CN1311080A - 计算机数字控制大型集成光学加工机构 - Google Patents
计算机数字控制大型集成光学加工机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1311080A CN1311080A CN 00112717 CN00112717A CN1311080A CN 1311080 A CN1311080 A CN 1311080A CN 00112717 CN00112717 CN 00112717 CN 00112717 A CN00112717 A CN 00112717A CN 1311080 A CN1311080 A CN 1311080A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- polishing
- computer
- servo
- strain disc
- digital control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 35
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 92
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims description 28
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 23
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 17
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 8
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 5
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 5
- 230000008676 import Effects 0.000 claims description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 4
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 11
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 230000003245 working effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
一种计算机数字控制大型集成多功能加工系统,可用于加工大型光学镜头。该加工系统由基座上骑跨立柱和横梁,以及横梁上安装多种光学加工磨头、抛光盘等组成。基座的平行导轨上安装工件转台,计算机数字控制系统控制多个伺服系统驱动转台、光学加工磨头和抛光盘等完成光学表面精密成型、非球面成型与抛光、大型高陡度非球面成型与抛光、小工具光学表面成型与抛光、经典法研磨与抛光五种功能,解决了现有设备功能单一、局限大的问题,提高了加工质量和效率。
Description
本发明是一种计算机数字控制大型多功能集成光学加工系统,属于大型光学表面(非球面、平面与球面)的加工设备制造技术领域,涉及光学加工领域的经典抛光机、计算机控制小工具抛光机、计算机控制大尺寸应力盘抛光机、采用全口径能动抛光模的被动式抛光机的功能集成和结构设计。
现有的大型光学表面加工技术设备中,经典研磨抛光机是采用与被加工件基本相同尺寸的模具、通过摆动机构来拖动模具,使之在装夹于主轴上自转的被加工件的表面上往复摆动,填加金刚砂进行模具与被加工表面的研磨加工;或在模具上制备沥青胶层制成抛光模、采用抛光填加剂进行抛光。其结构简单、应用广,造价低,主要适用于平、球面加工;但难以加工非球面,更难以加工离轴非球面;加工过程无法实现定量控制。
采用小工具计算机控制抛光机提供了一种加工非球面、尤其是离轴非球面的有效途径。该设备装有一个采用小工具的旋转抛光头,在加工表面上按预先指定的路径运动。这个路径的轨迹和运动速度由微型计算机控制,由于材料的去除量同磨头在工件上任一点位的驻留时间长度成比例,因此,可以实现对材料去除的定量控制。小工具抛光头连接一个数字接口,驱动两个模拟伺服系统,X与Y两个坐标上的伺服驱动器分别控制抛光头滑板沿横梁(X坐标)的移动速度和横梁沿垂直方向(Y坐标)在横梁两端的两个平行导轨上的移动速度。横梁的位置信息由位移传感器测量并反馈给计算机。小磨头对加工表面保持压力不变,由光学表面的干涉测量图得到表面高度差的地貌图,经过软件处理得到小磨头的预期移动轨迹和运动速度,由计算机控制机床工作。这种用专用数控软件驱动小尺寸抛光磨头进行精密光学加工的技术的不足之处在于抛光效率较低;不适合超大型深型高陡度(大相对口径)镜面的加工;最大的不足还在于会在加工表面产生中、高频残差,加工功能单一。
在以后的发展中出现了一种新的抛光设备。这种抛光设备是在小工具计算机控制抛光机的基础上,另外在横梁上加装一个采用小型金刚石砂轮的高精度数控铣磨磨头,用以直接铣磨加工表面成型为所需的起始非球面,以便转入数控研磨或直接抛光。在铣磨完成后,数控铣磨磨头可以移到横梁的一端。这类改进设备实质是仅为两功能的小工具的计算机控制抛光机。
近十年来,国外又出现一种采用大尺寸应力盘的计算机控制抛光设备技术。这种技术主要适用于超大尺寸深型非球面的研磨和抛光。其主要工作原理是:在薄型圆盘周边上装有多个机电驱动器和一些合理配置的拉杆,组成一个内应力可控可变的应力系统;在薄型圆盘上制作大尺寸抛光磨盘(模具),通过计算机系统计算并改变圆盘的应力分布,从而能动地控制抛光磨盘的表面形状,使之与被加工的非球面表面形状吻合,一般取应力盘尺寸为加工件直径的1/3。加工时,应力盘从加工件表面的中心起始,一边自转、一边向工件边缘移动。在此过程中,应力盘必须连续不断地在计算机控制下改变表面形状,使应力盘在非球面表面离开中心顶点的任一离轴位置上都保持面形的吻合,从而实现大尺寸深型非球面反射镜的计算机控制应力盘精密加工。这种机床配有小型金刚石砂轮的高精度数控铣磨磨头,用以直接铣磨加工表面成形为所需的起始非球面。其优点是可以有效地抑制并去除中、高频残差。缺点在于对设备和技术的要求非常高;较难加工离轴非球面;不太适合中、小规格较平坦非球面的加工。
英国伦敦大学学院物理与天文系光学科学实验室(Optical ScienceLaboratory,Dept.of Physics and Astronomy,University College London)的Sug-Whan Kim,David Ree,...等人在SPIE Vol.2775,491-496上公开发表了题为“OGLP-400:An Innovative Computer Controlled Polishing Machine”的报告,介绍了一种采用全口径能动抛光盘的样机。这种采用全口径能动抛光模的被动式抛光技术只适用于小相对口径中、小规格的镜面加工。
上述现有的光学加工设备在单机使用时,难以避免其自身的缺点和局限,限制了它们各自的应用范围。迄今为止,国内外尚没有任何一台光学加工设备可以兼容以上五种光学加工设备的全部加工技术功能。
本发明的目的在于避免上述现有技术的不足而提供一种集多种光学技术加工功能为一体的计算机数字控制大型多功能集成光学加工系统。为操作者提供了在加工类型、范围、加工表面的几何参数、加工精度等方面的广泛的选择;同时也为在加工的不同阶段采用更合适的加工手段的组合提供了前所未有的可能条件。
本发明的目的可以通过以下措施来达到:由基座上安装平行导轨和双立柱以及横跨在双立柱上的横梁组成计算机数字控制大型集成光学加工系统;平行导轨上安装可平动和转动的平台;横梁上安装三种磨头——数控小型金刚石砂轮单刃铣磨磨头、数控小工具光学数控成型抛光磨头、数控子孔径能动应力盘成型与抛光磨头;通过连接组件安装可拆卸的经典抛光盘和全口径能动应力盘。计算机数字控制系统的计算机经高速数据通道通过多个伺服系统控制三种磨头以及经典抛光盘和全口径能动应力盘,完成数字控制小型金钢石砂轮单刃铣磨光学表面精密成型、数控小工具光学表面成型与抛光、数控子孔径能动应力盘大型高陡度非球面成型与抛光、经典法成型与抛光、数控全口径准能动应力盘非球面成型与抛光;可输入加工类型、范围、精度、加工表面几何参数、加工功能组合选择的输入外设通过高速数据通道与计算机相连。
本发明的目的也可以通过以下技术措施实现:数控小型金刚石砂轮单刃铣磨磨头、数控小工具光学表面成型与抛光磨头、数控子孔径能动应力盘成型与抛光磨头共同装在横梁上,并都在横梁上安装的导轨上移动。导轨可为滚动式、静压式或滑动式中之一种。
本发明的目的还可以通过以下技术措施实现:基座上固定的减速箱带动圆盘及连杆,横梁上临时加装连接件,连接件上固定的摆杆与连杆交接处安装可快速装卸的机头及摆针,在摆针上安装可拆卸的抛光盘或全口径能动应力盘。
本发明的目的还可以通过以下技术措施实现:两级分布式计算机的上位机通过高速数据通道分别连接机床数控计算机和应力盘变形数控计算机,机床数控计算机连接并控制转台伺服系统、铣磨磨头伺服系统、小工具成型抛光磨头伺服系统;应力盘变形数控计算机连接并控制应力盘伺服系统、正方点阵多探头测量电路;CRT操作中心连接到高速数据通道。
本发明的目的还可以通过以下技术措施实现:机床数字控制计算机和应力盘数控计算机直接连接,并都通过高速数据通道和I/O接口连接并控制转台伺服系统、铣磨伺服系统、小工具光学表面成型抛光伺服系统、子孔径能动应力盘抛光伺服系统、全口径能动应力盘抛光驱动系统和测量电路;CRT-磁盘操作中心连接高速数据传输通道。
本发明与现有技术相比有如下优点:
通过一个基座和横梁安装三种磨头、加装经典法研磨抛光组件和全口径能动应力盘,并在基座上安装共用的数控转台,使一台集成加工系统机械结构替代了现有技术完成相同功能的五套单机的五套机械结构;以一套计算机数字控制系统替代五套单机设备的数控系统(电控系统),大大节约了设备的材料,降低了成本和造价。
本发明能在一套设备上完成以前需要在五套设备上完成的功能及其输入设备,加工效率明显提高。
本发明通过计算机数控系统及其输入设备,为操作者提供了在加工类型、范围、加工表面的几何参数、加工精度等方面的广泛的选择,以及在加工的不同阶段采用更合适的加工手段的组合,使多功能的优势互补,校正和弥补了单机的缺点和局限;如在数控加工之前进行一段经典抛光以大幅度提高抛光加工效率;采用经典抛光技术对数控加工表面进行最后的完善和“柔化”,使加工功能强化与增加,由此改善加工表面质量,从而使加工精度和质量大大提高。
下面通过附图和实施例对本发明作进一步说明。
图1为本发明实施例的机械结构的主视图。
图2为本发明机械结构的俯视图。
图3为本发明机械结构的左视图。
图4为本发明机械结构的左视图的A-A剖视图。
图5为本发明实施例一的电控原理图。
图6为本发明实施例二的电控原理图。
如图1和图2所示的计算机数字大型多功能集成光学加工系统实施例一,其机床基座1上直立龙门型双立柱16,横梁2骑跨在双立柱16上。横梁2上安装滚动导轨32,三种磨头——数控小型金刚石砂轮铣磨磨头5、数控小工具光学表面成型与抛光磨头6、数控子孔径能动应力盘成型与抛光磨头7从左到右依此安装在横梁2上,并都在滚动导轨32上移动。
本发明的实施例二的机床基座1上直立龙门双立柱16,横梁2骑跨在双立柱16上。横梁2上安装静压式(或滑动式)导轨32,三种磨头从左到右依此安装在横梁2上,并都在静压式(或滑动式)导轨32上移动。
如图1、图2所示,数控小型金刚石砂轮铣磨磨头5在自身的垂直滑板33上作Z方向的移动;数控小工具光学表面成型与抛光磨头6在自身的垂直滑板34上作Z方向的移动;数控子孔径能动应力盘成型与抛光磨头7在自身的垂直滑板35上作Z方向的移动。
平行导轨3沿基座1的纵向(机床的Y向)装设,平行导轨3上安装计算机数字控制大型多功能集成加工系统机床的工件主轴数控转台4。装载工件的数控转台4可以转动,也可以作直线运动。
图2所示数控转台4定位在Y00位置,此时各磨头轴线所在的同一平面垂直于数控转台4并通过其轴线。数控转台4在此位置上时:
两级分布式计算机数控系统上位机20通过机床数控计算机22控制铣磨磨头伺服系统25,驱动数控小型金刚石砂轮单刃铣磨磨头5在横梁2的左端到中心范围内完成X方向的移动定位、在自身的垂直滑板33上完成Z方向的移动和定位,实现光学表面的成型加工。此时,小工具成型与抛光磨头6和子孔径能动应力盘抛光磨头7在横梁2的右端待避。
机床数控计算机22控制小工具成型抛光磨头伺服系统26,驱动数控小工具表面成型与抛光磨头6在横梁2的左端到右端的范围内完成X方向的移动和定位、在自身的垂直滑板34上完成Z方向的移动和定位。机床数控计算机22通过转台伺服系统24和小工具成型抛光磨头伺服系统26控制数控转台4和数控小工具成型与抛光磨头6,以极座标方式进行加工表面的轴对称偏差校正,以直角座标方式加工非轴对称表面或校正非轴对称偏差。此时,铣磨磨头5在横梁2的左端待避,子孔径能动应力盘抛光磨头7在横梁2的右端待避。
机床数控计算机22控制应力盘抛光磨头伺服系统27,驱动数控子孔径能动应力盘成型与抛光磨头7在横梁2的中心到右端的范围内完成X方向的移动和定位、在自身的垂直滑板34上完成Z方向的移动和定位。同时应力盘数控计算机23控制应力盘伺服系统29,驱动应力盘8由加工表面的中心边自转边向外移动,不断地连续地变化盘面面形与加工非球面面形适配,完成大型高陡度非球面成型与抛光。此时,铣磨磨5与小工具成型抛光磨头6在横梁2的左端待避。
图3为大型多功能集成光学加工系统机械结构的左视图。该图所示数控转台4位于Y11位置。并且,横梁2上临时安装了附加连接件9,连接件9具有绕Z轴摆动和绕X轴俯仰的两个自由度,摆杆13插入连接件9并被锁定。
图4为集成光学加工系统机械结构左视图的A-A剖视图,基座1上固定的减速箱12由减速箱驱动系统28驱动而带动圆盘11转动,并通过偏心锁轴19带动临时安装的连杆10动作。摆杆13和连杆10的交接处安装可快速装卸的机头18连接摆针14,摆针14临时连接抛光盘15,通过抛光盘15在工件表面往复摆动,进行经典研磨抛光,摆幅由调整偏心锁轴19的偏心距控制。或者,在摆针14上临时安装全口径能动应力盘17即可完成全口径准能动应力盘非球面成型与抛光。
摆杆13和连杆10从摆针14连接处脱开,移到图4所示点划线位置后,计算机数字控制大型多功能集成光学加工系统可对加工镜面进行立式在线光学检验。
图5为计算机数字控制大型多功能集成光学加工系统实施例一的电控部分原理框图。电控部分为两级分布式计算机数控系统。上位计算机20通过高速数据通道21连接、控制、协调机床数控计算机22和应力盘变形数控计算机23。机床数控计算机22控制转台伺服系统24、铣磨磨头伺服系统25、小工具成型抛光磨头伺服系统26、应力盘抛光磨头伺服系统27、减速箱驱动系统28。转台伺服系统24驱动数控转台4转动和作直线移动;铣磨磨头伺服系统25驱动数控小型金刚石砂轮单刃铣磨磨头5移动和定位;小工具磨头伺服系统驱动数控小工具表面成型与抛光磨头6移动和定位;应力盘抛光磨头伺服系统27驱动数控子孔径应力盘成型与抛光磨头7移动和定位;减速箱驱动系统28驱动减速箱12。应力盘变形数控计算机23控制应力盘变形系统29,驱动应力盘8在加工表面中心边自转边向外移动的过程中,不断地根据位置信息变化其面形,并可通过一个专用的正方点阵多探头测台电路30在机床之外独立检测,调校应力盘的变形,并建立应力盘相关的数据库。在应力盘抛光磨头工作时,由上位计算机20控制机床数控计算机22和应力盘变形数控计算机23并行工作;在应力盘抛光磨头不工作、而其它磨头工作时,机床数控计算机22独立工作。CRT操作中心31连接高速数据通道21,操作者可通过CRT操作中心输入所选择的加工类型、范围、加工表面几何参数、加工精度及加工功能组合。两级分布式计算机数控系统根据输入的参数,控制各伺服系统,完成以下五种功能:①计算机数字控制小型金刚石砂轮单刃铣磨光学表面精密成型;②经典法研磨及抛光;③计算机数字控制小工具光学表面成型与抛光;④计算机数字控制全口径准能动应力盘非球面成型与抛光;⑤计算机数字控制子孔径能动应力盘大型高陡度非球面成型与抛光。并可通过修改参数和程序完成五种加工功能的任何三种以上的组合。
图6为本发明第二实施例的电控部分原理框图。实施例二的电控部分为双中心计算机的计算机数字控制系统:机床数字控制计算机40和应力盘数字控制计算机41之间直接连接和进行数据传递,二者通过高速数据传输通道42连接CRT-磁盘操作中心44,操作者可通过CRT-磁盘操作中心44向数控计算机输入所选择的加工类型、范围、精度、加工表面几何参数、加工功能组合。机床数控计算机40和应力盘数控计算机41经高速数据传输通道42通过I/O接口43控制转台伺服系统24、铣磨伺服系统36、小工具光学表面成型抛光伺服系统37、子孔径能动应力盘抛光伺服系统38、全口径能动应力盘抛光驱动电路39,完成五种加工功能:①计算机数字控制小型金刚石砂轮单刃铣磨光学表面精密成型;②经典法研磨及抛光;③计算机数字控制小工具光学表面成型与抛光;④计算机数字控制全口径准能动应力盘非球面成型与抛光;⑤计算机数字控制子孔径能动应力盘大型高陡度非球面成型与抛光。并可完成五种加工功能的任何三种以上的组合。数控系统通过测量电路45进行在线光学检验,以及检测、调校应力盘的变形,并建立应力盘相关的数据库。
Claims (5)
1.一种计算机数字控制大型集成光学加工系统,由基座(1)上安装平行导轨(3)和双立柱(16)以及横跨在双立柱(16)上的横梁(2)组成,其特征在于:平行导轨(3)上安装可平动和转动的数控转台(4),横梁(2)上安装有三种磨头——数控小型金钢石砂轮单刃铣磨磨头(5)、数控小工具光学表面成型与抛光磨头(6)、数控子孔径能动应力盘成型与抛光磨头(7),通过连接组件安装可拆卸的抛光盘(15)和全口径能动应力盘(17);计算机数字控制系统的计算机经高速数据通道(21)通过多个伺服系统控制三种磨头以及抛光盘(15)和全口径能动应力盘(17),完成数控小型金钢石单刃铣磨光学表面成型、数控小工具光学表面成型与抛光、数控子孔径能动应力盘大型高陡度非球面成型与抛光、经典法成型与抛光、数控全口径准能动应力盘非球面成型与抛光;可输入加工类型、范围、精度、加工表面几何参数、加工功能组合选择的输入外设通过高速。数据通道(21)与计算机相连
2.根据权利要求1所述的计算机数字控制大型集成光学加工系统,其特征在于:数控小型金钢石砂轮单刃铣磨磨头(5)、数控小工具光学表面成型与抛光磨头(6)、数控子孔径能动应力盘成型与抛光磨头(7)共同安装在横梁(2)上,并都在横梁(2)安装的导轨(32)上移动;导轨(32)可为滚动式静压式或滑动式中之一种。
3.根据权利要求1和2所述的计算机数字控制大型集成光学加工系统,其特征在于:基座(1)上固定的减速箱(12)带动圆盘(11)及连杆(10);横梁(2)上安装可拆卸的连接件(9);连接件(9)上固定的摆杆(13)与连杆(10)交接处安装可快速拆卸的机头(18)及摆针(14),摆针(14)上安装可拆卸的抛光盘(15)或者全口径能动应力盘(17)。
4.根据权利要求1所述的计算机数字控制大型集成光学加工系统,其特征在于:两级分布式计算机数控系统的上位机(20)通过高速数据通道(21)分别连接机床数控计算机(22)和应力盘变形计算机(23);机床数控计算机(22)连接并控制转台伺服系统(24)、铣磨磨头伺服系统(25)、小工具磨头伺服系统(26)、应力盘抛光磨头伺服系统(27)以及减速箱驱动系统,应力盘变形计算机(23)连接并控制并驱动应力盘伺服系统(29)、正方点阵多探头测量台电路(30);CRT操作中心(31)连接到高速数据通道(21)。
5.根据权利要求1所述的计算机数字控制大型集成光学加工系统,其特征在于:机床数字控制计算机(40)和应力盘数字控制计算机(41)直接连接,并都通过高速数据传输通道(42)和I/O接口(43)连接并控制转台伺服系统(24)、铣磨伺服系统(36)、小工具光学表面成型与抛光伺服系统(37)、子孔径能动应力盘成型与抛光伺服系统(38)、全口径能动应力盘抛光伺服系统(39)和测量电路(45);CRT——磁盘操作中心(44)连接高速数据通道(42)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB001127179A CN1167534C (zh) | 2000-03-02 | 2000-03-02 | 计算机数字控制大型集成光学加工机构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB001127179A CN1167534C (zh) | 2000-03-02 | 2000-03-02 | 计算机数字控制大型集成光学加工机构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1311080A true CN1311080A (zh) | 2001-09-05 |
CN1167534C CN1167534C (zh) | 2004-09-22 |
Family
ID=4582558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB001127179A Expired - Fee Related CN1167534C (zh) | 2000-03-02 | 2000-03-02 | 计算机数字控制大型集成光学加工机构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN1167534C (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1301180C (zh) * | 2003-02-21 | 2007-02-21 | 精工爱普生株式会社 | 非球面加工方法 |
CN100431790C (zh) * | 2005-04-13 | 2008-11-12 | 云南北方光学电子集团有限公司 | 光学玻璃和硅单晶非球面光学元件的加工方法 |
CN102198622A (zh) * | 2011-03-23 | 2011-09-28 | 西安交通大学 | 新型大口径光学非球曲面加工磨床结构 |
CN105014503A (zh) * | 2015-05-19 | 2015-11-04 | 上海交通大学 | 大口径轴对称非球面的精密磨削方法 |
CN108500777A (zh) * | 2018-04-04 | 2018-09-07 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置及其检测方法 |
CN108818774A (zh) * | 2018-07-09 | 2018-11-16 | 佛山市神雕机电设备有限公司 | 一种木材铣削设备 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4347374B2 (ja) * | 2007-08-20 | 2009-10-21 | 株式会社春近精密 | レンズ加工装置 |
-
2000
- 2000-03-02 CN CNB001127179A patent/CN1167534C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1301180C (zh) * | 2003-02-21 | 2007-02-21 | 精工爱普生株式会社 | 非球面加工方法 |
CN100431790C (zh) * | 2005-04-13 | 2008-11-12 | 云南北方光学电子集团有限公司 | 光学玻璃和硅单晶非球面光学元件的加工方法 |
CN102198622A (zh) * | 2011-03-23 | 2011-09-28 | 西安交通大学 | 新型大口径光学非球曲面加工磨床结构 |
CN105014503A (zh) * | 2015-05-19 | 2015-11-04 | 上海交通大学 | 大口径轴对称非球面的精密磨削方法 |
CN108500777A (zh) * | 2018-04-04 | 2018-09-07 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置及其检测方法 |
CN108500777B (zh) * | 2018-04-04 | 2023-08-04 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置及其检测方法 |
CN108818774A (zh) * | 2018-07-09 | 2018-11-16 | 佛山市神雕机电设备有限公司 | 一种木材铣削设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1167534C (zh) | 2004-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN2413848Y (zh) | 计算机数字控制大型集成光学加工机构 | |
EP2709797B1 (en) | Multi-carriage dual-spindle symmetrical grinding processing center | |
CN102922388B (zh) | 大口径复杂光学镜面精密研抛机器人系统 | |
CN100400225C (zh) | 非球面光学零件复合加工、检测机床 | |
CN102303224B (zh) | 一种光学零件加工与检测一体化制造装置及制造方法 | |
US7371154B2 (en) | Dual ophthalmic lens machining platform and simultaneous ophthalmic lens manufacturing method | |
CN102756316B (zh) | 大口径光学镜面超精密加工集成平台 | |
CN102922389B (zh) | 一种非球面光学元件抛光装置及抛光方法 | |
CN101376229B (zh) | 非球面零件数控切线回转法成形加工方法及装置 | |
CN106826474B (zh) | 小尺寸薄壁复杂结构件超精密磨削用机床 | |
CN106903560A (zh) | 加工圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧的微摆研抛装置 | |
CN102139376A (zh) | 一种自由曲面棱镜加工方法 | |
CN101204786A (zh) | 高精度球双自转研磨盘高效研磨装置 | |
CN104493662B (zh) | 曲率半径可调式非球面凹透镜加工装置 | |
CN206316881U (zh) | 一种光学曲面加工用五轴三维超声抛光机床 | |
CN202668299U (zh) | 多拖板双主轴对称式磨削加工中心 | |
CN110842693B (zh) | 一种基于万向工具系统的四反镜抛光测量装备及加工控制方法 | |
CN1167534C (zh) | 计算机数字控制大型集成光学加工机构 | |
CN202804880U (zh) | 一种四轴立式数控磨削中心 | |
CN102059620A (zh) | 切线法数控非球面加工方法及机床 | |
CN103111924A (zh) | 一种多用平面磨床 | |
US7597034B2 (en) | Machining method employing oblique workpiece spindle | |
CN201058407Y (zh) | 高精度球双自转研磨盘高效研磨装置 | |
JP2004042188A (ja) | 金型の加工方法 | |
CN206123266U (zh) | 可换刀快刀装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |