CN1483855A - 耐高温等离子体谐振腔 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的耐高温等离子体谐振腔，包括有一筒形的谐振腔壳体和包覆在谐振腔壳体外的隔热层，谐振腔壳体中设有环形的谐振腔体，其不同之处在于在谐振腔壳体内围绕谐振腔体的外围和两端设置有冷却水道。本发明的优点在于：1.通过在谐振腔体的外周和两端设置冷却水道，形成一个整体形的冷却带，这不仅增大了冷却量，而且使冷却分布更为均匀，可使等离子体谐振腔在较低温度下长时间的连续工作，同时也延长了它的使用寿命；2.有助于等离子体谐振腔加工功率的进一步提高；3.采用薄石英玻璃套罩在隔热层的外面，可避免掉渣现象的发生，能使隔热层长期使用而无损坏，保持稳定可靠洁净的隔热性能。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的耐高温等离子体谐振腔，是对现有等离子体谐振腔的进一步改进。
背景技术
PCVD即等离子化学气相沉积工艺是光纤预制棒加工的主要工艺之一，PCVD工艺的加工机理是通过高频微波对反应物气体的直接作用，使其迅速发生物理化学反应而形成纯二氧化硅或掺杂的二氧化硅，在石英管内壁直接以玻璃态沉积。等离子体谐振腔是发射高频微波能量完成上述工艺加工的关键核心部件。在PCVD工艺中石英管需要在约1200℃的温度中进行沉积，等离子体谐振腔也必须处在这样的高温环境中进行工作，因此，需要在等离子体谐振腔设置冷却水道和外隔热层，才能使其在保持较低温度的情况下正常工作。现有的等离子体谐振腔通常只在谐振腔的两端设置冷却水道，这不仅冷却量小，而且冷却分布不匀，所以连续工作时间短，易于产生谐振腔体的不良变形而影响其使用寿命；另一方面，隔热层是由耐火材料直接包覆在谐振腔壳体外而形成，在急冷急热后易裂、易碎，会产生掉渣污染产品的问题，且需频繁维护保养。随着光纤预制棒规格的加大，等离子体谐振腔释放功率的增高，以及连续加工时间的延长，上述问题尤为突出。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是在于提供一种耐高温性能好、使用寿命长、连续工作时间长的等离子体谐振腔，以克服现有技术存在的不足。
本发明所要进一步解决的技术问题是提供一种其隔热层能长期使用无损、性能稳定、且不污染产品的等离子体谐振腔。
本发明为解决上述提出的问题所采用的技术方案为：包括有一筒形的谐振腔壳体4和包覆在谐振腔壳体外的隔热层，谐振腔壳体中设有环形的谐振腔体7，其不同之处在于在谐振腔壳体内围绕谐振腔体的外围和两端设置有冷却水道8。
按上述方案，在谐振腔壳体内围绕谐振腔体的外周和两端设置有一条往复式冷却水道，往复式冷却水道的头尾分别与进、出水口11、9相接。
按上述方案，本发明的进一步改进在于所述的隔热层由耐火纤维层3、耐火材料护套2和外罩的薄石英玻璃套1构成。
本发明的优点在于：1、通过在谐振腔体的外周和两端设置冷却水道，形成一个整体形的冷却带，这不仅增大了冷却量，而且使冷却分布更为均匀，可使等离子体谐振腔在较低温度下长时间的连续工作，使其耐高温性能得到进一步的改善，同时也延长了它的使用寿命；2、有助于等离子体谐振腔加工功率的进一步提高；3、采用薄石英玻璃套罩在隔热层的外面，既可增强对耐火材料的保护，又可避免掉渣现象的发生，能使隔热层长期使用而无损坏，保持稳定可靠洁净的隔热性能。
附图说明
图1为本发明一个实施例的正剖视结构图。
图2为图1中谐振腔壳体中冷却水道的展开剖视图，图中箭头表示水流方向。
具体实施方式
以下结合附图进一步说明本发明的实施例，包括有一圆筒形的谐振腔壳体4，谐振腔壳体由金属材料制成，包括外圆筒面和内圆筒面，中部设有轴向通孔，在谐振腔壳体中设有环形的谐振腔体7，谐振腔体的内圆筒面开设有功率输出口6，谐振腔体的外圆筒面与功率输入孔10相接，功率输出孔大致位于谐振腔壳体的中部，在谐振腔壳体内围绕谐振腔体的外周和两端设置有一条轴向往复巡回式冷却水道8，其中两端转折处的冷却水道向内延伸一段距离，冷却水道的头尾分别与进、出水口11、9相接。进、出水孔口位于功率输入口的两侧。在谐振腔壳体外包覆有隔热层，隔热层由耐火纤维层3、耐火材料护套2、耐火纤维层3和外罩的薄石英玻璃套1构成，中间开设通孔，与谐振腔壳体中部的轴向通孔相配置，供被加工沉积的石英管5穿行。本实施例在工作环境温度为1150～1200℃，可连续工作的时间超过10小时。
Claims (5)
1、一种耐高温等离子体谐振腔，包括有一筒形的谐振腔壳体(4)和包覆在谐振腔壳体外的隔热层，谐振腔壳体中设有环形的谐振腔体(7)，其特征在于在谐振腔壳体内围绕谐振腔体的外围和两端设置有冷却水道(8)。
2、按权利要求1所述的耐高温等离子体谐振腔，其特征在于在谐振腔壳体内围绕谐振腔体的外周和两端设置有一条往复式冷却水道，往复式冷却水道的头尾分别与进、出水口(11)、(9)相接。
3、按权利要求1或2所述的耐高温等离子体谐振腔，其特征在于所述的隔热层由耐火纤维层(3)、耐火材料护套(2)和外罩的薄石英玻璃套(1)构成。
4、按权利要求2所述的耐高温等离子体谐振腔，其特征在于在谐振腔壳体内围绕谐振腔体的外周和两端设置有一条轴向往复巡回式冷却水道，其中两端转折处的冷却水道向内延伸一段距离。
5、按权利要求1或2所述的耐高温等离子体谐振腔，其特征在于隔热层由耐火纤维层、耐火材料护套、耐火纤维层和外罩的薄石英玻璃套构成。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CNB021390800A CN1202282C (zh) | 2002-09-20 | 2002-09-20 | 耐高温等离子体谐振腔 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CNB021390800A CN1202282C (zh) | 2002-09-20 | 2002-09-20 | 耐高温等离子体谐振腔 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1483855A true CN1483855A (zh) | 2004-03-24 |
| CN1202282C CN1202282C (zh) | 2005-05-18 |
Family
ID=34147360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CNB021390800A Expired - Lifetime CN1202282C (zh) | 2002-09-20 | 2002-09-20 | 耐高温等离子体谐振腔 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1202282C (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101657565A (zh) * | 2007-04-17 | 2010-02-24 | 株式会社爱发科 | 成膜装置 |
| CN101573788B (zh) * | 2005-12-23 | 2012-06-06 | 阿尔卡特朗讯 | 深冲谐振器壳体的附着 |
| CN106455287A (zh) * | 2016-07-29 | 2017-02-22 | 中国原子能科学研究院 | 一种超导回旋加速器不平衡双内杆螺旋形高频谐振腔 |
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2002
- 2002-09-20 CN CNB021390800A patent/CN1202282C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN101657565A (zh) * | 2007-04-17 | 2010-02-24 | 株式会社爱发科 | 成膜装置 |
| CN106455287A (zh) * | 2016-07-29 | 2017-02-22 | 中国原子能科学研究院 | 一种超导回旋加速器不平衡双内杆螺旋形高频谐振腔 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1202282C (zh) | 2005-05-18 |
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