CN1655482A - 平顶和陡峭带边响应的窄带热光调谐Fabry－Perot滤波器 - Google Patents

Abstract

一种具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry－Perot滤波器，包括：一基片；一下分布式布拉格反射镜，该下分布式布拉格反射镜制作在基片的上面；一Fabry－Perot腔，该Fabry－Perot腔制作在下分布式布拉格反射镜的上面；一加热器，该加热器制作在Fabry－Perot腔的上面；一上分布式布拉格反射镜，该上分布式布拉格反射镜制作在加热器的上面；以及一通光窗口，该通光窗口形成于加热器的中间。

Description

平顶和陡峭带边响应的窄带热光调谐Fabry-Perot滤波器

技术领域

本发明涉及光通信技术，特别地涉及一种具有平顶和陡峭带边响应的窄带热光调谐法布里-伯罗(Fabry-Perot)滤波器。

背景技术

在光通信网络中，可调谐滤波器用来构成各种解复用器，将复用在一起的光区分开来；将这种可调谐滤波技术应用到激光器和探测器上可以实现密集波分多路复用(DWDM)中重要的可调谐光源和接收器；新一代全光网络的关键器件光上下路器(OADM)也可以由这种滤波器构成。由此可见，可调谐滤波器成为全光网络和DWDM系统中不可缺少的重要器件。滤波器在光网络中的应用包括对信道光的区别检测，对滤波器除了要求窄带、可调谐外，还希望它是平顶响应的。因为信道光是尖峰波，在实际传输中波长不可避免地会发生漂移，由于Fabry-Perot滤波器是尖峰响应的，当信道光发生波长漂移时，要想很快调谐并对准信道光不是很容易。如果Fabry-Perot滤波器具有平顶输出响应，则上述问题可以解决，因为只要信道光的尖峰落入平顶范围内都是有效的。因此，具有平顶输出响应的Fabry-Perot滤波器提高了对信道光检测的快速性和准确性。

2002年5月15日提交的名称为“Narrow-band tunable filter withmulti-cavity structure of flat-top and steep-edge frequency response”的欧洲专利申请CN1349318号中提出了一种具有平顶和陡峭带边响应的窄带可调谐滤波器，该滤波器的输入和输出端由两个自聚焦透镜来形成，三个平行腔结构在输入和输出端之间，腔的两个壁是合适的反射膜，三个平行腔结构中两侧是介质腔，中间是空气腔，并且空气腔的间距是可调节的。该发明的滤波器可以克服传统滤波器中带宽不够窄以及调谐功能差的缺点。但是，由于这种滤波器包含作为输入和输出端的两个自聚焦透镜和平行多腔结构，并且平行多腔的至少一个是空气腔，因此滤波器的结构和调谐机制相对复杂，不能满足实用化系统应用的小型化可兼容集成的需求。

2001年12月19日提交的名称为“OPTICAL FILTER”的欧洲专利申请CA2344003号中提出了一种具有透镜的光学滤波器，其中透镜具有两个输入端口以及与两个输入端口光通信的两个输出端口，一个部分反射面与透镜的端面光学耦合，另一个反射面与部分反射面相隔距离“d”以在两个反射面之间形成光腔。转换器用于改变两个反射面之间的距离“d”。两个输入端口放置在离透镜光轴不同的径向距离，使得当分开的光束进入两个输入端口时，分开的光束通过反射面之间的具有不同光程长度的光路。该发明的滤波器提供基本上平顶的窄带输出响应。显然，该滤波器需要具有两个输入端口和输出端口的特殊透镜，并且要求分开的光束分别进入离透镜光轴不同径向距离的两个输入端口，因此这种滤波器的结构相对复杂，不能满足实用化系统应用的小型化可兼容集成的需求。此外，两个输入端口离透镜光轴的径向距离的控制以及使用转换器改变反射面之间的距离不是特别容易，从而只能获得基本上平顶的输出响应。

在文献Electronics Letters，Volume：26，Issue：14，Pages：1073-1074，1990中描述了一种具有平顶和陡峭带边响应的三反射镜、全光纤Fabry-Perot滤波器。该器件是III型结构的，具有对称的三个反射镜，其中两个外侧反射镜以及两个半腔的长度是相同的。中间反射镜具有反射率R₀＝99.0％±0.1％，每个端镜具有反射率R₁≈89％，接近于临界关系：R_0c＝4R₁/(1+R₁)²。两个半腔通过同步斜坡电压以压电方式驱动。对于DWDM应用，这种滤波器优于两反射镜Fabry-Perot滤波器，具有更加平顶和陡峭的带边，允许通道密度大于3倍的增加。但是，这种滤波器结构是复杂的，要求分别形成对称的三个反射镜，其中两个外侧反射镜的反射率相同并与中间反射镜的反射率满足临界关系。此外，这种滤波器的平顶响应中间处的下降比较大，大约是最大透射率的20％，因此只是基本上实现平顶。而且，这种器件不易与其他光子器件集成以实现各种复杂功能，从而不能满足实用化系统应用的小型化可兼容集成的需求。

发明内容：

本发明的目的在于，提供一种具有平顶和陡峭带边响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其可以满足实用化系统应用的小型化可兼容集成的需求。

本发明一种具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，包括：

一基片；

一下分布式布拉格反射镜，该下分布式布拉格反射镜制作在基片的上面；

一Fabry-Perot腔，该Fabry-Perot腔制作在下分布式布拉格反射镜的上面；

加热器，该加热器制作在Fabry-Perot腔的上面；

一上分布式布拉格反射镜，该上分布式布拉格反射镜制作在加热器的上面；以及

一通光窗口，该通光窗口形成于加热器的中间。

其中所述的基片由单晶硅材料制成，其折射率例如为3.5。

其中所述的下分布式布拉格反射镜包括：二氧化硅层，在二氧化硅层上形成的硅层以及在硅层上形成的二氧化硅层。

其中所述的二氧化硅层的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为1.46。

其中所述的硅层的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为3.5。

其中所述的Fabry-Perot腔，其由硅材料制成，折射率例如是3.5。

其中所述的Fabry-Perot腔分成具有第一物理厚度的部分和具有第二物理厚度的部分。

其中所述的第一厚度为30～40微米。

其中所述的第二厚度比所述的第一厚度小例如6～12纳米。

其中所述的两个部分的厚度差通过刻蚀方法来实现。

其中所述的加热器在Fabry-Perot腔形成并分成具有不同厚度的两个部分之后形成，其包围的通光窗口是直径比光纤的直径大的圆形。

其中所述的Fabry-Perot腔的两个部分的分界线在通光窗口的一条直径上，使入射光经过通光窗口照射到所述两个部分的面积相等。

其中所述的加热器具有电极和电阻42部分。

其中所述的电极和电阻部分都由例如合金和金属制成。

其中所述的电阻部分的电阻例如为20～30欧姆。

其中所述的上分布式布拉格反射镜包括在加热器形成之后在Fabry-Perot腔上形成的二氧化硅层、然后在二氧化硅层上形成的硅层。

其中所述二氧化硅层的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为1.46。

其中所述硅层的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为3.5。

其中器件的输出响应的3dB带宽为0.7纳米。

其中器件的输出响应是平顶响应，波峰的相对透射率为0.63，波谷的相对透射率为0.61，起伏度为0.02。

其中器件的调谐范围可达23纳米，响应时间可达300微秒。

本发明的器件具有由多层介质膜构成的上和下反射镜以及介于上下反射镜之间的Fabry-Perot腔。在Fabry-Perot腔在下反射镜上形成之后，将Fabry-Perot腔分成具有不同厚度的两个部分，使得来自光纤的入射光通过器件的通光窗口照射到Fabry-Perot腔的两个部分的面积基本上相同。由于Fabry-Perot腔的两个部分具有不同的光学厚度，光束在Fabry-Perot腔的两个部分中经过的光程不同，被选择通过的光的波长不同，从而两种波长的光被选择通过而其他波长成分被阻隔。Fabry-Perot的两个部分的厚度差(Δ)可以选择设置，使得器件具有平顶的输出响应。

众所周知，可以通过提高反射镜的反射率来压窄Fabry-Perot腔的带宽以获得好的波长选择性，也可以增加Fabry-Perot腔的长度来压窄带宽。在本发明的器件中，使用SOR专利技术将薄片Si材料低温键合到下反射镜上，经减薄抛光，来获得几十微米量级的较厚的Fabry-Perot腔，从而获得很窄的带宽。

本发明的器件具有由金属或合金制成的加热器，该加热器在Fabry-Perot腔在下反射镜上形成并被分成具有不同厚度的两个部分之后，在Fabry-Perot腔上形成，随后在上反射镜已经形成之后，被刻出两个电极。加上电流后，加热器提供热量使Fabry-Perot腔被加热，热光效应引起腔体折射率增大，从而达到调谐目的。

本发明的器件通过将Fabry-Perot腔分成具有不同厚度两个部分来实现平顶的输出响应。从下文的公式可以知道，希望获得好的平顶输出响应所需的该两个部分的厚度差Δ与上下反射镜中的介质层的数量有关。本发明利用较厚的Fabry-Perot腔，从而只需要上下反射镜中较少的介质层，来获得窄的带宽和陡峭带边。更重要的是，由于上下反射镜中包含较少的介质层，所以获得平顶响应所需的厚度差Δ容易实现，并具有足够的裕度，对加工精度并不要求特别苛刻。本发明提出的方案工艺简单，实现容易，可靠性高，性能良好，并且器件容易与其他有源或无源光子器件集成以实现各种复杂功能。

附图说明

为进一步说明本发明的技术内容，以下结合实施例及附图对本发明作详细描述，其中：

图1是本发明滤波器的俯视图；

图2是本发明滤波器的剖视图；

图3是本发明滤波器的上反射镜的反射率波长响应曲线；

图4是本发明滤波器的下反射镜的反射率波长响应曲线；

图5是本发明滤波器的简化原理图；

图6是说明本发明滤波器输出响应的波谷处的相对透射率对Fabry-Perot腔厚度的关系曲线；

图7是说明本发明滤波器输出响应的波峰处的相对透射率对Fabry-Perot腔厚度的关系曲线；

图8是本发明滤波器的输出响应的起伏度对Fabry-Perot腔厚度的关系曲线；

图9是本发明滤波器的典型输出响应。

具体实施方式

下面结合图1和图2，说明本发明滤波器的实施例的结构。

本发明一种具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其中包括：

一基片10，该基片10由单晶硅材料制成，其折射率例如为3.5；

一下分布式布拉格反射镜10，该下分布式布拉格反射镜10制作在基片10的上面；该下分布式布拉格反射镜20包括：二氧化硅层21，在二氧化硅层21上形成的硅层22以及在硅层22上形成的二氧化硅层23；该二氧化硅层21、23的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为1.46；该硅层22的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为3.5；

一Fabry-Perot腔30，该Fabry-Perot腔30制作在下分布式布拉格反射镜20的上面；该Fabry-Perot腔30，其由硅材料制成，折射率例如是3.5；该Fabry-Perot腔30分成具有第一物理厚度的部分31和具有第二物理厚度的部分32；该第一物理厚度的部分31为30～40微米；该第二物理厚度的部分32比所述的第一厚度小例如6～12纳米；该第一、第二物理厚度的部分两个部分31、32的厚度差通过刻蚀方法来实现；

一加热器40，该加热器40制作在Fabry-Perot腔30的上面；该加热器40在Fabry-Perot腔30形成并分成具有不同厚度的两个部分之后形成，其包围的通光窗口60是直径比光纤的直径大的圆形；该加热器40具有电极41和电阻42部分；该电极41和电阻42部分都由例如合金和金属制成；该电阻部分42的电阻例如为20～30欧姆；

一上分布式布拉格反射镜50，该上分布式布拉格反射镜50制作在加热器40的上面；该上分布式布拉格反射镜50包括在加热器40形成之后在Fabry-Perot腔30上形成的二氧化硅层51、然后在二氧化硅层51上形成的硅层52；该二氧化硅层51的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为1.46；该硅层52的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为3.5；以及

一通光窗口60，该通光窗口60形成于加热器40的中间。

其中所述的Fabry-Perot腔30的该第一、第二物理厚度的部分两个部分31、32的分界线在通光窗口60的一条直径上，使入射光经过通光窗口60照射到所述两个部分的面积相等。

该具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器的输出响应的3dB带宽为0.7纳米。

该具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器的输出响应是平顶响应，波峰的相对透射率为0.63，波谷的相对透射率为0.61，起伏度为0.02。

该具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器的调谐范围可达23纳米，响应时间可达300微秒。

图3是本发明器件上反射镜的反射率波长响应曲线。分层媒质的传输矩阵方法在本领域是众所周知的。利用计算机程序实现传输矩阵方法发现在本发明中使用的由多层介质膜构成的上反射镜的反射率虽然与波长有关，但是在很宽的波长范围内变化缓慢。本发明滤波器具有在中心波长(1300纳米)附近很窄(小于1纳米)的输出响应，上反射镜的反射率在这么窄的带宽范围内几乎没有太大改变。如图3给出本发明器件的上反射镜在1100nm到1600nm波长范围内的反射率，可以看到在1300附近反射率的变化很小。因此，上反射镜的反射率基本上可以看作常数，在下文表示为R₁，其大约为0.8195。

图4是本发明器件下反射镜的反射率波长响应曲线。同样地，利用计算机程序实现的传输矩阵方法发现本发明的下反射镜的反射率在将要实现的窄带输出响应附近的改变很小。如图4给出本发明器件的下反射镜在1100nm到1600nm波长范围内的反射率。因此，下反射镜的反射率基本上可以看作常数，在下文表示为R₂，其大约为0.8859。

图5是本发明器件的简化原理图。由于上和下反射镜的反射率在窄带的输出响应附近可以看作是常数，因此图2中所示本发明器件的结构可以用图5中所示的简化原理图来表示以便于计算和分析。其中Fabry-Perot腔的折射率为n，厚度为h，上反射镜的反射率为R₁，下反射镜的反射率为R₂。如果忽略吸收损耗，利用本领域众所周知的多光束干涉方法计算得到：

I^(t)/I⁽ⁱ⁾＝(1-R₁)(1-R₂)/(1+R₁R₂-2R₁ ^1/2R₂ ^1/2cosδ)   (1)

其中I^(t)是透射光强度，I⁽ⁱ⁾是入射光强度，I^(t)/I⁽ⁱ⁾表示相对透射率。相位因子δ满足：

δ＝4πnhcosθ/λ                                                                                         (2)

其中θ为入射角，λ为波长，n为腔的折射率。当入射角为0°时，相位因子为：

δ＝4πnh/λ                                                                                                   (3)

由(1)式可知，Fabry-Perot腔的共振发生在相位因子等于2π的整数倍时，也就是：

δ＝2mπ                                                                                   (4)

由(3)和(4)式可知，共振波长λ_m为：

λ_m＝2nh/m                                     (5)

器件的Fabry-Perot腔由具有不同厚度的两个部分构成，假设其中一个部分的厚度为h₁，则共振波长为λ_m1＝2nh₁/m；另一部分的厚度为h₂，则共振波长为λ_m2＝2nh₂/m。假设由该两个部分产生的输出响应的交点对应的波长表示为λ_dip，显然由两个部分产生的输出响应在λ_dip处的相对透射率相等，即

cosδ₁＝cosδ₂                                (6)

其中δ₁＝4πnh₁/λ_dip，δ₂＝4πnh₂/λ_dip。根据(4)和(6)式可知：

δ₁+δ₂＝4mπ                                                                   (7)

4πnh₁/λ_dip+4πnh₂/λ_dip＝4mπ

λ_dip＝n(h₁+h₂)/m                            (8)

h₂＝h₁-Δ                                                                           (9)

我们只考虑中心波长(λ₀＝1300nm)附近的输出响应，因此m满足：

m＝Round(2nh₁/λ₀)                           (10)

其中Round表示四舍五入取整函数。根据(1)、(3)、(8)、(9)和(10)式可知，Fabry-Perot的第一部分在λ_dip处产生的相对透射率为：

$F_1=\frac{(1-R_1)(1-R_2)}{1+R_1{R}_2-2\sqrt{R_1{R}_2}\cos \frac{4\mathrm{\π}{h}_1\mathrm{Round}(2n{h}_1/{\mathrm{\λ}}_0)}{2h_1-\mathrm{\Δ}}}---\left(11\right)$

同理，Fabry-Perot腔的第二部分在在λ_dip处产生的相对透射率为：

$F_2=\frac{(1-R_1)(1-R_2)}{1+R_1{R}_2-2\sqrt{R_1{R}_2}\cos \frac{4\mathrm{\π}(h_1-\mathrm{\Δ})\mathrm{Round}(2n{h}_1/{\mathrm{\λ}}_0)}{2h_1-\mathrm{\Δ}}}---\left(12\right)$

因此Fabry-Perot腔λ_dip处产生的相对透射率为：

F_dip＝(F₁+F₂)/2                           (13)

图6给出了用计算机程序实现(11)、(12)和(13)而获得的λ_dip处的相对透射率对Fabry-Perot腔厚度h₁的关系曲线，其中R₁＝0.8195，R₂＝0.8859，n＝3.5，Δ＝7nm，λ₀＝1300nm，h₁为30μm～40μm。从图6中可以看到输出响应的波谷大约为0.61，对厚度h₁的变化不敏感。

器件总输出响应的峰值出现在Fabry-Perot腔的每个部分产生的输出响应的峰值附近，因此总的输出响应有两个峰。当h₁比较大时，可以近似为：

λ_peak1＝[2nh₁/m+n(h₁+h₂)/m]/2           (14)

根据(1)、(3)、(9)、(10)和(14)式可知，对于λ_peak1有：

$F_1^{\′}=\frac{(1-R_1)(1-R_2)}{1+R_1{R}_2-2\sqrt{R_1{R}_2}\cos \frac{8\mathrm{\π}{h}_1\mathrm{Round}(2n{h}_1/{\mathrm{\λ}}_0)}{3h_1+h_2}}---\left(15\right)$

$F_2^{\′}=\frac{(1-R_1)(1-R_2)}{1+R_1{R}_2-2\sqrt{R_1{R}_2}\cos \frac{8\mathrm{\π}(h_1-\mathrm{\Δ})\mathrm{Round}(2n{h}_1/{\mathrm{\λ}}_0)}{3h_1+h_2}}---\left(16\right)$

F_peak1＝(F₁’+F₂’)/2                     (17)

图7给出了用计算机程序实现(15)、(16)和(17)而获得的λ_peak1处的相对透射率对Fabry-Perot腔厚度h₁的关系曲线，其中R₁＝0.8195，R₂＝0.8859，n＝3.5，Δ＝7nm，λ₀＝1300nm，h₁为30μm～40μm。从图7中可以看到输出响应的波峰大约为0.626，对厚度h₁的变化不敏感。用同样的方法可以获得λ_peak2处的相对透射率对Fabry-Perot腔厚度h₁的曲线，发现与λ_peak1处的情况几乎完全相同。

图8给出了本发明器件输出响应的起伏度即波峰相对透射率与波谷相对透射率之间的差对Fabry-Perot腔厚度h₁的关系曲线。从图8中可以看到输出响应的起伏度大约为0.017，对h₁的改变不敏感。因此，可以随意地设计Fabry-Perot的厚度值h₁，而不会影响到平顶输出响应的性能，从而可以同时实现窄带和陡峭带边以及良好的平顶响应的性能。

图9给出了使用本领域众所周知的传输矩阵方法而获得的本发明器件的典型输出响应。其中Δ＝7nm，λ₀＝1300nm，h₁为30μm。从图9可以看到器件输出响应的3dB带宽大约为0.7nm，10dB带宽大约为1.6nm，平顶响应的起伏度大约为0.02，该值与图8给出的值0.017的细微差别是由于在图8计算中用到近似式(14)而引起的。

至此，已经详细地说明了本发明器件的结构和原理。与现有的滤波器相比，本发明的滤波器的Fabry-Perot腔具有不同厚度的两个部分，光束在Fabry-Perot腔的两个部分中经过的光程不同，两种波长的光被选择通过而其他波长成分被阻隔，从而使得输出响应具有平顶特性。本发明器件的平顶响应性能依赖于腔的两个部分的厚度差，而与Fabry-Perot腔厚度没有关系，因此可以增加Fabry-Perot腔的长度来减少带宽并获得陡峭的带边。本发明的器件还具有加热器，从而同时具有窄带、平顶响应以及可调谐的良好性能，因而更适合于在光网络中对信道光的区别检测。本发明提出的方案工艺简单，实现容易，可靠性高，性能优越，器件容易与其他有源或无源光子器件集成以实现各种复杂功能，从而能够满足实用化系统应用的小型化可兼容集成的需求。

Claims (21)

1.一种具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，包括：

一基片；

一下分布式布拉格反射镜，该下分布式布拉格反射镜制作在基片的上面；

一Fabry-Perot腔，该Fabry-Perot腔制作在下分布式布拉格反射镜的上面；

一加热器，该加热器制作在Fabry-Perot腔的上面；

一上分布式布拉格反射镜，该上分布式布拉格反射镜制作在加热器的上面；以及

一通光窗口，该通光窗口形成于加热器的中间。

2.根据权利要求1所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的基片由单晶硅材料制成，其折射率例如为3.5。

3.根据权利要求1所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的下分布式布拉格反射镜包括：二氧化硅层，在二氧化硅层上形成的硅层以及在硅层上形成的二氧化硅层。

4.根据权利要求3所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的二氧化硅层的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为1.46。

5.根据权利要求3所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的硅层的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为3.5。

6.根据权利要求1所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的Fabry-Perot腔，其由硅材料制成，折射率例如是3.5。

7.根据权利要求1所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的Fabry-Perot腔分成具有第一物理厚度的部分和具有第二物理厚度的部分。

8.根据权利要求7所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的第一厚度为30～40微米。

9.根据权利要求7所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的第二厚度比所述的第一厚度小例如6～12纳米。

10.根据权利要求7所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的两个部分的厚度差通过刻蚀方法来实现。

11、根据权利要求1所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的加热器在Fabry-Perot腔形成并分成具有不同厚度的两个部分之后形成，其包围的通光窗口是直径比光纤的直径大的圆形。

12.根据权利要求7和11所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的Fabry-Perot腔的两个部分的分界线在通光窗口的一条直径上，使入射光经过通光窗口照射到所述两个部分的面积相等。

13.根据权利要求1所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的加热器具有电极和电阻42部分。

14.根据权利要求13所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的电极和电阻部分都由例如合金和金属制成。

15.根据权利要求14所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的电阻部分的电阻例如为20～30欧姆。

16.根据权利要求1所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述的上分布式布拉格反射镜包括在加热器形成之后在Fabry-Perot腔上形成的二氧化硅层、然后在二氧化硅层上形成的硅层。

17.根据权利要求16所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述二氧化硅层的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为1.46。

18.根据权利要求16所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中所述硅层的光学厚度是中心波长的四分之一，折射率例如为3.5。

19.根据权利要求1～18所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中器件的输出响应的3dB带宽为0.7纳米。

20.根据权利要求1～18所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中器件的输出响应是平顶响应，波峰的相对透射率为0.63，波谷的相对透射率为0.61，起伏度为0.02。

21.根据权利要求1～18所述的具有平顶响应的窄带热光可调谐Fabry-Perot滤波器，其特征在于，其中器件的调谐范围可达23纳米，响应时间可达300微秒。

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