CN118032068A - 一种文丘里式机械流量计 - Google Patents

Abstract

本发明涉及流量计技术领域，具体而言，涉及一种文丘里式机械流量计。文丘里式机械流量计包括壳体、表盘、波登管、连杆机构、第一传动机构、第二传动机构、差速驱动机构和第一指针；表盘、连杆机构、传动机构和第一指针均在壳体内，连杆机构和传动机构在表盘同一侧，第一指针在表盘另一侧；波登管、连杆机构、第一传动机构、差速驱动机构、第二传动机构、连杆机构和波登管依次连接，两根波登管分别连接测量管路的入口段和喉道；差速驱动机构通过指针驱动轴连接第一指针。本发明直接显示实时流量值，检测范围广，灵敏度、精度高；无安装方向要求，安装距离小，使用范围广；可靠性高，维护成本低；流体粘性对精度影响小，稳定性高。

Description

一种文丘里式机械流量计

技术领域

本发明涉及半导体流量检测领域，具体而言，涉及一种文丘里式机械流量计。

背景技术

在整个半导体行业中，需要对各种材料和溶液进行精确的流量控制，以确保每个工艺步骤的精度和效果，整个工艺过程中流量监测与控制对于保证产品质量和提高良品率具有至关重要的作用。

目前厂务系统不具有流量监测和控制系统，但是准确的流量监测和控制系统对厂务系统有如下好处：

（1）可以确保生产过程中各种液体的精确分配，避免由于流量不准确造成的生产步骤延误，提高生产效率；

（2）准确的流量监测和控制系统可以记录流量数据，便于在出现问题时进行故障排查，提高故障处理的效率；

（3）目前换瓶条件是压力和重量，由于不同介质的密度，粘性不同，压力和重量的换瓶条件一般设置较高，会有大量剩余介质浪费，如果将换瓶条件改为流量，可以最大限度的减少钢瓶介质的残余量；

（4）准确的流量监测和控制系统可以在第一时间发现流量异常，及时采取措施，避免可能的生产事故和损失。

现有的半导体行业中，对各种介质进行精确的流量控制时，采用的流量计分别为浮子流量计或质量流量计。

浮子流量计由一个管道和一个浮子组成。流体从管道中流过时，浮子会随着流体的速度而上升或下降，浮子的位置可以通过透明的管道或指示器来观察，并用于测量流体的流量。在半导体行业中，使用浮子流量计时，具有很多不方便的地方，如有移动部件，需要更频繁的维护；浮子可能会因流体的污染或粘附物而卡住；对流体密度和粘度敏感；安装方向要求严格，必须垂直水平安装；安装距离较长，浪费安装空间；灵敏度较差，检测范围有限。

质量流量计（MFC）是一种用于测量质量流量的设备，其主要功能是测量实时流量（也叫瞬时流量）以及累计流量。质量流量计主要有热式和差压式两种类型。在半导体行业中，使用质量流量计时，具有很多不方便的地方，如价格高不适用于厂务系统；热式的需要进行预热，工艺繁琐；制造难度较高，周期长。

发明内容

本发明的目的在于提供一种文丘里式机械流量计，其能够解决上述技术问题。

本发明的实施例是这样实现的：

本发明提供的文丘里式机械流量计，包括壳体、表盘、波登管、连杆机构、第一传动机构、第二传动机构、差速驱动机构和第一指针；

所述表盘、所述连杆机构、所述第一传动机构、所述第二传动机构和所述第一指针均设置在所述壳体内，所述连杆机构、所述第一传动机构和所述第二传动机构设置在所述表盘的同一侧，所述第一指针设置在所述表盘的另一侧；

所述波登管、所述连杆机构、所述第一传动机构、所述差速驱动机构、所述第二传动机构、所述连杆机构和所述波登管依次连接，且两根所述波登管的远离所述连杆机构的一端分别连接测量管路上的入口段和喉道；

所述差速驱动机构通过指针驱动轴连接所述第一指针。

在可选的实施方式中，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆、第三连杆、第一转轴、第二转轴和第三转轴；

所述第一连杆的一端连接所述波登管的一端，所述第一连杆的另一端连接第一转轴；

所述第二连杆的一端连接第一转轴，所述第二连杆的另一端连接第二转轴；

所述第三连杆的一端连接第二转轴，所述第三连杆的另一端连接第三转轴。

在可选的实施方式中，所述第二连杆和所述第三连杆一体设置。

在可选的实施方式中，所述连杆机构还包括复位装置，所述复位装置连接所述第三转轴，能够对所述第三转轴施加与所述第三连杆相反的驱动力。

在可选的实施方式中，所述第一传动机构包括第一传动齿轮、第一传动齿条和第一传动轴；

所述第一传动齿轮连接所述连杆机构，能够在所述连杆机构的带动下进行转动；

所述第一传动齿条的一端与所述第一传动齿轮啮合，所述第一传动齿条的另一端设置有所述第一传动轴，所述第一传动轴连接所述差速驱动机构。

在可选的实施方式中，所述第二传动机构包括第二传动齿轮、第二传动齿条和第三传动齿条；

所述第二传动齿轮与另一个所述连杆机构连接，能够在所述连杆机构的带动下进行转动；

所述第二传动齿条的一端与所述第二传动齿轮啮合，所述第二传动齿条的另一端连接所述第三传动齿条的一端，所述第三传动齿条的另一端连接所述差速驱动机构。

在可选的实施方式中，所述差速驱动机构包括差速齿轮、驱动凸轮、拨动齿和传动驱动轴；

所述差速齿轮与所述第一传动机构转动连接，能够通过所述第一传动机构带动所述差速齿轮做直线移动；

所述差速齿轮的外齿与所述第二传动机构啮合，能够通过所述第一传动机构和所述第二传动机构的差速带动所述差速齿轮进行转动；

所述差速齿轮与所述驱动凸轮固定连接，能够带动所述驱动凸轮进行转动；

所述拨动齿固定设置在所述传动驱动轴上，且所述拨动齿与所述驱动凸轮抵接，能够在所述驱动凸轮的作用下进行摆动，带动所述传动驱动轴进行转动；

所述传动驱动轴连接所述第一指针。

在可选的实施方式中，所述差速驱动机构还包括传动半齿轮、驱动齿轮和指针驱动轴；

所述传动半齿轮设置在所述传动驱动轴上，能够在所述传动驱动轴的带动下进行转动；

所述驱动齿轮设置在所述指针驱动轴上，能够带动所述指针驱动轴进行转动；

所述传动半齿轮与所述驱动齿轮啮合；

所述第一指针设置在所述指针驱动轴的端部。

在可选的实施方式中，所述连杆机构上设置有第二指针。

在可选的实施方式中，所述表盘上设置有传感器，所述传感器用于检测所述第一指针的位置。

本发明实施例的有益效果是：

分别使用波登管的弹性形变，由连杆机构将波登管的弹性形变转换为旋转运动，在通过第一传动机构和第二传动机构将差速转换成旋转一定的角度问题，再通过差速设计差速驱动机构，最终转换成第一指针的旋转，来达到流量的指示。

本发明为纯机械结构，表针直接显示实时流量值，检测范围广，灵敏度高，精度高；无安装方向要求，安装距离小，使用范围广；无可移动部件，可靠性高，维护成本更低；流体粘性对其检测的精度影响小，稳定性高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍， 应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的主视图；

图2为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的立体结构示意图；

图3为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的主视图（去除部分壳体）；

图4为图3的后视图；

图5为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的主视图（去除壳体和表盘）；

图6为图5的后视图；

图7为图5的立体结构示意图；

图8为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的内部结构示意图；

图9为图8的后视图；

图10为图8的立体结构示意图；

图11为图8的另一视角的立体结构示意图；

图12为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的波登管连通方式示意图；

图13为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的连杆机构中部分结构示意图；

图14为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的第一传动齿条的结果示意图；

图15为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的第二传动齿条的结构示意图；

图16为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的第三传动齿条的结构示意图；

图17为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的差速驱动机构的驱动凸轮和差速齿轮的安装示意图；

图18为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的差速驱动机构的驱动齿轮的安装示意图；

图19为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的差速驱动机构的拨动齿和传动半齿轮的安装示意图；

图20为本发明实施例提供的文丘里式机械流量计的内部安装板的结构示意图。

图标：1-文丘里管；2-壳体；3-表盘；4-第一指针；5-第二指针；6-波登管；7-连杆机构；8-第一传动机构；9-第二传动机构；10-复位装置；11-差速驱动机构；12-第一连杆；13-第一转轴；14-第二连杆；15-第二转轴；16-第三连杆；17-第三转轴；18-第一传动齿轮；19-第一传动齿条；20-第二传动齿条；21-第三传动齿条；22-第二传动齿轮；23-指针驱动轴；24-驱动凸轮；25-拨动齿；26-传动半齿轮；27-驱动齿轮；28-传动驱动轴；29-差速齿轮；30-中间齿轮；31-入口段；32-喉道；33-内部安装板。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面结合图1至图20，对本发明的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

本发明提供了一种文丘里式机械流量计，包括壳体2、表盘3、波登管6、连杆机构7、第一传动机构8、第二传动机构9、差速驱动机构11和第一指针4；表盘3、连杆机构7、第一传动机构8、第二传动机构9和第一指针4均设置在壳体2内，连杆机构7第一传动机构8和第二传动机构9设置在表盘3的同一侧，第一指针4设置在表盘3的另一侧；波登管6、连杆机构7、第一传动机构8、差速驱动机构11、第二传动机构9、连杆机构7和波登管6依次连接，且两根波登管6的远离连杆机构7的一端分别连接测量管路上的入口段31和喉道32；差速驱动机构11通过指针驱动轴23连接第一指针4。

具体的，在本实施例中，壳体2将波登管6、表盘3、连杆机构7、第一传动机构8、第二传动机构9、差速驱动机构11和第一指针4统一结合在一起，形成一个整体的流量计。

在本实施例中，文丘里管的测量段管路包括入口段31和喉道32，入口段31和喉道32上均连接有波登管6，波登管6远离测量管路的一端分别连接两个连杆机构7，两个连杆机构7分别连接第一传动机构8和第二传动机构9，将入口段31对波登管6产生的形变通过连杆机构7和第一传动机构8传递给差速驱动机构11，喉道32对波登管6产生的形变通过连杆机构7和第二传动机构9传递给差速驱动机构11。第一传动机构8和第二传动机构9向差速驱动机构11传递的速度差对差速驱动机构11进行启动，从而带动第一指针4进行摆动，与表盘3上的刻度相匹配，达到对流量进行显示的目的。

在本实施例中，第一传动机构8、第二传动机构9、差速驱动机构11和两个连杆机构7均通过内部安装板33进行统一固定，在壳体2内部形成一个整体。

在可选的实施方式中，连杆机构7包括第一连杆12、第二连杆14、第三连杆16、第一转轴13、第二转轴15和第三转轴17；第一连杆12的一端连接波登管6的一端，第一连杆12的另一端连接第一转轴13；第二连杆14的一端连接第一转轴13，第二连杆14的另一端连接第二转轴15；第三连杆16的一端连接第二转轴15，第三连杆16的另一端连接第三转轴17。

其中，在可选的实施方式中，第二连杆14和第三连杆16一体设置。

在本实施例中，第一连杆12和第二连杆14通过第一转轴13转动设置，第二连杆14和第三连杆16为一体设置，且在第二连杆14和第三连杆16之间设置有第二转轴15，第二连杆14和第三连杆16通过第二转轴15与壳体2进行转动连接，第三连杆16的另一端连接第三转轴17，通过第三转轴17将传动力传递给第一传动机构8或第二传动机构9。

具体的，在本实施例中，第一转轴13与第一连杆12之间，或第一转轴13与第二连杆14之间既具有转动，又具有滑动。

具体的，在本实施例中，第三转轴17上设置有中间齿轮30，第三连杆16的端部设置有驱动齿，第三连杆16通过驱动齿与中间齿轮30的啮合，带动第三转轴17进行转动。

在可选的实施方式中，连杆机构7还包括复位装置10，复位装置10连接第三转轴17，能够对第三转轴17施加与第三连杆16相反的驱动力。

在本实施例中，复位装置10为弹簧，在没有进行测试的时候，或进行流量测试完毕后，能够使连杆机构7、第一传动机构8、第二传动机构9进行复位，从而实现第一指针4的复位。

在本实施例中，复位装置10为卷起设置的弹片。

需要指出的是，复位装置10可以是本实施例中的弹片，但其不仅仅局限于弹片，其还可以是其他类型的具有弹性带动结构，如扭簧等，其只要能够起到复位的作用即可。

在可选的实施方式中，第一传动机构8包括第一传动齿轮18、第一传动齿条19和第一传动轴；第一传动齿轮18连接连杆机构7，能够在连杆机构7的带动下进行转动；第一传动齿条19的一端与第一传动齿轮18啮合，第一传动齿条19的另一端设置有第一传动轴，第一传动轴连接差速驱动机构11。

在本实施例中，第一传动机构8为齿轮齿条传动，第一传动齿轮18设置在连杆机构7的第三转轴17上，能够在第三转轴17的作用下进行转动，从而带动第一传动齿条19进行直线移动，第一传动齿条19带动第一传动轴进行直线移动，最终实现带动差速驱动机构11进行直线移动。

在可选的实施方式中，第二传动机构9包括第二传动齿轮22、第二传动齿条20和第三传动齿条21；第二传动齿轮22与另一个连杆机构7连接，能够在连杆机构7的带动下进行转动；第二传动齿条20的一端与第二传动齿轮22啮合，第二传动齿条20的另一端连接第三传动齿条21的一端，第三传动齿条21的另一端连接差速驱动机构11。

在本实施例中，第二传动齿轮22设置在另一组连杆机构7的第三转轴17上，能够在第三转轴17的作用下进行转动，从而带动第二传动齿条20进行直线移动，第二传动齿条20带动第三传动齿条21进行直线移动，第三传动齿条21与差速驱动机构11连接，带动差速驱动机构11进行转动。

在可选的实施方式中，差速驱动机构11包括差速齿轮29、驱动凸轮24、拨动齿25和传动驱动轴28；差速齿轮29与第一传动机构8转动连接，能够通过第一传动机构8带动差速齿轮29做直线移动；差速齿轮29的外齿与第二传动机构9啮合，能够通过第一传动机构8和第二传动机构9的差速带动差速齿轮29进行转动；差速齿轮29与驱动凸轮24固定连接，能够带动驱动凸轮24进行转动；拨动齿25固定设置在传动驱动轴28上，且拨动齿25与驱动凸轮24抵接，能够在驱动凸轮24的作用下进行摆动，带动传动驱动轴28进行转动；传动驱动轴28连接第一指针4。

在本实施例中，差速齿轮29设置在第一传动轴上，能够在第一传动轴的带动下进行直线移动，且差速齿轮29的轮齿与第三传动齿条21进行啮合，能够在第三传动齿条21的作用下进行转动。

当第一传动齿条19与第三传动齿条21的移动距离或移动速度不同时，会产生差速，即差速齿轮29的中心位置与外壁的移动速度不同，使得差速齿轮29产生转动，其转动力会带动驱动凸轮24进行转动，带动拨动齿25进行摆动，而拨动齿25的摆动会带动传动驱动轴28进行转动，最终带动第一指针4进行摆动，达到对流量的显示的目的。

驱动凸轮24与其他结构的参数公式如下：

如图9至图11所示：

第三传动齿条21与差速齿轮29配合，差速齿轮29的旋转角度α是P₁和P₂的差值；差速齿轮29与驱动凸轮24在同一个轴上，两者会一起转动；驱动凸轮24与拨动齿25的滚子端是凸轮配合，驱动凸轮24的旋转角度关系不在阐述。

驱动凸轮24的旋转角度为α，α是p₁与p₂的差值，其中，p₁和p₂分别为两个波登管6的压力值，驱动凸轮24的旋转角度是波登管6的形变、连杆机构7、第一传动机构8、第二传动机构9和差速驱动机构11的传动得来的。

驱动凸轮24的轮廓线设计是根据R设计的，其中，R为修订系数，是定值，其具体与所测量的流体密度、截面积等参数有关，具体为：

其中，将定量作为修订系数R，即：

其中，v₁、v₂为介质在入口段31和喉道32处的流速， Q为文丘里管1的流量，S₁为入口段31的截面积，S₂为喉道32的截面积，ρ为文丘里管1内介质的密度。

拨动齿25的旋转角β=R，拨动齿25与传动半齿轮26共轴，传动半齿轮26的旋转角度也同样为β，传动半齿轮26与驱动齿轮27为齿轮配合，齿轮半径不同，此时传动半齿轮26为放大机构，放大系数即传动比为K，驱动齿轮27的旋转角度为/>，驱动齿轮27与第一指针4通过指针驱动轴23相连，第一指针4的旋转角度与驱动齿轮27相同，第一指针4的旋转角度/>与驱动凸轮24的关系为：/>，KR为定值，即满足流量公式Q= R。

在可选的实施方式中，差速驱动机构11还包括传动半齿轮26、驱动齿轮27和指针驱动轴23；传动半齿轮26设置在传动驱动轴28上，能够在传动驱动轴28的带动下进行转动；驱动齿轮27设置在指针驱动轴23上，能够带动指针驱动轴23进行转动；传动半齿轮26与驱动齿轮27啮合；第一指针4设置在指针驱动轴23的端部。

在本实施例中，差速驱动机构11还设置传动半齿轮26和驱动齿轮27，拨动齿25与传动半齿轮26的转动轴同轴且固定设置，在拨动齿25的摆动下，能够带动传动半齿轮26进行相应的摆动，从而带动与传动半齿轮26啮合的驱动齿轮27进行转动，最终实现带动第一指针4进行摆动。

这样的设置方式，能够将指针驱动轴23的位置进行调整，避免第一指针4的指针驱动轴23与其他结构产生位置干涉，保证了第一指针4的正常摆动。

在可选的实施方式中，连杆机构7上设置有第二指针5。

在本实施例中，第二指针5设置在连杆机构7的第三转轴17上，第三转轴17转动，带动第二指针5进行摆动。

在本实施例中，第一指针用于显示即时流量，两个第二指针分别显示入口段31的即时压力和喉道32的即时压力。

具体的，在本实施例中，第二指针5的数量为两个，即每一个第三转轴17上均设置有一个第二指针5。

在可选的实施方式中，表盘3上设置有传感器，传感器用于检测第一指针4的位置。

在本实施例中，在表盘3上设置传感器后，当第一指针4或第二指针5位于传感器能够检测到的位置时，传感器进行报警，从而达到对流量进行监控的目的。

在本实施例中，传感器可以是红外传感器，具体可以是距离传感器、角度传感器等，其只要能够对第一指针4或第二指针5进行检测即可。

具体的，在本实施例中，在表盘3增加2-4个传感器做完开关量节点，可以输出开关量信号，以达到实现流量开关的功能。报警点用户可自行设置，使用方便，操作简单，结构可靠。开关类型可以根据实际需要定制为NPN，PNP或干接点。

由上述可以看出，本申请提供的文丘里式机械流量计，其工作过程如下：

当气体或液体（以下简称介质）经过文丘里管1时，介质会进入波登管6，对波登管6施加作用力，两根波登管6由于在不同位置，其所受到的作用力是不同的，因此，波登管6所产生的形变也是不相同的，其分别将相变产生的作用力通过连杆机构7分别传递给第一传动机构8和第二传动机构9，第一传动机构8和第二传动机构9上的第一传动齿条19和第三传动齿条21会产生不同的位移，由于第一传动齿条19和第三传动齿条21均与差速齿轮29进行连接，使得差速齿轮29的内外径移动速度不同，产生转动，从而带动驱动凸轮24进行转动，驱动凸轮24与拨动齿25抵接，对拨动齿25施加作用力，带动拨动齿25进行相应的摆动，拨动齿25的摆动带动传动半齿轮26进行摆动，传动半齿轮26再进一步带动驱动齿轮27进行往复转动，从而实现第一指针4的摆动，达到显示的目的。

本发明实施例的有益效果是：

分别使用波登管的弹性形变，由连杆机构7将波登管的弹性形变转换为旋转运动，在通过第一传动机构8和第二传动机构9将差速转换成旋转一定的角度问题，再通过差速设计差速驱动机构11，最终转换成第一指针4的旋转，来达到流量的指示。

本发明为纯机械结构，表针直接显示实时流量值，检测范围广，灵敏度高，精度高；无安装方向要求，安装距离小，使用范围广；无可移动部件，可靠性高，维护成本更低；流体粘性对其检测的精度影响小，稳定性高。

以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种文丘里式机械流量计，其特征在于，包括文丘里管、壳体、表盘、波登管、连杆机构、第一传动机构、第二传动机构、差速驱动机构和第一指针；

所述表盘、所述连杆机构、所述第一传动机构、所述第二传动机构和所述第一指针均设置在所述壳体内，所述连杆机构、所述第一传动机构和所述第二传动机构均设置在所述表盘的同一侧，所述第一指针设置在所述表盘的另一侧；

所述波登管为两根，所述连杆机构为两个；

所述波登管、所述连杆机构、所述第一传动机构、所述差速驱动机构、所述第二传动机构、另一个所述连杆机构和另一根所述波登管依次连接，且两根所述波登管的远离所述连杆机构的一端分别连接文丘里管上的入口段和喉道；

所述差速驱动机构连接所述第一指针。

2.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆、第三连杆、第一转轴、第二转轴和第三转轴；

所述第一连杆的一端连接所述波登管的一端，所述第一连杆的另一端连接第一转轴；

所述第二连杆的一端连接第一转轴，所述第二连杆的另一端连接第二转轴；

所述第三连杆的一端连接第二转轴，所述第三连杆的另一端连接第三转轴。

3.根据权利要求2所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述第二连杆和所述第三连杆一体设置。

4.根据权利要求2所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述连杆机构还包括复位装置，所述复位装置连接所述第三转轴，能够对所述第三转轴施加与所述第三连杆相反的驱动力。

5.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述第一传动机构包括第一传动齿轮、第一传动齿条和第一传动轴；

所述第一传动齿轮连接所述连杆机构，能够在所述连杆机构的带动下进行转动；

所述第一传动齿条的一端与所述第一传动齿轮啮合，所述第一传动齿条的另一端设置有所述第一传动轴，所述第一传动轴连接所述差速驱动机构。

6.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述第二传动机构包括第二传动齿轮、第二传动齿条和第三传动齿条；

所述第二传动齿轮与另一个所述连杆机构连接，能够在所述连杆机构的带动下进行转动；

所述第二传动齿条的一端与所述第二传动齿轮啮合，所述第二传动齿条的另一端连接所述第三传动齿条的一端，所述第三传动齿条的另一端连接所述差速驱动机构。

7.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述差速驱动机构包括差速齿轮、驱动凸轮、拨动齿和传动驱动轴；

所述差速齿轮与所述第一传动机构转动连接，能够通过所述第一传动机构带动所述差速齿轮做直线移动；

所述差速齿轮的外齿与所述第二传动机构啮合，能够通过所述第一传动机构和所述第二传动机构的差速带动所述差速齿轮进行转动；

所述差速齿轮与所述驱动凸轮固定连接，能够带动所述驱动凸轮进行转动；

所述拨动齿固定设置在所述传动驱动轴上，且所述拨动齿与所述驱动凸轮抵接，能够在所述驱动凸轮的作用下进行摆动，带动所述传动驱动轴进行转动；

所述传动驱动轴连接所述第一指针。

8.根据权利要求7所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述差速驱动机构还包括传动半齿轮、驱动齿轮和指针驱动轴；

所述传动半齿轮设置在所述传动驱动轴上，能够在所述传动驱动轴的带动下进行转动；

所述驱动齿轮设置在所述指针驱动轴上，能够带动所述指针驱动轴进行转动；

所述传动半齿轮与所述驱动齿轮啮合；

所述第一指针设置在所述指针驱动轴的端部。

9.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述连杆机构上设置有第二指针。

10.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述表盘上设置有传感器，所述传感器用于检测所述第一指针的位置。