CN118136490A - 质谱仪及用于检测不同质量数离子的检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种质谱仪及用于检测不同质量数离子的检测装置，检测装置包括多通道ADC采集卡、以及至少两个检测组件。至少两个检测组件用于依次布置于质谱仪的检测区，均通过信号线与多通道ADC采集卡电性连接，用于分别对应接收至少两种不同质量数的离子，以及在接收到相应质量数的离子后产生电信号。由于至少两个检测组件用于依次布置于质谱仪的检测区，从而能实现检测组件的单个阳极部件对相应质量数离子的单独检测，各个阳极部件接收的电信号由单独的ADC采集卡通道记录，进而能减少不同种类离子间的相互干扰。本实施例中将不同种类的离子引入不同的检测器部件进行检测，可以避免所有离子在同一个阳极检测导致ADC采集卡的饱和效应。

Description

质谱仪及用于检测不同质量数离子的检测装置

技术领域

本申请涉及质谱检测技术领域，特别是涉及一种质谱仪及用于检测不同质量数离子的检测装置。

背景技术

在所有用于化学成份分析的科学仪器中，质谱仪器得益于其高灵敏度与准确性，成为目前应用最广泛的分析技术之一。在众多的质谱仪器中，飞行时间质谱仪time-of-flight mass spectrometer,TOFMS)具有质量范围大、质量分辨率高、分析速度快、检测灵敏度高、结构简单易于使用和维护等特点，已被广泛应用在目前商品化质谱仪上。

飞行时间质谱仪的原理为：在真空环境下，物质分子在电离室被离子源电离成分子离子，不同的离子在加速区获得相同的加速能量，离子由加速区引出，凭惯性进入无场区自由飞行后，离子将根据不同质荷比大小分别进入离子检测器进行分离检测。

随着现代科技的发展，对于离子的检测需求越来越高，在材料检测、航空航天、地质科学、核科学等领域，需要对宽动态范围的金属元素及其同位素进行检测，常规检测器的电子增益能力饱和，且其增益范围随电压增加不完全呈线性关系，无法对浓度差别较大的离子做准确的测量。对于例如要求宽动态检测(四个量级以上)的应用，传统的检测器已经不能满足该领域的应用要求。

发明内容

基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种质谱仪及用于检测不同质量数离子的检测装置，它能够对浓度差别较大的离子准确地检测。

其技术方案如下：一种用于检测不同质量数离子的检测装置，所述用于检测不同质量数离子的检测装置包括：

多通道ADC采集卡；以及

至少两个检测组件，至少两个所述检测组件用于依次布置于质谱仪的检测区，至少两个所述检测组件均通过信号线与所述多通道ADC采集卡电性连接，至少两个所述检测组件用于分别对应接收至少两种不同质量数的离子，以及在接收到相应质量数的所述离子后产生电信号。

在其中一个实施例中，所述至少两个检测组件包括微通道板增益组件、法拉第筒与电子倍增器。

在其中一个实施例中，所述微通道板增益组件包括依次设置的栅网极片、微通道板、以及接收阳极板，所述接收阳极板通过第一信号线与所述多通道ADC采集卡电性连接。

在其中一个实施例中，所述栅网极片的中部设有部分检测离子穿过的第一安装孔，所述栅网极片的栅网部位为金属丝栅网，所述金属栅网设于所述第一安装孔处；

所述微通道板为多个，多个所述微通道板间隔设置，所述阳极板与多个所述微通道板同轴心布置。

在其中一个实施例中，多个所述微通道板分别为第一微通道板、第二微通道板与第三微通道板；

所述的微通道板增益组件还包括依次间隔设置的第一检测区极片、第二检测区极片以及第三检测区极片；所述第一检测区极片设有第一通孔，所述第二检测区极片设有第二通孔，所述第三检测区极片设有第三通孔，所述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔均和所述第一安装孔位置相应设置；所述第一微通道板位于所述栅网极片与所述第一检测区极片之间，且所述第一微通道板的两侧面的边缘分别与所述栅网极片与所述第一检测区极片电性接触；所述第二微通道板位于所述第一检测区极片与所述第二检测区极片之间，且所述第二微通道板的两侧面的边缘分别与所述第一检测区极片与所述第二检测区极片电性接触；所述第三微通道板位于所述第二检测区极片与所述第三检测区极片之间，且所述第三微通道板的两侧面的边缘分别与所述第二检测区极片与所述第三检测区极片电性接触；所述栅网极片与所述第一检测区极片之间电连接有第一分压电阻，所述第一检测区极片与所述第二检测区极片之间电连接有第二分压电阻，所述第二检测区极片与所述第三检测区极片之间电连接有第三分压电阻，所述第三检测区极片通过第四分压电阻接地设置。

在其中一个实施例中，所述微通道板增益组件还包括设置于所述栅网极片与所述第一检测区极片之间的第一绝缘垫，设置于所述第一检测区极片与所述第二检测区极片之间的第二绝缘垫，设置于所述第二检测区极片与所述第三检测区极片之间的第三绝缘垫。

在其中一个实施例中，所述法拉第筒包括金属内筒及套设于所述金属内筒外的金属外筒，所述金属内筒用于接收离子流，所述金属内筒通过第二信号线与所述多通道ADC采集卡电性连接，所述金属外筒用于施加直流负高压。

在其中一个实施例中，所述电子倍增器为多级分离式电子倍增器、微通道板电子倍增器、通道电子倍增器或混合型电子倍增器，所述电子倍增器通过第三信号线与所述多通道ADC采集卡电性连接。

在其中一个实施例中，所述微通道板增益组件、所述法拉第筒与所述电子倍增器三者平行布置。

一种质谱仪，所述质谱仪包括所述的用于检测不同质量数离子的检测装置。

上述的质谱仪及用于检测不同质量数离子的检测装置，由于至少两个检测组件用于依次布置于质谱仪的检测区，至少两个检测组件均通过信号线与多通道ADC采集卡电性连接，从而能实现检测组件的单个阳极部件对相应质量数离子的单独检测，各个阳极部件接收的电信号由单独的ADC采集卡通道记录，进而能减少不同种类离子间的相互干扰。与现有单阳极检测器结构的飞行时间质谱仪相比，本实施例中将不同种类的离子引入不同的检测器部件进行检测，可以避免所有离子在同一个阳极检测导致ADC采集卡的饱和效应。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一实施例的用于检测不同质量数离子的检测装置的结构示意图。

10、多通道ADC采集卡；20、微通道板增益组件；21、栅网极片；211、第一安装孔；212、金属丝栅网；22、微通道板；221、第一微通道板；222、第二微通道板；223、第三微通道板；23、接收阳极板；24、第一检测区极片；241、第一通孔；25、第二检测区极片；251、第二通孔；26、第三检测区极片；261、第三通孔；271、第一分压电阻；272、第二分压电阻；273、第三分压电阻；274、第四分压电阻；281、第一绝缘垫；282、第二绝缘垫；283、第三绝缘垫；30、法拉第筒；31、金属内筒；32、金属外筒；40、电子倍增器；51、第一信号线；52、第二信号线；53、第三信号线。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

参阅图1，图1示出了本申请一实施例的用于检测不同质量数离子的检测装置的结构示意图，本申请一实施例提供的一种用于检测不同质量数离子的检测装置，用于检测不同质量数离子的检测装置包括：多通道ADC(Analogto Digital Converter，模数转换器)采集卡、以及至少两个检测组件。至少两个检测组件用于依次布置于质谱仪的检测区，至少两个检测组件均通过信号线与多通道ADC采集卡10电性连接，至少两个检测组件用于分别对应接收至少两种不同质量数的离子，以及在接收到相应质量数的离子后产生电信号。

需要说明的是，每个检测组件对应于一种质量数的离子，当检测组件的数量越多时，所能检测到的质量数的离子种类将越多。

还需要说明的是，各个检测组件在检测区的布置位置具体根据目标检测离子经偏转板偏离后在检测区中的飞行位置来相应设置，以保证目标检测离子能顺利入射到对应检测组件中即可，具体可以根据相关理论计算公式计算得到检测组件在检测区的具体布置位置。此外，针对不同质量数的目标检测离子，检测区将使用不同的检测组件排布形式，针对n种不同质量数离子，可设计n个不同检测组件排布分别进行检测。

另外，可选地，至少两个检测组件采取例如平行排列布置于质谱仪的检测区，从而能保证整体结构整齐。

上述的用于检测不同质量数离子的检测装置，由于至少两个检测组件用于依次布置于质谱仪的检测区，至少两个检测组件均通过信号线与多通道ADC采集卡10电性连接，从而能实现检测组件的单个阳极部件对相应质量数离子的单独检测，各个阳极部件接收的电信号由单独的ADC采集卡通道记录，进而能减少不同种类离子间的相互干扰。与现有单阳极检测器结构的飞行时间质谱仪相比，本实施例中将不同种类的离子引入不同的检测器部件进行检测，可以避免所有离子在同一个阳极检测导致ADC采集卡的饱和效应。

请参阅图1，在一个实施例中，至少两个检测组件包括微通道板增益组件20、法拉第筒30(FC)与电子倍增器40(Electron Multipliers，ETP)。

其中，法拉第筒30结构简单、满足强离子流检测需求，可用于检测信号强度较大，且量级变化不大的某个质量数的离子流；电子倍增器40对弱离子信号具有较宽的线性范围，可用于检测强度从小到大跨越多个量级的某个质量数的离子；微通道板增益组件20结构设计灵活，可用于检测强度中等且浓度变化跨越量级不大的某些质量数的离子；根据实际测试情况，在检测区对3种检测器结构搭配组合，可保证对高动态范围、强离子流等不同种类离子的准确检测。

具体而言，当将含有质量数为a、b、c的样品被质谱仪的离子源电离后形成三种质量数的带电离子，三种离子经飞行时间质量分析器的推斥区、加速区、无场飞行区和反射区后进入检测区，无场飞行区内设置了水平方向的偏转板，通过偏转板施加水平方向的电场，不同质量数的离子经过偏转板时产生不同的水平方向的加速度，因此不同质量数的离子到达检测区时的水平位置也不相同，其精确位置可由质量分析器施加的各路电压计算后得到。由此较强离子流的离子a入射到检测区后由法拉第筒30接收、强度中等且浓度变化跨越量级不大离子b入射到检测区后由微通道板增益组件20接收、浓度跨越多个量级的离子c入射到检测区后由电子倍增器40接收。法拉第筒30、微通道板增益组件20、电子倍增器40将接收到的电信号后经由不同的信号线传输到数据采集卡，被不同量程的通道采集。

请参阅图1，在一个实施例中，微通道板增益组件20包括依次设置的栅网极片21、微通道板22、以及接收阳极板23。接收阳极板23通过第一信号线51与多通道ADC采集卡10电性连接。如此，当栅网极片21上施加负直流高压时，用于牵引检测离子进入到微通道板22中，待检测离子经微通道板22(Micro channel Plate，MCP)增益处理后产生增益电子，产生的电子将打在接收阳极板23上产生电流信号，该电流信号能相应被多通道ADC采集卡10采集获取到。

请参阅图1，在一个实施例中，栅网极片21例如为不锈钢制成的方形薄片，栅网极片21的中部设有部分检测离子穿过的第一安装孔211，栅网极片21的栅网部位为金属丝栅网212，金属栅网设于第一安装孔211处，金属丝栅网212的目数为80目～100目，金属丝栅网212的金属丝直径为25um～50um。如此，能较好地防止外部电场渗透干扰离子通道。

请参阅图1，在一个实施例中，微通道板22为多个，多个微通道板22间隔设置，阳极板与多个微通道板22同轴心布置。

请参阅图1，在一个实施例中，多个微通道板22分别为第一微通道板221、第二微通道板222与第三微通道板223。微通道板增益组件20还包括依次间隔设置的第一检测区极片24、第二检测区极片25以及第三检测区极片26。第一检测区极片24设有第一通孔241，第二检测区极片25设有第二通孔251，第三检测区极片26设有第三通孔261，第一通孔241、第二通孔251、第三通孔261均和第一安装孔211位置相应设置。第一微通道板221位于栅网极片21与第一检测区极片24之间，且第一微通道板221的两侧面的边缘分别与栅网极片21与第一检测区极片24电性接触。第二微通道板222位于第一检测区极片24与第二检测区极片25之间，且第二微通道板222的两侧面的边缘分别与第一检测区极片24与第二检测区极片25电性接触。第三微通道板223位于第二检测区极片25与第三检测区极片26之间，且第三微通道板223的两侧面的边缘分别与第二检测区极片25与第三检测区极片26电性接触。栅网极片21与第一检测区极片24之间电连接有第一分压电阻271，第一检测区极片24与第二检测区极片25之间电连接有第二分压电阻272，第二检测区极片25与第三检测区极片26之间电连接有第三分压电阻273，第三检测区极片26通过第四分压电阻274接地设置。如此，第一分压电阻271、第二分压电阻272、第三分压电阻273、、第四分压电阻274、栅网极片21、第一检测区极片24、第二检测区极片25及第三检测区极片26串联连接在一起，在栅网极片21上施加负直流高压时，栅网极片21与第一检测区极片24之间、第一检测区极片24与第二检测区极片25之间、第二检测区极片25与第三检测区极片26有强电场，能起到牵引检测离子的作用。

请参阅图1，在一个实施例中，微通道板增益组件20还包括设置于栅网极片21与第一检测区极片24之间的第一绝缘垫281，设置于第一检测区极片24与第二检测区极片25之间的第二绝缘垫282，设置于第二检测区极片25与第三检测区极片26之间的第三绝缘垫283。具体而言，第一绝缘垫281、第二绝缘垫282、第三绝缘垫283均例如为聚四氟乙烯绝缘垫，第一绝缘垫281、第二绝缘垫282、第三绝缘垫283的外部尺寸与的检测区极片偏差不大，以保证较好的绝缘隔离效果，第一绝缘垫281、第二绝缘垫282、第三绝缘垫283均设有与第一安装孔211位置相应的第二安装孔，第一微通道板221、第二微通道板222与第三微通道板223分别安装于三个第二安装孔中。

请参阅图1，在一个实施例中，第一通孔241、第二通孔251、第三通孔261及第一安装孔211均同轴设置。第一通孔241、第二通孔251、第三通孔261及第一安装孔211均例如为圆形孔、椭圆形孔、多边形孔等等，多边形孔包括但不限于为三角形孔、四边形孔、五边形孔等等，具体可以根据实际需求灵活调整与设置。

请参阅图1，在一个实施例中，法拉第筒30包括金属内筒31及套设于金属内筒31外的金属外筒32。金属内筒31用于接收未经增益的离子流，金属内筒31通过第二信号线52与多通道ADC采集卡10电性连接，金属外筒32用于施加直流负高压。如此，金属外筒32能抑制金属内筒31二次电子的产生，保证检测信号的准确性。

其中，电子倍增器40是一种使入射电荷倍增的真空管。单个电子轰击二次发射材料表面时产生二次发射，可以大约释放出1-3个次级离子。次级离子将加速到另一片二次发射材料表面，引发更多的二次发射。重复多次后，大量电子簇全部由金属阳极收集，产生不同强度的信号。电子倍增器40广泛应用于质谱设备中，用于质量分析仪分离的离子检测器。

请参阅图1，在一个实施例中，电子倍增器40包括但不限于设置为多级分离式电子倍增器40、微通道板22电子倍增器40、通道电子倍增器40或混合型电子倍增器40。电子倍增器40通过第三信号线53与多通道ADC采集卡10电性连接。如此，电子倍增器40用于对信号进行增益放大，具有高压输入端和信号输出端。高压输入端位于电子倍增器40的侧面并用于接入高压，离子在高压的作用下进入到电子倍增器40内部并产生电信号，该电信号经信号输出端与第三信号线53传输给多通道ADC采集卡10，由多通道ADC采集卡10采集。其中，电子倍增器40施加-2600～-4000V的高压，其信号增益可以达到10⁵倍至10⁸倍。

在一个实施例中，电子倍增器40包括但不限于为连续打拿极通道电子倍增器40、不连续打拿极通道电子倍增器40或闪烁光电倍增器。当设置为连续打拿极通道电子倍增器40时，形状为漏斗状，其工作原理为当一个高速的带电粒子撞击到电子倍增器40内壁上，可产生数个二次电子，在二次电子穿越通道管的过程中，它会多次碰撞通道管的内壁，从而连续产生一连串大量的二次电子，电子流最终到达阳极进行检测。电子倍增器40施加-800～-2000V的高压，其信号增益可以达到几千倍甚至几万倍

请参阅图1，在一个实施例中，微通道板增益组件20、法拉第筒30与电子倍增器40三者平行布置。

在一个实施例中，金属外筒32与金属内筒31均采用不锈钢材料制造。此外，第一检测区极片24、第二检测区极片25、第三检测区极片26、栅网极片21各自采用不锈钢材料制造。

请参阅图1，在一个实施例中，一种质谱仪，质谱仪包括上述任一实施例的用于检测不同质量数离子的检测装置。

上述的质谱仪，由于至少两个检测组件用于依次布置于质谱仪的检测区，至少两个检测组件均通过信号线与多通道ADC采集卡10电性连接，从而能实现检测组件的单个阳极部件对相应质量数离子的单独检测，各个阳极部件接收的电信号由单独的ADC采集卡通道记录，进而能减少不同种类离子间的相互干扰。与现有单阳极检测器结构的飞行时间质谱仪相比，本实施例中将不同种类的离子引入不同的检测器部件进行检测，可以避免所有离子在同一个阳极检测导致ADC采集卡的饱和效应。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

Claims (10)

1.一种用于检测不同质量数离子的检测装置，其特征在于，所述用于检测不同质量数离子的检测装置包括：

多通道ADC采集卡；以及

至少两个检测组件，至少两个所述检测组件用于依次布置于质谱仪的检测区，至少两个所述检测组件均通过信号线与所述多通道ADC采集卡电性连接，至少两个所述检测组件用于分别对应接收至少两种不同质量数的离子，以及在接收到相应质量数的所述离子后产生电信号。

2.根据权利要求1所述的用于检测不同质量数离子的检测装置，其特征在于，所述至少两个检测组件包括微通道板增益组件、法拉第筒与电子倍增器。

3.根据权利要求2所述的用于检测不同质量数离子的检测装置，其特征在于，所述微通道板增益组件包括依次设置的栅网极片、微通道板、以及接收阳极板，所述接收阳极板通过第一信号线与所述多通道ADC采集卡电性连接。

4.根据权利要求3所述的用于检测不同质量数离子的检测装置，其特征在于，所述栅网极片的中部设有部分检测离子穿过的第一安装孔，所述栅网极片的栅网部位为金属丝栅网，所述金属栅网设于所述第一安装孔处；

所述微通道板为多个，多个所述微通道板间隔设置，所述阳极板与多个所述微通道板同轴心布置。

5.根据权利要求4所述的用于检测不同质量数离子的检测装置，其特征在于，多个所述微通道板分别为第一微通道板、第二微通道板与第三微通道板；

所述的微通道板增益组件还包括依次间隔设置的第一检测区极片、第二检测区极片以及第三检测区极片；所述第一检测区极片设有第一通孔，所述第二检测区极片设有第二通孔，所述第三检测区极片设有第三通孔，所述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔均和所述第一安装孔位置相应设置；所述第一微通道板位于所述栅网极片与所述第一检测区极片之间，且所述第一微通道板的两侧面的边缘分别与所述栅网极片与所述第一检测区极片电性接触；所述第二微通道板位于所述第一检测区极片与所述第二检测区极片之间，且所述第二微通道板的两侧面的边缘分别与所述第一检测区极片与所述第二检测区极片电性接触；所述第三微通道板位于所述第二检测区极片与所述第三检测区极片之间，且所述第三微通道板的两侧面的边缘分别与所述第二检测区极片与所述第三检测区极片电性接触；所述栅网极片与所述第一检测区极片之间电连接有第一分压电阻，所述第一检测区极片与所述第二检测区极片之间电连接有第二分压电阻，所述第二检测区极片与所述第三检测区极片之间电连接有第三分压电阻，所述第三检测区极片通过第四分压电阻接地设置。

6.根据权利要求5所述的用于检测不同质量数离子的检测装置，其特征在于，所述微通道板增益组件还包括设置于所述栅网极片与所述第一检测区极片之间的第一绝缘垫，设置于所述第一检测区极片与所述第二检测区极片之间的第二绝缘垫，设置于所述第二检测区极片与所述第三检测区极片之间的第三绝缘垫。

7.根据权利要求2所述的用于检测不同质量数离子的检测装置，其特征在于，所述法拉第筒包括金属内筒及套设于所述金属内筒外的金属外筒，所述金属内筒用于接收离子流，所述金属内筒通过第二信号线与所述多通道ADC采集卡电性连接，所述金属外筒用于施加直流负高压。

8.根据权利要求2所述的用于检测不同质量数离子的检测装置，其特征在于，所述电子倍增器为多级分离式电子倍增器、微通道板电子倍增器、通道电子倍增器或混合型电子倍增器，所述电子倍增器通过第三信号线与所述多通道ADC采集卡电性连接。

9.根据权利要求2-8任一项所述的用于检测不同质量数离子的检测装置，其特征在于，所述微通道板增益组件、所述法拉第筒与所述电子倍增器三者平行布置。

10.一种质谱仪，其特征在于，所述质谱仪包括如权利要求1至9任一项所述的用于检测不同质量数离子的检测装置。