CN118348751B - 一种光刻环形光瞳照明系统装调方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种光刻环形光瞳照明系统装调方法，优化了全息版图中的主全息相位分布。本发明光刻环形光瞳照明系统装调方法，能够实现纳米级位移、秒级角度的圆锥透镜的光轴定心装调。圆锥透镜的光轴定心误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。本发明的精度误差来源更少，误差更小。
Description
技术领域
本发明属于光刻机曝光技术领域，具体涉及一种光刻环形光瞳照明系统装调方法。
背景技术
光刻曝光是光刻机中的核心分系统，高数值孔径（NA）的曝光系统能够显著提升光刻机的曝光分辨率，提升半导体工艺的制程。当今光刻曝光大多采用高NA物镜，其光瞳函数包括：环形光瞳、环形双极光瞳、环形四极光瞳等。这就要求光刻机的激光照明能量分布与高NA物镜的光瞳函数匹配，才能实现高分辨、高能量利用率的光刻曝光。
在光刻机中，激光器直接输出的光束为实心光束，例如高斯光束。如果直接采用中心遮挡的方式，会造成能量利用率大幅下降。因此，设计与实现高效、与环形光瞳匹配的激光照明系统，是光刻曝光系统的核心部件与技术之一。
为了解决这个难题，公开号为CN101487987A的发明申请公开了基于衍射片、变焦透镜组、一对凹凸互补的旋转三棱镜产生环形光瞳，宣称该方法可以不损失光能。在物理原理上，该专利申请中公开的方法，实际上是采用旋转三棱镜的方法，模拟贝塞尔无衍射光束，形成环形光瞳。但是，该方法机动旋转的部件过多，系统稳定性差、精度低，且不适用于高速曝光的光刻系统。在该申请中，也没有给出对该环形光瞳照明光学系统的精密装调方法。
现有技术中，也有采用圆锥透镜作为环形光瞳照明的设计（R.W. McCleary, P.J.Tompkins, M.D. Dunn. Performance of a KrF excimer laser stepper[J]．SPIE,1988, 922: 396-399.），但是均没有提出有效的超高精度（纳米级，甚至皮米级）圆锥透镜装调方案。
发明内容
本发明针对现有技术中存在的上述不足，提供了一种光刻环形光瞳照明系统的装调方法。
在光刻照明系统设计方案上，配对圆锥透镜组，能够静态地实现常规实心激光平行光束向空心贝塞尔平行光束的高效转换。高效、高稳定性、且适用于各类曝光速度的光刻机。配对圆锥透镜组，既可以使用“类开普勒”结构，也可以使用“类伽利略”结构。结构取决于光刻机设备对照明系统的光学长度需求。
一种光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，用于对光刻环形光瞳照明系统进行装调，光刻环形光瞳照明系统具有用于将实心光束转换为环形光的环形光瞳转换模块，所述环形光瞳转换模块包括两个圆锥透镜，装调时还使用干涉仪和标准反射镜，所述计算全息图包括基板，所述基板上具有全息版图，所述全息版图包括对准全息、辅助全息和主全息，
对准全息用于实现调整与确定所述计算全息图与干涉仪的相对姿态与位置；
辅助全息用于实现调整与确定所述计算全息图与标准反射镜的相对姿态与位置；
主全息用于实现调整与确定所述计算全息图与待装调的圆锥透镜的相对姿态与位置；
全息版图中的主全息相位分布为径向从中心向外辐射分布，相位分布满足公式：
，
公式中，d是径向相位分布变化2π时的周期间隔；θ1是干涉仪激光照射在所述计算全息图表面的入射角；θ2是干涉仪激光透射出所述计算全息图表面后的衍射角；M是衍射级次；λ是干涉仪波长；n1和n2分别是径向相位前后表面的折射率。
优选的，径向相位分布面根据下列等式允许d随表面而变化：
，
其中，R是待装调圆锥透镜的口径的半径；r是所述计算全息图表面的径向坐标；A0、A1为径向相位表达式的“无量纲”系数。
更优选的，A0、A1计算方式如下：
，
取任意两个位置，r值分别为r1、r2，代入以上公式，联立二元一次方程组，解算得到A0和A1。也就是说，通过取两个位置的r值后，计算得出A0和A1这两个系数的值，然后再将A0和A1这两个系数的值代入径向相位分布面满足的公式，从而可以计算得出d值。
优选的，所述计算全息图制备时，具体步骤如下：
S1，根据相位分布所满足的公式，在一个相位周期2π范围内，进行N个灰度级的离散化相位数值处理量化处理，其中N=2k，k是正整数；
S2，设计所述计算全息图中的亚波长结构单元的结构参数与离散化相位数值的映射数据表，以此映射数据表作为所述计算全息图结构设计的依据；
S3，基于步骤S2中的映射数据表，对步骤S1中的离散化相位数值进行转换，获得所述计算全息图的亚波长结构单元设计方案，并按照该亚波长结构单元设计方案在所述基板上进行图案加工获得所述计算全息图。
更优选的，亚波长结构单元为圆柱，圆柱的高度H1为：λ/(n2-1)。
圆柱的直径为R1，入射光为平面波，将R1设为可变参数，λ、n2、H1作为恒定变量参数，带入到麦克斯韦方程组中，输出变量为相位，以时域有限差分法为近似数值计算原则，R1以10nm为间隔，从60nm扫描到700nm，记录输出的相位值，得到圆柱半径 R1与离散化相位数据的映射关系。
优选的，在一个相位周期2π范围内，进行N个灰度级的离散化相位数值化处理时，量化后离散相位点为：，量化处理的原则为四舍五入取邻近的离散相位值。
比如，N=8，量化后离散相位点为：，量化处理的原则为四舍五入取邻近的离散相位值，例如，0.35π量化为，0.4π量化为。
优选的， 所述对准全息为位于所述基板中心的一块圆形区域；
所述主全息为与所述对准全息成同心圆设计的圆环，所述对准全息与主全息之间形成通光区域；
所述辅助全息包括环绕所述主全息的外周设置的多个。
对准全息和辅助全息的相位分布可以使用现有技术中常用的方式。
优选的，对准全息的相位分布满足反射式泽尼克相位公式：
，
式中，是相位分布（用于对准全息时对应为对准全息的相位分布），N为级数中泽尼克系数的个数，为第i个泽尼克多项式中的系数，是泽尼克多项式的第i项表达式，r为归一化的径向半径坐标，θ为角度坐标。此处，“泽尼克多项式”定义与光学、数学行业通用公式一致。
辅助全息的相位分布满足透射式泽尼克相位公式：
，
式中，是相位分布（用于辅助全息时对应为辅助全息的相位分布），N为级数中泽尼克系数的个数，为第i个泽尼克多项式中的系数，是泽尼克多项式的第i项表达式，r为归一化的径向半径坐标，θ为角度坐标。反射式为负号，透射式为正号。此处，“泽尼克多项式”定义与光学、数学行业通用公式一致。
本发明又提供了一种光刻环形光瞳照明系统装调方法，使用所述光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，
所述光刻环形光瞳照明系统装调方法包括以下步骤：
（1）根据待装调的光刻环形光瞳照明系统中圆锥透镜及干涉仪的参数设计并制备对应的计算全息图；
（2）基于所述对准全息，调整与确定所述计算全息图与干涉仪的相对姿态与位置；
（3）基于所述辅助全息，调整与确定所述计算全息图与标准反射镜的相对姿态与位置；
（4）基于所述主全息，调整与确定所述计算全息图与第一个待装调的圆锥透镜的相对姿态与位置；
（5）撤出所述计算全息图，调整第二个待装调的圆锥透镜的六维姿态。
优选的，所述环形光瞳转换模块中两个圆锥透镜为两个正圆锥透镜组成“类开普勒”结构，步骤（5）中，在“类开普勒”结构中调整第二个待装调的圆锥透镜的六维姿态；
所述环形光瞳转换模块中两个圆锥透镜为一个正圆锥透镜和一个负圆锥透镜组成“类伽利略”结构，步骤（5）中，在“类伽利略”结构中调整第二个待装调的圆锥透镜的六维姿态。
本发明在配对圆锥透镜组的装调方案上，具有显著优势：
提供了一种光刻环形光瞳照明系统装调方法，能够实现纳米级位移、秒级角度的圆锥透镜的光轴定心装调。圆锥透镜的光轴定心误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。本发明的精度误差来源更少，误差更小。
附图说明
图1为本发明装调方法所针对的光刻环形光瞳照明系统图。
图2为本发明装调方法所针对的圆锥透镜组光路图，包含：“类开普勒”形式和“类伽利略”形式。
图3为本发明装调方法中两种（凹、凸）圆锥透镜对应的CGH相位分布及亚波长圆柱填充原则，其中（a）为凸圆锥透镜，（b）为凹圆锥透镜。
图4为本发明装调方法中CGH版图布局。
图5为本发明装调方法中对准全息表面相位。
图6为本发明装调方法中辅助全息表面相位。
图7为本发明装调方法中主全息表面相位。
图8为本发明装调方法中对准全息光路。
图9为本发明装调方法中辅助全息光路。
图10为本发明装调方法中主全息光路。
图11为本发明装调方法中对准（类开普勒）第二圆锥透镜光路。
图12为本发明装调方法中对准（类伽利略）第二圆锥透镜光路。
具体实施方式
实施例
如图1所示，光刻环形光瞳照明系统由“扩束模块”、“环形光瞳转换模块”和“后续模块”组成。扩束模块，通常为一个负透镜组和一个正透镜组，其功能是将直径较小的激光束扩束成大口径光束。后续模块，通常为一个散射片，其功能是将激光的能量离散化实现均匀照明。其中，“环形光瞳转换模块”由两个圆锥透镜组合而成，如图2所示，该组合可以是两个正圆锥透镜组成“类开普勒”环形光瞳转换模块，也可以是一个正圆锥透镜和一个负圆锥透镜组成“类伽利略”环形光瞳转换模块。成功实现“环形光瞳转换模块”的关键技术在于如何精密装调两个圆锥透镜的姿态，保证两个圆锥透镜光轴重合，才能实现高分辨、高能量利用率的光刻曝光。
本发明采用独特设计的计算全息图（CGH），基于商用波面干涉仪进行“环形光瞳转换模块”精密装调。
首先，此处先对计算全息图（CGH）的特征进行陈述。
计算全息图包括基板，基板上具有全息版图，全息版图包括对准全息、辅助全息和主全息，对准全息用于实现调整与确定所述计算全息图与干涉仪的相对姿态与位置；辅助全息用于实现调整与确定所述计算全息图与标准反射镜的相对姿态与位置；主全息用于实现调整与确定所述计算全息图与待装调的圆锥透镜的相对姿态与位置。
全息版图中的主全息的相位分布，应当与被装调的圆锥透镜互补，构成自准直的平行光入射与出射。因此，本发明的CGH的主全息相位分布为径向相位分布，且该径向相位分布与圆锥透镜的角度相关、匹配，按公式计算。“径向”是指以圆锥透镜的中心点为原点，沿口径的半径方向，向外辐射。本发明的CGH的主全息相位分布如下：
，
公式中，d是径向相位分布变化2π时的周期间隔，通常以微米为单位。θ1是干涉仪激光照射在CGH表面的入射角，θ2是干涉仪激光透射出CGH表面后的衍射角，衍射角θ2为圆锥透镜的顶角角度的一半。M是衍射级次，λ是干涉仪波长（通常以微米为单位，例如商用干涉仪激光普遍为0.633微米），n1和n2分别是径向相位前后表面的折射率。径向相位分布面根据下列等式允许d随表面而变化：
，
其中，表示d随r变化。R是圆锥透镜的口径的半径。r是CGH表面的径向坐标。A0、A1为径向相位表达式的“无量纲”系数。在本实施例中，A0、A1与圆锥透镜的顶角角度相关，计算方式如下：
，
取任意两个位置，r值分别为r1、r2，代入以上公式，可以联立二元一次方程组，解算得到A0和A1。
在一种具体实施方式中，当圆锥透镜的圆锥角（顶角角度）为160度、R=200mm时，计算全息图的工作衍射级次M=1时，上述径向相位分布的A0=7.81 μm，A1=0。由此获得，d(r)=7.81 μm的沿着半径方向周期间隔分布CGH。
对准全息的相位分布满足反射式泽尼克相位公式：
，
式中，是相位分布（用于对准全息时对应为对准全息的相位分布），N为级数中泽尼克系数的个数，为第i个泽尼克多项式中的系数，是泽尼克多项式的第i项表达式，r为归一化的径向半径坐标，θ为角度坐标。此处，“泽尼克多项式”定义与光学、数学行业通用公式一致。在本申请其中一种实施方式中，N=37，B4=-10824，B9=-662.4，B16=146，B25=-25，B36=-26.78，B37=-5.08，其他=0。该相位函数是一个很大的分布。如图4所示，只截取了其中蓝色中心区域，直径为6mm。
辅助全息的相位分布满足透射式泽尼克相位公式：
，
式中，是相位分布（用于辅助全息时对应为辅助全息的相位分布），N为级数中泽尼克系数的个数，为第i个泽尼克多项式中的系数，r为归一化的径向半径坐标，θ为角度坐标。反射式为负号，透射式为正号。此处，“泽尼克多项式”定义与光学、数学行业通用公式一致。在本申请其中一种实施方式中，N=8，C2=7.095，C3=4467.5，C4=-8451.3，C5=-102.86，C6=92.06，C7=8.21，C8=-500.4，C1=0 。该相位函数是一个很大的分布。如图4所示，只截取了其中红色4个区域，直径为6mm。
对于对准全息、辅助全息和主全息，相位分布满足各自的公式。在一个相位周期2π范围内，进行N个灰度级的离散化相位数值化处理。其中N=2k，k是正整数。量化后离散相位点为：。比如，N=8，量化后离散相位点为：，量化处理的原则为四舍五入取邻近的离散相位值。例如，0.35π量化为，0.4π量化为。如图3所示，一个“蓝色三角”代表一个相位周期2π。在这个相位周期中，由8个离散化的相位值排序组成。每一个离散相位值，由亚波长结构单元实现，该亚波长结构为圆柱。圆柱的高度为：λ/(n2-1)，其中，λ为所述标准干涉仪发出检测用的光线的波长，n2为所述亚波长结构计算全息片的折射率。
具体的，亚波长结构计算全息片中的亚波长结构单元的结构参数与离散化相位数据的映射关系为：
当亚波长结构单元为圆柱时，λ表示所述标准干涉仪发出检测用的光线的波长，圆柱的直径为R1，圆柱的折射率为n2，入射光为平面波，圆柱的高度H1为λ/( n2-1)，将R1设为可变参数，λ、n2、H1作为恒定变量参数，带入到麦克斯韦方程组中，输出变量为相位，以时域有限差分法为近似数值计算原则，R1以10nm为间隔，从60nm扫描到700nm，记录输出的相位值，得到圆柱半径 R1与离散化相位数据的映射关系。
以表1的圆锥透镜参数为例，“环形光瞳转换模块”采用两个一样的正圆锥透镜，构成“类开普勒”结构，步骤如下：
步骤1：圆锥透镜参数具体见表1。
表1
基于4英寸基板的CGH进行装调，基板的表面面型起伏的峰谷值（PV值）优于30nm；基板的表面面型起伏的均方根值（RMS值）优于5nm。干涉仪：商用波面干涉仪，例如：ZYGO公司的4英寸口径的干涉仪。
步骤2：设计计算全息图。CGH全息版图由对准全息、辅助全息、主全息三部分组成，具体如图4所示。
对准全息的作用是实现调整与确定CGH全息版图与干涉仪的相对姿态与位置。例如，在本发明中，在“对准全息”的作用下，CGH与干涉仪的相对位置能够实现0.5μm精度的位置定位，1秒精度的角度姿态定位。
辅助全息的作用是实现调整与确定CGH全息版图与标准反射镜的相对姿态与位置。同样的，在本发明中，在“辅助全息”的作用下，CGH与标准反射镜的相对位置能够实现0.5μm精度的位置定位，1秒精度的角度姿态定位。
主全息的作用是实现调整与确定CGH全息版图与圆锥透镜的相对姿态与位置。同样的，在本发明中，在“主全息”的作用下，CGH与圆锥透镜的相对位置能够实现0.5μm精度的位置定位，1秒精度的角度姿态定位。
对准全息、辅助全息、主全息三部分的排布与面积大小，可以根据圆锥透镜参数，以及干涉仪、标准反射镜的位置进行灵活改变。CGH版图布局如图4所示，是按照表1的实施例参数确定。
对准全息设计：干涉仪焦点距离CGH基板前表面100mm对准全息最小线宽5.8μm，表面相位如图5所示。
辅助全息设计：干涉仪参考平面镜距离CGH前表面大于100mm，CGH基板厚度8mm，CGH基板后表面距离标准反射镜300mm，标准反射镜的直径为20mm，红色区域透过光线分别在标准反射镜上、下、左、右边缘处聚焦。辅助全息最小线宽5.1μm，表面相位如图6所示。
主全息设计：圆锥透镜锥点距离CGH前表面10mm，CGH基板厚度8mm，CGH基板后表面距离标准反射镜300mm。主全息最小线宽3.9μm，表面相位如图7所示。
步骤3：如图8所示，基于对准全息光路，调整商用波面干涉仪、CGH的相对位置。
将CGH刻画面背对干涉仪。调整CGH俯仰/倾斜，在干涉仪“对准模式”下，将CGH基板平面反射像调整到干涉仪中心圆圈内。更换干涉仪的标准镜头（F#=15），调整标准镜头俯仰/倾斜，在干涉仪“对准模式”下将标准镜头反射像调整到干涉仪中心圆圈内。将标准镜焦点与CGH前表面距离调整到约100mm，调整过程中CGH角度量尽量不要动，与干涉仪镜头近似同心。调整CGH的x、y、z轴平移量，并将其反射光斑大致调整到干涉仪中心圆圈内。只有CGH在100mm附近，干涉仪在“测量模式”下才会出现较为完好干涉条纹，调整CGH平移量，调整到条纹尽量少（1根条纹到8根条纹较为合适）。
步骤4：如图9所示，基于辅助全息光路，调整商用波面干涉仪、CGH和标准反射镜的相对位置。
将标准反射镜放置在距CGH基板后表面距离约300mm。调整标准反射镜俯仰/倾斜，在“对准模式”模式下将标准反射镜反射像调整到干涉仪中心圆圈内。调整标准反射镜的平移量，使得辅助全息的光线在标准反射镜上下左右处边缘聚焦，且聚焦点尽可能小，在“测量模式”下才会出现较为完好干涉条纹。调整标准反射镜倾斜/俯仰，调整到条纹尽量少（3根左右即可）。
步骤5：如图10所示，基于主全息光路，调整第一个圆锥透镜的姿态。首先，将商用波面干涉仪调整到“对准模式”下，将圆锥透镜置入在干涉仪与CGH之间，进行调整。将圆锥透镜大致调整到与CGH同心平行，CGH前表面与圆锥顶点距离约10mm，调整圆锥透镜的俯仰/倾斜，将反射光调整到干涉仪中心小圆圈内。然后，将商用波面干涉仪调整到“测量模式”下，调整圆锥透镜的俯仰/倾斜，调整到条纹尽量少（1根条纹到8根条纹较为合适）。
步骤6：如图11所示，撤出CGH，在类开普勒结构中，调整第二个圆锥透镜的六维姿态。
表2
在本实施例的方法，只需一轮装调后的波像差，达到光学设计收敛值，在实验中获得如表2所示装调效果数据，装调精度达到0.44μm和0.032秒。
在类伽利略结构圆锥透镜组装调中，步骤1至步骤5与实施例1中一致。
步骤6：如图12所示，撤出CGH，在类伽利略结构中，调整第二个圆锥透镜的六维姿态。
表3
在本实施例的方法，只需一轮装调后的波像差，达到光学设计收敛值，在实验中获得如表3所示装调效果数据，装调精度达到0.032μm和0.049秒。
Claims (10)
1.一种光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，用于对光刻环形光瞳照明系统进行装调，光刻环形光瞳照明系统具有用于将实心光束转换为环形光的环形光瞳转换模块，所述环形光瞳转换模块包括两个圆锥透镜，装调时还使用干涉仪和标准反射镜，所述计算全息图包括基板，所述基板上具有全息版图，所述全息版图包括对准全息、辅助全息和主全息，
对准全息用于实现调整与确定所述计算全息图与干涉仪的相对姿态与位置；
辅助全息用于实现调整与确定所述计算全息图与标准反射镜的相对姿态与位置；
其特征在于，主全息用于实现调整与确定所述计算全息图与待装调的圆锥透镜的相对姿态与位置；
全息版图中的主全息相位分布为径向从中心向外辐射分布，相位分布满足公式：
，
公式中，d是径向相位分布变化2π时的周期间隔；θ1是干涉仪激光照射在所述计算全息图表面的入射角；θ2是干涉仪激光透射出所述计算全息图表面后的衍射角；M是衍射级次；λ是干涉仪波长；n1和n2分别是径向相位前后表面的折射率。
2.根据权利要求1所述光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，其特征在于，径向相位分布面根据下列等式允许d随表面而变化：
，
其中，R是待装调圆锥透镜的口径的半径；r是所述计算全息图表面的径向坐标；A0、A1为径向相位表达式的“无量纲”系数。
3.根据权利要求2所述光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，其特征在于，A0、A1计算方式如下：
，
取任意两个位置，r值分别为r1、r2，代入以上公式，联立二元一次方程组，解算得到A0和A1。
4.根据权利要求1所述光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，其特征在于，所述计算全息图制备时，具体步骤如下：
S1，根据相位分布所满足的公式，在一个相位周期2π范围内，进行N个灰度级的离散化相位数值化处理，其中N=2k，k是正整数；
S2，设计所述计算全息图中的亚波长结构单元的结构参数与离散化相位数值的映射数据表，以此映射数据表作为所述计算全息图结构设计的依据；
S3，基于步骤S2中的映射数据表，对步骤S1中的离散化相位数值进行转换，获得所述计算全息图的亚波长结构单元设计方案，并按照该亚波长结构单元设计方案在所述基板上进行图案加工获得所述计算全息图。
5.根据权利要求4所述光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，其特征在于，亚波长结构单元为圆柱，圆柱的高度H1为：λ/(n2-1)。
6.根据权利要求5所述光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，其特征在于，圆柱的直径为R1，入射光为平面波，将R1设为可变参数，λ、n2、H1作为恒定变量参数，带入到麦克斯韦方程组中，输出变量为相位，以时域有限差分法为近似数值计算原则，R1以10nm为间隔，从60nm扫描到700nm，记录输出的相位值，得到圆柱半径 R1与离散化相位数据的映射关系。
7.根据权利要求4所述光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，其特征在于，在一个相位周期2π范围内，进行N个灰度级的离散化相位数值化处理时，量化后离散相位点为：，量化处理的原则为四舍五入取邻近的离散相位值。
8.根据权利要求1所述光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，其特征在于， 所述对准全息为位于所述基板中心的一块圆形区域；
所述主全息为与所述对准全息成同心圆设计的圆环，所述对准全息与主全息之间形成通光区域；
所述辅助全息包括环绕所述主全息的外周设置的多个。
9.一种光刻环形光瞳照明系统装调方法，其特征在于，使用权利要求1~8任一所述光刻环形光瞳照明系统装调用的计算全息图，
所述光刻环形光瞳照明系统装调方法包括以下步骤：
（1）根据待装调的光刻环形光瞳照明系统中圆锥透镜及干涉仪的参数设计并制备对应的计算全息图；
（2）基于所述对准全息，调整与确定所述计算全息图与干涉仪的相对姿态与位置；
（3）基于所述辅助全息，调整与确定所述计算全息图与标准反射镜的相对姿态与位置；
（4）基于所述主全息，调整与确定所述计算全息图与第一个待装调的圆锥透镜的相对姿态与位置；
（5）撤出所述计算全息图，调整第二个待装调的圆锥透镜的六维姿态。
10.根据权利要求9所述光刻环形光瞳照明系统装调方法，其特征在于，所述环形光瞳转换模块中两个圆锥透镜为两个正圆锥透镜组成“类开普勒”结构，步骤（5）中，在“类开普勒”结构中调整第二个待装调的圆锥透镜的六维姿态；
所述环形光瞳转换模块中两个圆锥透镜为一个正圆锥透镜和一个负圆锥透镜组成“类伽利略”结构，步骤（5）中，在“类伽利略”结构中调整第二个待装调的圆锥透镜的六维姿态。
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