CN1503615A - 节料型原子束发生器 - Google Patents
节料型原子束发生器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1503615A CN1503615A CNA021532710A CN02153271A CN1503615A CN 1503615 A CN1503615 A CN 1503615A CN A021532710 A CNA021532710 A CN A021532710A CN 02153271 A CN02153271 A CN 02153271A CN 1503615 A CN1503615 A CN 1503615A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- crucible
- inner core
- atomic beam
- hole
- spray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000007921 spray Substances 0.000 abstract description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 241000736800 Vernonia Species 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
Abstract
节料型原子束发生器主要由坩埚，坩埚内芯，内外加热体的双加热坩埚炉，以及炉底板，隔热套，真空腔体等部分组成。原子束通过坩埚内芯和坩埚二个喷射口喷入真空腔内，由坩埚内芯喷射出的大部分原子因发散角较大，未能通过坩埚第二个喷射口喷出，而沿坩埚内壁流下被回收循环使用。因而不仅节约了大量原子材料，而且在坩埚一次装料相同情况下，连续喷射时间拉长，大大提高了工作效率。
Description
技术领域
本发明是一种节料型原子束发生器，属于原子束生成技术领域。
背景技术
随着现代科学技术的发展，人们把磁光场用于对原子进行控制，制作各种超微细图形。为了产生原子束，一般使用加热真空系统某局部原子材料的原子发生器产生。这些能产生原子束的原子发生器设备，由于从喷射小孔喷出的原子具有较大的发散角，而真正能被利用的只有小发散角原子，大部分发散角较大原子都被挡板挡去而浪费掉，连续工作不了多少时间就需加原子材料，因此尽管高纯度原子材料比较贵重，这些设备却都还存在着耗料大，可连续喷射原子束时间短的缺陷。
发明内容
本发明的技术解决问题是：提供一种节料型原子束发生器，既能大量节省原子材料，又能不停机长时间连续喷射。
本发明的技术解决方案是：节料型原子束发生器，包括真空腔体8及真空腔9，其特点在于：还包括内外双加热坩埚炉，该包括内外双加热坩埚炉由坩埚4、内外双加热体6、5，坩埚盖16和坩埚内芯14，在坩埚4外壁装有外加热体5，并开有刀口形喷射孔12(包括外加热体5也对应开有孔)，坩埚盖16紧盖在坩埚4上，坩埚4内还装有坩埚内芯14，在坩埚内芯14的上部开有与坩埚4上喷射孔12对齐的刀口形喷射孔17，下部开有让液体材料流入的孔20，在坩埚内芯14外壁紧套有内加热体6，并在对应坩埚内芯14上部喷射孔12位置留出孔，坩埚内芯14中间装有若干根带有小毛细内孔耐高温管21，在其上部还装带有倾角的反射板15。
本发明的目的也可以通过以下技术措施实现：被外加热体加热熔为液体的原子束材料，通过坩埚内芯下部孔流入内芯，液体材料在带有小毛细内孔耐高温管中上升一段高度，再通过内加热体加热，在毛细内孔中原子通过反射板反射，从坩埚内芯的喷射孔以大发散角喷出原子束，除中间正对坩埚孔的小部分原子束继续喷入真空腔中以外，大部分原子都打在坩埚的内壁上，而流回底部，形成循环回收，可提供坩埚内芯的再次喷射。
本发明与现有技术相比具有的有益效果是：由于本发明发生器中坩埚内芯第一次喷射出的大部分发散角较大的原子，不能通过坩埚第二个喷射口喷出，而都被坩埚壁挡住回收循环使用，使本发生器节约了大量的原子材料，达到耗料很省；在坩埚容积和装料相同情况下，本发生器使一次装料不停机可连续喷射时间也大大拉长。总之，本发明发生器不仅节约材料，减少了费用，而且还大大提高了工作效率。
附图说明
图1为本发明实施例节料型原子束发生器的结构图；
图2为内外双加热坩埚炉结构图。
具体实施方式
如图1所示，节料型原子束发生器由包括双加热坩埚炉和真空腔体8，而双加热坩埚炉由坩埚4，炉底板2，隔热套3和内外双加热体6、5组成。坩埚4与内外双加热体6、5一同安放在双加热坩埚炉的炉底板2上，并经炉底板2与双加热坩埚炉外壳1连接，双加热坩埚炉外壳1与真空腔体8紧密连结成一体，使炉内部坩埚与真空腔9同时构成真空内腔。双加热坩埚炉外壳1周围内壁夹层安装有可通冷却用水7，以冷却坩埚炉外壳1和真空腔体8。在双加热坩埚炉被加热到正常温度后，较小发散角原子束11从坩埚4刀口形喷射孔12喷射出，射入真空腔9内，提供给磁光场控制，用于制作各种超微细图形。如不需要原子束时，可向下移动挡板10挡去原子束11射入真空腔9内。
图2为由坩埚4、内外双加热体6、5，坩埚盖16和坩埚内芯14等组成的内外双加热坩埚炉结构图。在坩埚4外壁装有外加热体5，并开有刀口形喷射孔12(包括外加热体5也对应开有孔)，坩埚盖16紧盖在坩埚4上，不让材料在加热后，其原子从盖缝处溢出。坩埚4内还装有中间是空心的坩埚内芯14，在坩埚内芯14的上部开有与坩埚4上喷射孔12对齐的刀口形喷射孔17，下部开有液体材料流入孔20，在坩埚内芯14外壁紧套有内加热体6，并在对应坩埚内芯14上部喷射孔12位置留出孔，以免阻止原子从坩埚内芯14喷射出。中空的坩埚内芯14中间装有若干根带有小毛细内孔耐高温管21，在其上部还装有带45°倾角反射板15。当让外加热体5通电加热，并控制使材料熔化为液体19聚积于坩埚4的底部，底部液体材料19通过坩埚内芯14下部孔20流入内芯，由于浸湿和毛细原理，液体材料19可在带有小毛细内孔耐高温管21中上升一段高度，当再让内加热体6通电加热，使在毛细内孔耐高温管21孔内的液体原子材料进一步升温，控制使液体原子材料达到升华温度，此时原子材料以游离态原子通过反射板15反射，从坩埚内芯14上部的喷射孔12以大发散角喷出原子束18，由于原子束18发散角较大，周围大部分原子都打在坩埚4的内壁上，而流回坩埚4的底部，只有正对坩埚4外壁刀口形喷射孔12的小部分原子，继续通过坩埚4喷射孔12喷射出，形成发散角较小的我们所需要的原子束12进入到真空腔9中。
原子束的发散角与两喷射孔17、12的大小和距离有关，两喷射孔愈小或距离愈远，原子束的发散角也愈小，束斑直径也会变得愈小，而束斑直径大小是由要制作的超微细图形要求来决定的，所以发散角大小也受到要制作的超微细图形要求影响。
Claims (3)
1、节料型原子束发生器，包括真空腔体(8)及真空腔(9)，其特点在于：还包括内外双加热坩埚炉，该包括内外双加热坩埚炉由坩埚(4)、内加热体(6)、外加热体(5)，坩埚盖(16)和坩埚内芯(14)，在坩埚(4)外壁装有外加热体(5)，并开有刀口形喷射孔(12)，坩埚盖(16)紧盖在坩埚(4)上，坩埚(4)内还装有坩埚内芯(14)，在坩埚内芯(14)的上部开有与坩埚(4)上喷射孔(12)对齐的刀口形喷射孔(17)，下部开有让液体材料流入的孔(20)，在坩埚内芯(14)外壁紧套有内加热体(6)，并在对应坩埚内芯(14)上部喷射孔(12)位置留出孔，坩埚内芯(14)中间装有若干根带有小毛细内孔耐高温管(21)，在其上部还装有带倾角的反射板(15)。
2、根据权利要求1所述的节料型原子束发生器，其特征在于：所述的带倾角的反射板(15)的倾角为45°。
3、根据权利要求1所述的节料型原子束发生器，其特征在于：坩埚内芯(14)中间为空心。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 02153271 CN1287644C (zh) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 节料型原子束发生器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 02153271 CN1287644C (zh) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 节料型原子束发生器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1503615A true CN1503615A (zh) | 2004-06-09 |
| CN1287644C CN1287644C (zh) | 2006-11-29 |
Family
ID=34235065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 02153271 Expired - Fee Related CN1287644C (zh) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 节料型原子束发生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1287644C (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103347361A (zh) * | 2013-07-11 | 2013-10-09 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 | 二维可调温控束源装置 |
| CN113917828A (zh) * | 2021-10-13 | 2022-01-11 | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 | 一种适用于可搬运光钟系统的原子束装置 |
-
2002
- 2002-11-26 CN CN 02153271 patent/CN1287644C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103347361A (zh) * | 2013-07-11 | 2013-10-09 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 | 二维可调温控束源装置 |
| CN103347361B (zh) * | 2013-07-11 | 2015-07-15 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 | 二维可调温控束源装置 |
| CN113917828A (zh) * | 2021-10-13 | 2022-01-11 | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 | 一种适用于可搬运光钟系统的原子束装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1287644C (zh) | 2006-11-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106175429A (zh) | 蒸箱装置及其蒸汽冷凝方法 | |
| CN1287644C (zh) | 节料型原子束发生器 | |
| CN207435496U (zh) | 一种散热性能好的井式球化退火炉 | |
| CN201476539U (zh) | 一种强制冷却式还原蒸馏炉 | |
| CN209515775U (zh) | 一种风冷电池组 | |
| US4974817A (en) | Metal melting and holding furnace | |
| CN209334428U (zh) | 一种环保、多功能的eps融化装置 | |
| CN211497832U (zh) | 电子连接器镀层用的加热酸碱池 | |
| CN213631661U (zh) | 一种闭式塔的节能控温装置 | |
| CN207472028U (zh) | 一种用于铝锭熔炼的节能环保型熔铝炉 | |
| CN209334429U (zh) | 一种eps融化箱通风、供热装置 | |
| CN109530410A (zh) | 一种环保、多功能的eps融化系统 | |
| CN210280622U (zh) | 一种压铸机专用冷却装置 | |
| CN205972424U (zh) | 一种用于生产胶囊的胶液保温桶 | |
| CN206989744U (zh) | 一种废弃蒸汽回收利用装置 | |
| CN114532855A (zh) | 一种烹饪设备的导风散热结构及烹饪设备 | |
| CN201355474Y (zh) | 个人电脑水冷散热系统 | |
| CN108036644A (zh) | 一种用于铝锭熔炼的节能环保型熔铝炉 | |
| CN212005781U (zh) | 一种节能型煤气灶铝炉头 | |
| TWI727748B (zh) | 能快速啟動加熱的電熱水器系統及其加熱方法 | |
| CN112006529B (zh) | 一种蒸箱微波炉一体机 | |
| CN209174881U (zh) | 一种新型的低压铸造设备 | |
| CN2329686Y (zh) | 吊瓶式蒸汽电熨斗 | |
| CN212841487U (zh) | 一种具有三重汽化功能的蒸汽锅炉结构 | |
| CN215226836U (zh) | 一种烹饪设备的导风散热结构及烹饪设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |