CN1291279A - 根据第一位置测量机械压力变形和根据该压力自动进行校正的形变测量传感器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种形变测量传感器,它安装在机械构件上,其中产生有待测量的力,该传感器包括一个可变形的金属薄片(1,22),薄片上带有测量调节器(2,23),将调节器安装定位在薄片上,所述薄片(1,22)可以感应到因受到拉力和压力所引起的机械形变,通过两个载体件(4,5,20)传送机械张力,载体件与产生力的机械构件有关。所述传感器上装有一个机械闭锁突缘(31),在校正期间,该突缘位于载体件(4,5,20)和传感器薄片之间的刻度上。

Description

根据第一位置测量机械压力变形和根据该压力 自动进行校正的形变测量传感器

发明领域

传感器是可以测量物理现象的元件，这些物理现象通常用量值或参数表示。这些传感器将量值或参数的状态或变化转变成电信号。所以传感器可以了解过程变化，从而得知过程的稳定特性和动态特性，所述传感器在过程中一直得到使用。

现有技术的描述

当前，传感器的应用范围很广，实际上已经在所有领域中均使用了传感器。这些传感器用于测量温度，压力，位置和高度，此处仅介绍其原理。专业人员的工作和编目介绍了这些传感器的作用及其应用。利用这些编目，就可以知道传感器在哪些物理量值的情况下发出相应的电信号。因此就可以使用转换表达式，该表达式表示在物理量值和电信号之间存在一个固有关系。例如，假定这是一个压力传感器，对于加到传感器上的某一个压力值来讲，就可以得到一个电压或电流形式的电信号。

根据物理领域和其他电技术及电子技术领域，设计和制造传感器或多或少要方便一些。制造和使用传感器的简易程度限定其成本，应用领域，由此也就确定了其市场效应。

某些传感器并不容易制造，因为这与可以接受物理参数的性能及方法有关。对于测量力的传感器来讲，因为假如测量作用在金属件上的力的原理简单，则不容易得到简单形式的力。

测量作用在金属件上的力通常会使材料在各种力的作用下变形，这些力有机械牵引力，压力，张力和／或这些力的合力。

变形的大小与施加的力有关，而该变形的大小又确定了梯度的大小，也就是说确定了可以估计基本变形的精度。因此，根据作用在器件上的力得知几微米或几毫米的变形规律是最基本的。

所述梯度由所有材料的电阻的数学研究确定，而应当根据器件的形状将最终元件的模拟形状与该电阻有机结合，以便得到与力相关的变形规则。

考虑到构件材料和形状的差别，因为很难知道总的梯度，所以不容易直接感受到变形。每一个构件都有具体情况，为了使用测量力或测量变形的传感器，必须进行某些调节。应当精确地知道作用力产生的精确位置，而且应当知道这些力的合力产生的最大和最小变形是多少。

一旦这些元件是公知元件，用某些构件和一些技术就可以求得一个电信号，该电信号表示发生在构件上的变形。正是这些应力计量器类的构件、压阻压容元件和光学设备可以对材料力度的方位进行测量，也可以用铁磁构件，铁磁构件在磁场中的位置确定了与器件变形相关的电信号。

如今，即使这些构件是公知的而且也已能制造，但是并不容易将它们安装到机械设备上，当它们定位以后或者在用其它构件替换它们时，形变的重复性很难保持不变。所以在许多情况下要求对传感器进行校正，调节电信号为0的数值以及调节刻度。

主要根据两种方法制备测量力的传感器。

第一种方法在于将一个由应力计量器构成的桥粘到产生形变的地方。在这种情况下，信号值与精度密切相关，应力计量器根据该精度在构件上定位定向，而且信号值与压力值的均匀性有关，应力计量器根据该均匀性与构件产生关系。通常，应力计量器不能在构件上产生力的地方使用精确的机械定位设备。各个计量器桥的信号由方程R=pL／S确定，其中R是电阻值，它根据包括计量器桥在内的导体的长度和截面变化，p是构成电阻的材料的阻值，L是导体的长度，S是截面。L和S值会受到计量器桥定位方法的影响。对于计量器桥来讲，不论压阻压容技术等如何，当计量器直接在构件上定位时，这些都是真实的，所述构件的机械状态为未加工状态，而且它们的尺寸为中等或大个。

第二种方法在于将一个桥粘到一个金属片上，该金属片的特性为公知特性，这例如象1997年2月26日提交的加拿大专利申请CA2198537描述的一样，这样，如果所用的桥具有电阻，并将金属片装到一个产生力的机械构件上，也就可以保证薄片的机械形变与桥元件的电阻变化具有可重复的关系。这种情况的问题在于金属片的材料与构成机械构件的材料的性能很不相同，为了将传感器在机器中定位，同时在制造过程中使物理量值和校正电信号之间精确地相符，致使金属片与机械构件很难进行装配。因此需要考虑传感器的安装，以便使机械力转换成电信号的转换比率最佳。

本发明目的

本发明根据这些应力，旨在消除上述缺陷，尽可能使机械构件和传感器之间的关系精确可靠。

本发明将变形测量看成是测量力的方法。本发明描述的方法能够将传感器装到待测量的装置中，并可以具有好的重复性。

本发明概述

所述的重复性就是传感器受到变形与它发出的电信号关系的重复性。这种重复性规定接受的有待测量构件的相对变形规律与传感器内片的变形有关，以及传感器在安装到接受件上之前和之后其内部调节和转换刻度调整是可以比较的。

例如，MultiDyn公司出售的的传感器上有两个载体构件，一个上面装有调节器桥的薄片，例如本申请文件中所描述的桥。当用机械机构对传感器进行安装时，在传感器中产生的变形传到薄片的载体构件上，这些构件可以拉长或压缩所述薄片。这在调节器桥中由各构成桥的构件的电阻变化反映出来，因而也就由桥的端子上的电信号反映出来。在制造过程中得到的传感器的校正曲线就会出现错误，这样就应当在当地重新进行校正，从而不能在物理量值和电信号之间保证具有相应的精确度，增加安装时间和成本。

本发明可以有效地替换这些形变仪，用作应力和力矩传感器，在某些情况下用作位置传感器。

因而这些就是本发明可以克服的现有传感器的主要问题。有若干形变检测装置适合于某些用途，但具有上述所有缺陷。直接粘到或焊到待测量构件上的电阻调节器是很可靠很精确的设备。但是对它们进行直接安装是实验室工作，必须非常细心，而且成本很高，这就是为什么在通常测量过程中人们要用比较简单的安装方法将调节器固定到试验体上的原因。在表面加工或未加工过的构件的《外部》观察设备，例如光测弹性仪，莫尔条纹，瓷清漆龟裂，全息照相，X衍射均是实验室分析应力的较佳技术。

装有调节器的试验体代替结构元件，也可以将它们插入有效传递部位，这些试验体很昂贵，而且很难安装，它们使得结构很脆弱。固定到结构上的试验体可以很大。很难防止在限位块上的滑动，这样就造成严重的回零错误和滞后错误。机械形变测量非常好，但它们比较脆弱和昂贵。只在压缩作用下工作的压电式传感器的压力太高，安装也复杂。此外，它们只能考虑动态信号。最后，压敏电阻很脆(硅元件)，温升很大。

本发明的目的在于提出解决上述问题的方案，保证在校准空格中校正传感器时和将其安装到机械构件上时的这一段时间内使固定薄片的载体构件保持不动。

本发明在于首先通过使载体构件的轴之间的尺寸发生机械变化来调整偏置和增益，然后一旦获得曲线的线性调节就对偏置进行调整，以便使电信号的值对应于已知的尺寸，此后再通过一个常设机械装置用一个突缘锁定住自由度。所述突缘由一个金属的、复合的或聚合的材料制成的薄膜构成，并将其设置在载体构件之间。该突缘维持空格上调整的标定，直至用公知的常规工业粘接、焊接等方法将传感器安装到机械构件上为止。当传感器和机械构件连接在一起时，将薄膜折断，确保进行调节，而在安装过程中不用进行调整。折断突缘时可以使传感器的工作停止。

本装置相对于其它现有装置的改进在于安装方便，成本降低，同时保持很高的精确度和稳定性。此外，该装置牢固，可动，可以重复使用，而且不易受到机械干扰。

本发明的另一个实施例包括一个测量形变的传感器，该传感器有两个能够牢固固定到待测量的机械构件上的限位块，一个均衡地紧靠两个限位块之间的端部的弹性薄片，弹性薄片通过压弯以后得到弹性固定，用于测量因限位块的移动而使弹性薄片形变的设备以便确定机械构件中的应力。

附图的简单描述

下面将详细地结合附图对本发明的装置进行描述，这仅是作为非限定的说明，其中：

图1是上面装有调节器桥的薄片的正视图；

图2是所述薄片的透视图；

图3是电路图；

图4表示的是在将传感器装到制动台上时有该传感器发出的电信号；

图5是具有调节器和固定突缘的薄片的正视图；

图6是压弯后由限位块固定的薄片的正视图；

图7是薄片的支承的示意图；

图8是所述装置的正视图；

图9是沿图8的9-9线作的剖视图；

图10是装置局部剖视的俯视图，其中薄片处于升高位置；

图11是其中一侧的示意图；

图12是装置中部的剖视图，其中薄片已经折断；

图13是具有薄片的一侧的正视图；

图14是热补偿的原理图；

图15是装有霍尔传感器的整个装置的正视图。

本发明优选实施例的详细描述

描述了传感器(图1)以后就可以更好地理解本发明。传感器包括一个薄片1，薄片上装置一个调节器桥2，该桥可以是半导体，压敏电阻，压敏电容等。桥的位置和粘接膜3可以使元件1和2牢牢地连接在一起。薄片的两端具有载体件4和5。柔性形变外层6确保对调节器桥及调节器桥2发出的信号的放大电路7的保护。调节器桥和电路7之间根据现有技术的调节由导体进行连接。

将放大电路组装在其中一个载体件4或5中，用装有连接器9的导体8将信息传到传感器外面。连接的部位有3-4个。当将一个补充传送模块(例如摩托罗拉公司或SGS Thomson生产)加到电子放大模块7中时，根据应用也可以用传送设备来传送信息，例如无线电波，超频。

下面描述传感器的运行。薄片为图2所示的薄片。每一个调节器测量到的变形具有形式e=6Fl／Eae．e

其中F是加的力；e是薄片的厚度；ε是变形；l是力的调节距离；a是薄片的宽度；E是杨氏模数。

这种变形根据图3确定了调节器电阻的变化。根据下面的规则确定桥端子的电压：

De=E／4(DR1／R1-DR2／R2+DR3／R3-DR4／R4)

其中R1和R3是调节器在拉力下的运行，

其中R2和R4是调节器在压力下的运行。

也可以选择使桥的相邻分支的调节器沿相反方向运行，相反分支的调节器沿相同方向运行，电阻的所有变化相加，这样

De=E／4(DR1／R1+DR2／R2+DR3／R3+DR4／R4)=KE／4 Dl／l

E是桥的激励电压；

K是调节器的系数；

Dl／l是4个调节器的总变形。

调节器均是双调节器Wishay N2A 06 T006Q 350。

将信号De连接到电路1B31An的两个接点1和2上，该电路是与Burr Brown公司类似的组件，将其装在输入信号放大器上。利用装在电路接点3和4之间的可变电阻确保对放大增益的调节，通过调节除法器桥确保偏置调节(所述除法器桥抵消正负两个基准电压的调节)，中间接点与端子l1连接。将放大信号传送到电路的端子14上。基准直流转换电路TUC12215为放大电路和调节器桥供电。详细描述本发明方法的基本运行

该实施例在于采用一个传感器和在载体件之间用一个夹紧工具施压，该压力受到一个位置自动设备的控制，而该设备又受到调节程序控制计算机的控制。薄片根据夹紧应力或松开应力而变形，对于每一个夹紧值来讲，调节器桥2发出一个经电路放大的信号。两个夹紧位置可以模拟压力，调节偏置，通过偏置调节及电路增益的作用调整曲线的线性程度，这样就得到A，B，C，D四个点(图4)。然后对传感器施加最小的夹紧力，以便得到称作基本值的V1，从而求得对应于A点的电信号(图4)。当得到需要的曲线时，就制成带有基本值的固定突缘。带有突缘的传感器示于图5。

利用可以在载体件之间确定恒定距离的突缘进行调节。薄片在装到机械构件上以前其压力比或张力比是恒定的。在对长度为L1之上的传感器进行调节期间确定突缘的尺寸，所述长度L1对应于薄片的很小张力，实际上并不变化，所得到的电信号值v1总是相同的。粘接方法例如可以保证将传感器固定到机械构件上。当将两个元件彼此焊接在一起时，或者说机械构件和传感器之间不再能够滑动时，就将突缘折断，这样就能使传感器保证运行。在装到传感器上以后，该突缘就保证电信号V1具有精确的数值。本发明的目的旨在能够非常方便地自动安装到机械构件上的测量形变的传感器，传感器为相同机械构件提供相同的电信号。该方法涉及很多应用，具体地说安装的传感器可以测量刹车的制动力。

图6所示的传感器为另一个可以更好地理解本发明的实施例。主要元件包括一个弹性材料制成的薄片22，开始时可以弯曲，也可以不弯曲。薄片22示于图6。该材料例如可以是钛合金(TA6U)或铝合金(7075)。沿纵轴将该薄片卡在两个限位块20之间。这两个限位块将薄片均恒压弯，使其保持弯曲状态(为此，两个限位块之间的长度L48稍小于薄片的起始长度L47，L47和L48之间的差大于最大表面张力)。

为了保持均恒，限位块20应当象图7所示尽可能靠近，铰接件中的一个25在x和y方向闭锁，另一个铰接件26在x方向闭锁，而在y方向自由活动，以便能够测量另一个自由端的移动。可以用三种方法制成限位块。第一种是直接在构件中使用限位块，这如图6所示，第二种方法是将限位块拧或粘到构件上，这如图8所示，最好一种方法是用低弹性材料将这些限位块进行连接，从而不会对固定部位施加作用力。

限位块20直接的长度L0的伸长或缩短均会使薄片产生弯曲，用一层薄胶或其它方法将调节器桥23粘到薄片22的中央，就可以用公知方法测量薄片22的形变。调节器桥23可以是半导体，压敏电阻，压敏电容等。

将调节器桥23(图8)连接到薄片22上方的电路28的载体件27上，该载体件与薄片分开，留有足够的距离。载体件27紧靠限位块20。再将放大电路28通过连接件30与一个导体29相连，该连接件可以将信息带到装置的外面。可以只用一个在薄片22上面或在薄片下面的调节器桥。在成本较高的情况下，可以将桥2的4个调节器进行分配，薄片的每一侧设置两个，这样得到的灵敏度很高。

该装置的主要特征在于它可以使安装简单，这是因为可以在固定到构件上以前预先调节起始零。因而需要使用图8-11所示的安装方法。我们可以增加一个突缘或一个罩31。罩31具有足够的刚性，它包括两个固定螺丝21，与限位块20面对的两个外倾斜面33。在罩31的下部和限位块20的上部之间留有一个很小的间隙34。

在将装置装到应当进行测量的设备上以前，罩31可以固定住系统的所有安装部分，保护住薄片22和限位块20。固定螺丝21可以固定起始零，同时将罩31与限位块20相连。一旦装置的下面粘到需要测量的那一面上时，就取下固定螺丝21。因而罩31就可以在倾斜面33上的V型凹槽中自由滑动。此时，罩31仅防止出现反常和薄片22的以外操作。当它自由移动时，不会在限位块20上产生附加作用，装置可以有效地对观察件的应力进行测量。

零的固定是最难保持住的应力中的一种。因为松开1／100mm在机械上出现的间隙很小，而且已经付出很严重的代价，所以这种松动意味着测量张力的一半或3／4。调整、零的固定、传感器的安装和消除零的固定等所有的操作都应当在小于1微米的间隙下进行。原因就在于要消除因定位作用和上紧／松动作用造成紧靠薄片的限位块的移动。通过将限位块的上表面紧靠在罩31的下表面上就可以消除沿Oz和Ox的转动。利用螺丝21就可以确保将限位块的上表面紧靠在罩31的下表面上。通常的平行和平面的容许公差并不是尺寸上的公差，这些公差很难保证精度。因为在限位块的侧部和罩31的肋内具有倾斜面33，所以可以防止沿Oy的转动。因为上述理由不能对间隙的简单调节进行计算。这些表面在上表面前一些时候进行接触，这样就防止了转动。然后弹性肋可以与上表面接触。在运行期间，一旦螺丝松开和／或取出，则罩在V型槽中得到自由。

像每个形变仪那样，它根据温度的变化要经受自身的膨胀，也要经受器械结构的膨胀。这种膨胀产生一个与调节器相应的信号。在很多情况下，这种信号是不需要的，而且应当消除，以便只观察到因测量现象得到的信号。实际上没有一个形变仪能够自动进行热补偿，同时又能体现它们与温度的相关特性。在我们的装置中，均恒地维持薄片可以根据图14中所描述的原理方便地平衡这种不需要的膨胀。即

L0=接触间的长度；

L1=薄片自由长度；

L2=基质的膨胀长度；

L3=薄片3的支承的自由膨胀长度；

L4=薄片4的支承的自由膨胀长度；

α1=薄片的膨胀系数；

α2=基质的膨胀系数；

α3=支承限位块3的膨胀系数；

α4=支承限位块4的膨胀系数。

如果△L0(△T)=(α+1)*L1*△T，则装在桥上的调节器使薄片的自然膨胀非常平衡，不记录任何信号。

如果△L0(△T)=α*△T*L1，则具有α2*L2-(α3*L3+α4*L4)=α1*L1就完全可以平衡传感器和表面之间的膨胀差。通过在Wheatstone桥中串接或并接一些电阻就可以进行剩余补偿，也可以用数字设备进行补偿。

当要求通过缩短薄片来增加传感器的灵敏度时，压弯的临界力为作用在限位块上的99％的作用力，该临界力可以在损害装置精度和调零精度的比例范围内增加。一个方案在于平衡薄片的这些作用力，所示薄片在弹簧作用下重新推动限位块，而弹簧是用于拉动限位块的。作用在固定位置上的合力不再只是作用力的差。一种十分经济的制造这种平衡弹簧的方法在于使用一个弹性框架40，将该框架模制在另一种材料中，例如钛或铝的材料中，它同时还用作限位块传感器骨架的连接件(见图10)。框架40包括4个托架横粱41和一些上横臂42。托架横粱41通过它们的上横臂42的中部进行连接。它起的是薄片簧的作用。可以调制弹簧的刚性，同时除了托架的截面以外使横梁的自由长度变化，同时还使槽43的深度和材料的模数发生变化(塑性材料或非塑性材料，金属等)。

图8-11示出的是单件传感器的运行步骤。第一步是安装和保持薄片。在安装过程中，传感器受到的伸长正比于压弯薄片22的作用力，并且正比于框架40的刚性。薄片和框架的作用力对于给定的伸长来讲达到平衡，并使薄片定位。然后，应对起始运行位置进行预调。将限位块20固定到刻度台上，该刻度台可以使限位块以很高的精度相对移动，直至薄片22获得所要求的预应力，松开固定螺丝21。因而必须保持住该预调。拧紧螺丝21达到预定的应力值。这样就使两个限位块相对于罩31固定不动，很好地将薄片保持在所希望的零数值上。

最后，将该整体部件安装到待测构件上。将两个限位块一直粘贴、焊接或拧到待测表面上(如前面描述的那样)。一旦牢固地得到固定，就可以取出螺丝32，传感器根据预调值准备运行。框架40的刚性足以使薄片在组装期间得到保持，但也可以对其刚性进行计算，只在运行期间对固定位置处产生微小的作用力。

发明人实施本发明的优选实施方式也可以稍作变化，以便改变传感器的特性，可以进行不同的测量。例如，可以根据下面的方式改变薄片的参数。如果增加薄片22的厚度，则作用力越大，灵敏度越高。使用长薄片时具有很小的恒定作用力，这用于很大的移动，或使用短薄片用高灵敏度的小变形测量。如果减少薄片的宽度，则减少了作用到限位块上的作用力。如果对同一种薄片增加其轴距，就提高了灵敏度。在使薄片初始弹性变形时，可以消除因压弯过程造成的不稳定平衡性问题。

对于不同的装置来讲，还可以改变调节桥23，例如霍尔效应传感器(图15)或光学传感器。当薄片22与其线圈52靠近或远离时，霍尔效应传感器的作用与电磁传感器相同，或多或少得到激励。对于选择用什么方法来检测发生在薄片上的形变并不重要，应当用电脉冲传送信号，以便与装置外界联系。

还可以对装置的罩31稍微进行改变，也可以就地进行校正。其中一个限位块20是其外表面在罩31上的纵向限位块。用螺丝(未示出)推动相反侧的限位块，制造获得所要求的薄片应力值。

为了锁定零值，可以采用易断的杆。图12和13示出了这种方法。

本发明人用了两根刚性材料制成的杆35，例如玻璃或陶瓷材料。也可以设置一个或多个槽口36，以便形成断点。最后，应当可以使调节台进行移动，使传感器贴在接触面37上，并通过与薄片22的接触面平行的面38理想地引导传感器，薄片22的至少一个接触面进行移动，使薄片变形。该运行的主要原理在于：用面37固定传感器，用面38引导传感器，其中一个面是固定的，另一个面是活动的。通过移动面38将薄片22带到理想位置。然后通过面39将薄片35紧贴到限位块20上。一旦紧贴上以后，杆35将传感器维持在预定的相反位置，并可使台脱开。然后通过面37将传感器固定到待测量的构件上。当完成了固定以后，用钳子或冲击力折断杆35，以便使传感器得到自由，进行其运行。

该方法具有许多优点，这些优点满足所用的基本原理。第一个优点在于进行均恒压弯，施加给限位块的作用力较小。作用到限位块上的力非常小的原因在于在压弯以后，薄片在运行时具有弯度，不再有牵引压力。对于25*5*0．3mm的薄片和0．02mm的移动距离来讲，作用力为252N-33．7N。此外，在牵引薄片的情况下，不能精确地固定这种尺寸的薄片(测量灵敏度约为0．03微米)，可以方便地将导致薄片永久变形的应力集中起来。该装置的好处在于在固定位置完全没有力矩，作用力较小，这使装置便于粘接，这是因为粘接剂通常可以克服剪切力，在测量部位的作用力基本不变，这样就保证了大测量部位的特性。

均恒压弯还可以理想地进行回零，其滞后很少。在固定系统中，当作用力超过某一极限值时，就会产生偏移。在回零时，系统的弹性恢复力比摩擦力小，系统到达新的零平衡位置。这种作用在各个循环中产生，由此逐步从零开始偏移，如果作用力的方向改变，不确定性就会增加。在这种情况中，作用力在整个测量期间总是指向相同的方向，而且总是存在作用力，它们的值很小，基本保持恒定，这样就可以保证尽可能小地偏离零。

Claims (16)

1．一种形变测量传感器，它安装在机械构件上，其中产生有待测量的力，该传感器包括一个可变形的金属薄片，薄片上带有测量调节器，将调节器安装定位在薄片上，所述薄片可以感应到因受到拉力和压力所引起的机械变形，通过两个载体件传送机械变形，载体件与产生力的机械构件有关，其特征在于所述传感器上装有一个机械闭锁突缘，该突缘位于传感器薄片的载体件之间的校准本体上。

2．根据权利要求1所述的形变测量传感器，其上装有一个闭锁突缘，该突缘发送与突缘安置特性相关的电信号值。

3．根据权利要求1或2所述的形变测量传感器，其中将所述突缘设置在传感器薄片的载体件之间。

4．根据权利要求1-3之一所述的形变测量传感器，其中在将传感器安装到所述构件上以后，折断所述突缘，其中作用到所述薄片上的预应力的数值与折断突缘以前由传感器发出的电信号的电压有关联。

5．根据权利要求1-4之一所述的形变测量传感器，其中电校准，调节和闭锁突缘均在调节台上进行。

6．根据权利要求1所述的形变测量传感器，其中突缘是在将所述变形测量传感器安装到机械构件上以后可以折断的刚性元件。

7．根据权利要求1所述的形变测量传感器，其特征在于机械闭锁突缘的形状是刚性罩，在调节过程中可以将传感器薄片的载体件牢固地固定到罩内。

8．根据权利要求7所述的形变测量传感器，其中罩包括可以使限位器形式的载体件在所述罩中沿薄片方向在纵向滑动的设备，以及用于固定所述载体件的设备，以便限制这些构件相对于罩的移动。

9．根据权利要求1和8之一所述的形变测量传感器，其中所述载体件是限位块，所述薄片的端部均恒地弹性紧靠在限位块上，通过压弯以后将该薄片进行刚性固定。

10．根据权利要求9所述的形变测量传感器，其中使所述薄片经受永久变形，使其初始具有弯曲形状。

11．根据权利要求8，9或10所述的形变测量传感器，其中可以松开所述限位块，以便在传感器装到机械构件上时保证自由运行。

12．根据权利要求11所述的形变测量传感器，其中所述罩包括至少两个平行的侧部，所述侧部具有朝罩内倾斜的倾斜面，倾斜面对应地与各限位块接触，所述内表面上开有纵向槽，以便使限位块在纵轴上移动。

13．根据权利要求8-12之一所述的形变测量传感器，其中所述限位块通过形成抵衡弹簧的设备与薄片相连。

14．根据权利要求13所述的形变测量传感器，其中所述弹簧由一个平板件构成，利用槽口将弹性力传送给该平板件。

15．一种形变测量传感器，它包括一个端部均恒地弹性紧靠在限位块上的薄片，通过压弯以后将该薄片进行刚性固定，以及测量与所述限位块连接在一起的构件变形的设备。

16．根据权利要求14所述的形变测量传感器，其中所述限位块通过形成抵衡弹簧的设备与薄片相连。

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