CN118092090A - 曝光机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及曝光机技术领域，尤其涉及一种曝光机。装载机构通过吸附的方式固定待曝光件。当待曝光件放置于装载机构时，待曝光件对吸附孔进行封堵，通过负压装置使吸附孔形成负压，通过大气压力将待曝光件固定于装载机构。由于待曝光件区域内的吸附孔主要由待曝光件承受大气压力，因此密封件受到的大气压力较小，弹性件使密封件解除对吸附孔的密封。而待曝光件区域外的吸附孔没有待曝光件承受大气压力，因此，由密封件承受大部分的大气压力，使密封件紧贴装载台组件，对吸附孔进行封堵，防止漏气现象的产生，保证装载机构吸附待曝光件的有效性，并降低负压装置的功率，降低曝光设备的能耗。如此，降低曝光机能耗。

Description

曝光机

技术领域

本申请涉及曝光机技术领域，尤其涉及一种曝光机。

背景技术

当下市场竞争越来越激烈，为了提升企业的竞争力，企业越来越倾向于选择低能耗、高生产效率的设备。

目前的曝光设备大多为单装载台的曝光设备，将待曝光件放入曝光设备后，再通过曝光设备中各装置的动作完成对待曝光件的曝光加工。曝光设备对待曝光件的曝光加工通常是单件加工，这样会导致生产效率低。而在对待曝光件进行曝光的过程中，通常采用装载机构通过真空吸附的方式对待曝光件进行固定。在固定待曝光件的过程中，由于吸附孔难以形成有效的密封，因此会使曝光设备的能耗增加。

可见，如何提高曝光设备的生产效率，降低曝光设备能耗是亟待解决的技术问题。

发明内容

本申请提供的一种曝光机，旨在解决现有技术中如何提高曝光设备的生产效率，降低曝光设备能耗的技术问题。

本申请提供的一种曝光机，包括：

至少两个装载机构，所述装载机构用于装载待曝光件，所述装载机构并排布置；

曝光机构，所述曝光机构用于对所述待曝光件进行曝光；

所述装载机构包括：

装载台组件，所述装载台组件设置有若干吸附孔，所述吸附孔用于吸附所述待曝光件；

负压装置，所述负压装置用于使吸附孔形成负压；

弹性件，所述弹性件设置于所述吸附孔内；

密封件，所述密封件与所述弹性件相连，所述密封件用于密封所述吸附孔；

其中，若所述吸附孔未吸附所述待曝光件，所述密封件密封所述吸附孔，并使所述弹性件发生弹性形变；

若所述吸附孔吸附所述待曝光件，所述弹性件使所述密封件移动，进而解除对所述吸附孔的密封。

更进一步地，所述吸附孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔与所述第二孔连通，所述第一孔的直径大于所述第二孔的直径；

所述弹性件位于所述第二孔且部分伸入所述第一孔，所述密封件位于所述第一孔。

更进一步地，所述第一孔与所述第二孔之间设置有密封斜面，所述密封件与所述密封斜面相适配。

更进一步地，所述密封件包括球形面，所述第一孔和所述第二孔均包括圆柱形孔；

所述球形面朝向所述第二孔；

所述球形面的直径小于所述第一孔的直径，所述密封件的直径大于所述第二孔的直径。

更进一步地，所述装载机构还包括限位板，所述限位板设置有若干限位孔，所述限位孔的位置与所述吸附孔的位置相对应，所述限位孔的直径小于所述密封件的直径。

更进一步地，所述弹性件包括伸缩式弹簧。

更进一步地，本申请提供的一种曝光机还包括：

第一移动组件，所述第一移动组件带动所述曝光机构沿第一方向移动；

第二移动组件，所述第二移动组件带动所述曝光机构沿第二方向移动；

其中，所述第一方向配置为沿所述曝光机构的扫描方向，所述第二方向配置为沿所述曝光机构的出光方向。

更进一步地，本申请提供的一种曝光机还包括：

控制器，所述控制器用于控制所述曝光机构，所述控制器随所述曝光机构在至少一个移动方向上同步移动。

更进一步地，所述第一移动组件包括：

第一基座；

第一驱动组件，所述第一驱动组件安装于所述第一基座，所述第一驱动组件沿所述曝光机构的扫描方向布置；

第一直线导轨组件，所述第一直线导轨组件的数量至少为两个，所述第一直线导轨组件安装于所述第一基座，所述第一直线导轨组件与所述第一驱动组件平行布置；

第一安装座，所述第一安装座安装于所述第一驱动组件的动力输出端，所述第一安装座与所有所述第一直线导轨组件相连，所述第一直线导轨组件对所述第一安装座进行导向；

其中，所述第二移动组件和所述控制器均安装于所述第一安装座；

所述曝光机构安装于所述第二移动组件的动力输出端。

更进一步地，所述第二移动组件包括电动丝杆模组。

本申请所达到的有益效果是：

本申请提出的一种曝光机，装载机构通过吸附的方式固定待曝光件。当待曝光件放置于装载机构时，待曝光件对吸附孔进行封堵，通过负压装置使吸附孔形成负压，进而通过大气压力将待曝光件固定于装载机构。由于待曝光件区域内的吸附孔主要由待曝光件承受大气压力，因此密封件受到的大气压力较小，此时，弹性件使密封件解除对吸附孔的密封。而待曝光件区域外的吸附孔没有待曝光件承受大气压力，因此，由密封件承受大部分的大气压力，进而使密封件紧贴装载台组件，进而对吸附孔进行封堵，防止漏气现象的产生，进而保证装载机构吸附待曝光件的有效性，并降低负压装置的功率，进而降低曝光设备的能耗。如此，降低曝光机能耗。

附图说明

图1是本发明实施例中曝光机的立体结构示意；

图2是本发明实施例中曝光机安装机罩的立体结构示意图；

图3是本发明实施例中曝光机构的立体结构示意图；

图4是本发明实施例中检测装置的立体结构剖视图；

图5是本发明实施例中发生倾斜时检测装置的立体结构剖视图；

图6是本发明实施例中装载机构的立体结构示意图；

图7是本发明实施例中装载机构的爆炸视图；

图8是本发明实施例中装载机构的剖视图；

图9是本发明实施例的图8中A处的放大视图。

主要元件符号说明：

100、曝光机；10、装载机构；11、装载台组件；111、吸附孔；112、第一孔；113、第二孔；114、密封斜面；12、弹性件；13、密封件；14、下封板；141、连通槽；142、抽气孔；15、转接件；16、密封圈；17、限位板；171、限位孔；20、曝光机构；21、安装支架；22、曝光头；23、检测装置；231、悬挂支架；232、触点支架；233、触点件；234、悬挂绳；235、配重球；236、运算单元；30、控制器；40、移动机构；41、第一移动组件；411、第一基座；412、第一驱动组件；413、第一直线导轨组件；414、第一安装座；42、第二移动组件；43、导向装置；431、第二基座；432、第二驱动组件；433、第二直线导轨组件；434、第二安装座；435、第三直线导轨组件；50、液冷系统；60、机罩；61、进风口；62、出风口；70、风冷系统；80、待曝光件。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。此外，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其它工艺的应用和/或其它材料的使用。

请参阅图1及图6至图7，在本申请的一些实施例中，本申请提供的一种曝光机100，包括装载机构10和曝光机构20。

装载机构10的数量至少为两个，装载机构10用于装载待曝光件80，装载机构10并排布置。曝光机构20用于对待曝光件80进行曝光。

装载机构10包括装载台组件11、负压装置、弹性件12以及密封件13。装载台组件11设置有若干吸附孔111，吸附孔111用于吸附待曝光件80。负压装置用于使吸附孔111形成负压。弹性件12设置于吸附孔111内。密封件13与弹性件12相连，密封件13用于密封吸附孔111。其中，若吸附孔111未吸附待曝光件80，密封件13密封吸附孔111，并使弹性件12发生弹性形变。若吸附孔111吸附待曝光件80，弹性件12使密封件13移动，进而解除对吸附孔111的密封。

当待曝光件80放置于装载机构10时，待曝光件80对吸附孔111进行封堵，通过负压装置使吸附孔111形成负压，进而通过大气压力将待曝光件80固定于装载机构10。由于待曝光件80区域内的吸附孔111主要由待曝光件80承受大气压力，因此密封件13受到的大气压力较小，此时，弹性件12使密封件13解除对吸附孔111的密封。而待曝光件80区域外的吸附孔111没有待曝光件80承受大气压力，因此，由密封件13承受大部分的大气压力，进而使密封件13紧贴装载台组件11，进而对吸附孔111进行封堵，防止漏气现象的产生，进而保证装载机构10吸附待曝光件80的有效性，并降低负压装置的功率，进而降低曝光设备的能耗。如此，降低曝光机100能耗。

在本申请的一些实施例中，装载机构10的数量为两个，装载机构10用于装载待曝光件80，装载机构10并排布置，本实施例为双工位曝光机构，对两个待待曝光件进行曝光。曝光机构20用于对待曝光件80进行曝光。控制器30用于控制曝光机构20。移动机构40用于带动曝光机构20移动。

通过至少两个装载机构10分别对待曝光件80进行装载，进而使一台曝光机100能同时对多个待曝光件80进行曝光操作，进而提高曝光设备的生产效率。装载机构10通过吸附的方式固定待曝光件80。

在本发明其他实施例中，装载机构10的数量为一个，为单工位的曝光机100，即曝光时，对一个待曝光件80进行曝光。

请参阅图1至图2，在本申请的一些实施例中，本申请提出的一种双台面曝光机100，包括：装载机构10、曝光机构20、控制器30以及移动机构40。

装载机构10的数量至少为两个，装载机构10用于装载待曝光件80，装载机构10并排布置。曝光机构20用于对待曝光件80进行曝光。控制器30用于控制曝光机构20。移动机构40用于带动曝光机构20移动。

其中，控制器30随曝光机构20在至少一个移动方向上同步移动。

通过至少两个装载机构10分别对待曝光件80进行装载，进而使一台曝光机100能同时对多个待曝光件80进行曝光操作。装载机构10可通过移动机构40带动，进而在曝光工位与上下料工位之间移动。当装载机构10到达上下料工位后，若装载机构10空载，则将待曝光件80上料至装载机构10，通过装载机构10对待曝光件80进行装载，通过移动机构40将装载有待曝光件80的装载机构10移动至曝光工位，进而通过曝光机构20对待曝光件80进行曝光。在曝光机构20对待曝光件80进行曝光的过程中，通过控制器30对曝光机构20进行控制，精确控制曝光头22的工作状态，确保电子电路图形能够准确、高效地转换成可以曝光在待曝光件80上的图案。控制器30可通过接收来自操作控制系统的指令，对曝光头22的工作参数进行精确调整，如光源的强度、曝光时间等，进而保证曝光效果和质量。

在曝光工位对待曝光件80完成曝光后，移动机构40带动装载有曝光完成的待曝光件80移动至上下料工位，进而对完成曝光的待曝光件80进行下料。当其中一个装载机构10在上下料工位对待曝光件80进行上下料的，其他装载机构10可在曝光工位使曝光机100对待曝光件80进行曝光。如此，通过至少两个装载机构10带动待曝光件80在各工位之间流转，进而使各工位之间的动作时间能实现重合，进而提高曝光机100的工作效率。

通过使控制器30随曝光机构20同步移动，进而减小控制器30与曝光机构20之间的距离，进而减小光纤的长度，从而降低光源在传播过程中的光损，降低控制器30的功率，进而降低控制器30的发热量，从而降低曝光机100因受热产生形变的风险，进而避免曝光机100因产生热形变而降低曝光机100的精度。

通过使控制器30随曝光机构20同步移动，进而避免控制器30散发的热量对曝光机100的局部加热，从而使曝光机100的受热更加均匀，进而降低曝光机100产生热形变的风险，进而避免曝光机100因产生热形变而降低曝光机100的精度。

通过使控制器30随曝光机构20同步移动，从而避免控制器30与曝光机构20产生相对移动，从而降低光纤与曝光机构20及控制器30连接处产生松动的风险，进而提高曝光机100的可靠性。

如此，保证曝光机100精度及可靠性。

请参阅图1，在本申请的一些实施例中，移动机构40包括：第一移动组件41和第二移动组件42。第一移动组件41带动曝光机构20沿第一方向移动。第二移动组件42带动曝光机构20沿第二方向移动。其中，第一方向配置为沿曝光机构20的扫描方向，第二方向配置为沿曝光机构20的出光方向。

在曝光机构20对待曝光件80进行曝光的过程中，曝光机构20位于待曝光件80的上方，通过第二移动组件42带动曝光机构20沿第二方向移动，进而调整曝光机构20与待曝光件80之间的距离，进而使待曝光件80与曝光机构20之间的距离接近曝光机构20的焦距，从而保证曝光机100的曝光效果。

对于不同型号的待曝光件80，待曝光件80的厚度有所差异。当对待曝光件80进行换型后，可通过第二移动组件42调节曝光机构20的高度，进而使曝光机构20的焦点位于待曝光件80，进而保证曝光效果。

在本申请的一些实施例中，可在控制系统预设与不同型号待曝光件80对于的曝光机构20高度。

当对待曝光件80换型后，可输入待曝光件80型号，即可通过第二移动组件42自动调节曝光机构20的高度，进而使曝光机构20的焦点位于待曝光件80，进而保证曝光效果。

在本申请的一些实施例中，可在待曝光件80或装载机构10设置二维码或识别标签，携带关于待曝光件80的如厚度等相关信息。

通过读取二维码或识别标签所携带的信息，进而获取待曝光件80的厚度信息，即可通过第二移动组件42自动调节曝光机构20的高度，进而使曝光机构20的焦点位于待曝光件80，进而保证曝光效果。

在本申请的一些实施例中，可设置测距传感器，通过测距传感器检测待曝光件80距离测距传感器之间的距离，进而计算待曝光件80厚度的变化，第二移动组件42根据待曝光件80厚度的变化，自动调节曝光机构20的高度，进而使曝光机构20的焦点位于待曝光件80，进而保证曝光效果。

在本申请的一些实施例中，可在曝光机构20设置测距传感器，通过测距传感器检测待曝光件80至曝光机构20之间的距离，进而通过第二移动组件42根据待曝光件80至曝光机构20之间的距离自动调节曝光机构20的高度，使曝光机构20的焦点位于待曝光件80，进而保证曝光效果。

在曝光机构20对待曝光件80曝光的过程中，通过第一移动组件41带动曝光机构20移动，进而使曝光机构20对待曝光件80进行扫描，使曝光机构20对待曝光件80能到达待曝光件80的所有待曝光区域并完成对待曝光件80的曝光。

在本申请的一些实施例中，可将测距传感器安装于曝光机构20移动方向的前方随曝光机构20同步移动。

在曝光机构20对待曝光件80曝光的过程中，由于测距传感器安装于曝光机构20移动方向的前方且随曝光机构20同步移动，因此测距传感器先到达待曝光件80，进而检测待曝光件80与曝光机构20之间的距离，进而通过第二移动组件42带动曝光机构20在第二方向上移动，根据测距传感器检测到的距离数据调节待曝光件80与曝光机构20之间的距离，并通过第一移动组件41带动曝光机构20在第一方向上移动，从而完成对待曝光件80的曝光。若同一待曝光件80有多个待曝光面，且待曝光面的高度不同，可通过测距传感器实时检测曝光机构20与待曝光件80之间的距离，进而通过第二移动组件42实时调节曝光机构20与待曝光件80之间的距离，从而使曝光机100能完成对异形待曝光件80的曝光，且使曝光效果符合预期要求。

请参阅图1，在本申请的一些实施例中，控制器30随曝光机构20在第一方向上同步移动。

在曝光机构20对待曝光件80曝光的过程中，由于不同型号的待曝光件80之间的厚度差异较小，因此第二移动组件42的移动距离较小，进而对光纤的影响较小。而为了对待曝光件80的全部待曝光区域进行曝光，因此，曝光机构20在第一方向上移动的路径较长，对光纤的影响较大。通过使控制器30随曝光机构20在第一方向上同步移动，可避免控制器30与曝光机构20产生相对移动，从而降低光纤与曝光机构20及控制器30连接处产生松动的风险，进而提高曝光机100的可靠性。

在本申请的一些实施例中，可将曝光机构20与控制器30均安装于第一移动组件41，进而通过第一移动组件41带动控制器30与曝光机构20同步移动。也可增设移动装置，提供移动装置带动控制器30移动，通过第一移动组件41带动曝光机构20移动，并使移动装置与第一移动组件41同步动作，进而使控制器30与曝光机构20同步移动。

在本申请的一些实施例中，第一移动组件41包括第一基座411、第一驱动组件412、第一直线导轨组件413以及第一安装座414。第一驱动组件412安装于第一基座411，第一驱动组件412沿曝光机构20的扫描方向布置。第一直线导轨组件413的数量至少为两个，第一直线导轨组件413安装于第一基座411，第一直线导轨组件413与第一驱动组件412平行布置。第一安装座414安装于第一驱动组件412的动力输出端，第一安装座414与所有第一直线导轨组件413相连，第一直线导轨组件413对第一安装座414进行导向。其中，第二移动组件42和控制器30均安装于第一安装座414。曝光机构20安装于第二移动组件42的动力输出端。

将第一驱动组件412与第一直线导轨组件413安装于第一基座411，进而使第一驱动组件412与第一直线导轨组件413的相对位置保持固定，并提高第一驱动组件412与第一直线导轨组件413相对位置的位置精度。

在曝光机构20对待曝光件80进行曝光的过程中，第一驱动组件412运转，进而带动第一安装座414在第一直线导轨组件413的导向下在第一方向上移动，进而通过第一安装座414带动第二移动组件42、曝光机构20以及控制器30在第一方向上同步移动。

通过多个第一直线导轨组件413进行导向，进而提高第一移动组件41的结构强度及稳定性，避免曝光机构20在移动过程中产生晃动或位置偏差，提高曝光机100的曝光精度。

通过第二移动组件42带动曝光机构20在第二方向上移动，进而调节曝光机构20的高度，从而使曝光机100能适应不同厚度待曝光件80的曝光。

在本申请的一些实施例中，第一驱动组件412可以包括第一直线电机组件，第一直线电机组件包括第一定子组件和第一动子组件。第一定子组件固定安装于第一基座411，第一动子组件固定安装于第一安装座414。在第一驱动组件412运转的过程中，第一定子组件驱动第一动子组件移动，进而通过第一动子组件带动第一安装座414移动，进而通过第一安装座414带动第二移动组件42、曝光机构20以及控制器30在第一方向上同步移动。

在本申请的一些实施例中，所述第二移动组件42包括电动丝杆模组。

将曝光机构20安装于电动丝杆模组的动力输出端，将电动丝杆模组竖直安装，进而通过电动丝杆模组带动曝光机构20在竖直方向上移动，从而通过第二移动组件42调节曝光机构20的高度，从而使曝光机100能适应不同厚度待曝光件80的曝光。

请参阅图1，在本申请的一些实施例中，移动机构40还包括导向装置43，导向装置43包括第二基座431、第二驱动组件432、第二直线导轨组件433、第二安装座434以及第三直线导轨组件435。第二基座431与第一基座411平行布置，第二基座431与第一基座411分别位于曝光机构20的两侧。第二驱动组件432安装于第二基座431，第二驱动组件432与第一驱动组件412平行布置，第二驱动组件432与第一驱动组件412同步运行。第二直线导轨组件433安装于第二基座431，第二直线导轨组件433与第一直线导轨组件413平行布置。第二安装座434安装于第二直线导轨组件433。第三直线导轨组件435安装于第二安装座434，第三直线导轨组件435平行于第二移动组件42，第三直线导轨组件435与曝光机构20相连。

将第二驱动组件432与第二直线导轨组件433安装于第二基座431，进而使第二驱动组件432与第二直线导轨组件433的相对位置保持固定，并提高第二驱动组件432与第二直线导轨组件433相对位置的位置精度。

在曝光机构20沿第一方向移动的过程中，通过导向装置43在曝光机构20远离第一移动组件41的一侧对曝光机构20进行导向，进而避免曝光机构20形成悬臂结构，使曝光机构20受力更加均匀，从而防止曝光机构20在重力作用下发生偏转，提高曝光机构20的曝光精度及工作过程的可靠性。

在导向装置43对曝光机构20进行导向的过程中，通过第二驱动组件432与第一驱动组件412同步运转，进而使曝光机构20两侧受力均匀，进而使曝光机构20能在第一方向上平移。通过第二直线导轨组件433组件进行导向，提高导向装置43的结构强度，使曝光机构20的运动结构更加稳定。

在曝光机构20沿第二方向移动的过程中，通过第三直线导轨组件435在远离第一移动组件41的一侧对曝光机构20进行导向和支撑，从而平衡曝光机构20受到的重力，从而防止曝光机构20在重力作用下发生偏转，提高曝光机构20的曝光精度及工作过程的可靠性。

请参阅图1至图2，在本申请的一些实施例中，本申请提供的一种双台面曝光机100还包括液冷系统50。液冷系统50用于冷却控制器30。

通过液冷系统50对控制器30进行冷却，进而防止控制器30的温度过高，从而提高控制器30的精度和可靠性。通过冷却系统使控制器30的温度保持稳定，避免控制器30的温度波动过大，从而提高曝光机100的曝光精度和一致性。

在本申请的一些实施例中，冷却系统包括液冷机和液冷管。液冷管按照设计路径盘绕于控制器30。液冷机用于使液冷管内的冷却液循环流动，并对冷却液降温。

在冷却液经过控制器30的过程中，冷却液吸收来自控制器30的热量，并通过液冷机使冷却液在液冷管内流动。在冷却液经过液冷机的过程中，通过液冷机使冷却液降温，并使降温后的冷却液再次经过控制器30。如此循环，通过冷却系统对控制器30进行降温。

请参阅图1至图2，在本申请的一些实施例中，本申请提供的一种双台面曝光机100还包括机罩60和风冷系统70。机罩60至少罩设于曝光机构20和控制器30。风冷系统70用于使机罩60内部空间降温。

通过将机罩60至少罩设于曝光机构20和控制器30，进而减小曝光机100外部环境对曝光机构20和控制器30的影响，提高曝光机构20和控制器30的温度的稳定性，避免控制器30的温度波动过大，从而提高曝光机100的曝光精度和一致性。通过风冷系统70对机罩60内部空间进行降温，进而使曝光机构20和控制器30处于低温环境，进而防止控制器30的温度过高，从而提高控制器30的精度和可靠性。

在本申请的一些实施例中，机罩60设置有进风口61和出风口62，进风口61高度高于控制器30高度，出风口62高度低于控制器30高度。

通过风冷系统70从进风口61向机罩60内输送降温后的空气，进而降低机罩60内的温度。通过出风口62对机罩60内进行抽风，从而提高机罩60内空气的流动性，进而通过流动的空气带走控制器30散发的热量，避免控制器30的温度过高。

由于温度较低的空气密度较低，因此将进风口61的高度设置为高于控制器30的高度，进而使低温空气能更加快速地到达控制器30。通过使出风口62的高度低于控制器30的高度，进而在机罩60内形成对流的空气气流，并使空气气流经过控制器30带走控制器30散发的热量，改善风冷系统70对控制器30的降温效果。

在本申请的一些实施例中，风冷系统70包括冷风机、出风管道和进风管道。出风管道连接机罩60的进风口61，进风管道连接机罩60的出风口62。

在冷风机运转的过程中，通过进风管道对机罩60的内部空间进行抽气，将吸收有控制器30热量的空气吸入至冷风机，进而通过冷风机对空气进行降温，并将降温后的空气通过出风管道从机罩60的进风口61吹入机罩60的内部空间，进而通过降温后的空气带走控制器30散发的热量，进而防止控制器30的温度过高，从而提高控制器30的精度和可靠性。

在本申请的一些实施例中，出风管道设置有第一风门，进风管道设置有第二风门和第三风门。第一风门连通进风口61，第一风门用于控制进风口61的风量。第二风门连通出风口62，第二风门用于控制出风口62的出风量。第三风门连通大气空间，第三风门用于控制冷风机的进风量。

在本申请的一些实施例中，进风口61处设置有第一温度传感器，第一温度传感器用于检测进风口61处的温度。出风口62处设置有第二温度传感器，第二温度传感器用于检测出风口62的温度。控制器30处设置有第三温度传感器，第三温度传感器用于检测控制器30处的温度。

通过计算第二温度传感器检测到的第二温度与第一温度传感器检测到的第一温度的计算差值，判断风冷系统70对机罩60内环境的冷却效果。

若计算差值小于差值阈值，且第三温度传感器检测到的第三温度高于温度阈值，则说明气流经过控制器30后温度上升不明显，且控制器30的降温效果未达到预期要求，进而判断风冷系统70的冷却效果未达到预期要求。在这种情况下，表明出风口62的空气流速过大，进而导致机罩60内冷空气流失过快，使冷空气还未吸收足够的热量即被抽出机罩60。此时，可关小第二风门的开度，降低出风口62的空气的流速，这种情况下，可增大第三风门的开度，使冷风机能从大气空间抽取更多的空气，进而保证冷风机的进气量。

若计算差值大于差值阈值，且第三温度传感器检测到的第三温度高于温度阈值，则说明气流经过控制器30后温度上升明显，但控制器30的降温效果未达到预期要求，进而判断风冷系统70的冷却效果未达到预期要求。在这种情况下，表明进风口61的空气流速过小，导致机罩60内的冷空气量不足。此时，可增大第一风门的开度，提高进风口61的进气量，改善风冷系统70的降温效果。

在本申请的一些实施例中，可在出风管道设置第一气压传感器，在进风管道设置第二气压传感器，在机罩60内设置第三气压传感器。第一气压传感器用于检测冷风机的出风气压，第二气压传感器用于检测冷风机的进气气压，第三气压传感器用于检测机罩60内的气压。

若第一气压传感器检测到的第一气压数据大于第一气压阈值，则表明冷风机的输出功率过大或者第一风门开度过小，若此时第三温度传感器检测到的第三温度高于第三温度阈值，则开大第一风门的开度，改善风冷系统70的降温效果；若此时第三温度传感器检测的第三温度低于第三温度阈值，则降低冷风机的输出功率，减小风冷系统70的能耗。

可通过第三气压传感器检测到的第三气压数据调节第一风门的开度和第二风门的开度。

若第三气压数据高于第三气压阈值，则说明机罩60内的气压过大，此时可以判断第一风门开度过大、冷风机的输出功率过大或者第二风门开度过小。若第三温度传感器检测到的第三温度高于第三温度阈值，则开大第二风门的开度，并根据第一温度传感器检测到的第一温度与第二温度传感器检测到的第二温度之间的温度差值调节第一风门的开度，进而改善风冷系统70的降温效果。若第三温度传感器检测到的第三温度低于第三温度阈值，则降低冷风机的输出功率，并第一气压传感器检测到的第一气压数据，则调节第一风门的开度，保证风冷系统70的降温效果。

若第三气压数据低于第三气压阈值，则说明机罩60内的气压过小，此时可以判断第一风门开度过小、冷风机的输出功率过小或第二风门开度过大。若此时第三温度传感器检测到的第三温度高于第三温度阈值，则可增大冷风机的输出功率，并根据第一气压阈值以及第一温度传感器检测到的第一温度与第二温度传感器检测到的第二温度之间的温度差值调节第一风门与第二风门的开度，进而在降低风冷系统70能耗的同时，保证风冷系统70的降温效果。

可通过第二气压传感器检测到的第二气压数据调节第二风门的开度和第三风门的开度的比例。

若第一温度传感器、第二温度传感器以及第三温度传感器检测到的温度数据均在预期范围内，但第二气压传感器检测到的第二气压数据低于第二气压阈值，则说明冷风机的进气量过小，但第二风门的开度在预期范围内，此时应开打第三风门，增大冷风机从大气空间内对空气的抽气量，提高冷风机的进气量。

在本申请的一些实施例中，可在出风口62设置流速传感器，流速传感器用于检测出风口62的气流速度。

若流速传感器检测到的气流速度低于流速阈值，则表明第二风门的开度过小或者冷风机的输入功率过小。若此时第二气压传感器检测到的第二气压数据低于第二气压阈值，则增大第二风门的开度，提高出风口62的空气流速；若此时第二气压传感器检测到的第二气压数据高于或等于第二气压阈值，则提高冷风机的输入功率，提高冷风机的抽气能力，在这个过程中没感觉第二气压数据调节第三风门的开度，进而调节冷风机的进气量。

请参阅图1至图3，在本申请的一些实施例中，曝光机构20包括安装支架21、曝光头22以及检测装置23。安装支架21安装于移动机构40。曝光头22固定安装于安装支架21。检测装置23用于检测曝光头22的倾斜角度。

通过检测装置23检测曝光头22的倾斜角度，进而保证曝光头22的出光角度符合预期要求，使曝光机100的曝光精度符合预期要求。若检测装置23检测到曝光头22发生倾斜，则可通过手动调节，使曝光头22的出光角度符合预期要求。也可增设调节装置，对曝光头22的出光角度进行自动调节，使曝光头22的出光角度设置保持在预期范围内，进而保证曝光机100的曝光精度符合预期要求。

请参阅图3至图4，在本申请的一些实施例中，其特征在于，检测装置23包括：悬挂支架231、触点支架232、悬挂绳234、配重球235以及运算单元236。

悬挂支架231固定安装于安装支架21。触点支架232的内壁为半球形，触点支架232不具有导电性，触点支架232的内壁的经纬线处设置有多个触点件233。悬挂绳234的第一端部安装于悬挂支架231，第一端部与触点支架232的球心重合，悬挂绳234具有导电性。配重球235安装于悬挂绳234的第二端部，配重球235具有导电性。运算单元236与悬挂绳234、配重球235以及触点件233相连。

其中，曝光头22的光轴处于竖直状态时，悬挂绳234的中心线与曝光头22的光轴共线。悬挂绳234处于绷直状态时，配重球235与触点支架232的内壁相切，配重球235接触触点件233后触发触点件233。运算单元236被配置为根据被触发的触点件233的编号计算曝光头22的倾斜角度。

请参阅图3，当悬挂绳234处于设置状态时，则说明曝光头22的出光角度符合预期要求，此时，配重球235与触点支架232最低点处的触点件233导通，运算单元236感觉触点件233的变化判断曝光头22的出光角度在预期范围内。

请参阅图4，当曝光头22发生倾斜，则通过安装支架21带动悬挂支架231、触点支架232、触点件233均发生倾斜。而此时悬挂绳234在配重球235的重力作用下，悬挂绳234依旧保持竖直状态，此时，配重球235与触点支架232发生相对移动，又，触点支架232的内壁为半球形且悬挂绳234的第一端部与触点支架232的球心重合，并且悬挂绳234处于绷直状态时，配重球235与触点支架232的内壁相切，因此配重球235始终与触点支架232的内壁接触。若配重球235与触点支架232发生相对移动，触点支架232原来位于高处的相应触点会随触点件233支架移动至触点支架232的最低处，而原先采用最低处的那个触点件233则随触点支架232移动至高处。而配重球235由于重力作用，其位置未发生改变，配重球235则始终与触点支架232位于最低处的触点接触。当对应的触点件233到达触点支架232的最低处后，即与配重球235导通，运算单元236则根据该触点件233的编号计算曝光头22的倾斜角度。可以理解的是，触点支架232上的每个触点件233均配置有编号，而每个编号均对应一个倾斜角度，如此，运算单元236即可根据触点件233的编号计算曝光头22的倾斜角度。工作人员或调节机构则根据检测到的倾斜角度调节曝光头22的出光角度，使触点支架232顶部的触点件233回到触点支架232的最低处，进而完成对曝光头22出光角度的调节，保证曝光机100的曝光精度。

请参阅图6至图7，在本申请的一些实施例中，本申请提供的一种装载机构10，包括装载台组件11、弹性件12以及密封件13。装载台组件11用于装载待曝光件80，装载台组件11设置有若干吸附孔111，吸附孔111用于吸附待曝光件80。弹性件12设置于吸附孔111内。密封件13与弹性件12相连，密封件13用于密封吸附孔111。其中，若吸附孔111未吸附待曝光件80，密封件13密封吸附孔111，并使弹性件12发生弹性形变。若吸附孔111吸附待曝光件80，弹性件12使密封件13移动，进而解除对吸附孔111的密封。

通过吸附的方式固定待曝光件80。当待曝光件80放置于装载机构10时，待曝光件80对吸附孔111进行封堵，通过负压装置使吸附孔111形成负压，进而通过大气压力将待曝光件80固定于装载机构10。由于待曝光件80区域内的吸附孔111主要由待曝光件80承受大气压力，因此密封件13受到的大气压力较小，此时，弹性件12使密封件13解除对吸附孔111的密封。而待曝光件80区域外的吸附孔111没有待曝光件80承受大气压力，因此，由密封件13承受大部分的大气压力，进而使密封件13紧贴装载台组件11，进而对吸附孔111进行封堵，防止漏气现象的产生，进而保证装载机构10吸附待曝光件80的有效性，并降低负压装置的功率，进而降低曝光设备的能耗。如此，提高装载机构10的可靠性，降低曝光设备能耗。

请参阅图7至图8，在本申请的一些实施例中，本申请提供的一种装载机构10还包括下封板14。下封板14与装载台组件11相连且形成密封。下封板14设置有连通槽141，连通槽141用于连通至少两个吸附孔111。

通过连通槽141连通至少两个吸附孔111，进而在外部负压装置对装载机构10进行抽气时，通过少量的抽气孔142即可使多个吸附孔111产生负压，减少抽气管路的设置，进而降低气路系统的复杂度，便于拆装和维护。

而由于吸附孔111相互连通，若吸附孔111中有部分漏气，则会影响装载机构10对待曝光件80的固定效果。通过密封件13对不工作的吸附孔111进行密封，进而避免吸附孔111漏气，保证装载机构10对待曝光件80固定的可靠性。

在本申请的一些实施例中，下封板14与装载台组件11之间设置有密封圈16。所有吸附孔111和所有连通槽141均在密封圈16内圈范围内。

通过密封圈16提高下封板14与装载台组件11之间的密封性，进而防止连通槽141和吸附孔111产生漏气现象，保证装载机构10对待曝光件80固定的可靠性。

在本申请的一些实施例中，下封板14设置有抽气孔142，抽气孔142与连通槽141连通。

负压装置通过抽气孔142对连通槽141进行抽气，进而使吸附孔111产生负压。当待曝光件80置于装载机构10时，待曝光件80区域内的吸附孔111通过负压对待曝光件80进行固定，待曝光件80区域外的吸附孔111通过负压使密封件13对待曝光件80区域外的吸附孔111进行封堵，进而避免待曝光件80区域外的吸附孔111产生漏气，影响待曝光件80区域内的吸附孔111的工作性能。如此，保证装载机构10对待曝光件80固定的可靠性。

在本申请的一些实施例中，本申请提供的一种装载机构10还包括转接件15。转接件15安装于下封板14，转接件15的位置与抽气孔142的位置相对应，转接件15用于外部负压装置与抽气孔142对接。

负压装置通过转接件15与抽气孔142对接，进而对连通槽141进行抽气，并通过连通槽141使吸附孔111产生负压，以使装载机构10能有效固定待曝光件80。通过转接件15使负压装置能与装载机构10有效连接，提高装载机构10固定待曝光件80的可靠性。

请参阅图7，在本申请的一些实施例中，本申请提供的一种装载机构10还包括限位板17，限位板17设置有若干限位孔171，限位孔171的位置与吸附孔111的位置相对应，限位孔171的直径小于密封件13的直径。

通过限位板17对吸附孔111的孔口进行限位，进而防止密封件13和弹性件12从吸附孔111内掉出，提高装载机构10结构的可靠性。

在本申请的一些实施例中，吸附孔111包括第一孔112和第二孔113，第一孔112与第二孔113连通，第一孔112的直径大于第二孔113的直径。弹性件12位于第二孔113且部分伸入第一孔112，密封件13位于第一孔112。

当待曝光件80放置于装载机构10时，待曝光件80对吸附孔111进行封堵，通过负压装置使吸附孔111形成负压，进而通过大气压力将待曝光件80固定于装载机构10。由于待曝光件80区域内的吸附孔111主要由待曝光件80承受大气压力，因此密封件13受到的大气压力较小，此时，弹性件12使密封件13解除对吸附孔111的密封。而待曝光件80区域外的吸附孔111没有待曝光件80承受大气压力，因此，由密封件13承受大部分的大气压力，进而使密封件13紧贴装载台组件11，进而对吸附孔111进行封堵，防止漏气现象的产生，进而保证装载机构10吸附待曝光件80的有效性。

负压装置对吸附孔111进行抽气时，位于待曝光件80区域外的吸附孔111内的密封件13在气流的作用下沿第一孔112的孔壁朝第二孔113的方向移动。在密封件13移动过程中，克服弹性件12的弹力，使弹性件12发生弹性形变。当密封件13到达第二孔113的孔口时，及对第二孔113的孔口进行封堵，从而完成对吸附孔111的密封。当密封件13将第二孔113的孔口封堵后，由于第二孔113与第一孔112之间存在气压差，因此，密封件13能稳定停留在第二孔113的孔口，进而对吸附孔111形成稳定的密封。

而待曝光件80区域内的吸附孔111中的第一孔112的孔口被待曝光件80封堵，因此，第二孔113与第一孔112之间的气压差较小，进而在弹性件12的作用下，使密封件13远离第二孔113的孔口，从而使第一孔112与第二孔113连通。又，第一孔112的孔口被待曝光件80封堵，因此吸附孔111内与吸附孔111外操作气压差，且吸附孔111内的气压低于吸附孔111外的气压，进而通过大气压力将待曝光件80固定于装载机构10。

请参阅图8至图9，在本申请的一些实施例中，第一孔112与第二孔113之间设置有密封斜面114，密封件13与密封斜面114相适配。

通过密封斜面114与密封件13之间形成密封，提高密封件13对吸附孔111的密封性，进而保证装载机构10对待曝光件80固定的可靠性。

在本申请的一些实施例中，密封件13包括球形面，第一孔112和第二孔113均包括圆柱形孔。球形面朝向第二孔113。球形面的直径小于第一孔112的直径，密封件13的直径大于第二孔113的直径。

通过球形面封堵第二孔113的孔口，进而提高密封件13对吸附孔111封堵的可靠性，进而保证装载机构10对待曝光件80固定的可靠性。

在本申请的一些实施例中，弹性件12包括伸缩式伸缩式弹簧。

负压装置对吸附孔111进行抽气时，位于待曝光件80区域外的吸附孔111内的密封件13在气流的作用下沿第一孔112的孔壁朝第二孔113的方向移动。在密封件13移动过程中，克服弹性件12的弹力，使弹性件12发生弹性形变。当密封件13到达第二孔113的孔口时，及对第二孔113的孔口进行封堵，从而完成对吸附孔111的密封。当密封件13将第二孔113的孔口封堵后，由于第二孔113与第一孔112之间存在气压差，因此，密封件13能稳定停留在第二孔113的孔口，进而对吸附孔111形成稳定的密封。

而待曝光件80区域内的吸附孔111中的第一孔112的孔口被待曝光件80封堵，因此，第二孔113与第一孔112之间的气压差较小，进而在弹性件12的作用下，使密封件13远离第二孔113的孔口，从而使第一孔112与第二孔113连通。又，第一孔112的孔口被待曝光件80封堵，因此吸附孔111内与吸附孔111外操作气压差，且吸附孔111内的气压低于吸附孔111外的气压，进而通过大气压力将待曝光件80固定于装载机构10。

在本说明书的描述中，参考术语“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

此外，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种曝光机，其特征在于，包括：

至少两个装载机构，所述装载机构用于装载待曝光件，所述装载机构并排布置；

曝光机构，所述曝光机构用于对所述待曝光件进行曝光；

所述装载机构包括：

装载台组件，所述装载台组件设置有若干吸附孔，所述吸附孔用于吸附所述待曝光件；

负压装置，所述负压装置用于使吸附孔形成负压；

弹性件，所述弹性件设置于所述吸附孔内；

密封件，所述密封件与所述弹性件相连，所述密封件用于密封所述吸附孔；

其中，若所述吸附孔未吸附所述待曝光件，所述密封件密封所述吸附孔，并使所述弹性件发生弹性形变；

若所述吸附孔吸附所述待曝光件，所述弹性件使所述密封件移动，进而解除对所述吸附孔的密封。

2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述吸附孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔与所述第二孔连通，所述第一孔的直径大于所述第二孔的直径；

所述弹性件位于所述第二孔且部分伸入所述第一孔，所述密封件位于所述第一孔。

3.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述第一孔与所述第二孔之间设置有密封斜面，所述密封件与所述密封斜面相适配。

4.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述密封件包括球形面，所述第一孔和所述第二孔均包括圆柱形孔；

所述球形面朝向所述第二孔；

所述球形面的直径小于所述第一孔的直径，所述密封件的直径大于所述第二孔的直径。

5.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述装载机构还包括限位板，所述限位板设置有若干限位孔，所述限位孔的位置与所述吸附孔的位置相对应，所述限位孔的直径小于所述密封件的直径。

6.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述弹性件包括伸缩式弹簧。

7.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，还包括：

第一移动组件，所述第一移动组件带动所述曝光机构沿第一方向移动；

第二移动组件，所述第二移动组件带动所述曝光机构沿第二方向移动；

其中，所述第一方向配置为沿所述曝光机构的扫描方向，所述第二方向配置为沿所述曝光机构的出光方向。

8.根据权利要求7所述的曝光机，其特征在于，还包括：

控制器，所述控制器用于控制所述曝光机构，所述控制器随所述曝光机构在至少一个移动方向上同步移动。

9.根据权利要求7所述的曝光机，其特征在于，所述第一移动组件包括：

第一基座；

第一驱动组件，所述第一驱动组件安装于所述第一基座，所述第一驱动组件沿所述曝光机构的扫描方向布置；

第一直线导轨组件，所述第一直线导轨组件的数量至少为两个，所述第一直线导轨组件安装于所述第一基座，所述第一直线导轨组件与所述第一驱动组件平行布置；

第一安装座，所述第一安装座安装于所述第一驱动组件的动力输出端，所述第一安装座与所有所述直线导轨组件相连，所述直线导轨组件对所述第一安装座进行导向；

其中，所述第二移动组件和所述控制器均安装于所述第一安装座；

所述曝光机构安装于所述第二移动组件的动力输出端。

10.根据权利要求7所述的曝光机，其特征在于，所述第二移动组件包括电动丝杆模组。