CN1311350A - 导电膜蚀刻剂及蚀刻方法 - Google Patents

导电膜蚀刻剂及蚀刻方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1311350A
CN1311350A CN 00136167 CN00136167A CN1311350A CN 1311350 A CN1311350 A CN 1311350A CN 00136167 CN00136167 CN 00136167 CN 00136167 A CN00136167 A CN 00136167A CN 1311350 A CN1311350 A CN 1311350A
Authority
CN
China
Prior art keywords
conductive film
agent
parts
etching
etchant
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN 00136167
Other languages
English (en)
Inventor
张青
廖显伯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DAOYUAN SCIENCE AND TECHNICAL DEVELOPMENT Co Ltd ZHUHAI
Original Assignee
DAOYUAN SCIENCE AND TECHNICAL DEVELOPMENT Co Ltd ZHUHAI
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DAOYUAN SCIENCE AND TECHNICAL DEVELOPMENT Co Ltd ZHUHAI filed Critical DAOYUAN SCIENCE AND TECHNICAL DEVELOPMENT Co Ltd ZHUHAI
Priority to CN 00136167 priority Critical patent/CN1311350A/zh
Publication of CN1311350A publication Critical patent/CN1311350A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Weting (AREA)
  • Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

本发明涉及一种导电膜蚀刻剂及蚀刻方法,其特征在于它由盐酸、增稠剂、增塑剂、消泡剂和水组成,通过化学反应使导电膜的In+3和Sn+4被盐酸溶解,用丝网印刷方法,蚀刻出电极图形,再经冲洗处理即可,该产品蚀刻的电极图形清晰,无污染,提高了电子制产品质量和性能。

Description

导电膜蚀刻剂及蚀刻方法
本发明涉及一种导电膜蚀刻剂,用于制造电子产品的电极图形,特别适用于制作弱光型非晶硅电池的透明电极的电极图形。
本发明还涉及刻蚀剂的蚀刻方法。
导电膜是由SnIno2制作的导电材料,溅射在玻璃板成膜,过去制作弱光型非晶硅电池的电极图形是用耐酸油墨,通过丝网印刷覆盖在导电膜上,未覆盖的部分用盐酸溶解,覆盖部分保留下来即为电极图形,其缺点是制作的电极图形线条不清晰,外观不整洁,电极导电膜易污染,成本高。
本发明的目的正是为了克服上述已有技术的缺点与不足,而提供一种通过化学反应采用印刷的方法的一种导电膜蚀刻剂,从而可得到优良的电极图形,提高产品质量。
本发明的另一目的是提供刻蚀剂的蚀刻方法。
本发明的技术是利用导电膜的SnIno2可与盐酸迅速反应的原理而研制的蚀刻剂。其化学反应为 ,再加入一些辅助材料制成涂料式的蚀刻剂。
本发明目的是通过下列技术方案实现的:
导电膜蚀刻剂,其特征在于它是由下述重量配比的原料制成的涂料:
盐酸   20-30份
增稠剂 0.2-50份
增塑剂 8-12份
消泡剂 3-4份
水     80-90份。
增稠剂是甲基纤维素、羟丙基纤维素、羟甲基纤维素、黄原胶、淀粉其中任意一种。
增塑剂是邻苯二甲酸二甲酯、癸二酸二丁酯、乙二酸二辛酯、磷酸三甲酚酯其中的任意一种。
消泡剂是十四醇、乙二醇壬醚、B173、NoPco.600B、磷酸三丁酯其中任意一种。
本发明的蚀刻剂的刻蚀方法为:将蚀刻剂用屏蔽网制成图形用丝印的方法印在导电膜上,放入空气中自然反应,时间为2小时,或放入烘箱内烘烤,其温度为60℃±2,时间3-5分钟即可蚀刻导电膜,然后在清水中冲洗或浸泡4小时,即刻蚀成透明的电极图形。
由于采取上述技术方案,使本发明技术与已有技术相比具有如下优点及效果:
a)本发明的蚀刻剂具有溶解速度快、蚀刻线条清晰,外观整洁,一致性好,不损伤导电膜,不污染导电膜表面,从而可提高电子产品的质量和性能;
b)蚀剂剂组方简单,配方合理科学,产品成本低,气味小,污染小;
c)蚀刻方法简单,省工省力,适用范围广。
实施例1:
取盐酸20g,甲基纤维素0.2g,邻苯二甲酸二甲酯12g,十四醇3g,水80g,将上述原料依次加入容器内经搅拌制成本发明的蚀刻剂。
实施例2:
取盐酸25g,羟丙基纤维素0.5g,癸二酸二丁酯10g,乙二醇壬醚4g,水25g,将上述原料依次加入容器内经搅拌制成本发明的蚀刻剂。
实施例3:
取盐酸30g,羟甲基纤维素1.0g,乙二酸二辛酯11g,B1733g,水90g,将上述原料依次加入容器内经搅拌制成本发明的蚀刻剂。
实施例4:
取盐酸22g,黄原胶20g,磷酸三甲酚酯10g,NoPco.600B4.5g,水88g,将上述原料依次加入容器内经搅拌制成本发明的蚀刻剂。
实施例5:
取盐酸28g,淀粉50g,磷酸三甲酚酯8g,磷酸三丁酯3.5g,水85g。将上述原料依次加入容器内经搅拌制成本发明的蚀刻剂。
用实施例1蚀刻剂对4个单元电池组成的外联弱光型非晶硅光电池的透明电极图形时,把屏蔽网作成外联形状,通过丝印方法,把它印在沉积有导电膜的玻璃上,在涂有蚀刻剂的部分即被溶解,未溶解部分即保留下来,成为电极图形。

Claims (5)

1、导电膜蚀刻剂,其特征在于它是由下述重量配比的原料制成的涂料:
盐酸   20-30份
增稠剂 0.2-50份
增塑剂 8-12份
消泡剂 3-4份
水     80-90份。
2、根据权利要求1所述的蚀刻剂,其特征在于所述的增稠剂是甲基纤维素、羟丙基纤维素、羟甲基纤维素、黄原胶、淀粉其中任意一种。
3、根据权利要求1所述的蚀刻剂,其特征在于所述的增塑剂是邻苯二甲酸二甲酯、癸二酸二丁酯、乙二酸二辛酯、磷酸三甲酚酯其中的任意一种。
4、根据权利要求1所述的蚀刻剂,其特征在于所述的消泡剂是十四醇、乙二醇壬醚、B173、NoPco/600B、磷酸三丁酯其中任意一种。
5、如权利要求1所述的蚀刻剂的蚀刻方法,其特征在于将蚀刻剂用屏蔽网制成图形用丝印的方法印在导电膜上,放入空气中自然反应,时间为2小时,或放入烘箱内烘烤,其温度为60℃±2,时间3-5分钟即可蚀刻导电膜,然后在清水中冲洗或浸泡4小时,即刻蚀成透明的电极图形。
CN 00136167 2000-12-27 2000-12-27 导电膜蚀刻剂及蚀刻方法 Pending CN1311350A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 00136167 CN1311350A (zh) 2000-12-27 2000-12-27 导电膜蚀刻剂及蚀刻方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 00136167 CN1311350A (zh) 2000-12-27 2000-12-27 导电膜蚀刻剂及蚀刻方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1311350A true CN1311350A (zh) 2001-09-05

Family

ID=4597105

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 00136167 Pending CN1311350A (zh) 2000-12-27 2000-12-27 导电膜蚀刻剂及蚀刻方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1311350A (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102839376A (zh) * 2012-09-29 2012-12-26 营口银河镁铝合金有限公司 镁或镁合金蚀刻添加剂的制备及应用
CN103400902A (zh) * 2013-08-14 2013-11-20 迅力光能(昆山)有限公司 一种ito薄膜太阳能电池片及其图案制备方法
CN106531286A (zh) * 2016-12-26 2017-03-22 浙江晶科能源有限公司 一种刻蚀浆料及刻蚀方法
CN108520856A (zh) * 2018-05-18 2018-09-11 中国科学院微电子研究所 一种ito薄膜的图案化方法
CN112941516A (zh) * 2020-12-29 2021-06-11 苏州运宏电子有限公司 一种精控式蚀刻液及其蚀刻方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102839376A (zh) * 2012-09-29 2012-12-26 营口银河镁铝合金有限公司 镁或镁合金蚀刻添加剂的制备及应用
CN103400902A (zh) * 2013-08-14 2013-11-20 迅力光能(昆山)有限公司 一种ito薄膜太阳能电池片及其图案制备方法
CN106531286A (zh) * 2016-12-26 2017-03-22 浙江晶科能源有限公司 一种刻蚀浆料及刻蚀方法
CN106531286B (zh) * 2016-12-26 2019-01-29 浙江晶科能源有限公司 一种刻蚀浆料及刻蚀方法
CN108520856A (zh) * 2018-05-18 2018-09-11 中国科学院微电子研究所 一种ito薄膜的图案化方法
CN112941516A (zh) * 2020-12-29 2021-06-11 苏州运宏电子有限公司 一种精控式蚀刻液及其蚀刻方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106046918A (zh) 一种导电油墨及其制备方法
CN106229036A (zh) 一种透明导电薄膜及其制备方法
CN102792465B (zh) 掩模糊料以及用于制造部分透明的薄膜光伏板的方法
CN1311350A (zh) 导电膜蚀刻剂及蚀刻方法
WO2014000845A1 (de) Verfahren zur herstellung von solarzellen mit local back surface field (lbsf)
CN111826008A (zh) 一种减反射镀膜液及其制备方法
CN106653875A (zh) 一种纳米吸光复合材料及其制备方法和涂膜制备方法
JP5418502B2 (ja) 透明導電膜の製造方法及び透明導電膜、透明導電基板並びにそれを用いたデバイス
CN101570401B (zh) 一种自清洁玻璃的制备方法
TW200407463A (en) Etching pastes for titanium oxide surfaces
KR20150036286A (ko) 패시베이션층 형성용 조성물, 패시베이션층이 형성된 반도체 기판 및 그 제조 방법, 태양 전지 소자 및 그 제조 방법, 및 태양 전지
CN101192627A (zh) 一种硅薄膜光电池的电极图案及蚀刻方法
CN1817812A (zh) 一种自清洁玻璃的制备方法
JP5366071B2 (ja) プライマー組成物
CN1181987C (zh) 透光立体图案玻璃的生产方法
WO2012169788A2 (ko) 단결정 실리콘 웨이퍼 및 그 제조방법
CN1830809A (zh) 一种制备不开裂二氧化钛膜的方法
EP2707439A1 (de) Wassersuspendierbare druckpaste
CN1435328A (zh) 亚光立体图案玻璃的生产方法
CN114277374A (zh) 一种蚀刻液
CN1374355A (zh) 可剥离聚乙烯醇缩丁醛保护涂膜及其生产工艺
CN1179899C (zh) 凹蒙玻璃的生产方法
CN108922974A (zh) 一种可丝网印刷的空穴阻挡层浆料及其制备方法和应用
WO2011053068A2 (ko) 염료감응형 태양 전지
CN103265566A (zh) 硫化镉前驱体的合成及其在太阳能电池中的应用

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication