在写入帧之后，行电位为0，而列电位可保持在+5或-5伏，且此后显示将稳定于图5A所示的布置。应了解，可对由数十或数百个行和列构成的阵列使用相同的程序。还应了解，用于实施行和列激励的电压的时序、顺序及电平可在以上所述的一般原理内变化很大，且上述实例仅为实例性，任何激励电压方法均可用于本发明。

按照上述原理运行的干涉式调制器的详细结构可千变万化。例如，图6A-6C显示移动镜结构的三种不同实施例。图6A为图1所示实施例的剖面图，其中在正交延伸的支撑件18上沉积一金属材料条带14。在图6B中，可移动的反射材料14仅在隅角处在系链32上附接至支撑件。在图6C中，可移动的反射材料14悬吊在一可变形层34上。由于反射材料14的结构设计及所用材料可在光学特性方面得到优化，且可变形层34的结构设计和所用材料可在所期望机械特性方面得到优化，因此该实施例具有若干优点。在许多公开文件中，包括例如第2004/0051929号美国公开申请案中，描述了各种不同类型干涉装置的生产。可使用很多种人们所熟知的技术来制成上述结构，包括一系列材料沉积、图案化及蚀刻步骤。

例如干涉式调制器阵列等MEMS装置的移动部件较佳具有一受到保护的空间以在所述空间中移动。下文将更详细地说明MEMS装置的封装技术。图7中显示一MEMS装置(例如干涉式调制器阵列)的基本封装结构的示意图。如图7所示，一基本的封装结构70包括一衬底72及一背板罩或“帽”74，其中一干涉式调制器阵列76形成于衬底72上。该帽74也称作“背板”。

衬底72与背板74通过一密封体78连接以形成封装结构70，从而使衬底72、背板74及密封体78囊封干涉式调制器阵列76。此在背板74与衬底72之间形成一空腔79。密封体78可为一非气密性密封体，例如一传统的环氧基粘着剂。在其他实施例中，密封体78可为聚异丁烯(有时称作异丁烯橡胶，在其他时候则称作PIB)、0形圈、聚氨基甲酸酯、薄膜金属焊、液体旋涂玻璃、钎料、聚合物或塑料、以及水蒸气渗透率范围约为0.2-4.7g mm/m²kPa天的其他类型的密封体。在又一实施例中，密封体78可为一气密性密封体。

在某些实施例中，封装结构70包括一种经构造以降低空腔79内的水分的干燥剂80。所属技术领域的技术人员将知，对于气密性密封的封装而言，干燥剂并非必需，但是可合乎需要地控制存留在封装内的水分。在一实施例中，干燥剂80置于干涉式调制器阵列76与背板74之间。干燥剂既可用于具有气密性密封的封装也可用于具有非气密性密封的封装。在具有气密性密封的封装中，干燥剂通常用于控制存留在封装内部的水分。在具有非气密性密封的封装中，干燥剂可用于控制自环境中进入封装内的水分。一般而言，任何可陷获水分而不会干扰干涉式调制器阵列的光学性质的物质均可用作干燥剂80。适宜的干燥剂材料包括但不限于沸石、分子筛、表面吸附剂、松散吸附剂及化学反应剂。

干燥剂80可具有不同的形式、形状及尺寸。除了为固体形式外，干燥剂80也可为粉末形式。这些粉末可直接插入至封装内，或者其可与一粘着剂相混合进行涂覆。在一替代实施例中，干燥剂80在施加于封装内部之前可形成为各种形状，例如圆柱形或薄片形。

所属技术领域的技术人员将了解，干燥剂80可按不同的方式施加。在一实施例中，干燥剂80作为干涉式调制器阵列76的一部分沉积而成。在另一实施例中，干燥剂80是作为一喷涂或浸涂涂层涂覆于封装70的内部。

衬底72可为上面能够形成薄膜、MEMS装置的半透明或透明物质。此等透明物质包括但不限于玻璃、塑料及透明聚合物。干涉式调制器阵列76可包含膜调制器或可分离类型的调制器。所属技术领域的技术人员将了解，背板74可由任一合适材料制成，例如由玻璃、金属、箔、聚合物、塑料、陶瓷或半导体材料(例如硅)制成。

封装过程可在真空中、在真空直至且包括环境压力的压力下、或者在高于环境压力的压力下实现。亦可在密封制程期间在一具有可变且可控的高或低压力的环境中完成封装制程。在完全干燥的环境中对干涉式调制器阵列76进行封装可能较为有利，但并非必须如此。同样地，封装环境可为处于环境条件下的惰性气体。在环境条件下进行封装可降低工艺成本并更可能实现设备选择的多样性，这是因为装置可在环境条件下运输而不会影响装置的运行。

一般而言，期望使渗透入封装结构内的水蒸气最少化，由此控制封装结构70内的环境，并对其进行气密性密封以确保所述环境保持恒定。一气密性密封制程的实例揭示于美国专利第6,589,625号中，该案全文以引用方式并入本文中。当封装内的湿度超过一定程度而使因水分引起的表面张力变得高于干涉式调制器10中可移动元件(未图示)的恢复力时，因而可移动元件可能变得永久性粘滞至所述表面上。如果湿度级过低，则当可移动元件与已涂覆的表面接触时，水分会充电成与可移动元件相同的极性。

如上文所述，可使用干燥剂来控制存留于封装结构70内的水分。然而，通过构建一气密性密封体78来防止水分自大气中进入封装结构70内部，可减少所需要的干燥剂或无需使用干燥剂。

显示装置尺寸的持续减小限制了可供用于管控封装结构70内的环境的方法，这是因为在封装结构70内用于放置干燥剂80的区域变小。由于无需使用干燥剂，因而还会使封装结构70变薄，在某些实施例中此为人们所期望。通常，在含有干燥剂的封装中，所封装的装置的预期寿命可取决于干燥剂的寿命。当干燥剂完全耗尽时，随着有足够多的水分进入封装结构并对干涉式调制器阵列造成损坏，干涉式调制器装置可能会失效。

本发明的实施例涉及用于例如无线电话、个人数字助理、数字音乐播放器、玩具电话及手持式视频游戏机等装置中的电子显示器。图8显示一具有根据一实施例的显示器102的无线电话100。显示器102配置成显示包括文本及图形在内的图像，例如显示电话号码、消息、时间、日期、视频游戏字符及类似图像。

显示器102可为任意类型的显示器，包括发光二极管(LED)、有机发光二极管(OLED)、或干涉式调制器(IMOD)直视式电子显示器。如下文所将更详细说明，显示器102配置成利用当在显示器的封装结构中存在足够量的水蒸汽时出现的寿命结束现象来显示寿命结束图像。寿命结束图像可包括(例如)幽默的消息、图形图像、拼图(puzzle)或者可指示该装置无法再用的类似图像。为增加用户兴趣，每一装置的寿命结束现象较佳有所不同，并在由一种或多种预确定的情形触发时才显现出来。

一般而言，期望使渗透入显示装置的封装结构内的水蒸汽最少化。在MEMS装置中，当封装内的湿度或水蒸汽超过一定程度而使因水分所引起的表面张力变得高于可移动元件(或层，例如图1所示的可移动层14a、14b)的恢复力时，可移动层可能会永久性地粘着至MEMS元件中对置的固定表面(图1中的固定层16a、16b)的表面上。在MEMS装置封装中存在过量水蒸汽会使得在不继续施加电压的情况下已激活的膜也会保持粘着至薄膜层，如图1中的可移动层14b及固定层16b所示。因此，在存在足够的水蒸汽时，一包含MEMS干涉式调制器的显示像素在未施加电压的情况下也将保持激活。在某些实施例中，显示装置利用MEMS元件的这一方面在显示器上显示一基本永久性的寿命结束图像。

在某些实施例中，一显示装置包括一针对寿命结束现象进行配置的MEMS干涉式调制器显示器，该寿命结束现象可在显示器封装中存在超过一预定量的水蒸汽时得到触发。在一实施例中，显示装置的用户可在显示器的寿命期间的任何时刻激活寿命结束现象。该实施例可用作(例如)一种新颖性，其中有意地使装置接触水，然后由用户按下激活按钮来永久性地显示一幽默的寿命结束消息。

在另一实施例中，将显示装置配置成探测显示器封装中预定含量的水蒸汽并响应于该探测而显示一寿命结束图像。在又一实施例中，将代表显示装置的预确定寿命的数据存储在存储器中，并将该装置配置成响应于确定出所存储的寿命到期而显示一寿命结束图像。在显示装置的另一实施例中，显示器的预选定元件所包含的空腔高度小于显示器的未选定的元件，其中当在显示装置封装内存在足够的水蒸汽时，根据预选定的元件在显示器上显示一寿命结束图像。在显示装置的又一实施例中，显示装置的封装结构包含沉积于封装结构的一背板上的干燥剂，其中在预定区域中沉积减少数量的干燥剂或未沉积干燥剂。当在装置封装结构中存在足够的水蒸汽时，根据靠近封装中干燥剂减少的区域的显示元件在装置上显示寿命结束图像。下文将更详细地说明这些实施例中的每一个实施例。

在MEMS显示装置的一个实施例中，由用户激活寿命结束现象。用户可使显示器接触水蒸汽，例如将显示器置于高湿度环境中(例如靠近一壶沸水)以将水蒸汽引入显示装置封装结构中。当已超过干燥剂80(图8)的水吸收容量时-此时封装内部的相对湿度将趋于与外部环境达到平衡，装置即告寿命结束。在半气密性封装情况下，水蒸汽可通过封装结构70的密封体78进入，或者如图8所示，封装结构70可包括一具有一栓塞108的孔，其中用户取下栓塞108来使显示装置有意地接触水蒸汽。在一实例中，用户可向封装结构内呼气来使显示器接触水蒸汽。

在使显示装置接触水蒸汽后，用户可通过例如一“寿命结束”开关106来激活显示器，其中显示装置被配置成响应于此种用户激活而在显示器上显示一预定图像104。具体而言，显示装置可被配置成响应于用户激活开关106而向显示器施加一预定电压。在施加该电压后，所选MEMS元件的可移动层即移动至接触其各自的固定层，以显示寿命结束图像。显示器中的过量水分会使可移动层变得永久性粘着至固定层，从而无需继续激活显示器即会在显示器上保持该图像。在一实施例中，用户通过按下装置上的键、按钮或开关110的一预定组合来激活显示器显示寿命结束图像104。借助该实施例，用户可例如使一新颖的显示器永久性地有效。

在某些实施例中，MEMS显示装置在封装结构内包含一水蒸汽蓄积槽，其中该蓄积槽可由用户激活以在封装结构中释放水蒸汽并使水蒸汽接触MEMS显示器。在一实施例中，MEMS显示装置包含含水或水蒸汽的干燥剂，其中用户可通过对干燥剂加热来释放干燥剂中的水或水蒸汽。例如，可使用一经过加热的触针或热尖触针对干燥剂进行加热。

预定的寿命结束图像104可例如由显示装置制造商、批发商或零售商预存储，及/或可将装置配置成由用户对寿命结束图像进行选择或编程。在一实施例中，由用户将寿命结束图像定制成包含一所选图像，该所选图像包含文本与图形中的至少一种。例如，寿命结束图像可包含对应于用户名字的文本，例如“GOOD-BYE LAUREN(再见，LAUREN)”。在其中用户可选择寿命结束图像的实施例中，装置可包含一缺省的寿命结束消息，在无用户所选图像的情况下显示该寿命结束消息，或除用户所选的图像之后还显示该缺省的寿命结束消息。

在另一实施例中，一显示装置包括一位于显示器封装结构内的水蒸汽传感器，如图9A-B所示。图9A为一具有一水蒸汽传感器904的显示装置的实施例的方块图，其中水蒸汽传感器904耦接至一传感器电路906，该传感器电路906耦接至一处理器908。水蒸汽传感器904可为所属技术领域中所知的任一种传感器。下文将参照图9B更详细地说明一实例性的水蒸汽传感器。处理器908可为任何通用单芯片或多芯片微处理器，例如ARM、Pentium^、Pentium II^、PentiumIII^、Pentium IV^、Pentium^Pro、8051、MIPS^、Power PC^、ALPHA^，或任何专用微处理器，例如数字信号处理器、微控制器或可编程门阵列。按照业内惯例，可将处理器908配置成执行一个或多个软件模块。除执行一个操作系统外，还可将该处理器配置成执行一个或多个软件应用程序，包括网页浏览器、电话应用程序、电子邮件程序或任何其它软件应用程序。

水蒸汽传感器904配置成与传感器电路906相组合来探测在显示装置封装结构中存在超过一预定含量的水蒸汽。传感器电路906配置成响应于探测到水蒸汽传感器904处的水蒸汽高于一预定含量而向处理器908传输一探测信号。在某些实施例中，水蒸汽传感器904配置成除探测存在一预定含量的水蒸汽外，还探测水蒸汽的具体量，以便将水蒸汽传感器904及传感器电路906配置成可确定显示装置封装结构中的水蒸汽是否高于复数个预定含量。相应地，将传感器电路906配置成向处理器908传输一对应于在显示装置封装结构中所检测到的水蒸汽含量的适当探测信号。

在一实施例中，处理器908还配置成与一阵列控制器910进行通信。在一实施例中，该阵列控制器910包括向一MEMS显示器的像素阵列916提供信号的一行驱动电路912及一列驱动电路914。响应于来自传感器电路906的探测信号，处理器被配置成通过向阵列控制器910传输一适当的信号来激活像素阵列916以显示一寿命结束图像。当水蒸汽传感器904探测到存在足够的水蒸汽时，无需通过阵列控制器910继续激活，阵列916中被激活的像素即会保持处于有效状态，且寿命结束图像将保持基本上永久存在。

在一实施例中，处理器908进一步配置成响应于来自传感器电路906的探测信号而将由用户输入的信息存储在存储器中，例如存储在闪速存储器或可编程的只读存储器(PROM)中。例如，当显示装置为一电话时，处理器可配置成将由用户在先前输入的电话号码存储在一闪速存储器或EEPROM中。此外，寿命结束图像可包含一指示用户的信息已得到存储的消息。

在其中水蒸汽传感器904配置成根据复数个预定含量来探测是否存在不同水蒸汽含量或量的实施例中，可将装置配置成根据所超过的预定的水蒸汽含量来显示一不同的图像。例如，可将显示装置配置成在超过一第一预定水蒸汽含量时显示一第一图像，例如“THE LIFE OF YOUR DISPLAY WILL END IN 3 DAYS：TIME TO BUY A NEW PHONE(您的显示器的寿命将在3天后结束：该买一个新的显示器了)”，在超过一第二预定水蒸汽含量时显示一第二图像，例如“THE LIFEOF YOUR DISPLAY WILL END IN 1 DAY(您的显示器的寿命将在1天后结束)”，并在超过一第三预定水蒸汽含量时显示一第三图像-寿命结束图像。由于存在过量的水蒸汽且受激活的MEMS元件的可移动层相应地粘着至其对应的固定层，因而将在不继续激活显示器的情况下将在显示器上保持显示第三图像-寿命结束图像。在某些实施例中，处理器908可配置成响应于自传感器电路906接收到一探测信号而显示一是否存储信息的用户提示，例如“Your Display is goingto die in 3 days：store numbers？(您的显示器的寿命将在3天后结束：存储数字？)”

在某些实施例中，显示装置可配置成响应于在显示装置封装结构中探测到一预定的水蒸汽含量而发送及接收消息或图像。在一实施例中，显示装置可配置成响应于探测到一预定的水蒸汽含量而显示来自于制造商的关于新装置的价格的广告信息。例如，响应于探测到一预定的水蒸汽含量，所述装置可配置成向装置制造商或服务提供商发出通知，由装置制造商或服务提供商响应于该通知而发送可供出售的装置的广告。显示装置进一步配置成向用户显示自制造商或服务提供商接收到的广告。

图9B为一具有一实例性水蒸汽传感器904的显示装置封装结构的局部剖面图。图9B所示的水蒸汽传感器904包括两个导电构件950、952，且在导电构件950、952之间存在一气隙954。在不存在水蒸汽时，导电构件950、952之间的电阻基本为无限大。然而，当显示器封装结构中水蒸汽的含量升高、从而使导电构件950、952之间水蒸汽的量增大时，导电构件950、952之间的电阻对应于所存在的水蒸汽的量而降低。传感器电路906可位于封闭的封装结构以外或者位于封装结构内。所属技术领域的技术人员将知，所述的水蒸汽传感器仅为实例性，其他传感器也归属于本发明的范畴内。

在一具有寿命结束现象的MEMS显示装置的另一实施例中，根据装置及封装的性质来预先确定显示器的工作寿命。显示器的工作寿命可根据在不继续激活的情况下仍将使MEMS元件可自其对应的固定层分离的最大水蒸汽存在量来加以确定。在一实施例中，显示器的工作寿命可至少部分地根据在显示器封装结构中所包含的干燥剂的吸收容量及水蒸汽渗透入封装结构内的预期渗透速率来加以确定。在一实施例中，将代表显示器的工作寿命的数据存储于一耦接至一处理器(例如图2中的处理器21)的存储器中，其中所述处理器经配置以确定所述预确定的寿命何时到期。响应于确定出所述显示器的寿命到期，所述处理器经配置以协调显示器的激活，以向用户显示一预定图像。在一实施例中，处理器进一步配置成确定MEMS显示器的当前寿命何时处于预确定寿命的一预定范围内，并协调显示器的激活以便响应于确定出MEMS显示器的当前寿命处于预确定寿命的预定范围内而显示一告警图像。

在一具有一寿命结束现象的MEMS显示装置的又一实施例中，MEMS显示器的各个MEMS元件具有不同的空腔高度。在图10中所示的MEMS阵列部分包括五个相邻的MEMS元件1002a-e。MEMS元件1002a-e包含一机械层或可移动层1004及一导电的固定层1006，其中可移动层1004位于支柱1008a-f的顶部且导电的固定层1006形成于一衬底1009上。可移动层1004与固定层1006形成每一相应MEMS元件1002a-e的空腔1010a-e。如图10所示，支柱1008a-f具有不同的高度，从而使每一MEMS元件1002a-e的各自的空腔1010a-e具有不同的高度。对于具有减小的空腔高度的MEMS元件1002b-d，机械层或可移动层1004将保持粘着至固定层1006时所存在的水蒸汽少于具有更大空腔高度的MEMS元件1002a，e。因此，在存在足够的水蒸汽时，将根据具有减小的空腔高度的MEMS元件在MEMS显示器上显示一图像。

在一具有寿命结束现象的MEMS显示装置的另一实施例中，显示装置封装结构包含干燥剂，所述干燥剂在其整个表面上具有变化程度的吸收容量。图11为一具有变化的干燥剂80的显示装置封装结构的一实例性实施方案的剖面图。将与图7中所示及参照图7所述的元件相类似的元件标记为对应的参考编号。如在图11中所示，干燥剂80涂覆至封装结构的背板74，其中干燥剂80包含预选定的区域1102，这些预选定的区域1102所具有的干燥剂80明显少于其他未选定的区域。显示装置76中位于预选定区域1102附近的MEMS元件，在因干燥剂80减少而在封装结构中存在足够的水蒸汽的情况下，将保持处于其中可移动层附着至固定层的永久有效状态，而靠近干燥剂80的未选定区域的MEMS元件将保持可工作状态，这是因为干燥剂80已留住了这些区域中的水蒸汽。相应地，将根据预选定区域1102中的MEMS元件在MEMS显示装置76上显示一预定图像。所属技术领域的技术人员将知，干燥剂的预选定区域可不含有干燥剂，或者含有吸附容量相比未选定区域中的干燥剂而减小的干燥剂。

在一针对寿命结束现象进行配置的MEMS显示装置的另一实施例中，用户可对显示器封装的一表面施加温度差，例如极冷或极热，从而引起显示装置封装结构中的水蒸汽分子靠近被施加温度差的区域的运动。所述温度差例如可使用一冷尖或热尖触针施加至显示器表面，其中根据被应用尖端的区域来显示一图像。所产生的效应类似于其中对一含金属细丝的屏幕应用磁性触针、以根据磁性触针的应用而将金属细丝吸引至屏幕表面从而显示图像的新颖装置的效应。因而，当使用一热尖触针时，所接触的MEMS元件被释放至反射状态或白色状态，而当使用冷尖触针时，所接触的MEMS元件停留于被激活状态或黑色状态。

一种激活寿命结束现象的方法的一实施例包括使用例如冷的触针或冷尖触针向显示器的一表面施加极冷的或降低的温度。图12A为一包含复数个MEMS元件1202的MEMS显示器1200的实例性示意图，其中已向选择性区域1204施加了降低的温度。施加降低的温度会使存在于MEMS显示装置封装中的水蒸汽分子在被施加降低的温度的选择性区域1204处发生冷凝。在某些实施例中，存在于MEMS显示装置封装中的水蒸汽的量足以进一步在所选区域中激活MEMS元件或使MEMS元件保持处于被激活位置，以便如图12A所示在所选区域1204处显示一图像。

所述方法可进一步包括激活显示器以激励复数个MEMS元件的可移动层、然后将显示器去激活以使复数个MEMS元件的可移动层移至释放状态。由于水蒸汽分子在所选区域1204处发生冷凝，因而所选区域1204中的MEMS元件将保持处于受激励位置而不用继续激活，从而在MEMS显示器上的例如如图12A所示的所选区域处显示图像。在某些实施例中，可进一步激活显示器来清除图像显示。

一种激活寿命结束现象的方法的另一实施例包括使用例如热的触针或热尖触针对显示器的一表面中的选择性区域加热或施加高温。对显示器施加高温会使存在于MEMS显示装置封装中的水蒸汽分子在被施加高温的所选区域处蒸发。图12B为一包含复数个MEMS元件1222的MEMS显示器1220的实例性示意图，其中已对已达到其工作寿命的显示器的选择性区域1224施加了高温。在一实施例中，MEMS显示装置已因在MEMS显示装置封装中存在足够的水蒸汽而达到其工作寿命，其中显示器的复数个MEMS元件保持处于被激活或被激励状态而无需继续激活。在某些实施例中，基本上所有MEMS元件均处于被激活状态而无需继续激活，如图12B所示。当用户向显示器1220中的选择性区域1224施加升高的温度差时，由于使可移动膜处于被激活状态的水蒸汽响应于施加高温而蒸发，因而所选区域1224处的MEMS元件移至释放状态。如图12所示，所选区域1224处的MEMS元件处于释放状态，而未选区域中的MEMS元件保持处于被激活状态，从而根据所选区域1224来显示图像。

在某些实施例中，所述方法可包括探测MEMS显示装置封装内预定含量的水蒸汽并通知用户该显示器正接近其工作寿命的终点。然后，用户施加降低的温度以在显示器中的所选区域处显示图像，如上文所述。或者，在显示器封装中存在足够的水蒸汽时，用户可响应于显示器接近其工作寿命终点的通知而激活显示器，以使复数个MEMS元件保持处于受激活位置而无需继续激活。然后，用户可向显示器的选择性区域施加高温，以将所选区域处的MEMS元件“释放”至释放状态，从而根据所选区域在显示器上显示一图像。在其他实施例中，如上文关于本发明的其他实施例所述，用户可有意地使MEMS显示器接触水蒸汽。此外，该方法可进一步包括激活显示器以清除该图像。

如上文所述，MEMS显示装置对水蒸汽的容限较大，其中与例如OLED等其他显示装置相比，该种显示器在存在高的水蒸汽含量时仍将继续工作。众所周知，OLED显示器对在组装期间及在最终的封装显示器内存在的水分及氧气的量具有明显的环境约束。相比之下，MEMS显示器的实施例在组装或运行期间则不要求具有惰性气体、真空或干燥环境。因此，MEMS显示器容许受到较高含量的水蒸汽的作用直至达到无法工作状态，而OLED显示装置对水蒸汽的存在的容限基本为零，且一旦受到少量水蒸汽的作用，整个OLED显示器就将无法工作。MEMS显示元件容忍水蒸汽的存在及保持可工作的能力使得能够构建上述具有寿命结束现象的显示装置实施例。

图13A及13B为显示一显示装置2040的一实施例的系统方块图。显示装置2040例如可为蜂窝式电话或移动电话。然而，显示装置2040的相同组件及其稍作变化的形式也可作为例如电视及便携式媒体播放器等各种类型显示装置的例证。

显示装置2040包括一外壳2041、一显示器2030、一天线2043、一扬声器2045、一输入装置2048及一麦克风2046。外壳2041通常由所属技术领域的技术人员所熟知的众多种制造工艺中的任一种工艺制成，包括注射成型及真空成形。此外，外壳2041可由众多种材料中的任一种材料制成，包括(但不限于)塑料、金属、玻璃、橡胶及陶瓷、或其组合。在一实施例中，外壳2041包括可拆式部分(未图示)，这些可拆式部分可与其他具有不同颜色、或包含不同标识、图片或符号的可拆式部分换用。

实例性显示装置2040的显示器2030可为众多种显示器中的任一种，包括本文所述的双稳显示器。在其他实施例中，显示器2030包括例如上文所述的等离子体显示器、EL、OLED、STN LCD或TFT LCD等平板显示器、或例如CRT或其他管式装置等非平板显示器，这些显示器为所属技术领域的技术人员所熟知。然而，为便于说明本实施例，显示器2030包括一如本文所述的干涉式调制器显示器。

图13B示意性地显示实例性显示装置2040的一实施例中的组件。所示实例性显示装置2040包括一外壳2041，并可包括其他至少部分地封闭于外壳2041中的组件。例如，在一实施例中，实例性显示装置2040包括一网络接口2027，该网络接口2027包括一耦接至一收发器2047的天线2043。收发器2047连接至处理器2021，处理器2021又连接至调节硬件2052。调节硬件2052可配置成对一信号进行调节(例如对一信号进行滤波)。调节硬件2052连接至一扬声器2045及一麦克风2046。处理器2021还连接至一输入装置2048及一驱动控制器2029。驱动控制器2029耦接至一帧缓冲器2028并耦接至阵列驱动器2022，阵列驱动器2022又耦接至一显示阵列2030。一电源2050根据具体实例性显示装置2040的设计的要求为所有组件供电。

网络接口2027包括天线2043及收发器2047，以使实例性显示装置2040可通过网络与一个或多个装置进行通信。在一实施例中，网络接口2027还可具有某些处理功能，以降低对处理器2021的要求。天线2043是所属技术领域的技术人员所知的用于发射及接收信号的任一种天线。在一实施例中，天线根据IEEE802.11标准(包括IEEE 802.11(a)，(b)，或(g))来发射及接收RF信号。在另一实施例中，天线根据蓝牙(BLUETOOTH)标准来发射及接收RF信号。倘若为蜂窝式电话，则天线被设计成接收CDMA、GSM、AMPS或其他用于在无线移动电话网络中进行通信的已知信号。收发器2047对自天线2043接收的信号进行预处理，以使其可由处理器2021接收及进一步处理。收发器2047还处理自处理器2021接收到的信号，以使其可通过天线2043自实例性显示装置2040发射。

在一替代实施例中，可由一接收器取代收发器2047。在又一替代实施例中，可由一图像源取代网络接口2027，该图像源可存储或产生拟发送至处理器2021的图像数据。例如，该图像源可为一含有图像数据的数字视频光盘(DVD)或硬盘驱动器、或一产生图像数据的软件模块。

处理器2021通常控制实例性显示装置2040的总体运行。处理器2021自网络接口2027或一图像源接收数据(例如压缩的图像数据)，并将该数据处理成原始图像数据或处理成一种易于处理成原始图像数据的格式。然后，处理器2021将处理后的数据发送至驱动控制器2029或发送至帧缓冲器2028进行存储。原始数据通常是指可识别一图像内每一位置处的图像特性的信息。例如，所述图像特性可包括颜色、饱和度及灰度级。

在一实施例中，处理器2021包括一微控制器、CPU、或用于控制实例性显示装置2040的运行的逻辑单元。调节硬件2052通常包括用于向扬声器2045发送信号及用于自麦克风2046接收信号的放大器及滤波器。调节硬件2052可为实例性显示装置2040内的离散组件，或者可并入处理器2021或其他组件内。

驱动控制器2029直接自处理器2021或自帧缓冲器2028接收由处理器2021产生的原始图像数据，并适当地将原始图像数据重新格式化以便高速传输至阵列驱动器2022。具体而言，驱动控制器2029将原始图像数据重新格式化成一具有光栅状格式的数据流，以使其具有一适合于扫描显示阵列2030的时间次序。然后，驱动控制器2029将格式化后的信息发送至阵列驱动器2022。尽管驱动控制器2029(例如LCD控制器)通常是作为一独立的集成电路(IC)与系统处理器2021相关联，然而这些控制器也可按许多种方式进行构建。其可作为硬件嵌入于处理器2021中、作为软件嵌入于处理器2021中、或以硬件形式与阵列驱动器2022完全集成在一起。

通常，阵列驱动器2022自驱动控制器2029接收格式化后的信息并将视频数据重新格式化成一组平行的波形，该组平行的波形每秒许多次地施加至来自显示器的x-y像素矩阵的数百条、有时数千条引线。

在一实施例中，驱动控制器2029、阵列驱动器2022、及显示阵列2030适用于本文所述的任一类型的显示器。举例而言，在一实施例中，驱动控制器2029是一传统的显示控制器或一双稳显示控制器(例如一干涉式调制器控制器)。在另一实施例中，阵列驱动器2022是一传统驱动器或一双稳显示驱动器(例如一干涉式调制器显示器)。在一实施例中，一驱动控制器2029与阵列驱动器2022集成在一起。这种实施例在例如蜂窝式电话、手表及其他小面积显示器等高度集成的系统中很常见。在又一实施例中，显示阵列2030是一典型的显示阵列或一双稳显示阵列(例如一包含一干涉式调制器阵列的显示器)。

输入装置2048使用户能够控制实例性显示装置2040的运行。在一实施例中，输入装置2048包括一小键盘(例如QWERTY键盘或电话小键盘)、一按钮、一开关、一触敏屏幕、一压敏或热敏膜。在一实施例中，麦克风2046是实例性显示装置2040的输入装置。当使用麦克风2046向该装置输入数据时，可由用户提供语音命令来控制实例性显示装置2040的运行。

电源2050可包含所属技术领域内众所周知的许多种能量存储装置。例如，在一实施例中，电源2050为一可再充电的蓄电池，例如一镍-镉蓄电池或一锂离子蓄电池。在另一实施例中，电源2050是一可再生能源、电容器或太阳能电池，包括塑料太阳能电池及太阳能电池漆。在另一实施例中，电源2050构造成自墙上的插座接收电力。

在某些实施方案中，控制可编程性如上文所述存在于一驱动控制器中，该驱动控制器可位于电子显示系统中的数个位置上。在某些情形中，控制可编程性存在于阵列驱动器2022中。所属技术领域的技术人员将知，可在任意数量的硬件及/或软件组件中及在不同的构造中实施上述优化。

上文说明详述了本发明的某些实施例。然而，应了解，不管上文说明在文字上看起来如何详细，本发明仍可按许多种方式实施。还如上文所述，应注意，在描述本发明的某些特征及方面时所用的特定术语不应被视为意味着该术语在本文中被重新规定为仅限于包括与该术语相关联的本发明特征或方面的任何具体特性。因此，本发明的范畴应按照随附权利要求书及其任何等价内容来加以解释。

Claims (72)

1、一种在一微机电系统(MEMS)显示器上显示一图像的方法，其包括：

使一MEMS显示器接触水蒸汽；

响应于用户输入而激活所述显示器；及

响应于所述激活而在所述显示器上显示一预定图像，其中在不持续激活的情况下显示所述图像。

2、如权利要求1所述的方法，其中所述预定图像包括一用户所选图像与一预存储图像中的至少一种。

3、如权利要求1所述的方法，其中显示所述预定图像包括显示文本与一个或多个图形中的至少一种。

4、如权利要求1所述的方法，其中使所述MEMS显示器接触水蒸汽包括在所述MEMS显示器的一封装结构中形成一通往外界条件的开孔。

5、如权利要求1所述的方法，其进一步包括在所述MEMS显示器中探测高于一预定含量的水蒸汽。

6、如权利要求5所述的方法，其中探测高于所述预定含量的水蒸汽包括探测高于复数个预定含量的水蒸汽，且显示一预定图像包括响应于探测到高于所述复数个预定含量中的每一含量的水蒸汽而显示一不同的预定图像。

7、如权利要求1所述的方法，其中所述MEMS显示器为一干涉式调制器显示器。

8、一种微机电系统(MEMS)显示装置，其包括：

一囊封于一封装内的MEMS显示器；及

一位于所述封装内并耦接至所述MEMS显示器的水蒸汽传感器，其中所述水蒸汽传感器经配置以检测所述封装内高于一预定含量的水蒸汽，并响应于此而产生一预定图像的显示。

9、如权利要求8所述的MEMS显示装置，其中所述预定图像包括文本与一个或多个图形中的至少一种。

10、如权利要求8所述的MEMS显示装置，其中所述水蒸汽传感器经配置以检测所述封装中高于复数个预定含量的水蒸汽，并响应于检测到在所述封装内存在高于所述预定含量中每一含量的水蒸汽而产生一不同的预定图像的显示。

11、如权利要求10所述的MEMS显示装置，其中响应于检测到一第一预定含量的水蒸汽而显示的至少一第一预定图像指示所述显示装置的剩余寿命。

12、如权利要求8所述的MEMS显示装置，其中所述预定图像包括一用户所选图像与一预存储图像中的至少一种。

13、如权利要求8所述的MEMS显示装置，其中所述MEMS显示装置经配置以响应于检测到高于一预定含量的水蒸汽而将由一用户输入的信息存储至一闪速存储器。

14、如权利要求8所述的MEMS显示装置，其中所述MEMS显示器为一干涉式调制器显示器。

15、如权利要求8所述的MEMS显示装置，其进一步包括：

一与所述MEMS显示器电连通的处理器，所述处理器经配置以处理图像数据；及

一与所述处理器电连通的存储装置。

16、如权利要求15所述的MEMS显示装置，其进一步包括一驱动电路，所述驱动电路经配置以向所述MEMS显示器发送至少一个信号。

17、如权利要求16所述的MEMS显示装置，其进一步包括一控制器，所述控制器经配置以向所述驱动电路发送所述图像数据的至少一部分。

18、如权利要求15所述的MEMS显示装置，其进一步包括一图像源模块，所述图像源模块经配置以向所述处理器发送所述图像数据。

19、如权利要求18所述的MEMS显示装置，其中所述图像源模块包括一接收器、收发器及发射器中的至少一个。

20、如权利要求15所述的MEMS显示装置，其进一步包括一输入装置，所述输入装置经配置以接收输入数据并将所述输入数据传送至所述处理器。

21、一种制作一显示装置的方法，其包括：

在一衬底上提供一微机电系统(MEMS)装置；

提供一水蒸汽传感器；及

将所述MEMS装置密封至一背板以形成一显示装置，其中所述水蒸汽传感器经配置以探测所述封装中的水蒸汽含量。

22、如权利要求21所述的方法，其中所述MEMS装置为一干涉式调制器。

23、如权利要求21所述的方法，其中所述衬底为一透明衬底。

24、如权利要求21所述的方法，其中所述MEMS装置经配置以响应于由所述水蒸汽传感器探测到水蒸汽而显示一预定图像，所述预定图像包括一用户所选图像与一预存储图像中的至少一种。

25、如权利要求24所述的方法，其中所述预定图像包括文本与一个或多个图形中的至少一种。

26、如权利要求21所述的方法，其中所述水蒸汽传感器经配置以检测所述封装中高于复数个预定含量的水蒸汽，并响应于检测到在所述显示装置内存在高于所述预定含量中每一含量的水蒸汽而产生一不同的预定图像的显示。

27、一种通过如权利要求21所述的方法制成的MEMS显示装置。

28、一种显示装置，其包括：

用于透射光的透射构件；

用于对透射穿过所述透射构件的光进行调制的调制构件；

用于覆盖所述调制构件以形成一用于封装的构件的覆盖构件；及

经配置以探测所述封装构件中水蒸汽的存在的检测构件。

29、如权利要求28所述的显示装置，其中所述透射构件包括一透明衬底。

30、如权利要求28所述的显示装置，其中所述调制构件包括一干涉式调制器。

31、如权利要求28所述的显示装置，其中所述覆盖构件包括一背板。

32、如权利要求28所述的显示装置，其中所述检测构件包括一水蒸汽传感器。

33、如权利要求28所述的显示装置，其中所述封装构件包括一密封的封装。

34、如权利要求28所述的显示装置，其中所述显示装置经配置以响应于由所述检测构件探测到水蒸汽而显示一预定图像，所述预定图像包括一用户所选图像与一预存储图像中的至少一种。

35、一种在一包含复数个显示元件的微机电系统(MEMS)显示器上显示一图像的方法，所述方法包括：

提供一MEMS显示器；

配置所述MEMS显示器，以使一旦所述MEMS显示器的一预确定的寿命到期，即显示一预定图像；及

当所述MEMS显示器的所述预确定的寿命已到期时，显示所述预定图像。

36、如权利要求35所述的方法，其中所述预定图像包括文本与一个或多个图形中的至少一种。

37、如权利要求35所述的方法，其中所述预定图像包括一用户所选图像与一预存储图像中的至少一种。

38、如权利要求35所述的方法，其中所述MEMS显示器经配置以将代表所述MEMS显示器的所述预确定的寿命的数据存储至一存储装置。

39、如权利要求38所述的方法，其中将所述数据存储至一存储器。

40、如权利要求35所述的方法，其进一步包括确定所述MEMS显示器的当前寿命何时处于所述预确定寿命的一预定范围内，并响应于确定出所述MEMS显示器的所述当前寿命处于所述预定范围内而显示一告警图像。

41、如权利要求35所述的方法，其中所述MEMS显示器为一干涉式调制器显示器。

42、如权利要求35所述的方法，其中配置所述MEMS显示器包括提供复数个显示元件，其中每一显示元件均包括在处于一未受驱动状态时由一空腔隔开的一机械层及一实质性固定的导电层，其中复数个预选定显示元件的空腔高度小于未选定显示元件的空腔高度，以在存在足够的水蒸汽时使所述复数个预选定显示元件的所述机械层保持接触所述复数个预选定显示元件的所述基本固定的导电层，从而根据所述预选定的显示元件来显示所述预定图像。

43、如权利要求35所述的方法，其中配置所述MEMS显示器包括提供一沉积至一靠近所述MEMS装置的背板上的干燥剂，其中所述干燥剂包括一个或多个预选定的区域，所述一个或多个预选定的区域具有明显少于未选定区域的干燥剂，以使靠近所述干燥剂的所述预定区域的复数个所述MEMS元件在所存在的水蒸汽少于靠近所述干燥剂的所述未选定区域的复数个所述MEMS元件时保持处于一有效状态。

44、一种制作一经配置以显示一预定图像的MEMS装置的方法，其包括：

提供一MEMS装置；及

配置所述MEMS显示器，以使一旦所述MEMS显示器的一预确定的寿命到期，即显示一预定图像。

45、如权利要求44所述的方法，其中所述预定图像包括文本与一个或多个图像中的至少一种。

46、如权利要求44所述的方法，其中所述预定图像包括一用户所选图像与一预存储图像中的至少一种。

47、如权利要求44所述的方法，其中所述MEMS显示器经配置以将代表所述MEMS显示器的所述预确定寿命的数据存储至一存储装置。

48、如权利要求47所述的方法，其中所述MEMS显示器经配置以确定所述预确定的寿命何时到期，并在此后显示所述预定图像。

49、如权利要求47所述的方法，其中所述数据存储至一存储器。

50、如权利要求44所述的方法，其进一步包括：确定所述MEMS显示器的当前寿命何时处于所述预确定寿命的一预定范围内，并响应于确定出所述MEMS显示器的所述当前寿命处于所述预定范围内而显示一告警图像。

51、如权利要求44所述的方法，其中所述MEMS显示器为一干涉式调制器显示器。

52、如权利要求44所述的方法，其中配置所述MEMS显示器包括提供复数个显示元件，其中每一显示元件均包括在处于一未受驱动状态时由一空腔隔开的一机械层及一基本固定的导电层，其中复数个预选定显示元件的空腔高度小于未选定显示元件的空腔高度，以在存在足够的水蒸汽时使所述复数个预选定显示元件的所述机械层保持接触所述复数个预选定显示元件的所述基本固定的导电层，从而根据所述预选定的显示元件来显示所述预定图像。

53、如权利要求44所述的方法，其中配置所述MEMS显示器包括提供一沉积至一靠近所述MEMS装置的背板上的干燥剂，其中所述干燥剂包括一个或多个预选定的区域，所述一个或多个预选定的区域具有明显少于未选定区域的干燥剂，以使靠近所述干燥剂的所述预定区域的复数个所述MEMS元件在所存在的水蒸汽少于靠近所述干燥剂的所述未选定区域的复数个所述MEMS元件时保持处于一有效状态。

54、一种通过如权利要求44所述的方法制成的MEMS装置。

55、一种经配置以显示一预定图像的MEMS装置，其包括：

用于显示一图像的MEMS显示构件；及

配置构件，其用于一旦所述MEMS显示构件的一预确定的寿命到期，即显示一预定图像。

56、如权利要求55所述的MEMS装置，其中所述MEMS显示构件包括一干涉式调制器阵列。

57、如权利要求55所述的MEMS装置，其中所述配置构件包括一用于探测在所述MEMS显示构件中存在水蒸汽的探测电路。

58、如权利要求55所述的MEMS装置，其中所述配置构件包括一用于确定所述MEMS显示构件的一预确定的寿命是否已到期并在此后显示所述预定图像的电路。

59、如权利要求55所述的MEMS装置，其中所述MEMS装置包括复数个显示元件，其中每一显示元件均包括在处于一未受驱动状态时由一空腔隔开的一机械层及一基本固定的导电层，其中复数个预选定显示元件的空腔高度小于未选定显示元件的空腔高度，以在存在足够的水蒸汽时使所述复数个预选定显示元件的所述机械层保持接触所述复数个预选定显示元件的所述基本固定的导电层，从而根据所述预选定的显示元件来显示所述预定图像。

60、如权利要求55所述的MEMS装置，其中所述MEMS装置包括一沉积于一靠近所述MEMS显示构件的背板上的干燥剂，其中所述干燥剂包括一个或多个预选定的区域，所述一个或多个预选定的区域具有明显少于未选定区域的干燥剂，以使靠近所述干燥剂的所述预定区域的复数个所述MEMS元件在所存在的水蒸汽少于靠近所述干燥剂的所述未选定区域的复数个所述MEMS元件时保持处于一有效状态。

61、一种经配置以显示一预定图像的MEMS装置，其包括一MEMS显示器，其中所述显示器经配置以在所述MEMS显示器的一预确定的寿命到期时显示一预定图像。

62、如权利要求61所述的MEMS装置，其中所述MEMS显示器包括一干涉式调制器阵列。

63、如权利要求61所述的MEMS装置，其中所述显示器包括一用于探测在所述MEMS显示器中存在水蒸汽的探测电路。

64、如权利要求61所述的MEMS装置，其中所述显示器包括一用于确定所述MEMS显示器的一预确定的寿命是否已到期并在此后显示所述预定图像的电路。

65、如权利要求61所述的MEMS装置，其中所述MEMS装置包括复数个显示元件，每一显示元件均包括在处于一未受驱动状态时由一空腔隔开的一机械层及一基本固定的导电层，其中复数个预选定显示元件的空腔高度小于未选定显示元件的空腔高度，以在存在足够的水蒸汽时使所述复数个预选定显示元件的所述机械层保持接触所述复数个预选定显示元件的所述基本固定的导电层，从而根据所述预选定的显示元件来显示所述预定图像。

66、如权利要求61所述的MEMS装置，其中所述MEMS装置包括一沉积于一靠近所述MEMS显示器的背板上的干燥剂，其中所述干燥剂包括一个或多个预选定的区域，所述一个或多个预选定的区域具有明显少于未选定区域的干燥剂，以使靠近所述干燥剂的所述预定区域的复数个所述MEMS元件在所存在的水蒸汽少于靠近所述干燥剂的所述未选定区域的复数个所述MEMS元件时保持处于一有效状态。

67、如权利要求61所述的MEMS装置，其进一步包括：

一与所述MEMS显示器电连通的处理器，所述处理器经配置以处理图像数据；及

一与所述处理器电连通的存储装置。

68、如权利要求67所述的MEMS装置，其进一步包括一驱动电路，所述驱动电路经配置以向所述MEMS显示器发送至少一个信号。

69、如权利要求68所述的MEMS装置，其进一步包括一控制器，所述控制器经配置以向所述驱动电路发送所述图像数据的至少一部分。

70、如权利要求67所述的MEMS装置，其进一步包括一图像源模块，所述图像源模块经配置以向所述处理器发送所述图像数据。

71、如权利要求70所述的MEMS装置，其中所述图像源模块包括一接收器、收发器及发射器中的至少一个。

72、如权利要求67所述的MEMS装置，其进一步包括一输入装置，所述输入装置经配置以接收输入数据并将所述输入数据传送至所述处理器。

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