CN1258073C - 一种立式大口径非球面镜检验装置 - Google Patents
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Abstract
一种立式大口径非球面镜检验装置，属于光学检验技术领域中涉及的一种立式大口径非球面镜检验装置。本发明要解决的技术问题是：提供一种立式大口径非球面镜检验装置，以保证检验数据的真实可靠。解决技术问题的技术方案是：检验支撑架固定在隔离地基上，上平台的工作面水平的固定在检验支撑架的顶端，上平台上有一个开口，在检验支撑架内的被检验非球面镜的光轴通过上平台开口的中心，位于上平台上方的被被检验非球面镜的光轴上，依次置有补偿器和反射镜，反射镜的反射面与光轴成45°角放置，在反射的光路上置有干涉仪，干涉仪和计算机之间用导线连接。该装置可以在线检验，数据真实可靠。
Description
一、技术领域：本发明属于光学检验技术领域中涉及的一种立式大口径非球面镜检验装置。
二、技术背景：在光学冷加工中，对加工的光学镜片进行质量检验，是常规的光学检验工作。光学镜片有大有小，在光学界通常把口径为φ300mm以上的光学镜片视为大口径镜片，φ500mm、φ800mm、φ1000mm以上的大口径光学镜片是经常碰到的，检验大口径光学镜片需要的设备往往是很庞大的，占有很大的空间和苛刻的环境条件。例如，为了防振，要求隔离地基，为了保证检验精度，要求检验环境恒温等等。
与本发明最为接近的已有技术是各国普遍应用的卧式大口径非球面检验设备，中国科学院长春光机所和四川成都光电技术研究所研制应用的卧式大口径非球面镜检验装置如图1所示：是由隔离地基1、抛光机2、被检验非球面镜3、补偿器4、干涉仪5、计算机6、工作台面7组成的。
这种卧式大口径非球面镜检验装置，占用隔离地基的面积很大，工作台面的面积也很大，需要很高的资金投入才能办到，更严重的问题是：检验时，需要将被检验非球面镜搬动起来翻转90°立起来，不能在线检验，被检件翻转、立稳过程需要恨长时间，同时这种大口径光学镜片重量较重，少则几十公斤，多则几百公斤，甚至成吨，镜片的自重会引起镜面产生变形，检验完毕恢复原位后，镜面的光轴可能要偏离位置或倾斜，固而检验结果数据并不可信，这是令光学设计人员和光学检验人员头痛的事。
三、发明内容：为了克服已有技术缺点，本发明的目的在于：对正在光学冷加工中的大口径非球面镜，可以在线检验，在节省时间和提高工作效率的同时，又能保证检验数据的真实可信。立式检验设备能大大缩小隔离地基和工作台面的面积，减少资金投入，节省开支，为此特设计一种立式大口径非球面镜检验装置。
本发明要解决的技术问题是：提供一种立式大口径非球面镜检验装置，以保证检验数据的真实可靠。解决技术问题的技术方案如图2所示：包括：隔离地基8、抛光机工作台9、被检验非球面镜10、检验支撑架11、上平台12、上平台开口13、补偿器14、反射镜15、干涉仪16、计算机17、工作台面18。
几乎笼罩整个隔离地基的检验支撑架11牢固座落在隔离地基8上，抛光机工作台9和被检验非球面镜10都在检验支撑架11的包围之内，被检验非球面镜10可在线保持原来位置状态进行检验，被检验面形朝上，上平台12的工作面水平的固定在检验支撑架11的顶端，上平台12上有一个上平台开口13，被检验非球面镜10的光轴通过上平台开口13的中心，位于上平台12上方的被检验非球面镜10的光轴上，依次置有补偿器14和反射镜15，反射镜15的反射面与光轴成45°角放置，反射镜15的高度要高于工作台面18的位置，在反射镜15的反射光路上置有干涉仪16，干涉仪16和计算机17平稳地置于工作台面18上，两者之间用导线连接。
工作原理说明，被检验非球面镜10的面形反射光线，通过平行光补偿器14补偿后射向到反射镜15，经反射镜15反射后进入干涉仪16，产生干涉信号，经计算机17处理后显示，这个显示结果就是被检验非球面镜的面形数据。
本发明的积极效果：该装置可以在线检验，被检件不产生变形，数据真实准确，可信，提高了工作效率，同时由于大大减小隔离地基面积和工作台面面积，而大幅度减少资金投入。
四、附图说明：图1是已有技术卧式大口径非球面镜检验装置结构示意图，图2是本发明的立式大口径非球面镜检验装置结构示意图，摘要附图亦采用图2。
五、具体实施方式：本发明按图2所示的结构实施，隔离地基8的面积采用3.0×3.0M2，地基深度1.5M；检验支撑架11的材质采用钢管和角钢，高度4～4.5M，上平台12采用3cm厚的钢板，上平台开口13的直径采用φ500mm，补偿器14采用口径为φ100mm的平行光补偿器，补偿器14到被检验非球面镜10的距离采用4～4.5M，干涉仪16采用美国产ZYGO干涉仪，反射镜15采用口径为φ500mm的镀铝反射镜。计算机17采用戴尔计算机，工作台面18的面积采用1.8M×1.8M。
Claims (1)
- 一种立式大口径非球面镜检验装置，包括：隔离地基、抛光机工作台、被检验非球面镜、补偿器、干涉仪、计算机、工作台面，其特征在于该检验装置还包括检验支撑架(11)、上平台(12)、上平台开口(13)、反射镜(15)；检验支撑架(11)牢固座落在隔离地基(8)上，抛光机工作台(9)和被检验非球面镜(10)都在检验支撑架(11)的包围之内，被检验非球面镜(10)可在线保持原来位置状态进行检验面形朝上，上平台(12)的工作面水平的固定在检验支撑架(11)的顶端，上平台(12)上有一个上平台开口(13)，被检验非球面镜(10)的光轴通过上平台开口(13)的中心，位于上平台(12)上方的被检验非球面镜(10)的光轴上，依次置有补偿器(14)和反射镜(15)，反射镜(15)的反射面与光轴成45°角放置，反射镜(15)的高度要高于工作台面(18)的位置，在反射镜(15)的反射光路上置有干涉仪(16)和计算机(17)平稳地置于工作台面(18)上，两者之间用导线连接。
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