CN118242973A - 检测方法及检测系统、设备和存储介质 - Google Patents

Abstract

一种检测方法及检测系统、设备和存储介质，检测方法包括：获取待处理图，待处理图具有待测直线，待测直线包括多个目标点；获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，预设方向垂直于预设基准方向；获取各旋转角度下预设基准方向的各个预设位置的目标点个数中的最大值，作为目标点最值；根据目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息。通过统计的方式，在不同旋转角度下各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，并从中筛选出目标点最值，有利于更精确地获取偏离信息，从而提高对待测直线的偏离信息的检测精度，相应有利于提高产品对位的精度。

Description

检测方法及检测系统、设备和存储介质

技术领域

本发明实施例涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种检测方法及检测系统、设备和存储介质。

背景技术

在半导体及工业产品的生产过程中，需要对产品进行检测(例如，尺寸检测、缺陷检测等)，从而保证产品质量。目前产品检测的设备主要包括非接触式设备和接触式检测设备，而光学设备是基于光学原理来对待测物进行检测的非接触式设备，其由于具有速度快、无污染、损伤小等优点，在半导体和工业产品检测中具有重要应用。

在光学检测中，首要的一步是对待测物进行圆心对准并旋正目标位置，以实现产品精确定位。目前产品精确定位主要以来于硬件对位(aligner)系统，但仍会存在没有完全旋正的情况，导致对准精度达不到要求，或者，在进行初步旋正后，通过机械手臂传送产品时容易产生移动而引起一定的偏差，从而导致在后续制程中导致无法配准的情况。

因此，目前产品对位的精度仍有待提高。

发明内容

本发明实施例解决的问题是提供一种检测方法及检测系统、设备和存储介质，有利于提高对待测直线的偏离信息的检测精度。

为解决上述问题，本发明实施例提供一种检测方法，包括：获取待处理图，所述待处理图具有待测直线，所述待测直线包括多个目标点；获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，所述预设方向垂直于所述预设基准方向；获取各旋转角度下所述预设基准方向的各个预设位置的所述目标点个数中的最大值，作为目标点最值；根据所述目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息。

相应的，本发明实施例还提供一种检测系统，包括：待处理图获取模块，用于获取待处理图，所述待处理图具有待测直线，所述待测直线包括多个目标点；统计模块，用于获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，所述预设方向垂直于所述预设基准方向；目标点最值获取模块，用于获取各旋转角度下所述预设基准方向的各个预设位置的所述目标点个数中的最大值，作为目标点最值；偏离信息获取模块，用于根据所述目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息。

相应地，本发明实施例还提供一种设备，包括至少一个存储器和至少一个处理器，所述存储器存储有一条或多条计算机指令，其中，所述一条或多条计算机指令被所述处理器执行以实现本发明实施例所述的检测方法。

相应地，本发明实施例还提供一种存储介质，所述存储介质存储有一条或多条计算机指令，所述一条或多条计算机指令用于实现本发明实施例所述的检测方法。

与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：

本发明实施例提供的检测方法中，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，获取各旋转角度下所述预设基准方向的各个预设位置的所述目标点个数中的最大值，作为目标点最值，并根据目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息；其中，对于待测直线而言，当其相对于预设基准方向处于被旋正的状态时，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数应当为最多，因此，通过统计在不同旋转角度下各个预设位置的目标点个数，并从中筛选出个数的最大值，从而能够根据目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息；因此相比于通过硬件对位系统进行，通过统计的方式，有利于更精确地获取偏离信息，从而提高对待测直线的偏离信息的检测精度，相应有利于提高产品对位的精度。

附图说明

图1是本发明检测方法一实施例的流程图；

图2是本发明检测方法中一实施例的待测物的示意图；

图3是本发明检测方法中一实施例的待处理图的示意图；

图4是本发明检测方法中一实施例的目标点表征图的示意图；

图5是本发明检测方法中，检测得分与旋转次数序号一实施例的关系示意图；

图6是本发明检测方法中，将目标点表征图旋正后一实施例的示意图；

图7是本发明检测系统一实施例的功能框图；

图8为本发明一实施例所提供的设备的硬件结构图。

具体实施方式

由背景技术可知，目前产品定位的精度仍有待提高。

为了解决所述技术问题，本发明实施例提供一种检测方法。参考图1，示出了本发明检测方法一实施例的流程图。本实施例检测方法包括以下基本步骤：

步骤S1：获取待处理图，所述待处理图具有待测直线，所述待测直线包括多个目标点；

步骤S2：获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，所述预设方向垂直于所述预设基准方向；

步骤S3：获取各旋转角度下所述预设基准方向的各个预设位置的所述目标点个数中的最大值，作为目标点最值；

步骤S4：根据所述目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息。

对于待测直线而言，当其相对于预设基准方向处于被旋正的状态时，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数应当为最多，因此，通过统计在不同旋转角度下各个预设位置的目标点个数，并从中筛选出个数的最大值，从而能够根据目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息；因此，相比于通过硬件对位系统进行，通过统计的方式，有利于更精确地获取偏离信息，从而提高对待测直线的偏离信息的检测精度，相应有利于提高产品对位的精度。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

继续参考图1，并结合参考图2至图4，图2是本发明检测方法中一实施例的待测物200的示意图，图3是本发明检测方法中一实施例的待处理图210的示意图，执行步骤S1，获取待处理图210，待处理图210具有待测直线220(如图3中黑色线条所示)，待测直线220包括多个目标点。

通过获取待处理图210，以便通过旋转的方式，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数。

本实施例中，检测方法用于实现待测物200(如图2所示)的对位，通过确定待测直线220相对于目标位置的偏离信息，以获得待测物200上的边缘线205(如图2所示)与预设位置的偏离信息(例如，偏角或偏离方向)，从而基于该偏离信息将待测物200旋正，进而实现待测物200的对位。

本实施例中，待处理图210包括至少两条待测直线220。在一个实施例中，待处理图210包括至少两条相互垂直的待测直线220。作为一种示例，待测物200为晶圆，待测物200上的边缘线205为晶圆的切割道，晶圆的切割道纵横交错。具体地，待处理图210中的待测直线220与晶圆的切割道相对应，相应的，在对晶圆进行光学检测过程中，通过本实施例提供的检测方法，有利于精准地将晶圆进行旋正，从而提高晶圆对位的精度。在其他实施例中，待测物也可以为其他具有边缘线的产品，以便基于后续得到的偏离信息将待测物旋正，例如，待测物还可以为线路板，相应的，线路板中的线路为边缘线。

本实施例中，待处理图210包含目标边缘，待测直线220即为目标边缘；其中，待测物200上的边缘线205在待处理图210中对应的边缘线即为目标边缘。在另一些实施例中，待测直线也可以为待拟合直线，也就是说，待测直线为由多个点拟合而成的直线。

本实施例中，待处理图210为灰度图。具体地，待处理图210包括：对待测物200进行拍摄，得到原始图像；对原始图像进行灰度处理，得到对应的待处理图210。相应的，待处理图210中各个点的位置与原始图像中各个点的位置一一对应。

继续参考图1和图3，并结合参考图4，图4是本发明检测方法中一实施例的目标点表征图130的示意图，执行步骤S2，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数，预设方向垂直于预设基准方向。

每一个旋转角度下均具有与预设位置相对应的目标点个数，因此，通过获取不同旋转角度下，各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数，从而为后续根据目标点个数为最大值的位置确定待测直线220相对于目标位置的偏离信息为准备。需要说明的是，在任一个旋转角度下，目标点个数与预设基准方向的预设位置具有对应关系，也就是说，目标点个数为通过将目标点沿预设方向投影到预设基准方向上同一个预设位置的累加点数获得的。

本实施例中，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数，预设方向垂直于预设基准方向，包括：对所述待处理图210进行目标点提取处理，获取目标点；在所述目标点提取处理后，分别统计不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数。通过先提取出目标点，从而为后续统计各个预设位置处的目标点个数做准备。

在一个实施例中，对所述待处理图210进行目标点提取处理，获取目标点，包括：根据待处理图210获取目标特征图(图未示)，目标特征图包括各个点的位置与第一检测参数的对应关系，目标特征图的目标点的第一检测参数大于非目标点；选取第一检测参数大于预设阈值的点作为目标点。相应的，目标特征图中各个点的位置与待处理图210中各个点的位置一一对应。在一个实施例中，选取第一检测参数大于预设阈值的点作为目标点后，得到的图为目标点表征图130。

需要说明的是，目标特征图可以是对待处理图210进行处理后得到的图，也可以是待处理图210自身。也就是说，对所述待处理图210进行目标点提取处理的步骤中，可以是通过对待处理图210进行图像处理的方式，得到能够提取出目标点的其他类型的目标特征图，也可以是直接从待处理图210中提取出目标点，也即直接将所述待处理图210作为所述目标特征图。

此外，根据原始图像的实际特点(例如图案分布或颜色等)，选取合适的目标特征图，只要能够使目标点在该目标特征图中更为突出即可。

在一个实施例中，根据所述待处理图210获取目标特征图，包括：获取所述待处理图210中各点的梯度；根据待处理图210中各点的梯度获取所述目标特征图。在另一个实施例中，根据所述待处理图210获取目标特征图，包括：将所述待处理图210作为所述目标特征图。

因此，目标特征图包括梯度幅值图、梯度角度图、梯度差值图、灰度图、二值图或彩色图；其中，梯度差值图的第一检测参数为第一梯度方向的灰度梯度值与第二梯度方向的灰度梯度值的差值的绝对值，第一梯度方向和第二梯度方向不同。本实施例中，第一检测参数与灰度正相关，第一检测参数为灰度梯度幅值，因此，目标特征图为梯度幅值图，梯度幅值图包括各个点的位置与灰度梯度幅值的对应关系；第一检测参数相应为灰度梯度幅值。

本实施例中，待处理图210为灰度图，相应的，选取第一检测参数大于预设阈值的点作为目标点，包括：利用预设阈值对目标特征图进行二值化处理，以将第一检测参数中大于或等于预设阈值的点赋予第一值，小于预设阈值的点赋于第二值，第二值与第一值不相等；选取被赋于第一值的点作为目标点。相应的，目标点表征图130为二值图。在目标特征图中，目标点的第一检测参数值通常与其他点的第一检测参数值不同，例如，相比于目标点周围的其它非目标点，目标点的第一检测参数值通常会发生突变，具体地，目标特征图的目标点的第一检测参数大于非目标点，因此，通过二值化处理，易于将目标点与目标特征图中的其它非目标点进行区分；而且，采用二值化处理，降低了提取目标点的难度。

具体地，选取第一检测参数大于预设阈值的点作为目标点，包括：根据目标特征图的第一检测参数设置对应的预设阈值条件，预设阈值条件为大于或等于预设阈值；利用预设阈值条件进行二值化处理，以将目标特征图中满足预设阈值条件的点赋予第一值，不满足预设阈值条件的点赋于第二值。

不同目标特征图的第一检测参数值或者第一检测参数值的分布通常存在差异，与采用固定的预设阈值条件进行二值化处理的方案相比，本实施例基于该目标特征图设定与其相匹配的预设阈值条件，从而实现预设阈值条件的自适应调整，进而提高二值化处理的准确性，相应提高了提取目标点的准确性。

相应的，选取第一检测参数大于预设阈值的点作为目标点，还包括：获取预设阈值；其中，获取预设阈值包括：获取目标特征图的所有点的第一检测参数的平均值，得到检测参数均值；根据检测参数均值得到预设阈值，预设阈值为检测参数均值与预设倍数之积，预设倍数大于1。

其中，获取检测参数均值，有利于将目标特征图的各个点的第一检测参数均考虑在内，从而获得目标特征图的第一检测参数的整体情况，进而获得与目标特征图实际情况相匹配的预设阈值条件，提高了预设阈值的准确性。此外，相比于目标点周围的其它非目标点，目标点的第一检测参数通常会发生突变，也即目标点的第一检测参数的值往往大于其周围的其它非目标点，因此，将预设阈值设定为检测参数均值与预设倍数之积，且预设倍数大于1，从而得到更大的预设阈值，与目标点的第一检测参数的值更大的情况相匹配，进而能够将目标点与目标特征图中的其它非目标点进行区分。

需要说明的是，如果预设倍数过小，则导致该预设阈值过小，从而容易导致在二值化处理时误将非目标点作为目标点；如果预设倍数过大，则导致该预设阈值过大，也即导致二值化处理的条件过于严苛，进而容易导致真实目标点的漏检。为此，本实施例中，预设倍数为3倍至5倍。作为一种示例，预设倍数为4倍。

具体到本实施例中，第一检测参数为灰度梯度幅值，则得到的检测参数均值即为目标特征图中所有点的灰度梯度幅值的平均值(也即幅值均值)。

需要说明的是，本实施例以预设阈值为灰度梯度幅值为例进行说明。在其它实施例中，根据目标特征图的类型，也可以选取其它类型的第一检测参数来获得预设阈值。例如，第一检测参数还可以包括梯度角度值、梯度差值、灰度值或颜色表征值等；其中，梯度差值为第一梯度方向的灰度梯度值与第二梯度方向的灰度梯度值的差值的绝对值。

还需要说明的是，本实施例通过采用二值化处理的方式，选取第一检测参数大于预设阈值的点作为目标点，以获得能够凸显目标点的二值图。在另一些实施例中，也可以采用除二值化处理之外的其余方式来选取出目标点，相应也就无需将大于或等于所述预设阈值的点、以及小于所述预设阈值的点分别赋予第一值和第二值，例如，采用Canny算子或其他方法来选取出目标点。在又一些实施例中，将所述待处理图作为所述目标特征图的情况下，也可以直接从待处理图中选取出目标点。

需要说明的是，通过图像处理的方式，能够自动统计预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，减少或避免人工的介入，不仅降低统计目标点个数的复杂度，而且提高了统计目标点个数的精度。

本实施例中，根据待处理图210获取目标特征图，包括：对待处理图210进行下采样，以减小所述待处理图210的尺寸；基于经过所述下采样的待处理图210获取目标特征图，目标特征图中各个点的位置与经过下采样的待处理图210中各个点的位置一一对应。通过进行下采样处理，以获得尺寸更小的待处理图210，从而减少进行获取目标点个数所需的时间，相应提高检测方法的检测效率。在其他实施例中，也可以省去下采样的操作。

需要说明的是，后续获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数，并根据目标点个数为最大值时目标点所在的位置，获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息，而即使进行下采样处理，对目标点个数的整体分布的影响小，因此仍能够准确地获得目标点个数为最大值的位置。

还需要说明的是，下采样处理的倍数不宜过大，否则容易导致图像的精度损失过大，进而导致最终目标点个数的统计数据的精度变差。为此，本实施例中，下采样处理的倍数可以为2倍至4倍。作为一种示例，下采样处理的倍数为4倍，也即进行4倍下采样，以将待处理图210的宽度和高度均设置为原本尺寸的1/4。

本实施例中，根据待处理图210获取目标特征图，还包括：在基于经过所述下采样的待处理图210获取目标特征图之前，对经过所述下采样的待处理图210进行图像归一化处理，以使经过所述下采样的待处理图210的灰度值介于0至1的区间范围内。相应的，基于经过所述图像归一化处理的待处理图210获取目标特征图。

通过进行归一化处理，以减小经过所述下采样的待处理图210的灰度值的数值，从而减小计算过程中的所采用数据。本实施例中，先进行下采样，再进行图像归一化处理，以减少图像归一化处理的时间。在其它实施例中，也可以不进行归一化处理。

本实施例中，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，包括：将目标点表征图130进行多次旋转，以分别将目标点表征图130旋转至不同旋转角度，且在每次旋转后，获取当前旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数。其中，通过采用旋转目标点表征图130的方式，仅需对待测物200进行一次拍摄即可，且无需多次旋转待测物200，而且仅需进行一次目标点的获取操作，有利于提高检测方法的检测效率，同时，待测物200始终处于初始位置处，以便后续基于偏离信息修正待测物200的位置，将待测物200旋正。

本实施例中，预设基准方向中预设位置的数量大于或等于待处理图210的对角线长度，从而防止目标点在旋转待处理图210的过程中旋转出图像窗口的边界，进而提高统计目标点个数的准确性。

本实施例中，为了获得不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理210图沿预设方向的目标点个数，则需进行多次旋转。作为一种示例，可以设置旋转的起始角度为a，终止角度为b，旋转步长为t。具体地，以旋转目标点表征图130为例，则对目标点表征图130按照旋转步长进行旋转，旋转总次数为N，N＝(b-a)/t。例如，将目标点表征图130的初始位置对应的角度设置为0度，起始角度设置为-45度，终止角度设置为45度，旋转步长为1度，则总共旋转90次，也即共有90个旋转角度。此处，初始位置指的是获取待处理图210对应的目标点表征图130后，还未进行旋转时的位置，也即旋转角度为0度的位置。需要说明的是，根据实际情况，在其他实施例中，也可以旋转待处理图，甚至旋转原始图像或者待测物。

本实施例中，后续获取各旋转角度下预设基准方向的各个预设位置的目标点个数中的最大值，作为目标点最值，并根据目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息，因此，为了提高检测方法的鲁棒性，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置的目标点个数时，预设方向的个数为多个，多个预设方向包括第一方向和第二方向，第一方向和第二方向之间的夹角等于待测直线之间的夹角。

第一方向和第二方向之间的夹角等于待测直线220之间的夹角，从而使得最终获取的待测直线220相对于目标位置的偏离信息是准确的。其中，综合第一方向和第二方向的各个预设位置的目标点个数，以确定目标点个数为最大值时目标点所在的位置，有利于提高所获得的位置的精确性。例如，若存在第一方向和第二方向中其中一个方向的目标点信息量较少的情形，则将第一方向和第二方向的目标点信息量一并考虑，更有利于提高检测结果的鲁棒性。可以理解的是，预设方向垂直于预设基准方向，预设方向的个数为多个，则意味着预设基准方向的个数也为多个，多个预设基准方向也包括第一方向和第二方向，

本实施例中，待处理图210包括至少两条相互垂直的待测直线220，因此第一方向和第二方向相垂直。而且第一方向和第二方向，以便在二维坐标系中确定待测直线220相对于目标位置的偏离信息(例如，偏角)。作为一种示例，第一方向为直角坐标系中的X轴方向，第二方向为直角坐标系中的Y轴方向。

因此，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数，包括：分别获取第一方向和第二方向的各个预设位置处，待处理图210沿预设方向的目标点个数。

具体地，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数，包括：获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点的原始个数，原始个数为同一预设位置的目标点的累加点数；根据各个旋转角度下的目标点的原始个数，获取每个旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处的目标点个数。

基于前述记载，目标点个数通过目标点投影到预设基准方向上同一个预设位置的累加点数获得，因此先获取目标点的原始个数，从而能够基于目标点的原始个数，得到后续的数据分析所需要的目标点个数，且该目标点个数与原始个数相关。

根据实际需要，在一些实施例中，为了减少整个检测过程的计算量，根据各个旋转角度下的目标点的原始个数，获取每个旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处的目标点个数，包括：将各个预设位置的目标点的原始个数，作为对应预设位置的目标点个数。在另一些实施例中，也可以对原始个数进行特定的数据处理，以得到能够满足实际需求的目标点个数。

本实施例中，根据各个旋转角度下的目标点的原始个数，获取每个旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处的目标点个数，包括：沿预设基准方向，遍历每一个预设位置，获取每一个当前预设位置与相邻预设数量的其余预设位置对应的原始个数的加权值，作为当前预设位置的目标点个数。

在预设基准方向包括第一方向和第二方向的情况下，则遍历第一方向上的每一个预设位置(例如，每一个X坐标)，获取第一方向上每一个当前预设位置与相邻预设数量的其余预设位置对应的原始个数之和，作为当前预设位置的目标点个数；同理，遍历第二方向上的每一个预设位置(例如，每一个Y坐标)，获取第二方向上每一个当前预设位置与相邻预设数量的其余预设位置对应的原始个数之和，作为当前预设位置的目标点个数。

在旋转的过程中，可能会由于旋转误差导致实际旋转角度未达到预设角度，也即存在角度偏差，从而导致预设基准方向的各个预设位置的目标点的原始个数存在统计误差，因此，通过将相邻几个预设位置对应的原始个数进行加权，有利于消除旋转误差，从而提高检测方法的检测精度。相应的，预设数量至少为1个。需要说明的是，如果预设数量过大，则导致考虑的相邻预设位置过多，反而容易引起更大的误差，从而导致消除旋转误差的效果不理想。为此，本实施例中，预设数量为1个至3个。在一个具体实施例中，预设数量至少为1个。

具体地，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点的原始个数，包括：获取每一个旋转角度下，预设基准方向的原始个数的数组，数组包括沿预设方向的目标点的原始个数与预设基准方向的预设位置的对应关系。以数组的方式记录原始个数，则对于特定的预设基准方向的数组，该数组的预设位置是固定的，这便于在旋转过程中，通过目标点的预设位置的变化，来更新数组中各个预设位置对应的原始个数，获得各个旋转角度下的数组，从而使得获得原始个数的方式更为简单。而且，以数组的方式记录每一个旋转角度下的原始个数，便于后续进行卷积操作。

本实施例中，在预设基准方向包括第一方向和第二方向的情况下，数组包括第一方向对应的第一数组(xcount)、以及第二方向对应的第二数组(ycount)，利用xcount和ycount，分别统计在每一个旋转角度下具有相同预设位置的目标点的累加点数。需要说明的是，由于预设基准方向中预设位置的数量大于或等于待处理图210的对角线长度，因此，第一数组xcount和第二数组ycount的数组长度均设置为大于或等于待处理图210的对角线长度。

在一个具体实施例中，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点的原始个数，包括：进行数组初始化，获取待测直线220在起始位置处时，各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数，得到预设基准方向的原始个数的数组，数组包括沿预设方向的目标点的原始个数与预设基准方向的预设位置的对应关系。相应的，根据各个旋转角度下的目标点的原始个数，获取每个旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处的目标点个数，包括：基于每一个旋转角度，更新各个目标点对应的预设位置，并基于目标点更新后的预设位置，更新数组中各个预设位置对应的原始个数，获得各个旋转角度下的数组。

例如，若某目标点p的预设位置为(x1,y1)，进行一次旋转后，该目标点p的预设位置变为(x2,y2)，则对xcount[x2]的点数进行累加1的操作，对ycount[y2]的点数同样也进行累加1的操作。其他目标点同理，从而基于目标点更新后的预设位置，可以得到所有目标点在相同预设位置的累加值。此处，xcount[x2]表示第一方向对应的数组中，预设位置为x2的原始个数，ycount[y2]表示第二方向对应的数组中，预设位置为y2的原始个数。在一个具体实施例中，预设位置为位置坐标。

相应的，遍历每一个预设位置，获取每一个当前预设位置与相邻预设数量的其余预设位置对应的原始个数的加权值，包括：对各个数组进行一维卷积操作，一维卷积操作所采用的卷积核的长度方向与数组的长度方向相同。一维卷积操作所采用的卷积核的长度方向与数组的长度方向相同，以便沿着数组的长度方向，遍历每一个预设位置，对当前预设位置与相邻预设数量的其余预设位置对应的原始个数进行加权操作；而且，通过一维卷积操作，有利于快速且便捷地地完成加和操作。

需要说明的是，本实施例中，各个原始个数对应的权重均为1，因此，该一维卷积操作所采用的卷积核中的数值均为1，而且，卷积核的长度为n+1，n为预设数量。在一个具体实施例中，预设数量为1个，卷积核的长度相应为2。

继续参考图1，执行步骤S3，获取各旋转角度下预设基准方向的各个预设位置的目标点个数中的最大值，作为目标点最值。获取目标点最值，为后续获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息做准备。

本实施例中，获取各旋转角度下预设基准方向的各个预设位置的目标点个数中的最大值，作为目标点最值，包括：分别对不同旋转角度下的待处理图210进行最值获取操作，以获取各个旋转角度下的待处理图210的检测得分，其中，对任一旋转角度下的待处理图210进行最值获取操作包括：根据旋转角度下的待处理图210沿预设方向的目标点个数中的最大值，获取检测得分，检测得分与最大值正相关；获取各旋转角度下的待处理图210的检测得分中的最大值，作为目标点最值。

先对每一个旋转角度下的待处理图210进行最值获取操作，以便得到每一个旋转角度对应的检测得分，从而减少后续比较的数据量，易于从多个检测得分中获取目标点最值。在其它实施例中，也可以不进行最值获取操作，而是从所有目标点个数中获取最大值作为目标点最值。

具体地，根据旋转角度下的待处理图210沿预设方向的目标点个数中的最大值，获取检测得分，包括：获取旋转角度下，待处理图210沿第一方向的目标点个数中的最大值与沿第二方向的目标点个数中的最大值之和，以得到旋转角度下的检测得分，检测得分与最大值之和正相关。基于前述分析可知，综合第一方向和第二方向的各个预设位置的目标点个数，以确定目标点个数为最大值时目标点所在的位置，有利于提高所获得的位置的精确性。具体地，在每一个旋转角度下，选取第一方向的目标点个数的最大值max_x，选取第二方向的目标点个数的最大值max_y，并将两者相加，通过公式score＝max_x+max_y获得检测得分。

结合参考图5，图5是检测得分与旋转次数序号一实施例的关系示意图，其中，横轴表示旋转次数序号，纵轴表示检测得分。在每一次旋转后，获得到该旋转角度下的检测得分，从而得到所有旋转角度下的检测得分。其中，横轴表示对应的旋转次数序号，纵轴表示检测得分。相应的，每一个旋转次数序号对应一个旋转角度。

本实施例中，偏离信息包括偏角，偏角为待测直线220旋转至目标位置所需的旋转角度。具体地，该偏角可以为待测直线220与旋正后所对应的目标位置之间的偏角。此处，目标位置即为待测直线220旋正后的位置。

由图5可知，在一个特定的旋转次数序号下(也即一个特定的旋转角度下)，目标点个数为最大值，将该目标点个数的最大值作为目标点最值，从而可通过目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息。例如，偏离信息为偏角，则通过目标点最值对应的目标点所在的位置，得到旋正的角度(也即偏角)angle，且该偏角通过公式angel＝a+loc*t获得；其中，a为旋转的起始角度(例如为-45度)，t为旋转步长，loc为旋转次数序号。

如图6所示，图7为将目标点表征图130旋正后一实施例的示意图，通过公式angel＝a+loc*t获得待测直线220和目标位置的偏角，从而基于该偏角将待测物200旋正，进而实现待测物200的对位。

在另一些实施例中，偏离信息也可以为待测直线相对于目标位置的偏离方向，也即为待测直线的旋正方向。例如，根据该偏离方向，确定待测物的旋转方向，旋转方向包括逆时针方向或顺时针方向。

本实施例中，检测得分即为目标点个数。在另一些实施例中，也可以通过其它方式来表征目标点个数，只需要满足该检测得分与目标点个数相关即可，例如，该检测得分可以为对目标点个数进行归一化处理后得到的数值。

继续参考图1，执行步骤S4，根据目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息。

对于待测直线220而言，当其相对于预设基准方向处于被摆正的状态时，预设基准方向的各个预设位置的目标点个数应当为最多，因此，通过统计在不同旋转角度下各个预设位置的目标点个数，并从中筛选出目标点个数的最大值，以便后续根据目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息；因此，相比于通过硬件对位系统进行，通过统计的方式，有利于更精确地获取偏离信息，从而提高对待测直线220的偏离信息的检测精度，相应有利于提高产品对位的精度。

本实施例中，根据目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息，包括：根据处于目标点最值对应的旋转角度下的待处理图210，获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息。例如，将待处理图210的初始位置对应的角度设置为0度，则得到目标点最值对应的旋转角度后，旋转角度即为待测直线220相对于目标位置的偏角。

继续参考图1，检测方法还包括：执行步骤S5，将目标点最值所对应的预设位置作为基准位置、所对应的旋转角度作为基准角度。

获取基准位置和基准角度，为后续判断目标点个数为最大值所对应的偏离信息是否正确做准备。

本实施例中，得到目标点个数为最大值所对应的基准角度后，得到该基准角度下的第一数组(xcount)和/或第二数组(ycount)，以便后续获取第一数组和/或第二数组中，预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值。

继续参考图1，检测方法还包括：执行步骤S6，获取基准角度下，预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值，偏差值与预设位置区间内的目标点个数的最大值和最小值之差相关，且基准位置位于预设位置区间内。

通常情况下，当待测直线220被旋正后，基准位置对应的目标点个数应当大于其相邻预设位置对应的目标点个数，因此通过获取偏差值，易于判断通过步骤所获得的目标点最值所对应的旋转角度是否正确。需要说明的是，在实际采集图像的过程中，存在图像不清晰的情况，从而对统计结果造成干扰，也就是说，即使按照前述的步骤执行能够获得目标点最值对应的旋转角度，但该旋转角度可能是错误的，因此，对目标点最值对应的旋转角度进行验证，并基于验证结果进行反馈，以便进行相应调整(例如，调整旋转步长或者成像参数)后再次进行数据收集和统计，有利于提高检测方法的检测精度。

本实施例中，在第一方向对应的第一数组xcount中，获取目标点个数为最大值所对应的预设位置maxloc_x，再获取该预设位置maxloc_x附近其它多个预设位置的目标点个数的最大值high与最小值low，从而基于该最大值high与最小值low获得预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值。同理，在第二方向对应的第二组ycount中，获取目标点个数为最大值所对应的预设位置maxloc_y，再获取该预设位置maxloc_y附近其它多个预设位置的目标点个数的最大值high与最小值low，从而基于该最大值high与最小值low获得预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值。具体地，偏差值采用公式diff＝(high-low)/low计算获得；其中，diff表示预设基准方向的预设位置区间内的偏差值，high表示预设位置区间内的目标点个数的最大值，low表示预设位置区间内的目标点个数的最小值。

本实施例中，第一方向的偏差值为diff_x，第一方向的偏差值为diff_y，且第一方向的偏差值diff_x与第一方向的偏差值diff_y，分别采用各自数组中的数据获得。本实施例中，获取基准角度下，预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值，包括：计算第一方向和第二方向上，预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值，且偏差值为第一方向的偏差值与第二方向的偏差值之和。也就是说，基准角度下，预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值采用公式Diff＝diff_x+diff_y计算获得。

继续参考图1，检测方法还包括：执行步骤S7，判断偏差值是否符合预设标准。本实施例中，预设标准为在预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最小值为0；和/或，偏差值与预设位置区间内的目标点个数的最大值和最小值之差正相关，预设标准为大于或等于阈值偏差。作为一种示例，阈值偏差为5。在其它实施例中，该阈值偏差也可以为其它数值。

若偏差值符合预设标准，则执行步骤S4，根据当前目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息。若偏差值不符合预设标准，则执行步骤S8，调整获取待处理图210所采用的参数和/或减小旋转步长，并返回执行获取待处理图210的步骤S1，或者，返回执行获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数的步骤S2，直至偏差值符合预设标准。

通过调整获取待处理图210所采用的参数，以提高待处理图210的质量，从而有利于提高提取到的目标点最值的准确性。例如，由于待处理图210是基于原始图像获得，则调整获取待处理图210所采用的参数可以包括：获取原始图像所采用的成像参数。通过调整获取原始图像的成像参数(例如，调整曝光参数或者拍摄位置等)，以获得质量更佳的原始图像，从而提高对目标点的提取精度，相应有利于提高根据目标点个数所获得的偏离信息的准确性。

通过减小旋转步长，以增加旋转角度，从而能够增加不同旋转角度所对应的目标点个数的数据量，进而提高偏离信息的准确性。

作为一种示例，减小旋转步长，则返回执行获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数的步骤S2。在另一些实施例中，若调整获取待处理图210所采用的参数，则返回执行获取待处理图的步骤S1；或者，若调整获取待处理图210所采用的参数，并减小旋转步长，则返回执行获取待处理图的步骤S1。

相应地，本发明实施例还提供了一种检测系统。图7示出了本发明检测系统一实施例的功能框图。

结合参见图2至图6，本发明实施例的检测系统包括：待处理图获取模块10，用于获取待处理图210，待处理图210具有待测直线220，待测直线220包括多个目标点(图未示)；统计模块20，用于获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数，预设方向垂直于预设基准方向；目标点最值获取模块30，用于获取各旋转角度下预设基准方向的各个预设位置的目标点个数中的最大值，作为目标点最值；偏离信息获取模块40，用于根据目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息。

对于待测直线220而言，当其相对于预设基准方向处于被旋正的状态时，预设基准方向的各个预设位置的目标点个数应当为最多，因此通过统计模块20统计在不同旋转角度下各个预设位置的目标点个数，并通过目标点最值获取模块30，从中筛选出目标点个数的最大值(也即目标点最值)，利用偏离信息获取模块40，根据目标点最值对应的目标点所在的位置获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息；相比于通过硬件对位系统进行，通过统计的方式，有利于更精确地获取偏离信息，从而提高对待测直线220相对于目标位置的偏离信息的检测精度，相应有利于提高产品对位的精度。

本实施例中，检测系统还包括：设置模块50，用于将目标点最值所对应的预设位置作为基准位置、所对应的旋转角度作为基准角度；偏差值获取模块60，用于获取基准角度下，预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值，偏差值与预设位置区间内的目标点个数的最大值和最小值之差相关，且基准位置位于预设位置区间内。具体地，偏差值获取模块60采用公式diff＝(high-low)/low计算偏差值；其中，diff表示预设基准方向的预设位置区间内的偏差值，high表示预设位置区间内的目标点个数的最大值，low表示预设位置区间内的目标点个数的最小值。本实施例中，偏差值为第一方向的偏差值与第二方向的偏差值之和。

本实施例中，检测系统还包括：判断模块70，用于判断偏差值是否符合预设标准。本实施例中，预设标准为：偏差值是否大于预设值。本实施例中，预设标准为在预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最小值为0；和/或，偏差值与预设位置区间内的目标点个数的最大值和最小值之差正相关，预设标准为大于或等于阈值偏差。

本实施例中，在偏差值符合预设标准时，偏离信息获取模块40根据当前目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线220相对于目标位置的偏离信息。本实施例中，检测系统还包括：反馈模块80，用于在偏差值不符合预设标准时，调整获取待处理图210所采用的参数和/或减小旋转步长，并返回执行获取待处理图210的步骤，或者，返回执行获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图210沿预设方向的目标点个数的步骤，直至偏差值符合预设标准。

需要说明的是，本实施例的检测系统用于执行前述实施例的检测方法。在其他实施例中，也可以采用其他检测系统执行前述实施例的检测方法。对本实施例检测系统的具体描述，可参考前述实施例中检测方法的相应描述，本实施例在此不再赘述。

本发明实施例还提供一种设备，该设备可以通过装载程序形式的上述检测方法，以实现本发明实施例提供的检测方法。

参考图8，示出了本发明一实施例所提供的设备的硬件结构图。本实施例设备包括：至少一个处理器01、至少一个通信接口02、至少一个存储器03和至少一个通信总线04。

本实施例中，处理器01、通信接口02、存储器03和通信总线04的数量均为至少一个，且处理器01、通信接口02以及存储器03通过通信总线04完成相互间的通信。通信接口02可以为用于进行网络通信的通信模块的接口，例如为GSM模块的接口。处理器01可能是中央处理器CPU，或者是特定集成电路ASIC(Application Specific Integrated Circuit)，或者是被配置成实施本实施例检测方法的一个或多个集成电路。存储器03可能包含高速RAM存储器，也可能还包括非易失性存储器(non-volatile memory)，例如至少一个磁盘存储器。其中，存储器03存储有一条或多条计算机指令，一条或多条计算机指令被处理器01执行以实现前述实施例提供的检测方法。

需要说明的是，上述的实现终端设备还可以包括与本发明实施例公开内容可能并不是必需的其他器件(未示出)；鉴于这些其他器件对于理解本发明实施例公开内容可能并不是必需，本发明实施例对此不进行逐一介绍。

本发明实施例还提供一种存储介质，存储介质存储有一条或多条计算机指令，一条或多条计算机指令用于实现前述实施例提供的检测方法。

上述本发明的实施方式是本发明的元件和特征的组合。除非另外提及，否则元件或特征可被视为选择性的。各个元件或特征可在不与其它元件或特征组合的情况下实践。另外，本发明的实施方式可通过组合部分元件和/或特征来构造。本发明的实施方式中所描述的操作顺序可重新排列。任一实施方式的一些构造可被包括在另一实施方式中，并且可用另一实施方式的对应构造代替。对于本领域技术人员而言明显的是，所附权利要求中彼此没有明确引用关系的权利要求可组合成本发明的实施方式，或者可在提交本申请之后的修改中作为新的权利要求包括。

本发明的实施方式可通过例如硬件、固件、软件或其组合的各种手段来实现。在硬件配置方式中，根据本发明示例性实施方式的方法可通过一个或更多个专用集成电路(ASIC)、数字信号处理器(DSP)、数字信号处理器件(DSPD)、可编程逻辑器件(PLD)、现场可编程门阵列(FPGA)、处理器、控制器、微控制器、微处理器等来实现。

在固件或软件配置方式中，本发明的实施方式可以模块、过程、功能等形式实现。软件代码可存储在存储器单元中并由处理器执行。存储器单元位于处理器的内部或外部，并可经由各种己知手段向处理器发送数据以及从处理器接收数据。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其他实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (22)

1.一种检测方法，其特征在于，包括：

获取待处理图，所述待处理图具有待测直线，所述待测直线包括多个目标点；

获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，所述预设方向垂直于所述预设基准方向；

获取各旋转角度下所述预设基准方向的各个预设位置的所述目标点个数中的最大值，作为目标点最值；

根据所述目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息。

2.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，获取各旋转角度下所述预设基准方向的各个预设位置的所述目标点个数中的最大值，作为目标点最值，包括：分别对不同旋转角度下的待处理图进行最值获取操作，以获取各个旋转角度下的待处理图的检测得分，其中，对任一旋转角度下的待处理图进行所述最值获取操作包括：根据所述旋转角度下的待处理图沿预设方向的目标点个数中的最大值，获取检测得分，所述检测得分与所述最大值正相关；

获取各旋转角度下的待处理图的检测得分中的最大值，作为目标点最值；

根据所述目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息，包括：根据处于所述目标点最值对应的旋转角度下的待处理图，获取所述待测直线相对于目标位置的偏离信息。

3.如权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述待处理图包括至少两条待测直线；所述预设方向的个数为多个，多个所述预设方向包括第一方向和第二方向，所述第一方向和第二方向之间的夹角等于待测直线之间的夹角；

获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，包括：分别获取所述第一方向和第二方向的各个预设位置处，所述待处理图沿预设方向的目标点个数；

根据所述旋转角度下的待处理图沿预设方向的目标点个数中的最大值，获取检测得分，包括：获取所述旋转角度下，所述待处理图沿第一方向的目标点个数中的最大值与沿第二方向的目标点个数中的最大值之和，以得到所述旋转角度下的检测得分，所述检测得分与所述最大值之和正相关。

4.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述待处理图包含目标边缘，所述待测直线为所述目标边缘，或者，所述待测直线为待拟合直线。

5.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，包括：获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点的原始个数，所述原始个数为同一预设位置的目标点的累加点数；

根据各个旋转角度下的目标点的原始个数，获取每个旋转角度下，所述预设基准方向的各个预设位置处的目标点个数。

6.如权利要求5所述的检测方法，其特征在于，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点的原始个数，包括：

进行数组初始化，获取所述待测直线在起始位置处时，各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，得到预设基准方向的原始个数的数组，所述数组包括所述沿预设方向的目标点的原始个数与所述预设基准方向的预设位置的对应关系；

根据各个旋转角度下的目标点的原始个数，获取每个旋转角度下，所述预设基准方向的各个预设位置处的目标点个数，包括：基于每一个旋转角度，更新各个目标点对应的预设位置，并基于所述目标点更新后的预设位置，更新所述数组中各个预设位置对应的原始个数，获得各个旋转角度下的数组。

7.如权利要求5所述的检测方法，其特征在于，根据各个旋转角度下的目标点的原始个数，获取每个旋转角度下，所述预设基准方向的各个预设位置处的目标点个数，包括：将各个预设位置处的目标点的原始个数，作为所述预设位置处的目标点个数；

或者，沿所述预设基准方向，遍历每一个预设位置，获取每一个当前预设位置与相邻预设数量的其余预设位置对应的原始个数的加权值，作为当前预设位置的目标点个数。

8.如权利要求7所述的检测方法，其特征在于，获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点的原始个数，包括：

获取每一个旋转角度下，所述预设基准方向的原始个数的数组，所述数组包括所述沿预设方向的目标点的原始个数与所述预设基准方向的预设位置的对应关系；

遍历每一个预设位置，获取每一个当前预设位置与相邻预设数量的其余预设位置对应的原始个数的加权值，包括：对各个所述数组进行一维卷积操作，所述一维卷积操作所采用的卷积核的长度方向与所述数组的长度方向相同。

9.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：将所述目标点最值所对应的预设位置作为基准位置、所对应的旋转角度作为基准角度；

获取所述基准角度下，预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值，所述偏差值与所述预设位置区间内的目标点个数的最大值和最小值之差相关，且所述基准位置位于所述预设位置区间内；

判断所述偏差值是否符合预设标准；

若所述偏差值符合预设标准，则根据当前目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息；

若所述偏差值不符合预设标准，则调整获取待处理图所采用的参数和/或减小旋转步长，并返回执行获取待处理图的步骤，或者返回执行获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数的步骤，直至所述偏差值符合预设标准。

10.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述偏差值采用公式diff＝(high-low)/low计算获得；其中，diff表示所述预设基准方向的预设位置区间内的偏差值，high表示所述预设位置区间内的目标点个数的最大值，low表示所述预设位置区间内的目标点个数的最小值。

11.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述待处理图包括至少两条待测直线；所述预设方向的个数为多个，多个所述预设方向包括第一方向和第二方向，所述第一方向和第二方向之间的夹角等于待测直线之间的夹角；

获取所述基准角度下，预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值，包括：计算所述第一方向和第二方向上，预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最大值与最小值的偏差值，所述偏差值为所述第一方向的偏差值与第二方向的偏差值之和。

12.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述预设标准为在所述预设位置区间内多个预设位置的目标点个数的最小值为0；和/或，所述偏差值与所述预设位置区间内的目标点个数的最大值和最小值之差正相关，所述预设标准为大于或等于阈值偏差。

13.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述预设基准方向中预设位置的数量大于或等于所述待处理图的对角线长度。

14.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，所述预设方向垂直于所述预设基准方向，包括：对所述待处理图进行目标点提取处理，获取目标点；在所述目标点提取处理后，分别统计不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数；其中，

对所述待处理图进行目标点提取处理，获取目标点，包括：根据所述待处理图获取目标特征图，所述目标特征图包括各个点的位置与第一检测参数的对应关系，所述目标特征图的目标点的第一检测参数大于非目标点；选取第一检测参数大于预设阈值的点作为目标点。

15.如权利要求14所述的检测方法，其特征在于，选取第一检测参数大于预设阈值的点作为目标点，包括：利用所述预设阈值对所述目标特征图进行二值化处理，以将所述第一检测参数中大于或等于所述预设阈值的点赋予第一值，小于所述预设阈值的点赋予第二值，所述第二值与第一值不相等；选取被赋予所述第一值的点作为目标点。

16.如权利要求14所述的检测方法，其特征在于，选取第一检测参数大于预设阈值的点作为目标点，还包括：获取预设阈值；

其中，所述获取预设阈值包括：获取所述目标特征图的所有点的第一检测参数的平均值，得到检测参数均值；根据所述检测参数均值得到预设阈值，所述预设阈值为所述检测参数均值与预设倍数之积，所述预设倍数大于1。

17.如权利要求14所述的检测方法，其特征在于，根据所述待处理图获取目标特征图，包括：获取所述待处理图中各点的梯度；根据待处理图中各点的梯度获取所述目标特征图；或者，将所述待处理图作为所述目标特征图；

所述目标特征图包括梯度幅值图、梯度角度图、梯度差值图、灰度图、二值图或彩色图。

18.如权利要求14所述的检测方法，其特征在于，根据所述待处理图获取目标特征图，包括：对所述待处理图进行下采样，以减小所述待处理图的尺寸；基于经过所述下采样的待处理图获取目标特征图，所述目标特征图中各个点的位置与经过下采样的待处理图中各个点的位置一一对应。

19.如权利要求18所述的检测方法，其特征在于，所述待处理图为灰度图；根据所述待处理图获取目标特征图，还包括：在基于经过所述下采样的待处理图获取目标特征图之前，对经过所述下采样的待处理图进行图像归一化处理，以使经过所述下采样的待处理图的灰度值介于0至1的区间范围内。

20.一种检测系统，其特征在于，包括：

待处理图获取模块，用于获取待处理图，所述待处理图具有待测直线，所述待测直线包括多个目标点；

统计模块，用于获取不同旋转角度下，预设基准方向的各个预设位置处待处理图沿预设方向的目标点个数，所述预设方向垂直于所述预设基准方向；

目标点最值获取模块，用于获取各旋转角度下所述预设基准方向的各个预设位置的所述目标点个数中的最大值，作为目标点最值；

偏离信息获取模块，用于根据所述目标点最值对应的目标点所在的位置，获取待测直线相对于目标位置的偏离信息。

21.一种设备，其特征在于，包括至少一个存储器和至少一个处理器，所述存储器存储有一条或多条计算机指令，其中，所述一条或多条计算机指令被所述处理器执行以实现如权利要求1至19任一项所述的检测方法。

22.一种存储介质，其特征在于，所述存储介质存储有一条或多条计算机指令，所述一条或多条计算机指令用于实现如权利要求1至19任一项所述的检测方法。