CN1720488B - 决定站系统中站上物品分布的方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明是相关于一种用于决定将物品分布于包括复数个站台之站台系统的该等站台的方法，装置、计算机可读取之储存媒体、以及一程序组件。在该用于决定将物品分布于包括复数个站台之站台系统的该等站台的方法中，该等站台乃会以一分别的站台功能性作为基础而进行分群，进而形成复数个站台群组。再者，复数个资源池是会加以形成，且一分别的资源池是包含有一站台群组之该等站台的至少一些。并且，对该等资源池而言，一负载分配乃是以负载最小化及/或负载均匀化作为基础而加以决定，且该等物品是必须要依照该负载分配而被分布至该等资源池的该等站台。

Description

决定站系统中站上物品分布的方法和装置 

技术领域

本发明是相关于一种在一具有复数个站台、一装置、一计算机可读取储存媒体、以及一程序组件之站台系统中用于决定站上物品分布的方法。 

背景技术

在工业上，对于增加程序生产力以及减少成本方面是有不断的需求，而其中则是包括有，特别是，生产程序的最佳化。 

一典型的半导体晶圆工厂乃是为了处理不同的产品而加以建立，而一产品的生产则是可以包括上百个处理步骤(例如，光微影，移除阻抗，离子植入，溅镀，CVD等)，并且，在此程序期间，一站台型态乃可以在该生产处理期间被存取数次，不过，要产生有关于处理顺序以及相关于将待处理晶圆分布至站台系统的不同站台的一流程图以增加生产力则是个很复杂的问题，而如此的一流程图对于在该半导体程序中的线路控制来说却是需要的。 

一种用于在半导体生产中进行线路控制的标准方法是为一种被称之为“临界比关键比率(critical/ratio)”的分布，亦称之为“C/R”，根据此方法，由于批次生产乃是依照其处理顺序而按优先次序进行处理，因此，相关的延迟越大、且所预期之透过该生产线的残余传输时间越短时，则该生产力也会越高，此方法是举例地指向传输时间之参数以及传递之敏捷度的最佳化。 

然而，此方法却具有缺点。 

该方法的一个缺点是在于，此程序乃是以仅会为了具有一些顺序以及反馈种类(所谓的克里莫夫原理(Klimov theorem))之单一操作系统进行最佳化的一分布策略做为基础，而就一一般的随机网络而言，该最佳化问题则是EXP完整(EXP complete)，这也是为什么该简单的分布策略C/R甚至会被用于复杂之网络的原因，一般而言，该问题等级EXP的特征是在于，具有一在一指数时间内解决问题之演算式的事实。 

该方法的另一个缺点是在于，就该生产控制的一完全最佳化而言，在Klimov原理中所考虑的该等目标变量并不适用于所有的应用，举例而言，该等良率特征(yield features)并无法在实际上对应到Klimov的目标变量，所以，为了这个理由，用于最佳化所选择之一目标变量的每一种方法是必须要以结合用于最佳化不包含在此选择中之目标变量的多种方法的方式而加以执行。 

在根据习知技术的半导体生产之中，线路控制的问题乃是独立地在计画层次以及在操作层次进行解决。 

在该计画层次，维持预先决定之容量限制的可能性乃是藉由依照“最不具弹性之机械/最不具弹性之工作种类优先”的试误方式(heuristic)而将机械放置处之该等个别站台的工作内容分布至该等站台的方式来进行检查。 

一另一种方法则是以下列按顺序排列之于一离散时间仿真中执行的策略做为基础：“自该等可获得之工作种类中，选择下一个用于在一刚变为可利用之站台上处理让该刚变成可利用之站台具有最高速度等级的该工作种类，在此，该速度等级是为相关于每一个个别工作种类之该等站台的一放置分配，并且，对所有的站台以及对所有的工作种类而言，用于工作种类x之该最快速站台、或是该些最快速站台乃会接收工作种类x的等级1，第二快速者则是会接收工作种类x的等级2等。” 

在该操作层次，乃会释放另外的站台、或是乃会保留特别的站台以用于特别的工作种类，在纯粹技术的工作至站台(job-to-station)贡献若是导致在所考虑之操作中的过渡次数倾向于变得越来越长的时候。 

在参考文献[1]以及[2]之中，是加以揭示该所谓用于改善在半导体程序中之线路控制的MIVP(minimum inventory variabilitypolicy，最小库存变化策略)方法，并且，根据此方法，某些规则是会做为举例地被导入，以避免一站台系统的站台变得陷入困境、或匮乏。 

在参考文献[3]以及[4]之中，是揭示用于二次最佳化(quadraticoptimization)的方法。 

在参考文献[5]以及[6]之中，其是揭示如何计算相关于轮询循环 (polling cycles)的检视表(visiting tables)。 

在参考文献[7]之中，是加以揭示一种方法，而藉由此种方法，其是有可能决定待处理之物品到达一资源池的递送何时是代表过量的递送。 

在参考文献[8]之中，其是揭示Kelly以及Laws的繁忙流量理论(heavy-traffic theorem)。 

在参考文献[9]之中，其是揭示在不需要于实际上标示材料单元的情形下，使得材料流动可以在一纺织原料处理系统中加以决定的方法以及装置，其中，该材料乃是藉由一些处理机械来进行处理，以及乃是经由运输系统而加以运输，而根据该方法，此乃是藉由在一计算机上的一或多个档案中，储存有关运输程序的时间以及位置信息，以及改变可以被传感器所侦测之材料单元而加以达成，并且，该材料流动是可以藉由自该档案、或该些档案连结该时间以及位置信息而加以决定。 

发明内容

本发明做为基础的目的是在于产生一种在站台系统中决定站上物品分布的方法，其中，获得改善之线路控制效能是可以加以达成，即使是对复杂的站台网络而言。 

该目的乃是藉由具有于独立权利要求中所主张之特征的一种在具有复数个站台之站台系统中决定站上物品分布的方法，一装置，一计算机可读取储存媒体，以及一程序组件而加以达成。 

依照根据本发明之该用于决定将物品分布之一包括复数个站台之站台系统的该等站台的方法，该等站台乃会以一分别的站台功能性作为基础而进行分群，进而形成复数个站台群组，再者，复数个资源池是会加以形成，且一分别的资源池是包含有一站台群组之该等站台的至少一些，并且，对该等资源池而言，一负载分配乃是以负载最小化以及负载均匀化作为基础而加以决定，且该等物品是必须要依照该负载分配而被分布至该等资源池的该等站台，另外，该等物品乃会根据该负载分配而被分布至该等资源池的该等站台，并且，该等物品稍后是会选择地被分布至该等资源池的该等站台。 

再者，一种用于决定将物品分布之一包括复数个站台之站台系统的该等站台的装置是加以产生，其是具有一利用让前述之方法步骤可 以执行之方式而加以建立的处理器，此外，一种计算机可读取之储存媒体是加以提供，其中是储存有一用于决定将物品分布至一具有复数个站台之站台系统之该等站台的程序，而该程序在藉由一处理器而加以执行时，乃会显示出前述的方法步骤，再者，一种用于决定将物品分布之一具有复数个站台之站台系统之该等站台的程序组件是加以产生，而其在藉由一处理器而加以执行时，乃会显示出前述的方法步骤。 

本发明是可以藉由一计算机程序，也就是说，一软件，以及藉由一或多个特殊的电子电路，也就是说，一硬件、或是以混合之形式，也就是说，藉由软件构件以及硬件构件之间的相互作用而加以执行。 

在本发明更详细叙述之前，在接下来的文章是要解释，如何了解一些名词术语，特别是，在本发明序述的上下文之中。 

一物品是为，特别地是，待分布至一站台系统之站台、或是待藉由这些而进行处理之实际上具体实施的物体，亦即，真实世界的一物体，特别地是，藉由该等站台而被呈送至多个处理步骤、或是生产步骤的一物体，例如，以半导体生产做为参考，一晶圆批次、或是一单一的晶圆。 

特别地是，站台是为其每一个皆建立来在一物品的处理期间执行至少一处理步骤的装置，相关于半导体生产的领域，该等站台是可以加以建立而用于，例如，执行下列的处理步骤： 

-用于产生多层的方法(例如，自气体态沉积的方法，CVD方法，热氧化，气相沉积方法，溅镀方法，用于旋涂的方法，藉由离子植入产生多层，藉由晶圆接合以及回蚀产生多层，回火(tempering)方法等)； 

-微影方法(举例而言，用于形成光阻图案的方法，光曝光方法，X-射线微影方法，离子微影方法等)； 

-用于移除多层的方法(举例而言，湿蚀刻，湿化学蚀刻，化学机械研磨，干蚀刻，物理干蚀刻，化学干蚀刻，化学物理干蚀刻等)； 

-藉由掺杂原子而掺杂一层(举例而言，热掺杂，藉由离子植入而掺杂，掺杂原子的活化与扩散，掺杂原子的扩散，未掺杂物质的扩散等)；以及 

-清理步骤。 

一站台群组是为在一站台系统中，以一可预先决定之标准(、或 一些标准)做为基础而形成自复数个站台的一群站台，一用于形成站台群组的标准是为该分别的站台功能性(举例而言，用以执行一特别之蚀刻方法步骤、或是分别地，用以执行一具有特别之蚀刻参数的特别蚀刻方法步骤的一站台群组之该等站台的容量)，特别地是，一站台群组是可以为一封闭的站台群组，并且，一站台群组的该等站台是可以举例地具有一可交换的功能性。 

一资源池是为，特别的，一封闭站台群组之该等站台的一真实、或是非真实次组，一资源池乃是藉由自一站台群组辨识某些站台、并以该站台群组的一分析做为基础所加以形成，因此，一资源池是为一站台群组的一次组，再者，一站台群组乃是利用该资源池的该等站台会于实质上藉由预先决定在该等站台之间的该等路径而均匀地加以使用的方式，而形成自一站台群组的该等站台。 

一工作种类是表示，特别的，在来自一被传送进入一站台系统之物品、或是，在一物品的处理期间的一产品之生产中的一部分步骤，举例而言，在从晶圆开始的一相对应半导体产品之生产期间，的该沉积、蚀刻、离子植入是为不同的工作种类。 

一产品群组、或是工作型态是代表，特别的，一待产生的特殊产品(例如，一特殊的内存芯片)，其是可以藉由至少一工作种类来处理一物品而加以产生。 

一传输向量(通常，标示为λ)是为向量，而其分量乃会被传输进入该站台系统之中，其中，该等向量是会包含有关一产品群组中有多少物品是属于该分别之向量分量的信息。 

本发明的一基本概念是可以在以一分别之站台功能性做为基础(举例而言，用以执行一蚀刻方法之一站台全组的容量)、而将一站台系统之由站台所形成的该网络分开成为站台群组(亦称之为关是构件)的操作中看出，换言之，较佳地是，一分别的站台乃是属于至多、或是恰巧一个的站台群组，再者，此分解是包含资源池的形成，也就是说，较佳地是，一封闭之站台群组的分离次组，此外，在该等资源池中，源自该分解之该等工作的路径乃是以在站台间之负载最小化、或是负载均匀化做为基础、并藉由决定该等资源池的一负载分配而受到控制、或是进行设定。 

因此，该等物品乃会举例地以该整体负载不会变得太大以及该等 负载会尽可能均匀地被分布至该等站台的方式，而被分布至该等个别的站台，因此，即可以避免该等具有物品之站台陷入困境、或是匮乏，所以，以该已决定之负载分配做为基础，该等物品是会被分配至该等资源池的该等站台，也就是说，该等工作会按照路线进行发送。 

此是在该等站台处提供了该等物品，例如，一晶圆批次的该等晶圆，之特别经济的一处理程序，其是提供了具有非常高生产力的处理程序。 

如此的结果是，该C/R规则是可以利用站台之复杂网络亦会达成一良好效能，特别是，避免容量损失，的方式，并藉由此方法而举例地进行扩张、或是进行修饰，此外，该负载乃会在该网络之中均匀地进行分布。 

因此，该决定一工作顺序、或是将物品分布至一站台系统之站台的问题是可以藉由在该等资源池层次导入最大储量而扩张该传统之C/R规则而获得解决。 

根据本发明该等站台的该容量，其是比习知技术所熟知之计画以及操作方法的使用更为良好，此外，在该站台场中是可以达成一更均匀的负载分配，藉由负载最小化以及负载均匀化，操作系统以及资源池的不稳定是可以加以避免，至于无法避免的不稳定则是可以在增加用于在该操作层次之特别工作种类发展的队列的趋势之前，先行获得较佳的辨识。 

由于该等站台成为站台群组的分解，因此，在一计算时间是可以达成一显著的速度优势，再者，简单的参数是加以设定使得在一非常短的时间内建立以及解决测试方案成为可能。 

本发明较佳的实施例则是可以获得自附属的权利要求。 

该等站台形成该复数个群组的该分群乃是在考虑到该等物品分配与该等站台间之关是的可能性而加以实行，因此，除了该仅有的工作状况之外，用于控制物品分配至站台的一额外标准是可以加以产生。 

该等站台形成该复数个群组的该分群是较佳地藉由形成该等站台相关于一或多个工作种类的一过渡包络(transitive envelope)而加以执行，且一工作种类乃会对应于一物品之该处理程序的一处理区段(process section)。 

较佳地是，该等站台群组乃是以不同之站台群组是为分离的方式 而加以形成。 

再者，该等资源池是可以利用该等站台可以藉由对于在该资源池之该等站台间之路线加权的一适当选择而于实质上被均匀地加以使用的方式来加以形成，因此，该工作的路线排定、或是，分别地，在该资源池之该等站台间的待处理物品的分配路线排定，其在该整体系统的最佳化中乃具有一重要程度的自由度。 

另外，一负载分配乃是以负载最小化以及负载均匀化做为基础，也就是说，以两个标准做为基础，并以在负载最小化以及负载均匀化之间之优先级是会藉由一加权而预先加以决定的方式来加以决定，举例地，其是有可能以一使用者特有、以及适合该个别例子之需求的方式而预先决定有多少负载最小化(亦即，该整体负载之重要性)以及该负载均匀化(亦即，将该负载均匀分布至不同站台的重要性)会相关于彼此而进行加权。 

特别地是，该加权乃可以利用该负载均匀化会接收比该负载最小化更高的一优先权的方式而加以预先决定，此是可以藉由预先决定在该等数值中的参数而加以完成，且在该等数值中，于该两个最佳化标准间之该加权是会进行编码。 

当决定该负载分配时，在站台之间用于将该等物品分布至该等站台的路线是可以加以决定，这些路线是可以进行加权，也就是说，不同的路线可以具有不同的分布比例。。 

该等资源池的该负载分配是可以加以执行，特别是，藉由使用用于凸面二次程序的原始双重方法(primal dual method)，用于凸面二次程序的原始仿射尺度法(primal affine scaling method)，或用于凸面二次程序的活化建立方法，举例地，该最佳化是可以藉由使用根据该等非线性最佳化方法的其中之一的一二次程序而加以执行，这些可以根据本发明而加以使用之二次最佳化方法是可以在，举例而言，参考文献[3]中发现。 

该等物品乃会依照该已决定之负载分配而被分布至该等资源池的该等站台。 

根据本发明的另一实施例，该等物品是可以藉由考虑到在一接续资源池前面的至少一个资源池而被分布至该接续的资源池，举例地，乃会举行对于一按顺序安排控制点之该每一个资源池下游中的该网络 状态的处理，而举行的方式是为，该顺序乃会依照该C/R方法、并利用避免资源池陷入困境或匮乏的方式而加以改变，所以，为了这个目的，根据本发明，具有至少一接续资源池的至少一在前资源池是会完全地受到考虑，且在该等资源池之间，乃具有一耦接、或一活性关性。 

特别地是，该等物品是可以利用关键比例标准(critical ratiocriterion)而被分布至该接续的资源池。 

较佳地是，若是该等被分布至该资源池之物品的数量超过一第一临界数值时，则将该等物品分布至此接续资源池的操作即会被中断，举例地，此是意欲于避免一资源池变得陷入困境，而此乃会负面地影响一物品组的处理，举例而言，若是该资源池的一缓冲是可以不再接受额外的物品时，则该分布，亦即，物品对于此资源池的重新供给，乃会被打断，而该在前资源池则是可以将物品分布至，例如，其它的资源池、或是最初即完全地中断该分布。 

较佳地是，若是该等被分布至该资源池之物品的数量是下降至低于一第二临界数值时，则将该等物品分布至此接续资源池的操作即会继续，此方法是可以用以避免一资源池陷入困境，特别地是，在一由于超过该第一临界数值而打断该等物品对该接续资源池的分布之后、该接续的资源池乃会再次地具有接收容量的方案之中。 

再者，已经决定之将该等物品分布至该等站台的操作乃是藉由一仿真而进行变化，较佳地是，其会具有互补于根据本发明之方法的一功能。 

所以，为了这个目的，根据本发明之该方法之用于该等物品的输出参数是可以被使用做为用于一仿真软件的输入参数，藉此，其是有可能检查物品的该已侦测分布是否可以存活一应用相关的仿真，举例而言，该藉由Brooks Automation^TM公司所产生、且是为一特别用于半导体程序之逻辑运算的仿真工具的软件产品ASAP^TM(AutoSchedaccelerated processing)是可以用于此目的，特别地是，其是可以用于仿真预期的瞬间时间，利用如此的一仿真是使得有可能可以更进一步地增加物品对一站台系统之站台的一以侦测分布的可靠性。 

该将该等物品分布至该站台系统之该等站台的分布步骤是可以包含控制该物品之处理顺序的步骤。 

再者，该等物品对该站台系统之该等站台的分布是可以以该等物 品的一处理时间做为基础而举行，根据本发明之该方法的一必要特征是为，保持一连续通过复数个站台之物品之处理时间的短暂。 

较佳地是，该站台系统是为一半导体处理站台系统。 

较佳地是，该物品是为一晶圆、或是一具有复数个晶圆的晶圆批次，特别地是，一硅晶圆、或是一硅晶圆批次。 

本发明是提供一半导体站台系统的一传输容量检查以及一获改善的线路控制，再者，在该生产容量中的增加则是特别地使得高负载方案成为可能。 

藉由本发明，一EXP完整问题是可以藉由成为NP完整问题的分解而获得转换，而用于负载最小化以及负载均匀化的该最佳化潜能则是会被维持住，并且，此潜能是会藉由利用一适合的演算式而在足够短的时间内实现，该问题等级EXP的特征是为，具有一会解决在指数时间中之问题的演算式的事实，该特征完整是表示，若是可以发现一决定演算式时，则该问题等级P以及BP的可变性都是相同的，此外，若是具有一会解决在多项时间中之问题的非决定演算式时，则一问题是可以被称之为NP完整(NP-complete)。 

其是亦可以看见本发明的一概念，亦即，在一半导体控制程序的该线路生产之中，排序(sequencing)与固定(rooting)是分开的。 

根据本发明之该方法所叙述的实施例是亦可以应用于装置、计算机可读取储存媒体、以及程序组件。 

附图说明

本发明的示范性实施例是显示于图式之中，并且，将于接下来的文章中进行更详尽的解释。 

图1A：其是显示根据本发明之一站台系统的一概略表示； 

图1B：其是显示根据本发明之一另一站台系统的一更详尽表示； 

图1C：其是显示根据本发明之一较佳示范性实施例，用于决定在图1B的该站台系统中将晶圆分布至站台之方法步骤的一流程图； 

图1D：其是显示根据本发明之一较佳示范性实施例，在图1B所显示之控制计算机中所执行之用于决定在图1B的该站台系统中将晶圆分布至站台的方法步骤的一流程图； 

图2A以及图2B：其每一个是显示在一半导体处理方法期间，必须依照两个不同之工作型态而进行处理之多个连续工作种类； 

图3：其是显示一表格，沿着行所列为工作种类，以及沿着列所列是为站台； 

图4：其是为显示在一网络中嵌入一群站台的概略表示； 

图5：其是为显示一站台系统之不同站台的利用的图式； 

图6：其是为显示一在前以及一接续群资源池的一示意图式； 

图7：其是显示依照本发明的一较佳示范性实施例，显示工作种类、站台、以及相关于该等工作种类之一到达向量(arrival vector)的一表示； 

图8：其是显示根据本发明的该较佳示范性实施例，一操作次数矩阵的一表示； 

图9：其是显示根据本发明的该较佳示范性实施例，依照该等工作种类观点之按照路线发送可能性的一矩阵，而该工作种类的轮询循环乃是以此做为基础而进行计算； 

图10：其是显示根据本发明的该较佳示范性实施例，一使用矩阵以及一使用向量；以及 

图11：其是显示根据本发明的该较佳示范性实施例，依照该站台观点，工作种类之该等待达成按照路线发送的一矩阵，而该等站台的轮询循环乃是以此做为基础而进行计算。 

具体实施方式

在不同图式中，相同或是类似的构件乃会被提供以相同或是类似的数字。 

在接下来的文章中，一概略的半导体处理站台系统100，包括第一至第七站台101至107，是以图1A做为参考而进行叙述。 

该等站台101至107的每一个皆是为了在一半导体晶圆的处理程序期间达成一特别的功能性而加以建立，例如，为了执行下列的处理步骤： 

-用于产生多层的方法(例如，自气体态沉积的方法，CVD方法，热氧化，气相沉积方法，溅镀方法，用于旋涂的方法，藉由离子植入产生多层，藉由晶圆接合以及回蚀产生多层，回火(tempering)方法等)； 

-微影方法(举例而言，用于形成光阻图案的方法，光曝光方法，X-射线微影方法，离子微影方法等)； 

-用于移除多层的方法(举例而言，湿蚀刻，湿化学蚀刻，化学机械研磨，干蚀刻，物理干蚀刻，化学干蚀刻，化学物理干蚀刻等)； 

-藉由掺杂原子而掺杂一层(举例而言，热掺杂，藉由离子植入而掺杂，掺杂原子的活化与扩散，掺杂原子的扩散，未掺杂物质的扩散等)；以及 

-清理步骤。 

该半导体处理站台系统100乃会批次地被供以待处理的晶圆。 

将晶圆送进该半导体处理站台系统100的供给乃是藉由一传输向量λ而加以叙述，根据所显示的示范性实施例，为一第一工作型态的晶圆108以及为一第二工作型态的晶圆109是会被传输进入该半导体处理站台系统100之中，而该工作型态108，109、或是产品群组则是会对应于藉由利用该等站台101至107的不同晶圆处理而加以生产的两种不同产品，再者，向量λ的该等分量乃会包括有关要在半导体处理站台系统中依照一分别的工作型态108、或109而进行处理之晶圆之数量的资料，举例而言，根据工作型态108，每单位时间(例如，天、或星期)的处理数量为500个晶圆，以及，举例而言，根据工作型态109，单位时间的处理数量为200个晶圆。 

站台101至107之系统是为一复杂的网络，所以，为了这个理由，是具有用于处理利用该等站台101至107所供给之该等晶圆的不同可能性，不同的处理路径乃是藉由在图1A中的不同路线111而加以到达，举例而言，为该第一工作型态108的一供给晶圆是可以于一第一处理步骤中，在该第一站台101处、或是在该第二站台102处进行处理，而为该第二工作型态109的一供给晶圆则是可以，举例而言，在该第二站台102处、或是在该第三站台103处进行处理，另外，根据相关于一分别之工作型态的该等处理步骤，不同的路径是有可能沿着该等机械101至107，因此，举例而言，为该第二工作型态109的一晶圆是可以连续地在站台102-104-105处进行处理、或是可以连续地在站台103-107处进行处理。 

在接下来的文章中，另一个根据本发明之半导体处理站台系统120是以第B图做为参考而进行叙述，该半导体处理站台系统120是具有用于执行仅两种不同处理步骤(沉积以及蚀刻)的站台，实际上，一半导体产品的生产是可以包含一相当大量的部分步骤(典型地，100)， 一具有仅两个处理步骤的系统是为了简化解释的理由而显示于图1B之中。 

该半导体处理站台系统120是具有5个站台121至125，亦即，一第一沉积站台121，一第二沉积站台122，一第一蚀刻站台123，一第二蚀刻站台124，以及一第三蚀刻站台125，其中，该第一以及第二沉积站台121，122乃是为了在一半导体晶圆上沉积一氧化硅层而加以建立，以及该第三至第五站台123至125乃是为了图案化，例如，可以藉由该第一以及该第二沉积站台121，122而被施加至一晶圆上的一氧化硅层(利用一微影方法以及一蚀刻方法)。 

该半导体处理站台系统120是亦具有一查询传送单元(inquiry-transmitting unit)126，而藉由该单元，一控制信号是可以被传送至一控制计算机127，因而使得一预先决定数量之半导体产品(例如，依照顾客的订单)是会在该半导体处理站台系统120中进行处理，且如此的控制信息乃是可以自该查询传输单元126，经由一第一通信连接128而被传送至该控制计算机127，再者，该查询传送单元126是会经由一第二通信连结130而被耦接至一晶圆储存库129(以用于提供、或重新供给空白晶圆)，该查询传送单元126是可以藉由一控制信号而命令该晶圆储存库将晶圆馈送进入该等站台121至125的系统之中，以用于产生该半导体产品。 

该控制计算机127是会包含一输入/输出单元131，以用于与该半导体处理站台系统120的连接构件进行通信，一内存132，以用于储存资料，以及一CPU，其中是储存有一可以执行控制该半导体处理站台系统120所需要之方法步骤的程序，此外，依照根据本发明之该方法而决定该等站台121至125之晶圆分布所需要的计算乃是藉由该控制计算机127、或者，更精确地说，藉由其CPU 133而加以执行。 

该半导体处理站台系统120乃是藉由该控制计算机127而加以控制，而控制的方法则是，要自该晶圆储存库129被传送至该等站台121至125之该等晶圆的一分布乃是以该等站台121至125之负载会进行最小化、且会尽可能均匀地分配至该等站台121至125的方式而加以执行。 

由于来自该查询传送单元126的一控制信号，该晶圆储存库129是可以供给该第一以及该第二沉积站台121，122一可预先决定数量的 晶圆，并且，当该分别之沉积站台121或122在一特别的时间接受一晶圆接收时，则晶圆乃会分别地被供给至该第一以及第二沉积站台121，122， 

在该等站台121，122每一个之中所包含的一控制单元所做出有关该站台121，122是否会，或是不会在一特别的时间接受来自该晶圆储存库129之晶圆的决定乃是藉由执行在该控制计算机127中之资料的一轮询整合的该分别控制单元而加以决定(请参阅图1C)，而以该等站台121至125的当前资料(例如，使用、发送路线信息等)做为基础，再藉由该根据本发明之方法的效能，如此之藉由一控制单元(伴随着一内部时脉)而对该控制计算机127的一询问则是会包括被包含在该控制计算机127之中且已经藉由该控制计算机127完成计算以及储存之资料的询问，换言之，该第一晶圆分布单元134是会将待处理的晶圆自该晶圆储存库129分布至该等站台121，122。 

该第一以及第二沉积站台121，122是可以经由一第三以及经一第四通信连结136137而执行与该控制计算机127的一资料、或信号交换，一方面，该等沉积站台121，122是可以将它们的容量利用、在它们之输出端处等待处理之晶圆的数量等经由该等通信连结136137而报告至该控制计算机127(例如，以规律的时间间隔)，另一方面，该等沉积站台121，122是可以自该控制计算机127重新取回资料，而以此作为基础，则该等沉积站台121，122乃可以(依照它们内部时脉的当前资料而)做出它们是否现在会、或不会自该晶圆储存库接受新的晶圆、或是，分别地，该等沉积站台121，122是否以及藉由什么加权而提供接续的蚀刻站台123至125给晶圆的内部决定。 

因此，该控制计算机127是会经由该第三以及第四通信连结136，137而获得有关该第一以及第二沉积站台121，122之操作状态(举例而言，有关该等站台之当前容量以及容量利用)，的信息，而此信息则是被该控制计算机127所使用，以用于产生可以藉由该等站台121至125之每一个而加以询问的资料(例如，一表格、或是档案的形式)，进而在每一个例子中做出有关心晶圆之接收/退回的站台特有决定。 

藉由利用该第一或第二沉积站台121或122之功能、且利用一氧化硅层已经被沉积在该等晶圆之上的方式而加以处理的晶圆乃会被供给至该等接续的蚀刻站台123至125。 

资料或控制信号是可以，一方面，在该第一至第三蚀刻站台123至125的控制单元之间进行交换，以及，另一方面，是可以经由第五至第七通信连结142至144而被交换至该控制计算机127，举例而言，该第一至第三蚀刻站台123至125是可以将有关它们的容量利用是什么、以及晶圆是否、或是有多少数量被包含在该第一至第三蚀刻站台123至125的缓冲之中的信息通信至该控制计算机127，除此之外，根据本发明的该方法，该控制计算机127乃会以此信息、藉由被包含在该等站台121至125每一个之中的一控制单元而可以为该等站台121至125之任何一个所存取的资料作为基础而进行计算，其中，该资料是为该等站台121至125之每一个有关该分别之站台121至125当前是否接受新的晶圆的基础。 

藉由该第一至第三蚀刻站台123至125所处理的晶圆是可被提供至一晶圆接收单元145。 

举例地，该晶圆储存库129，该等站台121至125，以及该晶圆接收单元145是会形成晶圆加以分布的该实体层次，而在举例的逻辑层次，该等晶圆对于该等站台121至125的一较具优势的分布乃会在该控制计算机127之中进行计算，以及乃会以资料的形式进行储存(较佳地是矩阵的形式)，并且，该等站台121至125的该等控制单元乃会在该逻辑层次与该控制计算机127进行通信，以及乃会询问在该处所产生的表格(轮询询问，图1C)。 

在接下来的文章中，此轮询询问是会以在图1C中所显示的该流程图150作为参考而加以叙述。 

在一开始的该循环152，一分布器是会在一第一步骤154中、于一工作每次到达时以及在一操作的每一次结束时被活化。 

在一第二步骤156之中，一数量之站台是否空闲的检查是会加以完成。 

若是此是为是时，一清楚的工作种类乃会在一第三步骤158中加以决定，在接续的第四步骤160中，一站台乃会根据PPJ而被选择用于处理，其中，PPJ是为根据工作种类之观点的一轮询表，亦即，一m列表是列出每一个{1，2，...，n}之外的组件，其中，m是为工作种类的数量，以及n是为站台的数量，该所选择之站台的该列表是会旋转向上到达在PPS中所考虑的该工作种类，其中，PPS是为根据该站台观 点的一轮询表，亦即，一n列表是列出来自{1，2，...，m}的组件。 

若是在该第二步骤156中的该检查是提供了一个负结果时，则根据PPS的该工作种类乃会在该第五步骤162中为了自由的站台而进行选择，而该所选择之工作种类的列表则是会在PPJ中旋转向上而到达该所考虑的站台。 

在该第四步骤160之后、或是，分别地，在该第五步骤162之后，该循环164是会结束。 

在接下来的文章中，是再次以图1B作为参考。该等站台121至125的每一个是可以使用在该控制计算机127以及该实体层次之间的该等通信连接，以根据一可预先决定之询问循环而在该控制计算机127中询问资料(例如，列表组件的数值)，这是在该等晶圆乃是依照这些资料而加以分布在站台121至125之上的时候。 

在接下来的文章中，一对应于在该控制计算机127中之一方法顺序的流程图170是以图1D作为参考而进行叙述，其中，该流程图170是对应于一种根据本发明之一较佳示范性实施例的方法，而藉此，其是会决定该等晶圆是如何被分布至该等站台121至125。 

在一第一步骤172之中，该控制计算机170是会自站台121至125以及自该查询传送单元126接收输入数据，该输入数据是会包括有关该等被供给之待处理晶圆的信息(数量、重新供给率等)，以及有关在该等站台121至125上处理参数的信息(该等站台的使用、在该等站台之缓冲中的晶圆、该等站台的效能资料、时间信息等)。 

而以该被提供至该控制计算机127的信息作为基础，在一第二步骤174之中，则是会自该等站台121至125形成封闭的站台群组，换言之，该等站台121至125乃会依照它们于该逻辑层次的功能而被分组成为站台群组，亦即，藉由使用于该控制计算机127中之该内存132里的逻辑主旨。 

再者，资源池乃会以负载最小化以及负载均匀化之标准作为基础，而在一第三步骤176中，形成自该等被形成的站台群组，而该等资源池则是利用该资源池的该等站台可以藉由对于在该等站台121至125之间路线的适当选择而尽可能少、以及尽可能均匀地加以利用的方式而加以形成。 

在一第四步骤178之中，该等站台121至125的缓冲容量是会进 行计算，换言之，该等晶圆对于该等站台121至125的一如此之分布乃会藉由在该控制计算机127中的该等步骤176以及178而进行计算而使得在该等站台上的总负载会尽可能的为小，该等站台是会同时地尽可能均匀地被利用，以及一分别的站台并不会被重新供给以如此之一数量的晶圆，因而使得该被包含在一分别之站台121至125之中之该缓冲的该容量会超过，而此则是不仅避免该等站台121至125陷入困境，也避免匮乏。 

在一第五步骤180之中，该控制计算机127是将如此的控制信号传送至该等站台121至125的该等控制单元，因而使得位在该生产线中的该等晶圆是会依照该已决定之负载分配而被分配至该等站台121至125。 

图2A是显示，举例而言，具有称号“C5PR”的一第一产品群组200，其是对应于一特别的工作型态，其中，资源池201乃会藉由在此工作型态中紧接彼此的该等工作种类而加以探查，以及相关的工作种类乃会被执行，以产生该相对应的产品。 

再者，图2B是显示被分配至另一个半导体产品的一第二产品群组250(亦即，一第二工作型态)，而为了产生此产品，多个资源池251乃会进行探查，并于该处依照在每一个例子中该相关工作种类的诀窍而加以执行，而该第二产品群组250则是标明为称号“C5OP”。 

该等资源池201，251的每一个是会被提供以一代表一分别之生产步骤的字母，举例而言，字母N是代表“湿蚀刻”，O是代表“火炉”，A代表“沈积”，P代表“电浆程序”，F代表“光微影”等，而相关于一分别之资源池的数量则是一代号，也就是说，一特别的资源池是具有一组特别的可交换功能、且可以根据相关于这些，依次，属于某些处理参数之可交换功能的工作种类而接受以及均匀地分布负载，至于处理参数的一般实例则为，处理时间，处理条件(例如，压力以及温度)，以及处理材料(例如，蚀刻材料，沉积材料等)，举例而言，N4以及N13是代表管理一湿蚀刻方法的资源池，其中，该等相关的工作种类是不同在于该等个别的蚀刻参数(例如，蚀刻剂，蚀刻时间，压力，以及温度)。 

为了工作种类以及一或多个工作种类可以在上面加以执行之站台的一举例说明且清楚、并可轻松进行传送之表示的目的，一资源池的 一矩阵表示是可以加以形成，且该资源池是包含有复数个站台，而一资源池之如此的一矩阵表示则是显示在图3之中。 

在接下来的文章中，显示在图3中之一资源池300的该矩阵表示(资源池LPCVD POLY SI(03)”)是会进行叙述。 

为了产生该资源池300，一站台系统的站台是首先会分群成为封闭的站台群组，并且，是会选择形成该资源池的一站台次集合。 

沿着矩阵300的行301，是列着不同的工作种类，举例而言，其第一个是标示为B62006，沿着该矩阵300的列，是列着不同的站台，其第一个是标示为509-118，该矩阵在一行301与一列302之交叉点处的一分别组件是会具有一逻辑数值“0”、或是逻辑数值“1”，其中，该矩阵300之一组件的一逻辑数值“1”是代表，该属于该分别行的该工作种类是可以在该被分配至该分别之列的该站台处执行，举例而言，工作种类B62006是可以在机器509-118上执行，至于一逻辑数值“0”则是代表，该分别之工作种类无法在该分别之机器上执行，举例而言，工作种类B62021无法在机器509-118上执行，因此，图3中为一列表形式的该矩阵表示乃是一显示在哪些机器上可获得哪些工作种类的数学表示。 

在接下来的文章中，其是要叙述，根据本发明之方法的一较佳示范性实施例，物品，也就是说，晶圆，是如何被分布至一站台系统的站台之上。 

首先，一站台系统的站台是会以分别之站台功能性作为基础而分群成为复数个站台群组。 

一封闭的站台群组、或是关联构件是为一刚好够大的一站台群组，因此，考虑到利用在该工作分配中的自由度，该封闭站台群组没有工作负载可以加以实行。 

一封闭之站台群组是定义如下：当具有一系列工作种类z₁，...，z_n，以及一站台更替m₁，...，m_n-1时，两个不同的站台x以及y是精确地位在相同的封闭站台群组M之中，因此， 

₁是会在x以及m₁上被释放； 

z_i是会在m_i-1以及m_i上被释放，i＝2，...，n-1； 

z_n是会在m_n-1以及y上被释放。 

因此，一封闭的站台群组即表示，相关于“具有在站台x以及在 站台y皆被释放的一工作种类”之关系的过渡包络(transitiveenvelope)。 

举例而言，该第一至第三站台101至103是会形成在图1A中的一封闭站台群组110，而在一特别的部分步骤中，该第一工作型态108则是可以在该第一站台101、或是在该第二站台102处加以执行，反之，该第二工作种类109是可以在该第二、或是该第三站台102、103处加以执行。 

举例地，该等站台是具有一封闭的站台群组，以及因此一可以利用一特别之方式而互相交换的功能，也就是说，一负载是可以跨越该站台群组之一个或一任意数量之中间站台而进行交换，举例而言，所有具有蚀刻通孔功能的站台是可以为一站台群组的站台。 

在接下来的文章中，一封闭的站台群组400是以图4作为参考而加以叙述。 

图4是显示在一复杂网络中之一封闭站台群组的设置，沿着该站台群组400之矩阵形状表示的列，第一至第七站台401至407是加以举例说明，而沿着该矩阵形状之封闭站台群组400的列，则是列着第一至第五工作种类401至407，该矩阵400的每一个单元场(cellfield)是会具有一逻辑数值“0”、或是“1”，而此乃是根据一特别的站台是有为了该分别之工作种类而被释放(“1”)、或是没有(“0”)，举例而言，该第一站台401是会为了该第一、第四、以及第五工作种类409，411，4122而被释放，反之，其是不会为了该第一以及第三工作种类408，410而被释放，其中，以该封闭站台群组400之观点作为基础的一工作计画是标示以参考符号414，而在该封闭站台群组400被置入该复杂之生产的期间，也会执行一随机延迟415。 

在接下来的文章中，一用于决定该封闭站台群组400的演算式是载明为伪码(pseudo code)： 

i：＝0； 

R：＝L； 

WHILE 

{ 

i：i+1； 

j：＝0； 

随机地选择1∈R；L_i ⁽⁰⁾：＝1 

DO{ 

    j＝j+1； 

计算 

计算 

}WHILE 

N_i＝U_j N_i ^(j)，对所有的j而言， 

L_i＝U_j L_i ^(j)，对所有的j而言， 

R：＝R\L_i

} 

在上述的伪码中， 

L是为该所有工作种类集合 

R是为仍然待考虑之工作种类的池 

L_i是为第i个封闭站台群组的该工作种类集合 

N_i是为第i个封闭站台群组中的站台集合 

F(1，m)是为在机器m为了工作种类i而被释放时，假设该逻辑数值“1”的释放指示功能，逻辑数值“0”是表示，该机器m对工作种类i是封锁的。 

在接下来的文章中，是会叙述前面的伪码。 

一控制变量i是加以设定为数值零，该仍待考虑之工作种类集合R是属于该所有工作种类集合L，再者，一WHILE循环是加以执行，只要该仍待考虑之工作种类池R并非为一空的集合即可，也就是说，只要仍然具有尚未事先考虑的工作种类即可，该控制变量i是会增加1，另外，一分量(0)是被作为该站台集合的空集合而被导入该第i个封闭站台群组N_i之中，类似地，一分量(0)是被作为该工作种类集合的空集合而被导入该第i个封闭站台群组L_i之中，一控制变量j是被设定为0，此外，从仍待考虑之工作种类池R是会随机地选择出一个1，以及工作种类之该第i个封闭群组L_i之该工作种类集合的第一个分量(0)是会被设定为数值1，紧接着，一DO循环是会加以执行，只要N_i ^(j)不是一当前数值j的一空集合即可，该控制变量j是会增加1，再者，N_i ^(j)是会形成自机器m，为此，该释放指示功能是为f(1，m)＝1，同时，1是为一组件L_i ^(j-1)，以及该机器m并非该等分量N_i ^(k)集合之结合 的一组件，其中，k＜j，另外，L_i ^(j)是形成自1，具有特性f(1，m)＝1，以及该机器m是为一组件N_i ^(j)，紧接着，该DO循环是可以再次运作，而在该DO循环结束之后，该第i个封闭群组N_i之站台集合乃会被定义为所有数值j之所有分量N_i ^(j)之集合的结合，再者，该第i个封闭站台群组L_i的工作种类集合是加以定义为所有数值j之所有分量L_i ^(j)之集合的结合，之后，工作种类L_i的该第i个封闭群组的工作种类集合乃会自该仍待考虑之工作种类池R被排除，在那之后，该外部WHILE循环是可以再次运作。 

在根据本发明之该用于分布物品至一站台系统之站台的方法的另一方法步骤中，乃会形成复数个资源池，一分别的资源池是包括一站台群组之站台的至少一部份。 

一资源池乃是形成自一封闭之站台群组之分离的次组，图3是显示一资源池300。 

若是一封闭站台群组亦总是作用为一资源池时，则对依工厂的操作而言是理想的，这是因为，该机器群组(站台群组)的所有站台皆会在统计平均中被利用至相同的范围，然而，经常地是，在一封闭的站台群组中会具有资源池的岛(islands)，若是所有的工作种类是可以利用相同的方式(也就是说，相同的处理速度)而在一资源池的范围内于所有的站台处执行时，此是称之为一均匀资源池，而若不是时，则其就是一非均质资源池。 

根据此示范性实施例，一资源池乃是以该封闭站台群组的一分析作为基础，并藉由自一站台群组中辨识出某些站台所加以形成，因此，一资源池通常会是一封闭之站台群组的一次组，一资源池乃是利用该资源池的该等站台乃可以藉由该等站台间路线的一适当选择而被均匀地利用的方式而形成自一封闭之站台群组的(一些)站台，所以，具有可相互交换功能性之一资源池的站台是会分享一共同工作、或是负责一共同目的。 

在将晶圆分布至一半导体处理站台系统的方法的另一方法步骤中，一负载分配，亦即，以负载最小化及/或负载均匀化作为基础之晶圆的有利分配乃会为了该封闭的站台群组而加以决定。 

换言之，一负载分配是会在该等封闭之站台群组已经决定之后才会加以决定，而此负载分配的标准，一方面，则是，该等站台乃会尽 可能有效率地被利用，因此，该整体负载会低，以及该等负载是会尽可能的被分配至该等站台。 

根据该所叙述的较佳示范性实施例，此乃是藉由解决每一个封闭站台群组于下列的最佳化问题而加以完成： 

最小化： $c_1\underset{j=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}{U}_j+c_2\underset{j=1}{\overset{m}{\mathrm{\Σ}}}{(U_j-\frac{1}{n}\underset{j=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}{U}_j)}^2$ 方程式(1) 

考虑到下列的条件： 

0≤p_ij≤1，i＝1，...，m，j＝1，...，m       方程式(2) 

p_ij＝0，当f_ij＝0            方程式(3) 

$\underset{j=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}{p}_{\mathrm{ij}}=1,$ i＝1，...，m    方程式(4) 

0≤U_j≤1，j＝1，..n  方程式(5) 

方程式(1)至(5)的量是定义如下： 

m   在该考虑中之封闭站台群组里之工作种类的数量 

n   在该考虑中之封闭站台群组里之站台的数量 

i   该等工作种类的控制变量 

j   该等站台的控制变量 

U_j  站台j的使用 

c₁  负载最小化的加权参数 

c₂  负载均匀化的加权参数 

f_ij 载明在站台i上之工作种类i是被释放(“1”)、或未被释放(“0”)的指示功能 

p_ij  一工作种类i按路线发送至站台j的可能性，而该相关的可能性矩阵则是P。 

必须要注意的是，额外的、或是替代的次级条件是可以选择性地被导入，举例而言，以负责品质保证之需求，举例而言，其是可以加以执行为一额外的次级条件，因而使得p_ij应该会大于特别选择之工作种类i、或是选择之对(i，j)的一最小比例。 

再者，下列的量是加以导入： 

λ_i工作种类i的到达速率，其中，i＝1，...，n，且λ是为相关传输向量 

b_ij  在站台之工作种类i的处理时间，操作次数的相关矩阵是为B 

q_ij  站台j藉以负责工作流i的频率，该相关发送可能性矩阵是为Q。 

举例而言，使该等物品，亦即，晶圆，到达半导体处理站台系统之站台的分布是藉由两方面的考量而进行最佳化： 

1.该站台应该尽可能有效率进行利用，以最小化该负载(例如，快速或生产的站台应该要比慢的或是较少生产的机器获得一更高程度的利用)；以及 

2.该等站台应该要尽可能均匀地被利用。 

在接下来的文章中，这些限制条件的物理数学理由乃会以显示在图5中的图式500作为参考而进行解释。 

在图式500之中，一站台系统的不同站台A1，A2，A3，...，An是被沿着横坐标501进行绘制，而沿着纵坐标502，则是以一分别之利用柱503的形式而标绘一分别的站台，根据显示在图5中之该站台系统的该等站台的操作状态，站台A1至An之每一个使用乃会少于100％，因此，该等使用分布在一平均偏斜 

周围。 

根据队列(queues)的理论，站台之整体使用越低(亦即，最小化使用)以及在该平均值周围之该等个别站台之该等使用的波动越低(亦即，该使用越均匀)，则所预期之在一站台系统之站台处之晶圆的传递时间(等待时间加上处理时间)数值就会越短，因此，一低的整体使用，以及同时，一均匀的使用对经济处理上之具有优势的，这两个标准是皆会在方程式(1)之最佳化问题中受到考虑，亦即，在第一项中的负载最小化，以及在第二中的负载均匀化。 

预先定义加权c₁以及c₂是使得在决定该晶圆到达该站台系统之站台的分配中可以设定该两个标准的分别影响的强度。 

该等加权c₁以及c₂是可以加以选择为，举例而言，c₁＝c₂＝1，对应于，分别地，负载最小化以及负载均匀化两方面的一均匀加权，若是该负载均匀化的标准被设定为相较于该负载最小化之标准而为更大(c₁＞c₂)时，则c₂＝5以及c₁＝1会是一个良好的选择，而若是负载均匀化的标准被忽略(c₂＝0)时，则在所需要之计算机计算时间中一相当程度中减少是可以加以达成，其乃会提供至多大约70％之良好 结果，特别是，在容量使用的例子中的时候，若是考虑中的系统是为一多站台的系统、或是，分别地，以复杂之方式向互耦接之站台系统时，则忽略该负载均匀化是可以加以考虑，因为在如此的一方案中，有关数字方面的努力将会变得非常的大。 

根据该所叙述的示范性实施例，根据方程式(1)的该最佳化问题是会藉由在MathematicaTM中利用非线性最佳化的一标准方法的二次方程式而获得解决，非线性最佳化的一特别适合的方法是为“用于凸面二次方程式的最初双重方法”，其是叙述于，举例而言，参考文献[3]，[4]之中，其是必须要注意的是，在此方面，于参考文献[3]之p.524上的该第五步骤(计算步骤长度)是应该要读为： 

α_p＝βmin[1，φ(x_i，d_xi)] 

α_D＝βmin[1，φ(u_i，u_xi)] 

其中 $\mathrm{\&phi;}\left(\begin{array}{cc}{h}_i,& h_2\end{array}\right)=\left\{\begin{array}{c}-\frac{h_1}{h_2}:h_2<0\\ \&infin;:h_2\&GreaterEqual;0\end{array}\right.$

一用于该二次最佳化之方法的理论基础是显示于参考文献[4]之中。 

该矩阵 

是定义如下： 

a_ij＝f_ijp_ijb_ij            方程式(6) 

在根据方程式(1)的该最佳化程序之中的该向量 $\stackrel{\&RightArrow;}{U}=\left(\begin{array}{ccc}{U}_1,& ..,& U_n\end{array}\right)$ 是获得为： 

$\stackrel{\&RightArrow;}{U}={\left(\stackrel{\&RightArrow;}{\mathrm{\&lambda;}}\right)}^{T}A$ 方程式(7) 

从站台q_ij的观点来看，该路线可能性矩阵Q乃是依照下列而进行计算： 

$q_{\mathrm{ij}}=\frac{{\mathrm{\&lambda;}}_f{p}_{\mathrm{ij}}}{\underset{i}{\mathrm{\&Sigma;}}{\mathrm{\&lambda;}}_f{p}_{\mathrm{ij}}}$

就该机器的观点来看，该具有其组件q_ij的该矩阵Q是可以直接地被用于询问该等工作流，特别地是，在一高负载(重流量)之下，而 此则是应用在并不需要任何额外的分析以及最佳化的区域之中，也就是说，若是该生产线之控制的自动化程度够高的话。 

在接下来的文章中，一轮询循环的形成是会加以叙述，其是可以举例地视为一中心分配协议，一轮询循环是叙述时间顺序，以及紧接着用于询问在考虑中之该等站台(装置、网络节点)的一方法或一程序。 

一轮询循环是以每一个工作种类都会在具有一相对应于该可能性q_ij之频率的一循环里进行询问的方式而加以设计来用于每一个站台，类似地，一用于每一个工作种类的轮询循环乃会以每一个站台会在具有一相对应于该可能性p_ij之频率的一循环里进行询问的方式而加以设计，该等轮询循环就站台以及就工作种类而言的相互影响是显示于图1C之中，藉由一小的以及中等的负载，在一自动系统中的频率是会如在参考文献[5]以及在参考文献[6]中所叙述一样地进行计算，换言之，该等相关于轮询循环的探查列表是可以依照在参考文献[5]以及在参考文献[6]中所叙述的方法而加以计算。 

正如所述，在参考文献[5]中，相较于特别是下列的式子(8.1)： 

$m_i~{\mathrm{\&lambda;}}_i+(1-\mathrm{\&rho;}-\underset{j=1}{\overset{N}{\mathrm{\&Sigma;}}}{\mathrm{\&lambda;}}_j{s}_j)\frac{{\left(c_i{\mathrm{\&lambda;}}_i\right[\frac{1}{1-{\mathrm{\&rho;}}_i}]/s_i)}^{1/2}}{\underset{j=1}{\overset{N}{\mathrm{\&Sigma;}}}{s}_j{\left(c_i{\mathrm{\&lambda;}}_j\right[\frac{1}{1-{\mathrm{\&rho;}}_i}]/s_i)}^{1/2}}$

在p.158上，每工作种类的探查数量乃是于一站台的该轮询循环中所决定，该比例因子是可以藉由决定具有一轮询循环之一预先决定最大长度的最佳共同推荐者而加以获得(一轮询循环的长度是典型地被选择为大约40)，不过，应该要注意的是，前述所提及之一非常重负载的例子乃是藉由一边界过渡而在参考文献[5]中被承认(零减去使用，减相关于零的冗余工作，相较于参考完现[5]，p.160，第一个完整的句子)。 

再者，在参考文献[6]中所叙述之该具有标题“Golden RatioPolicy”之方法是加以使用，其中，前提是为，在不同工做种类的处理 之间并不需要大规模的建立努力，例如，举例而言，在植入中的气体改变(比较参考文献[6]，p.356，章节“step 3：determination ofthe order within the table”)，根据此方法，在一轮询循环中的该等个别探查乃是以一个工作种类在连续探查之间的该等间隔会尽可能为相同的方式而进行配置，一旦该轮询列表的尺寸以及个别探查的数量两者其中之一已经被决定，则该列表是会举例地以该等探查的实时分布会尽可能均匀地加以执行的方式而加以配置。 

通常，其是足够以将矩阵P以及Q提供至一操作者(例如，该半导体处理系统的一监督者)以作为将晶圆分布至个别之站台的指令，作为一替代的选择，一控制装置(例如，一控制计算机)的该等矩阵P以及Q是可以被提供来用于站台的相对应自动控制，在半导体生产的大多数领域中(火炉技术以及植入储存)，并不需要更进一步的分析以及最佳化。 

根据依照本发明的该方法，为了将物品分布至一站台系统的站台，因此，该等物品乃会依照该所决定的负载而被分布至该等资源池的该等站台。 

其是特别具有优势地是，在一接续的资源池上分布物品，藉由考虑到在该接续资源池前面的至少一资源池。 

在接下来的文章中，是加以叙述根据本发明的该较佳示范性实施力，于位在一考虑中资源之下游的该资源池中之网络状态的处理。 

藉由处理在该等每一个皆位在一按顺序安排控制点之下游的资源池中的该网络状态，该顺序乃会依照该C/R方法、并利用避免资源池陷入困境或匮乏的方式而加以改变。 

一资源池陷入困境是可以理解为表示，太多个物品，也就是说，半导体批次，被重新供给至该资源池，因此，其无法维持该处理，至于资源池匮乏则是理解为表示，特别是，例如，由于到达一资源池之半导体批次之供给的中断，此资源池即不再被供给足够多的物品，以进行处理。 

在许多例子中，在生产中之顺序的最佳化是仅包括大约用于增加该生产容量之潜能的六分之一，而其乃藉由该等工作之路线的最佳化而加以设定。 

然而，该顺序对于该任意变量过渡时间的较重要关键时刻却具有 显著的影响(举例而言，遇到递送)，特别地是，具有一重负载的时候，严格地遵守该C/R规则而在该生产线的货物中导致一不想要之震荡时乃会具有一风险，因此，为了避免此现象，该等队列长度的该等分布功能乃会受到考虑。 

因此，一种会提供一有关何时一资源池的供给会造成过量供给的标准的评估方法是加以提供，此是利用在参考文献[7]中所叙述的模型而加以完成。 

为了举例说明此模型，图6是显示包括第一至第六资源池601至606的一资源池配置600的一实例，再者，图6是显示用于具有串接资源池之顺序问题的分析模型。 

该等第一以及第二资源池601，602是会形成一在前阶段的资源池，资源池603至606是为在相关于该资源池601，602的下游，以及因此是属于资源池的一接续等级的资源池，资源池601至606之每一个的前面是设置有一相关的缓冲器607至612，而其乃是为了接收输入晶圆批次所加以建立，对每一个资源池601至606而言，一相关的使用U是会加以载明(以％)，再者，在一在前以及一接续资源池之间的一临界数值S是显示在图6之中，举例而言，该用于将该第一资源池601之晶圆批次重新供给至该第三资源池602的临界是为S＝5，另外，速率η是会加以载明，而在该速率，晶圆批次是可以被提供至接续的资源池，并且，在该两个在前资源池601，602之每一个的输入端处，是可以提供具有一分别到达速率λ的一分别的工作种类。 

在一分别的单元前面，用于该队列之工作种类特有的临界数值乃会藉由一速率η，并利用考虑到供给以及需求的一队列分析而加以决定，其仅有在该临界数值已经到达所有工作种类的下游时，该已经陷入困境的资源池才会被供给晶圆，否则，晶圆乃会被供给至仍然具有额外之晶圆批次之接收容量的该些资源池。 

再者，来自该下游资源池的需求处理是必须要加以决定，在该需求速率η以及在该考虑中资源池中的该使用U₁与在具有使用U₂的该下游流资源池之间的关是是为η＝U₁/U₂，举例而言，藉由该第一资源池601的一使用U＝87％以及该第三资源池603的一使用U＝40％，即可以获得一需求率η＝2,175。 

对一在前资源池以及紧接其后的一资源池的前后排列(举例而言， 第一资源池601以及第三资源池603)而言，并就在该接续资源池处之该队列中的晶圆量来看，有关该在前资源池是否应该要供给另外的晶圆、或是重新供给是否要停止的一标准是加以获得。 

接下来不等式是可以被视为有关一分别之缓冲607至612的容量是否能够满足的标准： 

方程式(9) 

在此，E[WTP_{受限緩衝之前後順序}]是为在一受限之缓冲的例子中，用于在前以及接续资源池之一前后排列的工作进展(WIP，work in progress)的预期数值，E[WIP_{未受限緩衝之前後順序}]是为在一未受限之缓冲的例子中，用于在前以及接续资源池之一前后排列的工作进展(WIP，work in progress)的预期数值，以及该品质参数ε是可以加以选择，举例而言，ε＝0.1。 

依另外的标准是为，该缓冲应该要大于、或是等于一单一隔离之资源池的该工作进展的预期数值。 

在一封闭站台群组范围内之该等资源池是可以藉由检查该相关的使用矩阵而加以定义，而依照流量理论处置的观点，用于将一资源池视如一整体的合法性乃是藉由Kelly and Laws的一重流量理论所加以供给，即该所谓的“资源池条件”，比较参考文献[8]。 

根据本发明之该方法的一个优点是可以从一抵达决定并不进行假设，以及对流量强度进行考虑的事实中看出。 

在接下来的文章中，本发明的另一个示范性实力是以图7做为参考而加以叙述。 

如在图7中所示，m＝28个工作种类700(或是单一的处理指示)乃会依照此实例而加以提供，再者，n＝13个站台701也会加以提供，其中，该等站台701是被分配在接下来的文章中所要叙述之矩阵的列之中，并且，该等工作种类700乃是被配置于行之中，另外，一抵达向量λ702(在每小时的磁盘单元中，是具有28个向量分量)是表示于图7中的移项标记之中。 

图8是显示一操作时间矩阵800(其组件所具有的尺寸是为每百磁盘分钟)，该n＝13个站台701是沿着该操作时间矩阵800的列而列 举，以及该m＝28个工作种类700乃是沿着该行而进行列举，而在该操作时间矩阵800之中，该释放矩阵f_ij的该等数字数值(“1”以及“0”)是会受到考虑，因此，具有在该操作时间矩阵800之该第一行以及该第一列之中之数值“0”的组件即表示，站台1.511-115并不会为了工作种类1.B87005而被释放，而具有在该操作时间矩阵800之该第一行以及该第三列之中之数值“201”的组件即表示，站台1.511-121是会为了具有每百磁盘210分钟之一操作时间的工作种类1.B87005而被释放。 

在图9中，是列举了一路线可能性矩阵900(其组件是为尺寸百分率)，而沿着该线路可能性矩阵的每一行，该等组件会增加至100％，举例而言，该第一工自种类1.B87005是在该第三站台3.511-121上实行在45.5％，在该第四站台4.511-122上实行为4.2％，在该第五站台4.511-123上实行为46.7％，在该第十二站台4.511-130上实行3.7％。 

图10是显示使用矩阵U 1000。由于在该使用矩阵1000之该第一列之中的该可能性百分比是如在该站台使用向量U 1001中所显示的增加至92.2％，因此，该第一站台1.511-115乃会具有一使用92.2％。 

再者，图11是显示由该等站台的观点所得出的轮询循环矩阵R1100。相较于类似“最短处理时间优先”之用于快速排列的处理规则，该容量增益在具有最大使用的站台上是为6.17％，以及对所有的站台的平均是为3.53％。 

本文所参考的文献如下： 

Palmeri，V.et al.″An Analysis of the′K-Step Ahead′Minimum Inventory Variability Policy

Using SEMATECHSemiconductor Manufacturing Data in a Discrete-Event SimulationModel″，Proceedings of the IEEE 6th International Conferenceon Emerging Technologies and Factory Automation(EFTA)，LosAngeles，1997，pages 520 to 527 

Li，S.et al.″Minimum Inventory Variability Schedulewith Applications in Semiconductor Fabrication″，IEEETransactions on Semiconductor Manufacturing，Vol.9，No.l，1996，pages 1 to 5 

Ashgar Bhatti，M.″Practical Optimization Methods″， Springer Verlag，New York，2000，20 pages 495-498，502-510，520-524，535-539 

B.″Optimierung-Nichtlineare Modelle″[Optimization-non-linear models]，VEB Deutscher Varlag derWissenschaften，Berlin，1974 

Boxma，O.J.et al.″Efficient visit frequencies forpolling tables：minimization of waiting cost″，Queuing Systems9，pages 133 to 162，1991 

Boxma，O.J.et al.″Optimization of polling systems″，In：King，P.J.B.et al.(eds.)″Performance′90″，North Holland，Amsterdam，1990，pages  349 to 361 

Gold，H.et al.″Performance Analysis of a Batch ServiceSystem″In：Labetoulle，J.et al.(eds.)″The Fundamental Roleof Teletraffic in the Evolution of Telecommunications Networks，Volume  I″，Elsevier，Amsterdam，pages 155 to 168，1994. 

Kelly，F.P.et al.″Dynamic Routing in open queuingnetworks：Brownian models，cut constraints and resourcepooling″，Queuing Systems 13，pages 47 to 86，1993 

DE 40 24 307 A1 

Claims (20)

1.一种用于决定物品在一站台系统的站台的分布的方法，该站台系统包括复数个站台，根据该方法，

-这些站台乃是以一相应的站台功能性作为基础而进行分群，以形成复数个站台群组；

-复数个资源池被形成，且一相应的资源池是包含有一站台群组的至少一些站台；以及

-对这些资源池而言，一负载分配乃是以负载最小化以及负载均匀化作为基础而加以决定，且这些物品是必须要依照该负载分配而被分布至这些资源池的这些站台。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，形成该复数个群组的这些站台的分群乃是在考虑到这些物品之分配与这些站台间之关系的可能性而加以实行。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，形成该复数个群组的这些站台的分群乃是藉由形成这些站台相关于一或多个工作种类的一过渡包络而加以执行，且一工作种类乃会对应于一物品之一处理程序的一处理区段。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，这些站台群组形成的方式为不同之站台群组是分离的。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，这些资源池的形成方式为这些站台被均匀地使用。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，这些站台通过在该资源池的这些站台间的路线加权的一适当选择而被均匀地使用。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，用于这些资源池的一负载分配乃是以负载最小化以及负载均匀化做为基础、并以在负载最小化以及负载均匀化之间之优先级是会藉由一加权而预先加以决定的方式来加以决定。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，该加权乃是利用该负载均匀化会接收比该负载最小化更高之一优先权的方式而加以预先决定。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，在决定该负载分配的期间，乃会决定在站台之间用于将这些物品分布至这些站台的路线。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，该路线更进一步地被加权。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，决定这些资源池的该负载分配乃是利用用于凸面二次程序的原始双重方法，用于凸面二次程序的原始仿射尺度法以及用于凸面二次程序的活化建立方法的其中之一而加以实行。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，这些是藉由考虑到在一接续资源池前面的至少一个资源池而被分布至该接续的资源池。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，这些物品是利用关键比例标准(critical ratio criterion)而被分布至该接续的资源池。

14.根据权利要求12或13所述的方法，其中，若是被分布至该接续资源池的这些物品的数量超过一第一临界数值时，则将这些物品分布至此接续资源池的操作即会被中断。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，若是被分布至该接续资源池的这些物品的数量下降至低于一第二临界数值时，则将这些物品分布至此接续资源池的操作即会继续。

16.根据权利要求1所述的方法，其中，已经决定之将这些物品分布至这些站台的操作乃是藉由一仿真而进行变化。

17.根据权利要求1所述的方法，其中，在这些物品分布至该站台系统的这些站台期间，一处理这些物品的顺序会受到控制。

18.根据权利要求1所述的方法，其中，这些物品被分布至该站台系统之这些站台的操作乃是以这些物品的一处理时间做为基础而发生。

19.根据权利要求1所述的方法，其中，该站台系统是为一半导体处理站台系统。

20.根据权利要求1所述的方法，其中，该物品是为一晶圆、或是一具有复数个晶圆的晶圆批次。

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