CN1238448A - 表面等离子体谐振测试仪 - Google Patents

表面等离子体谐振测试仪 Download PDF

Info

Publication number
CN1238448A
CN1238448A CN 98102366 CN98102366A CN1238448A CN 1238448 A CN1238448 A CN 1238448A CN 98102366 CN98102366 CN 98102366 CN 98102366 A CN98102366 A CN 98102366A CN 1238448 A CN1238448 A CN 1238448A
Authority
CN
China
Prior art keywords
slide block
optical
surface plasma
plasma resonance
rod set
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 98102366
Other languages
English (en)
Other versions
CN1089434C (zh
Inventor
崔大付
周力夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Electronics of CAS
Original Assignee
Institute of Electronics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Electronics of CAS filed Critical Institute of Electronics of CAS
Priority to CN 98102366 priority Critical patent/CN1089434C/zh
Publication of CN1238448A publication Critical patent/CN1238448A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1089434C publication Critical patent/CN1089434C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

表面等离子体谐振测试仪,包括控制系统、光学系统、机械运动结构、角度信号处理电路、光信号处理电路,所说的机械运动结构包括光学平台2,安装在光学平台上的连杆组3,螺杆6一端接有滑块4,另一端与电机7连接,在滑块4下有一导轨5,拉杆9一端连接滑块4,另一端连接连杆组3,角位移传感器8安装在螺杆6上。本发明不仅可应用于研究金属薄膜光学特性和LB膜的分子结构、光学常数等,还可用作传感器对生物、化学量的测量。

Description

表面等离子体谐振测试仪
本发明属于测试仪,特别是表面等离子体测试仪。
用机电的方法改变入射光的角度和检测入射光强度随角度的变化在很大程度上象构造一个角度传感器。对SPR表面等离子体谐振测试仪的要求是:即要实现角度的微小改变,又要对微小改变精确测量。传统的SPR使用涡轮涡杆结构。其设计精神是尽量加大传动比i,如要求达到的测角精度为1‰,可准确测量的角度为0.5度,则传动比i不小于200。传动比等于200是一个很大的数字,这样的传动比一般用于得到微小位移。普通传动机构中,涡轮涡杆的传动比为30-100。要达到200以上的传动比,需要涡轮涡杆结合齿轮传动。而且要实现检测器件可以同步移动,需要两套传动设备。
本发明的目的是提出一种检测谐振吸收角微小变化的传感系统。
本发明的主要特点是表面等离子体谐振测试仪包括控制系统、光学系统、机械运动结构、角度信号处理、光信号处理,其特征是所说的机械运动结构包括光学平台2,安装在光学平台上的连杆组3,螺杆6一端接有滑块4,另一端与电机7连接,在滑块4下有一导轨5,拉杆9一端连接滑块4,另一端连接连杆组3,角位移传感器8安装在螺杆6上。
本发明装置运转灵活,测试准确,不仅可应用于研究金属薄膜光学特性和LB膜的分子结构、光学常数等,还可用作传感器对生物、化学量的测量。
附图说明
图1是本发明系统框图
图2是机械运动结构原理图。图中1-测试仪基座2-光学平台3-连杆组4-滑块5-导轨6-丝杠7-电机8-角位移传感器9-拉杆10-光源11-光电二极管
下面结合附图叙述本发明。
如图1所示,控制系统根据运行状态决定机械结构的运行速度和方向、光源的调制频率和幅度。信号分为角度和光强两种,当机械运行到极限位置时,控制系统对角度进行校正,并根据运行结果对机械速度自动调整。在每一个可分辨的入射角度,系统都对光强进行检测,检测的采样率和样本数可控。每次运行的结果作为决定下次测量时的参数的依据。
由附图2可知,杠杆机构可以精确地实现微小角位移,而且结构简单。设臂长为200毫米,为得到1‰角度的角位移,臂端要移动的距离是4微米,得到4微米的直线位移可以用螺旋副来实现。设螺旋的牙距为0.5毫米,即每转动360°得到0.5毫米的位移,4微米的位移相当于2.9°的角位移,这样大的角位移是很容易测量的。但是,连杆组3端点的运动是沿弧线,而螺旋副只能沿直线运动,为了将直线运动和圆运动相结合,必须使用拉杆9和导轨5。测试仪的基座1用来放置机械结构,棱镜放置在光学平台2上,连杆组3一端固定在光学平台2上,另一端通过拉杆9与滑块4连接。螺杆6一端装有滑块4,另一端与电机7连接,在滑块4下有一导轨5,角位移传感器8安装在螺杆6上。电机7驱动精密螺杆6和滑块4在导轨5中往复移动以改变入射光的角度。螺杆的转动由角位移传感器8加以测量。导轨5的作用是使滑块4的运动轨迹与光学平台2的中轴线重合。要求连杆组3的四臂完全等长。这样,入射光角度的变化可通过滑块的运动距离计算得到。角位移传感器8测量螺杆6转动的角度,再根据螺距即可计算滑块4的移动距离。本结构的优点是可实现微小的入射角度变化和较大的变化范围,且同时对反射光进行了跟踪。系统的灵敏度决定于电机7和角位移传感器8最小可分辨的角位移。系统的精确度主要由螺杆6的制造精度决定。而滑块4的行程长度和连杆的臂长决定测量范围的大小。使用本发明时,待测物放置于光学平台2上,置于计算机内的控制系统控制机械系统的动作及对角度和光强信号的分析。可根据软件设定自动连续工作。

Claims (5)

1、表面等离子体谐振测试仪,包括控制系统、光学系统、机械运动结构、角度信号处理电路、光信号处理电路,其特征是所说的机械运动结构包括光学平台2,安装在光学平台上的连杆组3,螺杆6一端接有滑块4,另一端与电机7连接,在滑块4下有一导轨5,拉杆9一端连接滑块4,另一端连接连杆组3,角位移传感器8安装在螺杆6上。
2、按权利要求1所述的表面等离子体谐振测试仪,其特征是所说的连杆组3的四臂等长。
3、按权利要求1所述的表面等离子体谐振测试仪,其特征是光源10和光电二极管11放置在连杆组3上。
4、按权利要求1所述的表面等离子体谐振测试仪,其特征是滑块4的运动轨迹与光学平台2的中轴线重合。
5、按权利要求1或3所述的表面等离子体谐振测试仪,其特征是所说的光源10是固体激光器。
CN 98102366 1998-06-08 1998-06-08 表面等离子体谐振测试仪 Expired - Lifetime CN1089434C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 98102366 CN1089434C (zh) 1998-06-08 1998-06-08 表面等离子体谐振测试仪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 98102366 CN1089434C (zh) 1998-06-08 1998-06-08 表面等离子体谐振测试仪

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1238448A true CN1238448A (zh) 1999-12-15
CN1089434C CN1089434C (zh) 2002-08-21

Family

ID=5217292

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 98102366 Expired - Lifetime CN1089434C (zh) 1998-06-08 1998-06-08 表面等离子体谐振测试仪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1089434C (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100520394C (zh) * 2005-03-08 2009-07-29 中国科学院电子学研究所 一种单通道多参数表面等离子体谐振测试仪
CN100535641C (zh) * 2006-03-30 2009-09-02 中国科学院电子学研究所 高通量多参数图像表面等离子体谐振测试仪
CN103728272A (zh) * 2013-12-11 2014-04-16 王丽红 表面等离子体共振成像检测装置
CN104568838A (zh) * 2013-10-28 2015-04-29 南开大学 基于全内反射法的宽光谱范围物质色散的自动测量装置
CN108318451A (zh) * 2018-05-07 2018-07-24 中国计量大学 一种自动跟踪反射光线的固体材料折射率测量仪

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102297852A (zh) * 2011-05-24 2011-12-28 北京理工大学 一种单轴传动四杆机构的便携式spr检测仪

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100520394C (zh) * 2005-03-08 2009-07-29 中国科学院电子学研究所 一种单通道多参数表面等离子体谐振测试仪
CN100535641C (zh) * 2006-03-30 2009-09-02 中国科学院电子学研究所 高通量多参数图像表面等离子体谐振测试仪
CN104568838A (zh) * 2013-10-28 2015-04-29 南开大学 基于全内反射法的宽光谱范围物质色散的自动测量装置
CN103728272A (zh) * 2013-12-11 2014-04-16 王丽红 表面等离子体共振成像检测装置
CN103728272B (zh) * 2013-12-11 2016-03-16 王丽红 表面等离子体共振成像检测装置
CN108318451A (zh) * 2018-05-07 2018-07-24 中国计量大学 一种自动跟踪反射光线的固体材料折射率测量仪

Also Published As

Publication number Publication date
CN1089434C (zh) 2002-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100410625C (zh) 开口凸轮的轮廓曲线测量装置
EP2245425B1 (en) Motorized coordinate measuring device
CN105547161B (zh) 一种用于长度测量的高精度柔性测量装置及方法
CN1785730A (zh) 手推式多功能激光接触网检测仪
US5896200A (en) Optical design for laser encoder resolution extension and angular measurement
CN2898816Y (zh) 光学参数按空间角度分布的测量系统
CN1089434C (zh) 表面等离子体谐振测试仪
CN101029817A (zh) 二维位移传感器及应用的大量程表面形貌测量装置
CN109854898A (zh) 一种非接触式测试装置
CN108387188A (zh) 物体表面平整度快速测量装置
CN112345130A (zh) 基于超声侧波的应力分布测量装置与方法
CN2283228Y (zh) 外螺纹参数非接触自动测量装置
CN208596177U (zh) 一种声学多普勒流速仪自动采样装置
CN206891406U (zh) 一种汽车大梁高度自动测量结构
CN1831474A (zh) 基于垂直位移扫描的非接触式表面形貌测量方法及测量仪
CN101080609A (zh) 用于直尺平直度测量的顺序多探头方法
CN216621060U (zh) 一种线位移传感器自动校准装置
CN109520444A (zh) 一种大型卧式拉力试验机机身平行度测量装置及其测量方法
CN206192413U (zh) 一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪
CN110285778B (zh) 曲面式移动平台的检测装置及工作方法、切割方法
CN208653442U (zh) 一种非接触式罗拉线偏角检测装置
CN100514036C (zh) 角度型便携式表面等离子谐振生化分析仪的扫描成像装置
CN210004952U (zh) 一种位移台分辨率和精度检测装置
CN203745360U (zh) 基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统
CN215894388U (zh) 一种固液介质折射率测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20020821

CX01 Expiry of patent term