CN1527025A - 电光角度测量装置 - Google Patents

电光角度测量装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1527025A
CN1527025A CNA031442935A CN03144293A CN1527025A CN 1527025 A CN1527025 A CN 1527025A CN A031442935 A CNA031442935 A CN A031442935A CN 03144293 A CN03144293 A CN 03144293A CN 1527025 A CN1527025 A CN 1527025A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electro
electric signal
light
amplifier
semiconductor laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA031442935A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1257382C (zh
Inventor
吕福云
盛秋琴
郭文刚
范宇
罗绍均
李春雷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nankai University
Original Assignee
Nankai University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nankai University filed Critical Nankai University
Priority to CN 03144293 priority Critical patent/CN1257382C/zh
Publication of CN1527025A publication Critical patent/CN1527025A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1257382C publication Critical patent/CN1257382C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

本发明涉及一种电光角度的测量装置,属于光电检测技术领域。角度测量分为:机械、电磁和光学方法三大类。几种方法都可以测量,但是,不能实现角度实时检测和方位信息的传递。本发明的目的是解决实时监测相距一定距离的发射和接收两个平台同轴相对旋转角,实现秒级测角精度,本发明的技术方案为:测量装置由发射、接收和电控三部分构成。光栅外腔半导体激光器为光源,铌酸锂电光晶体加载角度信息,偏振分光器和光探测器解调信息,用差分放大技术处理所得到的电信号。本发明的有益效果:解决了实时监测相距一定距离(0.5米到3米)的发射和接收两个平台同轴相对旋转角,实现了秒级测角精度(2.5″),并且使角度测量装置结构紧凑,抗震动,长期稳定工作。

Description

电光角度测量装置
技术领域
本发明涉及一种电光角度的测量装置,属于光电检测技术领域。
背景技术
角度测量是计量科学的重要组成部分,广泛应用于机械、光学、航空、航天、航海等领域,目前角度测量分为:机械方法、电磁方法和光学方法三大类。一般从测量准确度、稳定性、可靠性和使用寿命来衡量测角装置性能,另外可根据应用场合和测量精度的要求来选择测量方法。
机械测角基于机械分度定位原理的圆分度技术,由于采用了差动技术,两不同齿数的两件以上的齿盘啮合后,可获得的最小分度间隔为2′。因差动多齿分度台的操作比较麻烦,加工时,要保证中盘上下齿圈的同轴度比较困难,齿盘起落机构比较复杂,难于进一步提高测角精度。
电磁测角技术是最近几十年发展起来的新的测角技术,分为圆磁栅和感应同步器两种。利用了电磁参数细分,使仪器分度和测量范围扩大、分辨率提高,应用更加广泛。用圆磁栅测角时,磁栅和被测件同轴旋转,放磁头将磁栅上的标准录磁信号释放出来,并进行处理。但是磁栅的分度测量准确度略低于光栅和感应同步器;感应同步器利用电磁感应原理将位移量转换为电信号,以数字脉冲形式输出基准量。对于圆感应同步器来讲,转子和定子绕组的直径越大,电磁耦合度越大,测角准确度越高,与机械测角技术的多齿盘类似,具有平均效应。电磁测角方法的测量精度可达几秒量级。
光学测角方法与以上两种测角方法比较,具有更高的准确度,更易于细分。分为:光学分度头、正多面棱体、圆光栅、环形激光器、激光干涉测角等,这几种方法的测角精度都很高,一般为几秒或更高。不足之处是结构较复杂,对工作环境要求很高,在工作和检测现场使用欠方便。
以上几种方法都可以测量角度,但是,不能实现角度实时检测和方位信息的传递。在卫星发射,地对空、空对空导弹发射等场合,要求实时监测相距一定距离的发射和接收两个平台同轴相对旋转的角度,借助发射和接收两个平台同轴相对旋转角和相应光反射镜,实现垂直方位信息传递。这用已有测角技术都难于实现。
发明内容
本发明的目的是解决以上提出和讨论的问题,解决实时监测相距一定距离的发射和接收两个平台同轴相对旋转角,实现秒级测角精度,并且使角度测量装置结构紧凑,抗震动,能够长期稳定工作。
本发明的技术方案为:本测量装置由发射部分、接收部分和电控部分三部分构成。发射部分依次由半导体激光器(1)、光栅(2)、平面反射镜(3)、起偏器(4)、电光晶体(5)和1/4波片(9)构成,半导体激光器(1)、光栅(2)、构成窄线宽光源;平面反射镜(3)将光栅(2)衍射输出的光束反射给起偏器、起偏器将偏振光束传输给电光晶体,通过电光晶体加载电信号,并将加载电信号后的光束传给1/4波片;接收部分由偏振分光器(10)和两个光探测器(11)构成,发射部分1/4波片输出的光束传递给接收部分的偏振分光器,偏振分光器输出的光分别传输给两个光探测器;发射部分和接收部分分别安装在两个铝合金圆筒中;电控部分由驱动电源(6)、  电信号源(7)、  电信号放大器(8)和锁相放大器(12)构成,驱动电源驱动半导体激光器(1),电信号源产生的电信号分为两路,一路经过电信号放大器(8)放大后,加载到发射部分的电光晶体上(5),另一路输出给锁相放大器的参考输入端口,锁相放大器将接收部分的两个光探测器输出的电信号进行差分放大。
光栅外腔半导体激光器为光源,铌酸锂电光晶体加载角度信息,偏振分光器和光探测器解调信息,用差分放大技术处理所得到的电信号。
电光角度测量装置的发射部分将光源、起偏器、电光晶体和1/4波片同轴地安装在一个合金铝圆筒中,起偏器、电光晶体和1/4波片可以绕圆筒轴线转动,当达到要求位置后加以固定,它的作用是发射一束载有角度信息的调制光波;接收部分将偏振分光器和两个光探测器安装在另一个合金铝圆筒中,它的作用是对发射部分发出的调制光波进行解调;电控部分的驱动电源驱动半导体激光器,用电信号源和放大器向电光晶体上加载信息,用差分放大技术最终给出发射和接收两部分的同轴旋转角度信号。
本发明的有益效果是:解决了实时监测相距一定距离(0.5米到3米)的发射和接收两个平台同轴相对旋转角,实现了秒级测角精度(2.5″),并且使角度测量装置结构紧凑,抗震动,能够长期稳定工作。
附图说明
图1:电光角度测量装置结构示意图
图中:1为半导体激光器  2为光栅  3为平面反射镜  4为起偏器  5为电光晶体  6为驱动电源  7为电信号源  8为电信号放大器  9为1/4波片  10为偏振分光器  11为两个光探测器  12为锁相放大器
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行具体说明:电光角度测量装置由发射部分、接收部分和电控部分三部分构成;发射部分依次由半导体激光器(1)、光栅(2)、平面反射镜(3)、起偏器(4)、电光晶体(5)和1/4波片(9)构成,半导体激光器(1)、光栅(2)、构成窄线宽光源;平面反射镜(3)将光栅(2)衍射输出的光束反射给起偏器、起偏器将偏振光束传输给电光晶体,通过电光晶体加载电信号,并将加载电信号后的光束传给1/4波片;接收部分由为偏振分光器(10)和两个光探测器(11)构成,发射部分1/4波片输出的光束传递给接收部分的偏振分光器,偏振分光器输出的光分别传输给两个光探测器;发射部分和接收部分分别安装在两个铝合金圆筒中;电控部分由驱动电源(6)、电信号源(7)、电信号放大器(8)和锁相放大器(12)构成,驱动电源驱动半导体激光器,电信号源产生的电信号分为两路,一路经过电信号放大器放大后,加载到发射部分的电光晶体上,另一路输出给锁相放大器的参考输入端口,锁相放大器将接收部分的两个光探测器输出的电信号进行差分放大。
光栅外腔半导体激光器为光源,光栅外腔半导体激光器光源(1,2)输出窄线宽、光强稳定的准直光束,驱动电源(6)用高精度稳流电流驱动半导体激光器,用半导体激光器内部的光电二极管检测光输出功率,通过电流负反馈稳定光源输出的单纵模激光强度。
在铌酸锂电光晶体上加载角度信息,晶体的x轴方向(或y轴方向)加正弦电压信号,光沿晶体z轴方向传播,起偏器的透光方向与晶体x轴方向平行(或与y轴方向成45°角),1/4波片的快慢轴方向分别与晶体的电感应轴方向平行,从而将发射部分的旋转角度信息加载到了光波上。
偏振分光器和光探测器解调信息,偏振分光器的光轴方向分别与晶体的电感应轴方向平行,用两个光探测器分别测量两束光波,并将其转变为相应的电信号。差分放大技术处理所得到的电信号是用放大器进行差分放大,并滤掉由于器件定位误差产生的直流和谐波电信号。
实施例:
电光角度测量装置的一个实例如图1所示。它采用了本发明开发的紧凑光栅外腔半导体激光器作光源,通过铌酸锂电光晶体将旋转角度信息加载在光波上,信号解调用了渥拉斯顿棱镜的偏振分光作用和锁相差分放大技术。图中1为650nm半导体激光器,2为光栅,闪耀波长500nm,1200线/mm,3为镀金属膜的反射镜,光栅外腔半导体激光线宽0.06nm,功率大于2mw;4为起偏器,5为4×5×10mm3的铌酸锂电光晶体,6为半导体激光器驱动电源,7为低频信号源,8为低频信号放大器,9为650nm1/4波片,10为GCL-71111渥拉斯顿棱镜,11为两个硅光电池,12为锁相放大器。
通过机械加工精度保证半导体激光器发射的光束平行发射圆筒轴线方向,将光栅的一级衍射光反射回半导体激光器的有源区,形成腔外弱反馈,使激光器单纵模运转。光栅的0级衍射光,经反射镜反射后,沿发射圆筒轴线向前传播。半导体激光器的驱动源采用高精度稳流电源,并用半导体激光器内部的光电二极管检测光输出功率,通过电流负反馈稳定输出的单纵模激光强度。
调节起偏器的透光方向与晶体x轴方向一致,在铌酸锂电光晶体的x轴方向上加峰峰值电压为300V、频率为270Hz的正弦电压信号,光沿晶体z轴方向传播。调节1/4波片的快慢轴使其分别与晶体电感应轴方向相同。
接收部分偏振分光器的透光方向分别与起偏器的透光方向成45°角,用两个光探测器测量渥拉斯顿棱镜分开的两光束,并转变为相应的电信号。通过锁相放大器差分放大,滤掉由于器件定位误差产生的直流和谐波电信号。放大器的最小输出(接近零)对应发射和接收平台相对0°旋转角,即无相对转动。放大器的输出信号大小与发射和接收平台的相对转角成正比(在±5°范围内),从两路电信号的相位可确定发射和接收平台相对转动的方向。
当信号源接收部分相对于发射部分在±5°之间转动时,锁相放大器输出电压Δv随转角θ变化关系如下表。实验中,小角度的测量采用了经纬仪(每次转动2.5″)。当转角固定时,锁相放大器输出信号抖动为±0.8μv,每转动2.5″输出信号平均改变4μv。
                                                     实测数据表
测量次序     1     2     3     4     5     6     7     8
输出(μv)     86     82     78     74     69     65     61     57
测量次序     9     10     11     12     13     14     15     16
输出(μv)     53     49     45     41     37     34     30     26
测量次序     17     18     19     20     21     22     23     24
输出(μv)     21.0     16.5     11.0     6.5     1.5     -3.0     -7.0     -11
测量次序     25     26     27     28     29     30     31     32
输出(μv)     -15     -19     -23     -28     -33     -38     -42     -46
测量次序     33     34     35     36     37     38     39     40
输出(μv)     -50.0     -55     -59     -63     -67     -71     -75     -79
测量次序     41     42     43     44     45     46     47     48
输出(μv)     -84     -88     -92     -96     -101     -105     -109     -113

Claims (10)

1、一种电光角度测量装置,其特征在于:它由发射部分、接收部分和电控部分三部分构成;发射部分依次由半导体激光器(1)、光栅(2)、平面反射镜(3)、起偏器(4)、电光晶体(5)和1/4波片(9)构成,半导体激光器(1)、光栅(2)、构成窄线宽光源;平面反射镜(3)将光栅(2)衍射输出的光束反射给起偏器、起偏器将偏振光束传输给电光晶体,通过电光晶体加载电信号,并将加载电信号后的光束传给1/4波片;接收部分由为偏振分光器(10)和两个光探测器(11)构成,发射部分1/4波片输出的光束传递给接收部分的偏振分光器,偏振分光器输出的光分别传输给两个光探测器;发射部分和接收部分分别安装在两个铝合金圆筒中;电控部分由驱动电源(6)、电信号源(7)、电信号放大器(8)和锁相放大器(12)构成,驱动电源驱动半导体激光器,电信号源产生的电信号分为两路,一路经过电信号放大器放大后,加载到发射部分的电光晶体上,另一路输出给锁相放大器的参考输入端口,锁相放大器将接收部分的两个光探测器输出的电信号进行差分放大。
2、根据权利要求1所述的电光角度测量装置,其特征在于:所述的光源(1、2)是光栅外腔半导体激光器。
3、根据权利要求1所述的电光角度测量装置,其特征在于:所述的电光晶体(5)为铌酸锂晶体,电光晶体和1/4(9)波片采用平动方法固定。
4、根据权利要求1所述的电光角度测量装置,其特征在于:所述的电控部分中的锁相放大器(12)采用了差分放大技术。
5、根据权利要求1所述的电光角度测量装置的测量方法,其特征在于:光栅外腔半导体激光器为光源,铌酸锂电光晶体加载角度信息,偏振分光器和光探测器解调信息,差分放大技术处理得到电信号。
6、根据权利要求5所述的电光角度测量装置的测量方法,其特征在于:所述的光栅外腔半导体激光器光源(1,2)输出窄线宽、光强稳定的准直光束,驱动器(6)用高精度稳流电流驱动半导体激光器,用半导体激光器内部的光电二极管检测光输出功率,通过电流负反馈稳定输出的单纵模激光强度。
7、根据权利要求5所述的电光角度测量装置的测量方法,其特征在于:所述的铌酸锂电光晶体加载角度信息是在电光晶体的x轴方向(或y轴方向)加正弦电压信号,光沿晶体z轴方向传播,起偏器的透光方向与晶体x轴方向平行(或与y轴方向成45°角),1/4波片的快慢轴方向分别与晶体的电感应轴方向平行,从而将发射部分的旋转角度信息加载到了光波上。
8、根据权利要求5所述的电光角度信息传递装置的测量方法,其特征在于:所述的偏振分光器(10)和光探测器(11)解调信息是偏振分光器的光轴方向分别与晶体的电感应轴方向平行,用两个光探测器分别测量两束光波,并将其转变为相应的电信号。
9、根据权利要求5所述的电光角度信息传递装置的测量方法,其特征在于:所述的差分放大技术处理所得到的电信号是用放大器(8)进行差分放大,并滤掉由于器件定位误差产生的直流和谐波电信号。
10、根据权利要求5所述的电光角度信息传递装置的测量方法,其特征在于包括下述步骤:
1)启动驱动电源(6)使光源(1,2)正常工作
2)打开电信号源和放大器(7,8)向电光晶体(5)上加载信号
3)开启锁相放大器(12)调节发射接收两部分使其同轴并测量它们之间的转角。
CN 03144293 2003-09-19 2003-09-19 电光角度测量装置 Expired - Fee Related CN1257382C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 03144293 CN1257382C (zh) 2003-09-19 2003-09-19 电光角度测量装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 03144293 CN1257382C (zh) 2003-09-19 2003-09-19 电光角度测量装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1527025A true CN1527025A (zh) 2004-09-08
CN1257382C CN1257382C (zh) 2006-05-24

Family

ID=34286606

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 03144293 Expired - Fee Related CN1257382C (zh) 2003-09-19 2003-09-19 电光角度测量装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1257382C (zh)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1306245C (zh) * 2005-02-08 2007-03-21 王治平 激光数字式角度测量方法及其装置
CN1313836C (zh) * 2005-02-05 2007-05-02 中国科学院上海光学精密机械研究所 电光调制脉冲激光测距仪
CN100489447C (zh) * 2007-10-11 2009-05-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种检验非接触式测角系统精度的检测台
CN100559114C (zh) * 2008-08-07 2009-11-11 北京空间机电研究所 一种高精度测角方法
CN101189488B (zh) * 2005-09-21 2010-05-19 松下电器产业株式会社 角度测定装置及方法
CN102082394A (zh) * 2010-12-08 2011-06-01 山西飞虹激光科技有限公司 一种大功率半导体激光偏振耦合装置及其耦合方法
CN102545026A (zh) * 2011-04-06 2012-07-04 北京国科世纪激光技术有限公司 实现注入激光能量稳定的系统及方法
CN105066910A (zh) * 2015-08-21 2015-11-18 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 电光晶体z轴偏离角测量装置及测量方法
CN105910532A (zh) * 2016-06-13 2016-08-31 清华大学 测角系统零位误差测试及综合误差补偿方法
CN106289155A (zh) * 2016-07-21 2017-01-04 哈尔滨工业大学 一种基于光子轨道角动量的超灵敏角度探测装置及方法
CN110631513A (zh) * 2018-05-18 2019-12-31 安徽大学 基于多纵模自混合效应的双正交平面镜内入射型角度传感测量装置及方法
CN111256583A (zh) * 2020-02-03 2020-06-09 暨南大学 一种差分自混合干涉测量系统及方法
CN114981617A (zh) * 2020-01-29 2022-08-30 舍弗勒技术股份两合公司 离合器致动器、用于感测旋转部件的角度位置的感测系统以及方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102175184B (zh) * 2011-01-10 2012-11-21 中国科学院光电技术研究所 偏振光栅自参考自准直二维测角装置

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1313836C (zh) * 2005-02-05 2007-05-02 中国科学院上海光学精密机械研究所 电光调制脉冲激光测距仪
CN1306245C (zh) * 2005-02-08 2007-03-21 王治平 激光数字式角度测量方法及其装置
CN101189488B (zh) * 2005-09-21 2010-05-19 松下电器产业株式会社 角度测定装置及方法
CN100489447C (zh) * 2007-10-11 2009-05-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种检验非接触式测角系统精度的检测台
CN100559114C (zh) * 2008-08-07 2009-11-11 北京空间机电研究所 一种高精度测角方法
CN102082394A (zh) * 2010-12-08 2011-06-01 山西飞虹激光科技有限公司 一种大功率半导体激光偏振耦合装置及其耦合方法
CN102082394B (zh) * 2010-12-08 2012-06-06 山西飞虹激光科技有限公司 一种大功率半导体激光偏振耦合装置及其耦合方法
CN102545026B (zh) * 2011-04-06 2013-08-21 北京国科世纪激光技术有限公司 实现注入激光能量稳定的系统及方法
CN102545026A (zh) * 2011-04-06 2012-07-04 北京国科世纪激光技术有限公司 实现注入激光能量稳定的系统及方法
CN105066910A (zh) * 2015-08-21 2015-11-18 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 电光晶体z轴偏离角测量装置及测量方法
CN105066910B (zh) * 2015-08-21 2017-06-30 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 电光晶体z轴偏离角测量装置及测量方法
CN105910532A (zh) * 2016-06-13 2016-08-31 清华大学 测角系统零位误差测试及综合误差补偿方法
CN105910532B (zh) * 2016-06-13 2018-08-03 清华大学 测角系统零位误差测试及综合误差补偿方法
CN106289155A (zh) * 2016-07-21 2017-01-04 哈尔滨工业大学 一种基于光子轨道角动量的超灵敏角度探测装置及方法
CN110631513A (zh) * 2018-05-18 2019-12-31 安徽大学 基于多纵模自混合效应的双正交平面镜内入射型角度传感测量装置及方法
CN110631513B (zh) * 2018-05-18 2021-03-30 安徽大学 双正交平面镜内入射型角度传感测量装置及方法
CN114981617A (zh) * 2020-01-29 2022-08-30 舍弗勒技术股份两合公司 离合器致动器、用于感测旋转部件的角度位置的感测系统以及方法
CN111256583A (zh) * 2020-02-03 2020-06-09 暨南大学 一种差分自混合干涉测量系统及方法
CN111256583B (zh) * 2020-02-03 2021-09-21 暨南大学 一种差分自混合干涉测量系统及方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN1257382C (zh) 2006-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1257382C (zh) 电光角度测量装置
US4171908A (en) Automatic two wavelength photoelasticimeter
Payne et al. Rangefinder with fast multiple range capability
CN109342022B (zh) 一种可调谐激光器波长动态标定装置和方法
CN1118684C (zh) 开环光纤陀螺信号检测方法及装置
CN105136431A (zh) 基于声光调制的光学器件透反射率的测量系统
CN100363728C (zh) 激光回馈波片测量装置
CN102636109B (zh) 复合电流调制半导体激光干涉仪
CN112039523A (zh) 基于极化调制的铷双光子跃迁光频标
CN112304225B (zh) 一种对称式半导体激光自混合光栅干涉三维位移测量系统及其测量方法
CN113008833B (zh) 一种高精度光学薄膜透射率/反射率测量方法及装置
CN103760377A (zh) 一种轮式机器人行走电机转速的测定方法以及测量装置
CN115752416A (zh) 用于检测角速度信号的谐振式光纤陀螺仪
US4820047A (en) Laser heterodyne apparatus for measuring optical power
CN113219436A (zh) 一种基于晶体微环的色散干涉雷达
CN1264006C (zh) 一种高精度的旋光角测量装置和测量方法
CN108917909A (zh) 基于自混合干涉的高精度振幅实时测量装置和方法
CN101738160A (zh) 双光源正弦相位调制位移测量干涉仪
CN103308460A (zh) 一种基于微机电干涉平台的微型光谱仪
CN201464161U (zh) 一种多光源相位延迟器件测量系统
CN1563890A (zh) 双正弦相位调制实时干涉测距仪
CN101769725B (zh) F-p板反馈补偿法角位移测量仪
CN110492933B (zh) 不等臂干涉仪的四相位电压精确测量装置的测量方法
CN111398218B (zh) 一种基于磁光检测的有效电光系数测量装置及方法
CN102944232B (zh) 一种光纤陀螺调制电压的在线对准装置及在线对准方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee