CN1210591C - 光波导、光波导装置及它们的制造方法以及光通信装置 - Google Patents

Abstract

提供一种简化光波导装置的制造工序，并适于大量生产的光波导装置的制造方法。假定以滤光片插入槽(5b)作为对角线并以邻接滤光片插入槽(5b)的滤光片插入槽(5a、5c)上的点作为顶点的长方形为单位长方形(7)，使光波导装置(1)的大小为单位长方形(7)的整数倍，即使在将多个光波导装置(1)配置为矩阵状的状态下形成滤光片插入槽(5)，各光波导装置(1)也可以形成为同一形状。在各光波导装置(1)上形成的滤光片插入槽(5)不会切断其它光波导装置(1)的波导芯(4)的目的外的地方。因此，由于可以简化制造工序，并适于大量生产，所以可以抑制制造成本。

Description

光波导、光波导装置及它们的制造方法以及光通信装置

技术领域

本发明涉及在芯内透过并传输光的光波导、附加了用于在光波导上安装光纤和发光元件、受光元件等光学部件的光纤导向槽和光学元件设置部以及所谓光调制功能的功能部位的光波导装置、它们的制造方法以及使用该光波导装置的光通信装置。

背景技术

在用于光通信的光缆的连接部或终端部，为了与其它光缆、发光元件、受光元件连接，采用了光波导装置。近年来，可以高速传送大容量数据的光通信的利用在推进之中，希望制造出更价廉、适于大量生产的光波导装置。

光变换器是一种接收来自光纤的光信号并转换为电信号再将电信号转换为光信号并发送给光纤的光波导装置的例子，光变换器一般由形成了光波导的光波导基板和安装了用于与光波导的芯连接的光纤、发光元件、受光元件等的支持基板构成。在光波导基板的波导芯中途形成有滤光片插入槽把波导芯断开，滤光片插入槽中安装有滤光片，滤光片是具有只让特定波长的光透过而反射特定波长以外的波长的光的特性的光学元件。用该滤光片将发送信号和接收信号分离开，以防止产生串扰。

以前，要制造这样的光波导装置，由于分别制造光波导基板和支持基板，将光波导基板和支持基板用黏合树脂一个一个接合起来而制成，所以制造工序繁杂，制造工序花费时间或成本，不能高效进行大量生产。另外，由于各光波导基板和支持基板是微小的部件，所以将光波导基板和支持基板高精度定位并装配光波导装置要花费时间或成本。

因此，若形成多个分别在晶片或母基板上以规定间隔配置的光波导基板和支持基板，再将两晶片或母基板接合起来之后，切断该接合体并形成各光波导装置，则能提高生产效率。若在切割成各光波导装置之前集中形成滤光片插入槽，也能提高生产效率。

图1示出形成了多个光波导装置的状态。图1的光波导装置23接合在1张母基板上形成为多个矩阵状的支持基板25、和在另一张母基板上形成为多个矩阵状的光波导基板24。图中，光波导基板24以一个一个分离的状态接合到支持基板25上，但没有图示不需要的部分，也没有一个一个被切离。在各光波导基板24形成有波导芯26，滤光片插入槽27将它们切断。滤光片插入槽27形成在呈卜字形的波导芯26接合处附近，插入有滤光片28将波导芯26分断开。滤光片28将在芯26中传输的发送信号和接收信号分离开。

滤光片插入槽27通过切割形成切口。但切割时，如图1所示，只能对于母基板整体形成槽，不能只在插入滤光片28的地方形成槽。另外，由于滤光片插入槽27对于波导芯26的纵向具有规定角度，所以根据各光波导装置23的大小或波导芯26的长度，在各光波导装置23的规定地方形成滤光片安装槽27时，切割间隔会不固定同时会把并列配置的其他光波导装置23的波导芯26的目的以外地方29切断。因此，不能生产出同一形状的光波导装置23。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种光波导装置的制造方法，将光波导装置形成为多个矩阵状，在形成了滤光片插入槽之后分别切断来制造光波导装置，该方法可以将各光波导装置形成为同一形状，形成的滤光片安装槽不会切断其他光波导装置的波导芯的目的以外的地方。

图1中，为了方便起见，把滤光片插入槽27画得比滤光片28更窄，但实际上，滤光片插入槽27比滤光片28宽，把插入滤光片28插在其中。另外，可看见在光波导基板24以外的支持基板25上也形成了插入槽27，但这是示出切割刀片的扫描轨迹。滤光片插入槽27形成至完全切断光波导基板24的波导芯26的深度就足够，所以实际上，滤光片插入槽27不会形成至支持基板25上。

按照本发明的光波导装置的制造方法，在第一基板上形成多个以纵横规定间隔配置成矩阵状的能让光透过并传输的由至少具有1处以上分岔点的波导芯和围绕波导芯的包覆层构成的光波导；在第二基板上形成多个以与上述光波导相同的纵横间隔配置成矩阵状的功能部位；使各上述光波导和上述功能部位相对地把上述第一基板和上述第二基板粘接为一体；将可插入根据上述波导芯中透过并传输的光的波长而使光透过或反射的滤光片的槽至少形成在由插入到上述槽的上述滤光片在上述分岔点反射的上述光从上述分岔点传输到向另一方向延伸的波导芯的地方；之后，在一体化的状态下分别切断而制成光波导装置；其特征在于，上述各光波导装置的上述矩阵状的配置间隔中，设纵向间隔为x、横向间隔为y、在与上述纵向平行的方向上形成的上述波导芯的长度为z、上述波导芯的分岔点个数为n、上述滤光片插入槽的形成间隔为p、上述滤光片相对上述纵向的倾斜角为θ(0°＜θ＜90°)时，上述配置间隔、上述波导芯的长度以及上述滤光片插入槽的形成间隔满足如下关系：

        x＝m·p/sinθ     (m为大于n的自然数)

        y＝p/cosθ

        z≤(n+1)·p/sinθ

另外，按照本发明的光波导的制造方法，在第一基板上形成多个以纵横规定间隔配置成矩阵状的能让光透过并传输的由至少具有1处以上分岔点的波导芯和围绕波导芯的包覆层构成的光波导；将可插入根据上述波导芯中透过并传输的光的波长而使光透过或反射的滤光片的槽至少形成在由插入到上述槽的上述滤光片在上述分岔点反射的上述光从上述分岔点传输到向另一方向延伸的波导芯的地方；之后分别切断而制成上述光波导；其特征在于，上述各光波导的上述矩阵状的配置间隔中，设纵向间隔为x、横向间隔为y、上述波导芯的分岔点个数为n、上述滤光片插入槽的形成间隔为p、上述滤光片对上述纵向的倾斜角为θ(0°＜θ＜90°)时，上述配置间隔和上述滤光片插入槽的形成间隔满足如下关系：

        x＝n·p/sinθ

        y＝p/cosθ

按照本发明的光波导装置的制造方法，在第一基板和第二基板上分别形成并接合起来多个光波导和功能部位的状态下通过切割来形成滤光片插入槽时，各光波导装置可以形成为同一形状，在各光波导装置上形成的滤光片插入槽不会切断其它光波导装置的波导芯的目的外地方。另外，由于可以使切割间隔一定并形成滤光片插入槽，所以使切割刀片自动扫就可以在同一工序形成多个滤光片插入槽。从而，由于不需要对各光波导装置在各工序形成插入槽，所以可以简化光波导装置的制造工序，可以提高生产效率。

按照本发明的光波导的制造方法只是没有第二基板，可以得到与本发明的光波导装置的制造方法相同的效果。

按照本发明的光波导装置的制造方法，可以制造价廉、具有稳定品质的光波导装置。

按照本发明的光波导的制造方法，可以制造价廉、具有稳定品质的光波导。

另外，通过设置本发明的光波导装置、驱动安装在上述光波导装置的发光元件的发光元件驱动电路以及处理从安装在上述光波导装置的受光元件输出的电信号的数据处理电路，就可以得到进行光信号和电信号变换的光通信装置。

附图说明

图1是现有的光波导装置的滤光片插入槽的形成状态的示图。

图2是按照本发明的一实施例的光波导装置的主要部分的模式图。

图3是形成了多个本发明的一实施例的光波导装置的状态的模式图。

图4是按照本发明的一实施例的光波导装置的模式图。

图5是形成了多个本发明的一实施例的光波导装置的状态的模式图。

图6是按照本发明的一实施例的光波导装置的模式图。

图7是按照本发明的一实施例的光波导的模式图。

图8是按照本发明的一实施例的光波导装置的示意斜视图。

图9是图8所示的光波导装置的示意分解图。

图10是图8的光波导装置的使用状态的示意平面图。

图11～图17是本发明的光波导装置的制造方法的说明图。

图12是图11的续图。

图13是图12的续图。

图14(a)(b)(c)(d)是沿图13的A-A′截面图，说明直到制造波导芯为止的工序。

图15是图13的续图。

图16是图15的续图。

图17是图16的续图。

图18是线路终端装置的结构框图。

具体实施方式

图2是从上方看本发明的一实施例的光波导装置(光变换器)1的主要部分时的模式图。图2的光波导装置1表示用本发明的制造方法生产的多个光波导装置的一个，由相当于在第一基板上形成为矩阵状的多个光波导的一个长方形的光波导基板2、相当于在第二基板上形成为矩阵状的多个功能部位的一个长方形的支持基板3、滤光片插入槽5a、5b、5c和滤光片6构成。支持基板3将以长边方向的形成间隔为x、短边方向的形成间隔为y而形成多个的部件通过切割分别切开。因此，切割后的支持基板3的长边和短边的长度仅比形成间隔精确地短切割刀片的厚度，但以下说明中，为方便起见，将形成间隔x、y作为支持基板3的长边、短边方向的长度来对待。

长边和短边都比支持基板3短的光波导基板2接合在支持基板3上的中央附近，而不超出支持基板3。从而，支持基板3的长边、短边的长度与光波导装置1的长边、短边的长度相等。光波导基板2的长边方向与支持基板3的长边方向平行，长边方向的长度为z。在光波导基板2上形成卜字形的波导芯4。波导芯4的各端面从光波导基板2露出来。波导芯4在与支持基板3平行的方向形成波导波导芯4a、4b，在与波导芯4a、4b垂直的方向形成从波导芯4a分岔出来的波导芯4c。在波导芯4a和波导芯4c的分岔点附近形成有对支持基板3的长边方向倾斜θ＝45°的滤光片安装槽5b，把波导芯4a和4b分断开。从滤光片插入槽5b以切割间隔p与滤光片安装槽5b平行地形成有滤光片安装槽5a、5c。滤光片安装槽5a、5c未把波导芯4分断开。在滤光片安装槽5b内插入波导芯4a和4b的滤光片6。滤光片6使波导芯4a中传输来的光根据其波长透过或反射。透过的光在波导芯4b内传输，反射的光在波导芯4c内传输。在没有波导芯的滤光片安装槽5a、5c内没有必要插入滤光片6。因此，滤光片个数n为1。在支持基板3上没有接合光波导基板2而露出的地方形成有未图示的发光、受光元件安装台(电极垫片)和光纤导向槽。

在光波导装置1中，假设了将滤光片插入槽5b作为对角线，将与滤光片插入槽5b邻接的滤光片插入槽5a、5c上的点作为顶点的长方形7(图2的阴影部，下称单位长方形)时，光波导装置1的大小为单位长方形7的3倍。设该单位长方形的纵向长度为w，如上述，单位长方形7的横向长度为y，滤光片安装槽5a、5c未切割波导芯4，所以以下关系成立。

       w＝p/sinθ       ……(1)

       y＝p/cosθ       ……(2)

       x＝3w＝(n+2)w    ……(3)

       z≤2w＝(n+1)w    ……(4)

因此，若将单位长方形7的整数倍(图2中为3倍)作为光波导装置1的大小，由于滤光片安装槽5形成在各单位长方形7的相同地方，所以如图3所示，即使将多个光波导装置1配置成矩阵状，也可以将各光波导装置1形成为相同形状，可以大量生产。

另外，在图2至图7中，画出在光波导基板2以外的支持基板3上也形成有滤光片插入槽5，但这是示出切割刀片的扫描轨迹。滤光片插入槽5形成至完全切断光波导基板2的波导芯4的深度就足以，所以实际上滤光片插入槽不会形成至支持基板3上。

图3至图7中，为了表示单位长方形7，用虚线示出单位长方形间的边界。

图4是从上方看实际的光波导装置1的模式图，图5是配置了多个图4所示的光波导装置1的示图。实际的光波导装置中，与图2不同，如图4所示，由于需要设置形成受光元件安装台8a、发光元件安装台8b的空间和形成光纤导向槽9的空间，所以光波导基板2偏离支持基板3的中心而接合，但由于光波导装置1的大小既然是单位长方形7的整数倍，即使矩阵状配置多个光波导装置1，滤光片插入槽5也在各光波导装置1的相同地方形成，所以可以大量生产光波导装置1。因此，在形成各光波导装置1的滤光片插入槽5时，不会切断目的以外的波导芯4。

另外，如图6所示，在安装2片滤光片时，可以将光波导装置1的大小设计为单位长方形7的4倍。

图7是只用没有支持基板的光波导基板2形成的光波导(光多路复用分路器)2b的模式图。在确定该光多路复用分路器2b的大小时，也可以适用单位长方形的方法。不同的是，由于在光多路复用分路器2b中没有支持基板，所以不用考虑元件安装台和光纤导向槽等的形成空间，而在所有单位长方形7的滤光片插入槽5内都插入滤光片6，所以z和x为同值。只要使光多路复用分路器2b的大小也为单位长方形7的整数倍，就可以大量生产相同形状的光多路复用分路器2b，在各光多路复用分路器2b上形成的滤光片安装槽5不会切断目的以外的波导芯4。另外，由于在所有单位长方形7上形成同一形状的波导芯4和滤光片插入槽5，所以通过根据多路复用分路的光的个数(＝滤光片个数)分别改变分离的地方，就能够得到最小需要限度的大小的光多路复用分路器。

图8、图9是本发明的一实施例的光波导装置(光变换器)1的示意斜视图和示意分解斜视图。本实施例的光波导装置1构成为在支持基板3上接合了光波导基板2的状态。光波导基板2包括盖玻璃10、由高折射率的光学材料构成的下包覆层11、由折射率比下包覆层11高的光学材料构成而可使光在内部透过并传输的波导芯4a、4b、4c、由与下包覆层11相同的光学材料构成的上包覆层12以及滤光片6。光波导基板2的外形比支持基板3的外形小。滤光片6是具有只通过特定波长的光而反射特定波长以外的光的特性的光学元件，插入到滤光片插入槽5内。埋入下包覆层11内的波导芯4a和波导芯4b排列成一直线状，滤光片6被插入波导芯4a、4b之间，将两者隔开，并且对其纵向呈45度倾斜，波导芯4c在滤光片6的侧面，对两波导芯4a、4b的纵向呈90度的角度。

支持基板3的长边和短边的长度比为3∶1，在其表面形成有用于层积上述光波导基板2的波导固定区域13，在其周围设置有V形槽状的光纤导向槽9、凹状的光学元件设置部14a、14b。另外，支持基板3的上面除了波导固定区域13之外的整个面都由与上包覆层的树脂密合性差的氧化膜所覆盖。在各光学元件设置部14a、14b内形成有用于安装发光元件或受光元件的元件安装台(电极垫片)8a、8b。

如图8所示组装的光波导装置1中，以上下翻转的状态设置上述光波导基板2，光纤导向槽9和元件安装台8a、8b从光波导基板2上露出来。

图10是在上述光波导装置1上安装发光元件16和受光元件17，连接上光纤18的状态的平面图。在光学元件设置部14a、14b内的元件安装台8a、8b以小片结合下面电极，分别安装受光元件17和发光元件16，受光元件17与波导芯4c的端面对置，发光元件16与芯4b的端面对置。另外，发光元件16和受光元件17的上面电极用焊接线与电路基板等连接。光纤18容纳在光纤导向槽9内并定位的状态下用粘接剂固定，由此，波导芯4a的光轴和光纤18的光轴就自动对正。

该光波导装置1中，滤光片6采用透过从发光元件16发射的波长的光，反射从光纤18出射的波长的光的特性的滤光片。从而，从发光元件16向波导芯4b照射光(发送信号)时，光在波导芯4b的内部传输，透过滤光片6后，在波导芯4a的内部传输，再入射到光纤18并在光纤18内发送。另外，光纤18中传输来的光(接收信号)入射到波导芯4a，被滤光片6反射，在波导芯4c中传输并由受光元件17接收。这样，光波导装置1就可以与用光纤连接的外部的其他装置收发信号。

如上所述，该光波导装置1可以用作收发信号的光变换器，例如用于如连接到互联网的个人计算机这样的装置的内部，从外部接收信号，向外部发送信号。

以下，用图11～图17说明该光波导装置1的制造方法。首先，蚀刻作为支持基板3的母基板的硅基板3a的表面，如图11所示，将光波导固定区域13、光学元件设置部14a、14b、光纤导向槽9作为一组，将其形成纵横都等间隔的多组。图11的硅基板3a的大小为24mm×8mm，用它可以一次制造4个光波导装置1。因此，光波导装置1的每一个大小为12mm×4mm。若采用比它面积大的硅基板3a，则可以同时生产更大量的光波导装置1。

接着，如图12所示，在硅基板3a的表面上，在光波导固定区域13以外的区域形成与包覆层树脂密合性差的氧化膜15。另外，在光学元件设置部14a、14b中，在氧化膜15上由电极材料分别形成元件安装台8a、8b。以下，将形成了氧化膜15的硅基板3a称为底基板19a。

另一方面，采用与上述硅基板3a相同面积以上的玻璃基板10a，用复制法(压模法)形成图13所示的由下包覆层11、波导芯4c、4d构成的光波导母基板2a。玻璃基板(晶片)10a是光波导装置1的盖玻璃10的母基板。

在此，用图14简单说明采用紫外线硬化树脂的复制法(压模法)。图14(a)(b)(c)(d)表示相当于图13的A-A′线截面的面。首先，如图14(a)所示，在玻璃基板10a上滴落未硬化的紫外线硬化树脂(下包覆层树脂)11a，对表面用具有与波导芯4a、4d相同形状的图形的压模(型)20a押压形成波导芯槽21之后，照射紫外线使树脂11a硬化，如图14(b)所示，成形具有波导芯槽21的下包覆层11。

接着，在下包覆层11上把折射率比下包覆层11大的未硬化的紫外线硬化树脂(波导芯树脂)4e注入成形的波导芯槽21的内部，抹平表面。另外，为了减薄由从波导芯槽21溢出的树脂4c形成在下包覆层11表面上溢料的厚度，用压模20b押压，照射紫外线使树脂4e硬化，从而在芯槽21内形成图14(d)所示的波导芯4c、4d。

接着，如图15所示，往光波导母基板2a表面滴落未硬化的树脂12a，用树脂12a把光波导母基板2a和底基板19a粘接起来。另外，由于树脂12a一硬化就成为上包覆层12，所以最好是与下包覆层11相同的紫外线硬化树脂，或具有与下包覆层11相同程度的折射率的树脂，至少折射率不能小于波导芯4c、4d。

在粘接底基板19a和光波导母基板2a时，需要将光纤导向槽9或光学元件设置部14a、14b与波导芯4c、4d精密定位。因此，可以用在光波导母基板2a和底基板19a上设置的定位标记进行高精度定位，把光波导母基板2a和底基板19a粘接起来。若用大面积的底基板19a和大面积的光波导母基板2a进行定位，则由于没有各部件之间的定位的麻烦，可以有效地高精度一次使多个波导芯和光纤导向槽等定位。

接着，如图16所示，使底基板19a在下，光波导母基板2a在上，通过波导固定区域13的边缘，用切割刀片在光波导母基板2a上切入切口而形成分离槽22a、22b、22c。该分离槽22a、22b、22c的切入工序同时形成波导芯4c、4d的端面。由分离槽22a、22b、22c分割的光波导母基板2a中，在底基板19a的表面上形成氧化膜15的区域(波导固定区域13的外侧区域)，由于氧化膜15和上包覆层12的界面的粘接力低，所以若对分割的光波导母基板2a上的不需要部分(对应波导固定区域外的区域)施力，则可以从底基板19a简单剥离该不需要部分。从而，只剩下图16所示的加斜线示出的、在内部形成有波导芯4c、4d的区域(该区域是光波导基板2)，露出底基板19a的光纤导向槽9和光学元件设置部14a、14b内的元件安装台8a、8b。在底基板19a残留的光波导基板2的外周面露出波导芯4c、4d的各端面。

接着，在盖玻璃10和下包覆层11上用切割刀片以相对波导芯4d的纵向呈45度倾斜地切成切口，形成滤光片插入槽5。此时，由于每一个光波导装置1的大小为12mm×4mm，所以从(1)、(2)式逆运算，使切割间隔为约2.8mm，不会切断其它光波导装置1的波导芯4d的目的外的地方。该滤光片插入槽5的形成，就把波导芯4d切断而形成波导芯4a、4b。此后，沿图16的B-B′线、C-C′线切断底基板19a，分割成图17所示的芯片。最后，若在成为滤光片插入槽5的波导芯4a和波导芯4b之间的部分嵌入采用了多层反射膜的滤光片6，就作成了图8所示的光波导装置。另外，滤光片6也可以从盖玻璃10的上面鼓出来。

在该光波导装置1中，用包覆层12把大面积的光波导母基板2a与大面积的底基板19a粘接起来，形成滤光片插入槽5，用最终工序分割为光波导装置1的各芯片，所以能够比粘贴各个光波导基板2、各个支持基板3更有效地制造光波导装置1，适于大量生产。从光波导装置1的外形适当确定波导芯4d的长度和切割间隔，可以在切成各光波导装置1的前工序集中形成滤光片插入槽5，所以可提高生产效率。另外，由于用大面积的底基板19a和大面积的光波导母基板2a进行定位，所以可以进行比用较小的部件之间定位精度更高的定位。

该光波导装置1中，最终需要露出光纤导向槽9和光学元件设置部14a、14b，但光波导母基板2a的不需要部分的区域中，由于在底基板19a上预先形成氧化膜15，降低粘接树脂12a(上包覆层12)的黏合力，所以即使粘接光波导母基板2a和底基板19a的整个面，也可以简单去除光波导基板2a的不需要部分，可以进一步简化制造工序。

以下，说明采用该光波导装置1的光通信装置。光网络系统中，需要用访问网络(用户光纤)把各家庭内等的用户网络和中继系统网络连接起来，但在访问网络和用户网络之间需要用于进行光/电变换的线路终端装置(0pticalNetwork Unit)。另外，访问网络和中继系统网络之间的交换局(电话局的设备中心)中，需要用于进行光/电变换的线路终端站装置(Optical LineTerminal)。

图18是上述线路终端装置的结构的框图。31是构成访问网络的光纤，传送波长1550nm波带的光信号和波长1310nm波带的光信号。在与光纤31的端面对置的位置设置有WDM 32，WDM32从输出部输出从光纤31传送来的波长1550nm波带的光信号，将从输入部输入的波长1310nm波带的光信号耦合到光纤31。

从WDM32的输出部输出的波长1550nm波带的光信号输入到光/电变换模块(PIN-AMP模块)33。光/电变换模块33由受光元件(发光二极管)34和前置放大器35构成，受光元件34接收输入的光信号而变换成电信号，由前置放大器35放大之后，输入到数据处理电路36。接着，数据处理电路36处理的电信号被发送到与线路终端装置连接的电话或家用设备的控制器等。

另一方面，与WDM32的输入部连接的电/光变换模块37由发光元件(LD)38和监视用受光元件39构成，发光元件38射出波长1310nm波带的光，由发光元件驱动电路40驱动。另外，监视用受光元件39接收从发光元件38射出的光信号，控制输出，使从发光元件38射出的光信号的功率恒定。于是，从电话或家用设备送出的电信号发送到发光元件驱动电路40，用输入到发光元件驱动电路40的电信号驱动发光元件38，将电信号变换为光信号，通过WDM32后，发送给光纤31。

这样的线路终端装置中，采用光波导装置可以使线路终端装置小型化。例如，可以将图8之后所述的光波导装置(光变换器)1的滤光片6、波导芯4a、4b、4c用作上述WDM32，将安装在光波导装置1的受光元件17用作上述光/电变换模块33的受光元件34，将安装在光波导装置1的发光元件16用作上述电/光变换模块37的发光元件38。另外，在光波导装置1的支持基板3上安装上述前置放大器35、数据处理电路36、监视用受光元件39、发光元件驱动电路40等，就可以使线路终端装置单片化。

另外，在此说明了线路终端装置(ONU)的情况，但对于线路终端站装置(OLT)也可以同样采用光波导装置1。

根据本发明的光波导装置即使把多个光波导装置配置成矩阵状的状态下形成滤光片槽，也可以将各光波导装置形成为同一形状，另外，在各光波导装置上形成的滤光片安装槽不会切断其它光波导装置的波导芯的目的外的地方。因此，可以简化制造工序，适于大量生产，可以抑制制造成本。

Claims (5)

1.一种光波导装置的制造方法，在第一基板上形成多个以纵横规定间隔配置成矩阵状的能让光透过并传输的由至少具有1处以上分岔点的波导芯和围绕波导芯的包覆层构成的光波导在第二基板上形成多个以与上述光波导相同的纵横间隔配置成矩阵状的功能部位；使各上述光波导和上述功能部位相对地把上述第一基板和上述第二基板粘接为一体；将可插入根据上述波导芯中透过并传输的光的波长而使光透过或反射的滤光片的槽至少形成在由插入到上述槽的上述滤光片在上述分岔点反射的上述光从上述分岔点传输到向另一方向延伸的波导芯的地方；之后，在一体化的状态下分别切断而制成光波导装置；其特征在于，上述各光波导装置的上述矩阵状的配置间隔中，设纵向间隔为x、横向间隔为y、在与上述纵向平行的方向上形成的上述波导芯的长度为z、上述波导芯的分岔点个数为n、上述滤光片插入槽的形成间隔为p、上述滤光片相对上述纵向的倾斜角为θ、并且0°＜θ＜90°时，上述配置间隔、上述波导芯的长度以及上述滤光片插入槽的形成间隔满足如下关系：

          x＝m·p/sinθ

          y＝p/cosθ

          z≤(n+1)·p/sinθ

其中，m为大于n的自然数。

2.一种光波导的制造方法，在第一基板上形成多个以纵横规定间隔配置成矩阵状的能让光透过并传输的由至少具有1处以上分岔点的波导芯和围绕波导芯的包覆层构成的光波导；将可插入根据上述波导芯中透过并传输的光的波长而使光透过或反射的滤光片的槽至少形成在由插入到上述槽的上述滤光片在上述分岔点反射的上述光从上述分岔点传输到向另一方向延伸的波导芯的地方；之后分别切断而制成上述光波导；其特征在于，上述各光波导的上述矩阵状的配置间隔中，设纵向间隔为x、横向间隔为y、上述波导芯的分岔点个数为n、上述滤光片插入槽的形成间隔为p、上述滤光片对上述纵向的倾斜角为θ、并且0°＜θ＜90°时，上述配置间隔和上述滤光片插入槽的形成间隔满足如下关系：

            x＝n·p/sinθ

            y＝p/cosθ。

3.一种按照权利要求1所述的光波导装置的制造方法制造的光波导装置

4.一种按照权利要求2所述的光波导的制造方法制造的光波导。

5.一种具有权利要求3所述的光波导装置、驱动安装在上述光波导装置中的发光元件的发光元件驱动电路以及处理从安装在上述光波导装置中的受光元件输出的电信号的数据处理电路的光通信装置。

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