CN1715876A - 一种甲烷浓度的检测方法和装置 - Google Patents
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Abstract
本发明的一种甲烷浓度的检测方法和装置属气体检测领域。检测方法是使用一定发光范围的光源,选择两端内表面高反射率的谐振腔;光源发出的光透过被检测的气体和谐振腔后被检测;调节谐振腔腔长,分别探测到光强的最小值Imin和最大值Imax;代入公式计算甲烷浓度。装置有:LED光源1发出的光经准直透镜11、探测气体12、汇聚透镜13,进入法布里—珀罗标准具14,被探测系统接收;17是计算机。信号发生器16产生的锯齿波信号为法布里—珀罗标准具14的压电陶瓷管提供调制信号,又为锁相放大器8提供参考信号。本发明造价低、方便光路准直、灵敏度高、优于传统的单吸收线的差分测量,便于低浓度远距离即时测量。
Description
技术领域
本发明属于气体检测领域。特别涉及一种用红外发光二极管(LED)作光源、法布里-珀罗标准具(以下简称F-P)标准具选频、利用差分原理进行甲烷探测的方法和器件。
背景技术
甲烷是一种可燃气体,是继煤炭、石油后又一重要天然燃料。但由于甲烷在空气含量超过5.3%,遇火就会发生爆炸,所以又是一种易爆气体,煤矿瓦斯爆炸给国家经济和人民安全带来重大的损失。同时甲烷在大气中含量增加,还会产生温室效应,这也是环境保护的重要课题。
与本发明相近的现有技术是一篇题目为“差分吸收式光纤甲烷气体传感器的研究”文章,刊登于《光电子·激光》第12卷第7期2001年7月。文章根据甲烷气体的吸收光谱,研究了用LED作光源的差分吸收式光纤甲烷气体传感器。检测方法是使用两个LED光源,其中主光源光波长λ1=1.33μm,另一个参考光源波长λ2=1.27μm;甲烷气体浓度为
在波长λ1、λ2下,若气体的吸收系数α1、α2可以测量,则气体浓度就可以从I(λ2)-I(λ1)和I(λ2)的测量中求出。
现有技术的差分吸收式光纤甲烷气体传感器系统如图1所示。F1、F2分别为中心波长λ1、λ2的干涉滤光片,两个LED光源1和2由多谐振荡器3驱动,A为可变消光片。LED发出的光分别经干涉滤光片F1、F2后,再经耦合器4与传输光纤5进入探测气室6,透射光由光电二极管7转换为电信号。差分信号I(λ2)-I(λ1)由锁相放大器8检测给出。图1中,9为显示器,10为单片机。
发明内容
本发明要解决的技术问题是,设计了一种以光强为测量量的差分方法和具体的计算公式,快速准确安全的探测甲烷浓度。使本发明的方法和装置在能源开采,环境保护等方面发挥重要作用。
甲烷的2ν3振转吸收带位于1650nm附近(它们的光谱数据由专业数据库HITRAN2000得到),恰好处在大气透明窗口内,这使直接远距离探测甲烷浓度成为可能。
本发明的甲烷浓度的检测方法是,使用发光光谱在1400nm~1800nm的范围内的光源,选择两端内表面反射率为Rm,腔长为d的谐振腔;光源发出的光透过被检测的气体和谐振腔后被探测器接收;调节谐振腔腔长,使谐振腔透射峰与甲烷的吸收峰位置完全吻合,此时谐振腔腔长为d1,探测到光强的最小值Imin;再调节谐振腔腔长,使谐振腔透射峰与甲烷的吸收峰错开,此时谐振腔腔长为d2,探测到光强的最大值Imax;最后由下列的公式计算得到甲烷的浓度,
公式中F=4Rm/(1-Rm)2,υi为甲烷2υ3带R支各吸收峰对应的波数,Ki=2*Si*L,其中Si为各波数对应的吸收强度,υi和Si见图2,L为被探测甲烷气体所在区域的长度。
所说的调节谐振腔腔长,可以是在谐振腔的一端装有压电陶瓷管,用锯齿波电信号加在压电陶瓷管上。
按照上述的甲烷浓度的检测方法,本发明主要是利用F-P对宽带光源进行滤光。当我们选择了合适的F-P腔长时,就会使透射光与甲烷的吸收峰相吻合,但当我们微调F-P腔的距离时,透射光又会与吸收峰分开。这样就可以利用差分方法来计算甲烷的浓度了。
本发明的装置系统中所采用的光源LED中心波长为1650nm,发光光谱在1400nm~1800nm的范围内,对应的半宽度为150nm。如果让LED发出的光经过甲烷气体的吸收后,直接由光电二极管(PD)探测接收,那么PD能探测到的信号变化是非常小的,因为甲烷在2ν3带的半宽度只有十几个纳米,相对于LED150nm的半宽度来说是很小的。为了提高测量精度,我们主要采用了两种方法。一是在光路中加滤光片,缩小光谱范围,使LED的光谱宽度与甲烷吸收带的宽度大致相等,将没有用于吸收的光滤掉。二是利用F-P标准具。我们知道,F-P具有滤光作用,其光谱透过率τ可用公式
表达,F=4Rm/(1-Rm)2,Rm是F-P镜片内表面的反射率,Rm可选择85%~95%,n是空气的折射率,d是腔长,υ是波数。通过选择合适的反射率和腔长,可以使F-P的透过峰与甲烷的吸收线较好匹配在一起。
本发明的检测甲烷浓度的装置具体结构是,使用LED发出的红外宽带光作为光源,发光光谱在1400nm~1800nm的范围,按光路顺序,光源发出的光经准直透镜变为平行光;经过探测气体后通过汇聚透镜,进入法布里—珀罗标准具;再通过聚焦透镜后,被探测系统接收;最后是进行数据处理并输出结果的计算机。所说的探测系统由光电二极管和锁相放大器组成。
所说的法布里—珀罗标准具结构为:两片BaF2玻璃,相对的两个内表面镀反射率大于或等于85%的高反射膜,形成谐振腔;一片镜片直接固定在光具座上,另一片镜片与压电陶瓷管固定装在光具座上;
信号发生器与压电陶瓷管电联接提供调制信号,信号发生器与锁相放大器电联接提供参考信号。
前述的红外宽带光源工作波长范围可以是1635nm~1655nm,覆盖甲烷的2υ3吸收带。
前述的信号发生器可以是多功能函数信号发生器,为法布里—珀罗标准具的压电陶瓷管提供锯齿波调制信号。
法布里—珀罗标准具外侧的两个面镀窄带通的滤光膜,使1635nm~1655nm波段的光通过,其它光被滤掉。一个镜片直接固定在光具座上,另一片经压电陶瓷管连在光具座上,使初始腔长d为0.505mm~0.510mm。通过改变加在它上边的电压,就可以实现微调F-P腔长的目的,在压电陶瓷管长度为1.5cm~2.5cm时,信号发生器提供给压电陶瓷管的工作电压为-50V~50V,即,锯齿波调制信号的电压为-50V~50V。根据理论计算,当甲烷吸收线间隔与F-P自由光谱区相等时,F-P腔长应在0.5076mm附近,此时F-P的透射峰与甲烷的吸收峰位置相吻合;微调F-P的间距,使腔长变化Δd约为400nm,就可以使透射峰与吸收峰错开。
准直透镜、汇聚透镜、聚焦透镜可以是BaF2玻璃材料的,在红外波段有很高的透过率。
本发明装置中的信号发生器和锁相放大器是通常公用的仪器,比如信号发生器可以使用“多功能函数信号发生器”,型号为SG1640B;锁相放大器可以使用SR830 DSP型号的,它们均由北京东方科泰公司经销。
本发明只使用一个宽带光源,即降低了探测仪器的造价,又方便光路的准直。关键的选频器件F-P标准具选用BaF2玻璃,相对的两个内面镀反射率为90%高反射膜形成谐振腔;外面的两个面镀窄带通的滤光膜;通过改变加在压电陶瓷管上边的电压实现微调F-P腔长的目的,这样的设计可以大大提高探测的灵敏度,实现低浓度测量。由于在F-P标准具两端使用了汇聚透镜和聚焦透镜,它们可以提高探测器接受信号的强度。该设计的原理是可以同时对多根甲烷的吸收线进行差分测量,这优于传统的单个吸收线的差分测量,将会大大提高系统的探测能力,并可对甲烷进行远距离即时探测。
附图说明
图1是背景技术的测量系统图。
图2是甲烷2υ3带R支的吸收强度曲线。
图3是本发明的F-P标准具的透过率曲线与甲烷吸收线重合图。
图4是本发明的F-P标准具的透过率曲线与甲烷吸收线错开图。
图5是本发明装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图具体说明本发明的方法和装置结构。
实施例1说明差分原理
当F-P的腔长恰好使LED的透射光与甲烷的吸收线重合,此时探测器接收到的光强是最低的,并且包含了甲烷浓度的信息;调节F-P腔长,使LED的透射光与甲烷的吸收线错开,这时探测器接收到最大光强;通过两次测量的光强,根据理论推导的公式,就可以计算出甲烷的浓度。
实施例2具体说明检测装置
本发明的甲烷浓度的检测装置由图3所示。图3中,1是光源,发光光谱在1400nm~1800nm的范围;7是光电二极管,可以是InGaAs光电二极管,作为接收光信号,并将光信号转为相应的电信号的元件;8是锁相放大器,和光电二极管7一起构成探测系统;11是准直透镜,将光源1发出的光变成平行光,以通过被检测气体;12是被检测气体;13是汇聚透镜,增大带有甲烷信息的光信号的收集面积;14是法布里—珀罗标准具;15是聚焦透镜;16是信号发生器,最好使用多功能函数信号发生器,产生的锯齿波信号为法布里—珀罗标准具14的压电陶瓷管提供调制信号,又为锁相放大器8提供参考信号;17是计算机。
实施例3 检测甲烷的具体流程和实例
使用本发明装置的具体流程为:首先调节F-P标准具,使其腔长为0.507mm;由信号发生器产生的锯齿波信号,加在压电陶瓷管上,调节F-P腔长。当腔长的距离使F-P透射峰与甲烷的吸收峰位置完全吻合时,光电二极管7探测到光强的最小值Imin;当改变腔长距离使透射峰与甲烷的吸收峰错开时,光电二极管7探测到光强的最大值Imax,然后带入理论推导的公式中,即可得到甲烷的浓度。为了提高系统的信噪比,可以使用锁相放大器来进行探测,并利用其所带的RS232输出端口与计算机相连,从而实现即时探测的目的。
按上述的具体流程,测得d1为0.05076cm,d2为0.05079~0.05081cm不等;被探测甲烷气体所在区域的长度L为30cm;测得的Imin、Imax数据带入公式,由计算机运算得到甲烷浓度的计算值。表1列出对同一甲烷样品多次测量得到的一组结果。
表1
Imin | Imax | Imin/Imax | 计算值 | 实际值 |
0.284 | 0.294 | 0.96599 | 0.09444 | 0.1 |
0.2851 | 0.2949 | 0.96677 | 0.09228 | 0.1 |
0.2868 | 0.2961 | 0.96859 | 0.08724 | 0.1 |
0.2878 | 0.2978 | 0.96642 | 0.09324 | 0.1 |
其中实际值为U形管测得的甲烷压强与充入空气的混合气体压强的比值。
Claims (5)
1、一种甲烷浓度的检测方法,其特征是,使用发光光谱在1400nm~1800nm范围内的光源,选择两端内表面反射率为Rm的谐振腔;光源发出的光透过被检测的气体和谐振腔后被检测;调节谐振腔腔长,使谐振腔透射峰与甲烷的吸收峰位置完全吻合,此时谐振腔腔长为d1,探测到光强的最小值Imin;改变谐振腔腔长,使谐振腔透射峰与甲烷的吸收峰错开,此时谐振腔腔长为d2,探测到光强的最大值Imax;最后由下列的公式计算得到甲烷的浓度,
公式中F=4Rm/(1-Rm)2,υi为甲烷2υ3 R支各吸收峰对应的波数,Ki=2*Si*L,其中Si为各波数对应的吸收强度,L为被探测甲烷气体所在区域的长度。
2、按照权利要求1所述的一种甲烷浓度的检测方法,其特征是,所说的调节谐振腔腔长,是在谐振腔的一端装有压电陶瓷管,用锯齿波电信号加在压电陶瓷管上。
3、一种甲烷浓度的检测装置,由光源(1)、准直透镜(11)、探测系统构成,所说的探测系统由光电二极管(7)和锁相放大器(8)组成;其特征是,所说的光源(1)是红外宽带光源,发光光谱在1400nm~1800nm的范围;按光路顺序,光源(1)发出的光经准直透镜(11)变为平行光;经过探测气体(12)后通过汇聚透镜(13),进入法布里—珀罗标准具(14);再通过聚焦透镜(15)后,被探测系统接收;最后是进行数据处理并输出结果的计算机(17);
所说的法布里—珀罗标准具(14)结构为:两片BaF2玻璃,相对的两个面镀反射率大于或等于85%的高反射膜,形成谐振腔;一片镜片直接固定在光具座上,另一片镜片与压电陶瓷管固定装在光具座上;
信号发生器(16)与压电陶瓷管电联接提供调制信号,信号发生器(16)与锁相放大器(8)电联接提供参考信号。
4、按照权利要求3所述的一种甲烷浓度的检测装置,其特征是,所说的信号发生器(16)是多功能函数信号发生器,为法布里—珀罗标准具(14)的压电陶瓷管提供锯齿波调制信号。
5、按照权利要求3或4所述的一种甲烷浓度的检测装置,其特征是,所说的法布里—珀罗标准具(14),初始腔长为0.505mm~0.510mm,外侧的两个面镀窄带通的滤光膜,使1635nm~1655nm波段的光通过,其它光被滤掉;法布里—珀罗标准具(14)的压电陶瓷管长度为1.5cm~2.5cm,为压电陶瓷管提供锯齿波调制信号的电压为-50V~50V。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2005100169491A CN100447554C (zh) | 2005-07-12 | 2005-07-12 | 一种甲烷浓度的检测方法和装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
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CN1715876A true CN1715876A (zh) | 2006-01-04 |
CN100447554C CN100447554C (zh) | 2008-12-31 |
Family
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Family Applications (1)
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