CN1268664A - 氢化物气体中所含硫化氢的分析方法 - Google Patents
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Abstract
本方法在密封容器中测量氢化物气体中的硫化氢浓度。密封容器有气体入口、气体出口和金属醋酸盐衬底,入口接受氢化物气流,出口排出氢化物气流。氢化物气流含有一定浓度的硫化氢气体。将氢化物气流通过气体入口引入,使醋酸盐衬底与氢化物气流接触。使氢化物气流中所含的硫化氢气体与醋酸盐衬底反应以改变醋酸盐衬底的光学特性。然后测量醋酸盐衬底的光学特性以确定氢化物气流中所含的硫化氢气体的浓度。
Description
膦是在利用金属-有机化学蒸汽沉积(MOCVD)法制造发光装置(LED)所使用的反应剂。例如,制造厂家使用膦生产AlInGaP(磷化铝铟镓)LED。遗憾的是,在高ppb或低ppm范围的硫对LED的特性有着不利的影响。例如,甚至高纯度的膦原料也会引起这种硫的污染。硫化氢是这种最常见的污染源。为了消除这种污染源,气体制造厂家需要一种测量膦中数量级为100ppb或更低的硫化氢的分析方法,以便改进纯化产物。
将半导体硫的分析推回到膦气体以作为膦生产厂的质量控制或产品检验是不可取的。该方法费钱并高度资源紧张。不能使用依据用氢还原到H2S的总硫分析器,因为在所需要的还原温度下PH3会在催化剂上发生分解。此外,利用氧氧化到SO2来分析总硫是危险的,因为PH3的可燃性。
气相色谱法对于测量氢化物中痕量的H2S是一种有争议的方法。该方法尽量理论上是可能的,但不实用,因为H2S的洗脱时间和“粘着性”相接近,将痕量的H2S从约100%的PH3物流中分离出来是困难的。此外,PH3也干扰痕量H2S探测器的信号。
最后,就我们所知,醋酸铅纸带分析器从未用于PH3或在有毒的或自燃的气体存在时使用。(膦是居毒的,极限阈(TLV)是300ppbv,在此TLV时,它不会产生气味警报,在空气中也是自燃的)。此外,商用醋酸铅纸带分析器并不合适,因为这种分析器未以密封部件设计。
在“气体分析和气体物质试验”中,(美国气体协会,股份有限公司,纽约,代号1945(148页,277-278页)),V.J.Altieri叙述了使用在5%醋酸铅溶液中浸泡过的滤纸条定性检验气体中的硫化氢。本方法将检验纸条的变黑度与未暴露于气体的纸条进行了目视对比。在专利号2,232,622的美国专利“H2S记录器”一文中,D.V.Moses等人叙述了醋酸铅纸带分析器。照射气体经过纸带,纸带通过转筒恒速牵引。用光电池的反射光以光学方法读出污点的变黑度,并与未暴露的纸带进行对比。这是早先用醋酸铅纸带法测定H2S的测试装置的实例。类似地,Moses等人(杜邦公司)在专利号2,551,281的美国专利“自动气体分析器”中公开了上述发明的改进。该分析器使气体润湿,并控制纸带的移动和暴露时间。
在专利号2,800,397美国专利“分析反应气体的方法和装置”中,offutt等人(标准油公司)公开一种不经过纸带的空气的分析仪。该仪器使用了透射光,而不是反射光来测量带的变黑或H2S。该仪器使空气样品在恒温下润湿。此外,在专利号2,895,807的美国专利“多物流气体分析器”中,Sorg等人提到在相对湿度为30-50%的情况下,使用饱和铬酸钠溶液润湿纸带。在此方法中,样品气流润湿纸带。
美国试验和材料协会,ASTM D4323-84,1984,“以改变反射速率进行大气中硫化氢的标准检验方法”中建立了测定空气中H2S的标准方法。该标准使用了Houston Atlas醋酸铅纸带分析器来测量1-3000ppbv范围的H2S。
在专利号3,464,799美国专利“气体检测器”中,Kimbell叙述了在爆炸环境中使用分析器的方法。最后,Kimbell在专利号4,127,780的美国专利“定期取样浓度指示器”中叙述了Houston Atlas醋酸铅带硫化氢分析器的操作。该方法依靠电子微分线路来测量变黑速率。该方法能够测定在与硫化氢浓度大体上成线性的一段时间内的变黑速率。
很遗憾,这些醋酸铅分析仪不适合于测量氢化物气体例如膦中的硫化氢。这些没有密封组件结构的装置是不合适的,因为膦有毒,在空气中能自燃。此外,这些装置给试验池本身加入了水分。这种水分能与膦结合,形成难于除去膦的水溶液。这些溶液能够分解或释出有毒的膦气体。
本发明的目的是测量氢化物气体中的ppb级的硫化氢。
本发明的另一目的是以控制的方式用水润湿金属醋酸盐带。
本发明的还一目的是以准备可靠的方式测量硫化氢。
本方法在密封容器中测量氢化物气体中的硫化氢。密封容器有一个气体入口、一个气体出口和一个金属醋酸盐衬底,入口接收氢化物气体物流,出口排出氢化物气体物流。氢化物气体流含有一定浓度的硫化氢气体。通过气体入口引入氢化物气体流,使醋酸盐衬底与氢化物气体物流接触。使氢化物气体流中所含的硫化氢气体与醋酸盐衬底反应,以改变醋酸盐衬底的光学特性。然后测量醋酸盐衬底的光学特性,以测定氢化物气体流中所含的硫化氢气体的浓度。
测量气体物流中硫化氢浓度的装置包括一个密封容器,该容器有一个气体入口和一个气体出口,入口接收含硫化氢的气体物流,出口排出含硫化氢的气体物流。容器内的测定池与气体入口和气体出口相连,测定池用于使从气体入口接收的含硫化氢的气体物流与金属醋酸盐衬底反应,并用于改变醋酸盐衬底的光学特性。与测定池相连的吹洗室有一接收惰性气体的入口和一排出惰性气体的出口。光学探测器测量醋酸盐衬底的改变了的光学特性,并确定硫化氢气体的浓度。
图1是测量氢化物气体中H2S的金属醋酸盐带装置的示意图。
图2是取样和标定系统的气体流程图。
图3是安全系统的电器示意图。
用于氢化物例如PH3的改进设计包括一个与电子学仪器隔离的检测带箱。这能够用送往膦洗涤器的所有的清洗气体密封和吹洗该检测带箱。该设计也使用了可防止金属醋酸盐衬底干透的湿润的吹洗气体。该方法利用沉积在任何衬底上的金属醋酸盐进行操作。最有利的是该衬底由检测带组成。为了促进金属醋酸盐的变黑反应,湿润的清洗气体使金属醋酸盐润湿。有利的是,金属醋酸盐是由选自铅和锌的一种元素组成的。
本设计还可有的改进是将湿润的气流送往醋酸铅带,以提供恒湿流。这消除了依靠从带箱远处部分扩散水分的任何要求。因为设计的样品气体物流不湿润金属醋酸盐,所以设计允许样品气体物流直接送往带,无需经过鼓泡器或其它的润湿装置。在这种情况下,样品气体仍旧是干的。例如,膦一般含有小于约1ppm的水。其优点为在分析硫化氢含量之后很久,本方法不会产生膦的水溶液,残留的膦溶液有可能会分解或释出有毒的膦气体。
参照图1,膦氢气体处理系统与电子仪器(未画出)分隔开。醋酸铅带箱2位于不锈钢NEMA 4X的密封吹洗箱1内。检测带箱2含有以醋酸铅浸渍过的或复涂过的检测带3的卷筒、机械进带卷轴4、气体样品测定池5、和纤维光学探测器装置6。暴露于H2S时,白色醋酸铅带3变成棕色。吹洗箱1含有气密性的入口和出口(在7、8、9、10和11处)。具体的说,吹洗箱含有湿润的氮气吹洗气入口7、吹洗气体出口8、样品气体出口9、纤维光学探测器入口10,样品气体入口11、湿润的吹洗气体导管12和帽罩式安全开关13。最有利之处是吹洗箱有两个密封入口和出口(未示出),这两个出入口供带驱动和安全帽罩开关用。吹洗出口支管在吹洗气体出口8处与清洗箱相连,它含压力表15、吹洗气监测阀16和洗涤器放空隔离阀14。样品气体出口9也有洗涤器隔离阀17。为了将气流送往测定池或洗涤器放空,样品和标定气体进料支管使用了四个气动隔膜阀18,19、20和21。
参照图2,膦的输送体系由PH3调节源23组成,调节源通过阀门支管向PH3纯化器24供料,阀门支管分别由入口阀、出口阀和旁路阀25、26和27组成。送往阀18和19的PH3流利用流量计28进行控制。该装置还可用质量流量控制器代替流量计以改进准确度。标定气体的制备步骤为:1)通过流量计30计量被调节的内含H2S的氮气标准29;2)通过标定气体供应管线33使其与用流量计32控制的被调节的氮气稀释剂源31混合。所得到的混合物利用附加流量计34进行测量,随后通过阀20送往分析器或者通过阀21放空。过量的标定混合物通过排气阀35放空。所有的放空物都送往气体洗涤器系统50。调节器36和流量计37调节通过流量开关39和润湿器40的氮气吹洗气源51。氮气源51也用作阀门18和19的气动触发源。氮气源51通过调节器41进行输送,利用电磁阀42进行电气控制。另一个任选的改变是要使输送系统和带箱气体密闭,以致样品和吹洗气体基本上能够完全送往膦洗涤器以便安全处置。
参照图3,电子仪器室43利用电接线盒48和49与吹洗箱1电气连接。电线端接在接线板44处。电子仪器室43的其它部件是12伏的直流电源45、120伏交流总电源46和检测带驱动马达电源47。安全系统是用来停止送往分析器的膦,并以关闭阀18及打开阀19将膦送去放空(图1和图2)。这一操作在下列情况下发生:(a)打开密封吹洗箱1的帽罩被打开(打开安全开关13);(b)流过流量开关39的氮吹洗气体下降到设定值,例如5升/分以下;(c)气动阀触发器压力降到工厂设定值,例如40磅/英寸2以下;或者(d)打开手动乒乓开关(转到“OFF”位置)。
实施例1:
来自贮气筒的膦经过特制的H2S吸收装置以除去硫化氢。然后利用图1-3所述的改进的醋酸铅纸带分析器的标准加入法分析净化的膦。在90%磷化氢-10%氮气-H2S混合物的条件下,该方法使用7分钟的纸带平衡时间,接着7分钟读数时间。平衡时间有利于使随后的光学黑度读数值与H2S浓度更成线性。
当无H2S标准加入时,得到零ppb的值(也就是纸带完全不变暗)。然后加入10%(体积)的含H2S的氮气流,以给予膦200ppb的H2S。所得到的读数值是202ppb的H2S。这表明膦对于黑度读数值的贡献是很小的。
实施例2:
利用标准加入法分析来自贮气筒的膦,以测定H2S的含量。纸带标定、平衡和读数方法与实施例1相同。下表1提供了本方法的结果。
表1标准加入 开始黑度 最终黑度 黑度变化 显示的 膦样品中的(ppb H2S) H2S H2S
ppb ppb0.00 26.03 26.18 0.15 1.63 --150.00 29.30 40.53 11.23 182.86 32.86200.00 33.46 47.82 14.36 234.42 34.42
开始黑度是以读数时间开始时变暗的百分数表示的光学读出数值;最终黑度是在七分钟读数时间结束时的读出数值。当无H2S标准加入时,纸带变暗很小,这表明浓度很低,这表明必须进行标准加入以致使黑度水平进入线性范围。当加入150或200ppb的H2S,以足以使纸带读数值进入线性范围时,此时黑度的变化分别表明为183和234ppb的H2S。因为这比标准加入值高33-34ppb,所以膦的贡献为33-34ppb。因此,由于氮气将样品稀释10%,所以贮气筒中原始膦含H2S为37-38ppb。
有可能用醋酸铅纸带硫化氢分析器,例如Houston Atlas分析器的部件来制作该分析器。Houston Atlas分析器含用纤维光学检测在指定期间纸带变暗的速率或最终黑度读数的部件。此外,在此设计中,样品气体在纸带上方流过(不是穿过)。可是该装置要用能检测金属醋酸盐带由H2S变暗的任何方法进行操作。在某些设计中,可以检测透射光,或者气体能够穿过检测带而不是在检测带上方流过。可是在测验时,使用以一致的方式制备的金属醋酸盐检测带是很重要的。其它的醋酸铅检测带H2S分析器和空气检测器有市售,例如从痕量环境公司、Del Mar科学公司和MDA科学公司买到。最重要的改变是将气体输送系统和检测带与电子学仪器隔开,以使检测带箱能够用惰性气流,优选为氮气流或氩气流进行吹洗和润湿。
增加检测带的暴露时间(平衡时间和读数时间)可改进本方法的灵敏度。在标准加入的情况下(或者如果样品中存在着足够的H2S,甚至无标准加入),本方法可检测较低的H2S浓度。此外,控制较高水平的湿度可以改进灵敏度。
还可使吹洗气体通过水鼓泡或者在水的上方流过就能够实现将水分加到吹洗气体中。将润湿的吹洗气体在样品进入暴露位置前的地点送到醋酸铅检测带上是最有利的。吹洗气的流量应足以维持吹洗箱中基本上无空气,但在别的方面无关紧要(试验使用了约10升/分的吹洗气流量)。
优选的操作模式是利用标准加入进行标定。在此方法中,在氮气中(或氩气中)作为稀释标准的硫化氢混入实际的膦样品中。优选地内标加入的比例为膦的稀释不小于其原始浓度的75%。该方法典型地是在含H2S的90%PH3-10%N2标准条件下进行操作。使用内标时,该方法能够在实际上在PH3中没有H2S的预制标准情况下计算出膦样品中的H2S。
棕色硫化铅色斑的光学读数在一定的浓度范围内基本上与H2S浓度成线性关系。比基本上成线性的范围线性外推后在结果中将引入小于10%的误差的区域。该线性范围也是最灵敏的范围。〔在这个范围以下或以上,读数值是非线性的〕。因此,分析样品时,在这个范围内最为有利。该线性范围将随所选择的条件,例如检测带暴露时间、流量、湿度、温度以及其它因素等条件而改变。有利之处是,为了测量光学特性或H2S浓度的改变,变暗的醋酸铅衬底或检测带的测量由开始暴露于膦气流中1-30分钟和第二次暴露1-30分钟组成。典型情况下,14分钟的检测带暴露时间(7分钟平衡时间,7分钟光学读数时间)、150毫升/分的流量、20%的相对湿度和环境温度下的操作将产生可靠的ppb量级测量。
H2S线性测量的最佳范围对于醋酸铅检测带约是100-250ppbv。如果样品处在这个范围内,则不需要标准加入来提供可靠的测量。可是工业上要求测量较低水平的H2S。例如,某些工业的方法需要测定的H2S的水平低于50ppb。在这样低的水平下,加入标定的起动加注气体和采用标准加入法是优选的。此外,在无标准加入的情况下,使用标定曲线的非线性部分测量低于100ppb的H2S也是可能的。可是对于低于约50ppb的H2S时,检测带黑度读数值的改变如此之小(14分钟暴露时间),以致读数的灵敏度和准确度很差。
对于硫化氢含量范围未知的膦样品最好在无H2S标准加入的情况下先试测样品以确定需要多大的标准加入(如果有)才能使黑度读数值落在分析器的线性范围内。
实施本发明的方法,以测量氢化物例如膦(PH3)、氢化砷(AsH3)、硅烷(SiH4)和氢化锗(GeH4)中的硫化氢。可是由于某些氢化物例如氢化砷能与醋酸铅发生反应,所以本方法将需要不会起反应的不同的金属醋酸盐检测带。还可控制测定条件以保证金属醋酸盐不会与氢化物反应,这也是可能的。
本发明的装置和方法提供氢化物中H2S的准确而可靠的测定。最有利之处是,本方法测量膦气体中存在的硫化氢。本方法测量的膦气体中的H2S的量级为ppb。用单独的吹洗气体润湿金属醋酸盐检测带,可使测定不受与空气有联系的湿度波动的影响。
虽然已经参照了某些优选的实施方案详细地说明了本发明,但是本专业的技术人员将会认识到在本发明的权利要求的实质和范围内还有其它实施方案。
Claims (10)
1.一种测量氢化物气体中硫化氢浓度的方法,该方法包括下列步骤:
a)提供密封容器,所述容器有气体入口、气体出口和金属醋酸盐衬底,入口接受氢化物气体流,出口排出所述氢化物气体流,所述氢化物气体流含有一定浓度的硫化氢气体;
b)通过所述的气体入口将所述的氢化物气流引入,使所述的醋酸盐衬底与所述的氢化物气流接触;
c)使所述的氢化物气流中所含的所述硫化氢与所述的醋酸盐衬底反应,以改变所述醋酸盐衬底的光学特性;和
d)测量所述醋酸盐衬底的所述光学特性,以测定所述氢化物气流中所含的硫化氢的浓度。
2.权利要求1的方法,该方法包括用惰性气体和水蒸汽的混合物吹洗所述容器的附加步骤,以在所述硫化氢气体与所述醋酸盐衬底反应之前使醋酸盐衬底润湿。
3.权利要求1的方法,该方法包括在将所述的氢化物气流引入之前,使所述的醋酸盐衬底暴露于标定过的含硫化氢的起动加注气体中的附加步骤,以使所述醋酸盐衬底预变暗,以使醋酸盐衬底的光学特性的测量在硫化氢气体的浓度和黑度之间基本上为线性关系的范围内进行。
4.权利要求1的方法,其中所述测量包括将变暗的醋酸盐衬底与标准比较,所述标准是由已知的浓度的硫化氢制备的。
5.权利要求1的方法,其中所述金属醋酸盐由选自铅和锌的元素形成的。
6.权利要求1的方法,其中所述醋酸盐衬底由醋酸铅检测带组成,该醋酸铅检测带在暴露于硫化氢气体中时变成的褐色而变黑。
7.一种测量气流中硫化氢浓度的设备,该设备包括:
具有气体入口和气体出口的密封容器,入口接受含硫化氢的气流,出口排出含硫化氢的气流;
在所述容器内的测定池与所述气体入口和所述气体出口相连,该测定池用于使由气体入口接受的含硫化氢的气流与金属醋酸盐衬底反应,并改变醋酸盐衬底的光学特性;
吹洗室与测定池相连,所述吹洗室具有入口和出口,进口接受惰性气体,出口排出惰性气体;和
探测器用于测量醋酸盐衬底的改变的光学特性和测定硫化氢气体的浓度。
8.权利要求7的设备,其中所述吹洗室包含有一套卷筒,用于支承连接在该卷筒之间的醋酸铅检测带和用于将醋酸铅检测带送入所述测定池中。
9.权利要求8的设备,其中所述吹洗室包含吹洗管,用于在醋酸铅衬底被送入测定池之前,将含水蒸汽的气体送到醋酸铅检测带处。
10.权利要求7的设备,其中所述密封容器与标定的硫化氢气体供应管线相连,用于给醋酸盐衬底以起动加注,用于在硫化氢气体浓度和醋酸盐衬底的黑度之间基本上呈线性关系的范围内测定硫化氢气体的浓度。
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