CN117989626A - 一种洁净室智能调控系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种洁净室智能调控系统，涉及净化通风领域，包括：数据采集模块，用于采集、分类工艺时间的和非工艺时间的室内环境数据，对获得的每个类别的工艺时间的和非工艺时间的子室内环境数据修正，获得工艺时间的和非工艺时间的室内环境处理数值；判断求取模块，用于获得当前时刻静压差和泄漏风量；送风模块，用于基于泄漏风量计算当前时刻洁净室的换气次数，并获得当前时刻的换气方式；含湿量判断控制模块，用于基于工艺时间的和非工艺时间的室内环境处理数值确定出洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式。在保证洁净度前提下计算出洁净室最少换气次数，通过含有人工算法的专有方式，选出最适合当前时刻洁净室的换气和控制含湿量的方式。

Description

一种洁净室智能调控系统

技术领域

本发明涉及净化通风领域，特别涉及一种洁净室智能调控系统。

背景技术

目前，洁净室是指空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数均按需控制的具有良好密封性的空间，对于防止外界污染有着重要作用。洁净室在医药企业、工业企业中占有越来越重要的地位。

但是，洁净室的高能耗与当下的可持续发展理念有着冲突，在保证洁净度的前提下使得洁净室的换气次数最少成为了降低洁净室能耗的一种思路。而现有的洁净室智能调控系统未考虑在保证洁净度的前提下计算出洁净室的最少换气次数，且未选出最适合洁净室的换气方式，未选出最适合洁净室的控制含湿量的方式，只是通过将洁净室的多个设备连接，实现洁净室的网络化、智能化。例如公开号为“CN106642580B”、专利名称为“ 一种洁净室智能调控系统”，其方法包括以下步骤：操作站、通讯接口控制器、智能控制装置、洁净室运行设备和洁净室参数采集设备，所述洁净室参数采集设备和所述洁净室运行设备均信号连接至所述智能控制装置，所述智能控制装置通过述通讯接口控制器连接至所述操作站。应用该现有技术中的实施例，操作站能实时了解洁净室运行设备的工作状态、远程启停、调节洁净室参数，极大地改善和提高了系统管理水平，完成了洁净室运行设备由人工逐层启动、控制、管理、调节转换为自动化、信息化、网络化、智能化，具有远程自动控制、实时监测、节能降耗等各种人性化管理服务功能于一身。但是该专利只是将洁净室的多个设备连接，实现洁净室的网络化、智能化，未考虑在保证洁净度的前提下计算出洁净室所需的换气次数，且未选出最适合洁净室的换气方式，未选出最适合洁净室的含湿量的控制方式。

因此，本发明提出了一种洁净室智能调控系统，用于在保证洁净度的前提下计算出洁净室的最少换气次数，通过含有人工算法的专有方式，选出最适合洁净室的换气方式和控制含湿量的方式。

发明内容

本发明提供一种洁净室智能调控系统，用以自动获取洁净室工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据，进行分类得到每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行修正，得到洁净室每个类别工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值，便于后续静压差和换气次数的计算，根据洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值和在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值精确地获得洁净室在当前时刻的静压差，便于分析洁净室是否需要进行换气，当当前时刻的静压差不在预设压差范围内时，求取洁净室在当前时刻的泄漏风量，便于后续换气次数的计算，根据洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值更精确地获得当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，并根据洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的的处理数值准确地得到在当前时刻最适合的换气方式，当在工艺时间最新时刻的室内采集点含湿量的处理数值不符合预设含湿量范围时，根据洁净室的含湿量上限、含湿量下限、非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量更准确地得到洁净室在当前时刻的最适合的控制含湿量方式。

本发明提供一种洁净室智能调控系统，包括：

数据采集模块，用于采集洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据，并对采集到的工艺时间最新时刻室内环境数据和非工艺时间最新时刻室内环境数据进行分类，获得每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，并对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间最新时刻子室内环境数据进行修正，获得洁净室每个类别的工艺时间最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间最新时刻室内环境处理数值，其中，工艺时间的最新时刻室内环境处理数值至少包括洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值和室内温度值的处理数值以及室内含湿量的处理数值，非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值至少包含洁净室的室内采集点在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值和室内温度值的处理数值以及室内含湿量的处理数值；

判断求取模块，用于基于洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值和在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值获得洁净室在当前时刻的静压差，当洁净室在当前时刻的静压差不在预设压差范围内时，求取洁净室在当前时刻的泄漏风量；

送风模块，用于基于洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值计算当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，并基于洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值获得洁净室在当前时刻的换气方式，基于洁净室在当前时刻的换气次数和送风方式进行送风控制；

含湿量判断控制模块，用于当洁净室在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值不符合预设含湿量范围时，则基于洁净室的含湿量上限、含湿量下限、非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量确定出洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式，基于洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式对洁净室进行实时控制。

优选的，洁净室智能调控系统，数据采集模块，包括：

采集子模块，用于采集洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据；

其中，工艺时间的最新时刻室内环境数据包括洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数、在工艺时间的最新时刻回风量、室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量、室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值、在工艺时间的最新时刻室内温度值；

其中，非工艺时间的最新时刻室内环境数据包括洁净室在非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数、室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量、室内采集点在非工艺时间的最新时刻气压值、在非工艺时间的最新时刻室内温度值；

分类修正子模块，用于对采集到的工艺时间最新时刻室内环境数据和非工艺时间最新时刻室内环境数据进行分类，获得每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，并对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行错误数据经过确认后的修正，获得洁净室的每个类别工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值。

优选的，洁净室智能调控系统，分类修正子模块，包括：

数据分类单元，用于对采集到的工艺时间最新时刻室内环境数据和非工艺时间最新时刻室内环境数据进行数据分类，获得每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，其中类别以环境数据的数据种类划分；

数据修正单元，用于基于每个类别预设的数据检测模型检测每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据是否为错误数据，若检测到工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据为错误数据，将错误数据删除，并将以当前时刻为终止时刻的预设时段内所有时刻对应类别的工艺时间最新时刻子室内环境数据或非工艺时间最新时刻子室内环境数据的均值作为对应类别的处理数值，否则将每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据作为对应类别的处理数值。

优选的，洁净室智能调控系统，判断求取模块，包括：

静压差子模块，用于将洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值与在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值的差值，作为洁净室在当前时刻的静压差；

静压差判断子模块，用于将洁净室在当前时刻的静压差与预设压差范围进行数值对比，若洁净室在当前时刻的静压差处于预设压差范围内，则判断结果为符合，否则，判断结果为不符合；

送风风量求取子模块，用于当判断结果为不符合时求取洁净室在当前时刻的泄漏风量。

优选的，洁净室智能调控系统，送风风量求取子模块，包括：

数据获取单元，用于当判断结果为不符合时，基于预设传感器实时获取洁净室内预设缝隙位置处的数据，包括预设缝隙的长度和预设缝隙单位长度的漏风风量；

风量求取单元，用于求取预设缝隙长度与预设缝隙单位长度的漏风风量的积，并将积作为洁净室在当前时刻的泄漏风量。

优选的，洁净室智能调控系统，送风模块，包括：

换气计算子模块，用于基于洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值计算当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数；

换气方式获取子模块，用于基于洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值确定出洁净室在当前时刻的换气方式，基于洁净室在当前时刻的换气次数和换气方式进行送风控制；

其中，洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值至少还包括洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、在非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、工艺时间的最新时刻回风量的处理数值。

优选的，洁净室智能调控系统，换气计算子模块基于洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值计算当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数的方法，包括：

获取计算换气次数所需的洁净室基础数据，包括洁净室回风风路管道上的过滤器过滤效率和送风风路管道上的过滤器过滤效率、洁净室的预设尘埃粒子数阈值；

基于预设尘埃粒子数阈值、洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、当前时刻的泄漏风量、在工艺时间的最新时刻回风量的处理数值、回风风路管道上的过滤器过滤效率、送风风路管道上的过滤器过滤效率，计算出换气次数，包括：

；

其中，P为当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，R为洁净室的预设尘埃粒子数阈值，且预设尘埃粒子数阈值单位为粒/立方米，V为洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值U为洁净室在非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值，且室内尘埃粒子数的处理数值的单位为粒，Q为洁净室在当前时刻的泄漏风量，W为洁净室在工艺时间的最新时刻回风量的处理数值，且泄漏风量和回风量的处理数值单位为，/>为洁净室回风风路管道上的过滤器过滤效率，/>为洁净室送风风路管道上的过滤器过滤效率。

优选的，洁净室智能调控系统，换气方式获取子模块，包括：

数值差值确定单元，用于求取洁净室在在工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值与在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值之间的数值差值；

第一换气方式确定单元，用于若数值差值为正数时，将洁净室在当前时刻的换气方式确定为将室内大气加热至标定温度后经送风风路输送至洁净室；

第二换气方式确定单元，用于若数值差值为负数时，将洁净室在当前时刻的换气方式确定为将室内大气冷却至标定温度后经送风风路输送至洁净室；

第三换气方式确定单元，用于若数值差值为零时，将洁净室在当前时刻的换气方式确定为将室内大气直接经送风风路输送至洁净室；

送风控制单元，用于基于洁净室在当前时刻的换气次数和换气方式进行送风控制。

优选的，洁净室智能调控系统，含湿量判断模块，包括：

含湿量判断子模块，用于判断洁净室在在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值是否符合预设含湿量范围；

含湿量控制方式子模块，用于当洁净室在在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值不符合预设含湿量范围时，则基于洁净室的含湿量上限、洁净室的含湿量下限、在非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量获得洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式。

优选的，洁净室智能调控系统，含湿量控制方式子模块基于洁净室的含湿量上限、洁净室的含湿量下限、在非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量获得洁净室在当前时刻特定含湿量控制方式的方法，包括：

获取预设含湿量范围，并将预设含湿量范围的上限和下限分别作为洁净室的含湿量上限和洁净室的含湿量下限，将预设含湿量范围的中间值作为标定含湿量；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室的含湿量上限，且洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室的室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则将对洁净室进行次数递增的换气，直至洁净室的含湿量与标定含湿量相同时停止换气；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室的含湿量上限，且洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值不大于洁净室的室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值，则对洁净室送风风路中的气体进行恒温除湿同时开启换气，直至洁净室的含湿量与标定含湿量相同时停止；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值小于洁净室的含湿量下限，且洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室的室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则启动洁净室的加湿设备，直至洁净室的室内采集点含湿量的处理数值与标定含湿量相同时，停止加湿设备的运行；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值小于洁净室的含湿量下限，且洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值不大于洁净室的室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则对洁净室送风风路中的气体进行恒温加湿同时开启换气，直至洁净室的含湿量与标定含湿量相同时停止。

本发明相对于现有技术产生的有益效果为：自动获取洁净室工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据，进行分类得到每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行修正，得到洁净室每个类别工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值，便于后续静压差和换气次数的计算，根据洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值和在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值精确地获得洁净室在当前时刻的静压差，便于分析洁净室是否需要进行换气，当当前时刻的静压差不在预设压差范围内时，求取洁净室在当前时刻的泄漏风量，便于后续换气次数的计算，根据洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值更精确地获得当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，并根据洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值准确地得到在当前时刻最适合的换气方式，当在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值不符合预设含湿量范围时，根据洁净室的含湿量上限、含湿量下限、非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量更准确地得到洁净室在当前时刻的最适合的控制含湿量的方式。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的本申请文件中所特别指出的结构来实现和获得。

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为本发明实施例中一种洁净室智能调控系统示意图；

图2为本发明实施例中数据采集模块的具体示意图；

图3为本发明实施例中分类修正子模块的具体示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例1：本发明提供了一种洁净室智能调控系统，参考图1，包括：

数据采集模块，用于采集洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据，并对采集到的工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据进行分类，获得每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，并对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行修正，获得洁净室的每个类别工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值，其中，工艺时间的最新时刻室内环境处理数值至少包括洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值和室内温度值的处理数值以及室内含湿量的处理数值，非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值至少包含洁净室的室内采集点在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值和室内温度值的处理数值以及室内含湿量的处理数值；

判断求取模块，用于基于洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值和在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值获得洁净室在当前时刻的静压差，当洁净室在当前时刻的静压差不在预设压差范围内时，求取洁净室在当前时刻的泄漏风量；

送风模块，用于基于洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值计算当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，并基于洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值获得洁净室在当前时刻的换气方式，基于洁净室在当前时刻的换气次数和送风方式进行送风控制；

含湿量判断控制模块，用于当洁净室在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值不符合预设含湿量范围时，则基于洁净室的含湿量上限、含湿量下限、非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量确定出洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式，基于洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式对洁净室进行实时控制。

该实施例中，洁净室为对空气洁净度、温度、湿度、压力等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。

该实施例中，工艺时间的最新时刻为距当前时刻最近的洁净室的工艺时间段（洁净室存在生产的工艺时间段）的最后时刻。

该实施例中，非工艺时间的最新时刻为距当前时刻最近的洁净室的非工艺时间段（洁净室不存在生产的值班时间段）的最后时刻。

该实施例中，工艺时间的最新时刻室内环境数据为洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数、在工艺时间的最新时刻回风量、室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量、室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值、在工艺时间的最新时刻室内温度值。

该实施例中，非工艺时间的最新时刻室内环境数据为洁净室在非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数、室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量、室内采集点在非工艺时间的最新时刻气压值、在非工艺时间的最新时刻室内温度值。

该实施例中，分类为对工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据以环境数据的数据种类进行划分分类的过程，例如室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值就是分类后的一个类别。

该实施例中，工艺时间的最新时刻子室内环境数据为对工艺时间的最新时刻室内环境数据进行分类后获得的数据，例如室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值为一个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据。

该实施例中，非工艺时间的最新时刻子室内环境数据为对非工艺时间的最新时刻室内环境数据进行分类后获得的数据，例如室内采集点在非工艺时间的最新时刻气压值为一个类别非工艺时间的最新时刻子室内环境数据。

该实施例中，修正为对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据中存在的错误数据经过确认后修正。

该实施例中，室内环境处理数值为对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行修正后获得的数据的数值。

该实施例中，室内环境处理数值为对每个类别非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行修正后获得的数据的数值。

该实施例中，室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值为对工艺时间的最新时刻室内采集点的气压值进行修正后获得的数据的数值。

该实施例中，室内温度值的处理数值为对工艺时间的最新时刻室内温度值进行修正后获得的数据的数值。

该实施例中，室内含湿量的处理数值为对工艺时间的最新时刻室内含湿量进行修正后获得的数据的数值。

该实施例中，静压差为洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值与在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值的差值，且洁净室的静压差应处于预设压差范围。

该实施例中，预设压差范围为预先设置的保证洁净室空气不被外界污染的静压差范围，例如预设压差范围可为（12Pa，∞）。

该实施例中，泄漏风量对当洁净室静压差不符合预设压差范围时，通过洁净室内预设缝隙位置处的数据计算出的洁净室预设缝隙位置处每小时泄露的风量的体积。

该实施例中，洁净室的基础数据为洁净室回风风路管道上的过滤器过滤效率和送风风路管道上的过滤器过滤效率、洁净室的预设尘埃粒子数阈值。

该实施例中，当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数为当前时刻维持洁净室静压差能符合预设压差范围的下限且保持洁净室的洁净度，对洁净室进行换气所需的换气次数，其中洁净室的一次换气为在送风风路管道中持续10min输入风量为的风。

该实施例中，换气方式为洁净室基于在工艺时间的最新时刻室内温度值和非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值得到的对洁净室进行换气的具体方式，例如将室内大气加热至标定温度后经送风风路输送至洁净室。

该实施例中，预设含湿量范围为预先设置的用以判断洁净室在当前时刻的是否需要对洁净室进行含湿量控制的含湿量范围。

该实施例中，含湿量上限为预设含湿量范围的上限值。

该实施例中，含湿量下限为预设含湿量范围的下限值。

该实施例中，标定含湿量为预设含湿量范围的中间值。

该实施例中，特定含湿量控制方式为基于洁净室的含湿量上限、含湿量下限、非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量确定出洁净室在当前时刻特定的控制含湿量的方式，例如将对洁净室进行次数递增的换气，直至洁净室的含湿量与标定含湿量相同时停止换气。

以上技术的有益效果为：自动获取洁净室工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据，进行分类得到每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行修正，删除了错误数据，对删除数据导致的数据空缺给出了填充数据，得到洁净室每个类别工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值，便于后续静压差和换气次数的计算，根据洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值和在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值精确地获得洁净室在当前时刻的静压差，便于分析洁净室是否需要进行换气，当当前时刻的静压差不在预设压差范围内时，求取洁净室在当前时刻的泄漏风量，便于后续换气次数的计算，根据洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值更精确地获得当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，并根据洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值准确地得到在当前时刻最适合的换气方式，当在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值不符合预设含湿量范围时，根据洁净室的含湿量上限、含湿量下限、非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量更准确地得到洁净室在当前时刻最适合的控制含湿量的方式。

实施例2：在实施例1的基础上，洁净室智能调控系统，数据采集模块，参考图2，包括：

采集子模块，用于采集洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据；

其中，工艺时间的最新时刻室内环境数据包括洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数、在工艺时间的最新时刻回风量、室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量、室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值、在工艺时间的最新时刻室内温度值；

其中，非工艺时间的最新时刻室内环境数据包括洁净室在非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数、室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量、室内采集点在非工艺时间的最新时刻气压值、在非工艺时间的最新时刻室内温度值；

分类修正子模块，用于对采集到的工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据进行分类，获得每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，并对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行错误数据的修正，获得洁净室的每个类别工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值。

以上技术的有益效果为：自动获取洁净室工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据，进行分类得到每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行经过确认后修正，得到洁净室在当前时刻每个类别的室内环境处理数值和室内环境处理数值，便于后续静压差和换气次数的计算。

实施例3：在实施例2的基础上，洁净室智能调控系统，分类修正子模块，参考图3，包括：

数据分类单元，用于对采集到的工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据进行数据分类，获得每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，其中类别以环境数据的数据种类划分；

数据修正单元，用于基于每个类别预设的数据检测模型检测每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据是否为错误数据，若检测到工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据为错误数据，将错误数据删除，并将以当前时刻为终止时刻的预设时段内所有时刻对应类别的工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据的均值作为对应类别的处理数值，否则将每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据作为对应类别的处理数值。

该实施例中，预设的数据检测模型为预先设置的基于预先收集的大量非错误环境数据训练成的检测模型，检测模型可检测输入的环境数据是否为错误数据，且每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据都对应一个预设的数据检测模型。

该实施例中，预设时段为预先设置的用以获得对错误数据进行修正的时间段，例如1h。

以上技术的有益效果为：分类获得每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行修正，删除了错误数据，对删除数据导致的数据空缺给出了填充数据，得到洁净室在当前时刻每个类别的室内环境处理数值和室内环境处理数值，便于后续静压差和换气次数的计算。

实施例4：在实施例1的基础上，洁净室智能调控系统，判断求取模块，包括：

静压差子模块，用于将洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值与在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值的差值，作为洁净室在当前时刻的静压差；

静压差判断子模块，用于将洁净室在当前时刻的静压差与预设压差范围进行数值对比，若洁净室在当前时刻的静压差处于预设压差范围内，则判断结果为符合，否则，判断结果为不符合；

送风风量求取子模块，用于当判断结果为不符合时求取洁净室在当前时刻的泄漏风量。

以上技术的有益效果为：根据洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值和在非工艺时间的最新时刻。

气压值的处理数值精确地获得洁净室在当前时刻的静压差，便于分析洁净室是否需要进行换气，当当前时刻的静压差不在预设压差范围内时，求取洁净室在当前时刻的泄漏风量，便于后续换气次数的计算。

实施例5：在实施例4的基础上，洁净室智能调控系统，送风风量求取子模块，包括：

数据获取单元，用于当判断结果为不符合时，基于预设传感器实时获取洁净室内预设缝隙位置处的数据，包括预设缝隙的长度和预设缝隙单位长度的漏风风量；

风量求取单元，用于求取预设缝隙的长度与预设缝隙单位长度的漏风风量的积，并将积作为洁净室在当前时刻的泄漏风量。

该实施例中，预设传感器为预先设置的位于直通道的一个检测泄漏风量的缝隙位置处的传感器，例如风量传感器和缝隙测量传感器。

以上技术的有益效果为：根据预设缝隙的长度和预设缝隙单位长度的漏风风量精确地计算出洁净室在当前时刻的泄漏风量，便于后续换气次数的计算。

实施例6：在实施例1的基础上，洁净室智能调控系统，送风模块，包括：

换气计算子模块，用于基于洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值计算当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数；

换气方式获取子模块，用于基于洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值确定出洁净室在当前时刻的换气方式，基于洁净室在当前时刻的换气次数和换气方式进行送风控制；

其中，洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值至少还包括洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、在非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、工艺时间的最新时刻回风量的处理数值。

以上技术的有益效果为：根据洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值更精确地获得当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，并根据洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的的处理数值准确地得到在当前时刻最适合的换气方式。

实施例7：在实施例6的基础上，洁净室智能调控系统，换气计算子模块基于洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值计算当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数的方法，包括：

获取计算换气次数所需的洁净室基础数据，包括洁净室回风风路管道上的过滤器过滤效率和送风风路管道上的过滤器过滤效率、洁净室的预设尘埃粒子数阈值；

基于预设尘埃粒子数阈值、洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、当前时刻的泄漏风量、在工艺时间的最新时刻回风量的处理数值、回风风路管道上的过滤器过滤效率、送风风路管道上的过滤器过滤效率，计算出换气次数，包括：

；

其中，P为当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，R为洁净室的预设尘埃粒子数阈值，且预设尘埃粒子数阈值单位为粒/立方米，V为洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值U为洁净室在非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值，且室内尘埃粒子数的处理数值的单位为粒，Q为洁净室在当前时刻的泄漏风量，W为洁净室在工艺时间的最新时刻回风量的处理数值，且泄漏风量和回风量的处理数值单位为，/>为洁净室回风风路管道上的过滤器过滤效率，/>为洁净室送风风路管道上的过滤器过滤效率。

该实施例中，洁净室回风风路管道上的过滤器过滤效率为基于预先采集的回风风路管道回风的数据计算出的回风风路管道上的过滤器对回风中存在的灰尘颗粒的过滤效率。

该实施例中，洁净室送风风路管道上的过滤器过滤效率为基于预先采集的送风风路管道送风的数据计算出的送风风路管道上的过滤器对送风中存在的灰尘颗粒的过滤效率。

该实施例中，洁净室的预设尘埃粒子数阈值为基于对洁净室洁净度的最低标准计算出的洁净室每立方米容积的尘埃粒子（尘埃颗粒粒径为0.1微米至5微米）的数量。

以上技术的有益效果为：根据洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值更精确地获得当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，此实施例给出了为保证洁净度和静压差对洁净室进行换气的换气次数的计算方法。

实施例8：在实施例6的基础上，洁净室智能调控系统，换气方式获取子模块，包括：

数值差值确定单元，用于求取洁净室在在工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值与在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值之间的数值差值；

第一换气方式确定单元，用于若数值差值为正数时，将洁净室在当前时刻的换气方式确定为将室内大气加热至标定温度后经送风风路输送至洁净室；

第二换气方式确定单元，用于若数值差值为负数时，将洁净室在当前时刻的换气方式确定为将室内大气冷却至标定温度后经送风风路输送至洁净室；

第三换气方式确定单元，用于若数值差值为零时，将洁净室在当前时刻的换气方式确定为将室内大气直接经送风风路输送至洁净室；

送风控制单元，用于基于洁净室在当前时刻的换气次数和换气方式进行送风控制。

以上技术的有益效果为：根据洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值准确地得到在当前时刻最适合的换气方式。

实施例9：在实施例2的基础上，洁净室智能调控系统，含湿量判断模块，包括：

含湿量判断子模块，用于判断洁净室在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值是否符合预设含湿量范围；

含湿量控制方式子模块，用于当洁净室在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值不符合预设含湿量范围时，则基于洁净室的含湿量上限、洁净室的含湿量下限、在非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量获得洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式。

以上技术的有益效果为：当在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值不符合预设含湿量范围时，根据洁净室的含湿量上限、含湿量下限、非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量更准确地得到洁净室在当前时刻的最适合的控制含湿量的方式。

实施例10：在实施例9的基础上，洁净室智能调控系统，含湿量控制方式子模块基于洁净室的含湿量上限、洁净室的含湿量下限、在非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量获得洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式的方法，包括：

获取预设含湿量范围，并将预设含湿量范围的上限和下限分别作为洁净室的含湿量上限和洁净室的含湿量下限，将预设含湿量范围的中间值作为标定含湿量；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室的含湿量上限，且洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室的室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则将对洁净室进行次数递增的换气，直至洁净室的含湿量与标定含湿量相同时停止换气；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室的含湿量上限，且洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值不大于洁净室的室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则对洁净室送风风路中的气体进行恒温除湿同时开启换气，直至洁净室的含湿量与标定含湿量相同时停止；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值小于洁净室的含湿量下限，且洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室的室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则启动洁净室的加湿设备，直至洁净室的室内采集点含湿量的处理数值与标定含湿量相同时，停止加湿设备的运行；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值小于洁净室的含湿量下限，且洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值不大于洁净室的室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则对洁净室送风风路中的气体进行恒温加湿同时开启换气，直至洁净室的含湿量与标定含湿量相同时停止。

以上技术的有益效果为：根据洁净室的含湿量上限、含湿量下限、非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量更准确地得到洁净室在当前时刻的最适合的控制含湿量方式。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种洁净室智能调控系统，其特征在于，包括：

数据采集模块，用于采集洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据，并对采集到的工艺时间最新时刻室内环境数据和非工艺时间最新时刻室内环境数据进行分类，获得每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，并对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行修正，获得洁净室的每个类别工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值，其中，工艺时间最新时刻的室内环境处理数值至少包括洁净室室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值处理数值和室内温度值处理数值以及室内含湿量处理数值，非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值至少包含洁净室室内采集点在非工艺时间的最新时刻气压值处理数值和室内温度值处理数值以及室内含湿量处理数值；

判断求取模块，用于基于洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值处理数值和在非工艺时间的最新时刻气压值处理数值获得洁净室在当前时刻的静压差，当洁净室在当前时刻的静压差不在预设压差范围内时，求取洁净室在当前时刻的泄漏风量；

送风模块，用于基于洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值计算当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，并基于洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值获得洁净室在当前时刻的换气方式，基于洁净室在当前时刻的换气次数和送风方式进行送风控制；

含湿量判断控制模块，用于当洁净室在工艺时间最新时刻的室内采集点含湿量的处理数值不符合预设含湿量范围时，则基于洁净室的含湿量上限、含湿量下限、非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量确定出洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式，基于洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式对洁净室进行实时控制。

2.根据权利要求1所述的一种洁净室智能调控系统，其特征在于，数据采集模块，包括：

采集子模块，用于采集洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境数据和非工艺时间的最新时刻室内环境数据；

其中，工艺时间的最新时刻室内环境数据包括洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数、在工艺时间的最新时刻回风量、室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量、室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值、在工艺时间的最新时刻室内温度值；

其中，非工艺时间的最新时刻室内环境数据包括洁净室在非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数、室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量、室内采集点在非工艺时间的最新时刻气压值、在非工艺时间的最新时刻室内温度值；

分类修正子模块，用于对采集到的工艺时间最新时刻的室内环境数据和非工艺时间最新时刻的室内环境数据进行分类，获得每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，并对每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据进行错误数据的修正，获得洁净室每个类别工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值。

3.根据权利要求2所述的一种洁净室智能调控系统，其特征在于，分类修正子模块，包括：

数据分类单元，用于对采集到的工艺时间最新时刻的室内环境数据和非工艺时间最新时刻的室内环境数据进行数据分类，获得每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据和非工艺时间的最新时刻子室内环境数据，其中类别以环境数据的数据种类划分；

数据修正单元，用于基于每个类别预设的数据检测模型检测每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据是否为错误数据，若检测到工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据为错误数据，将以当前时刻为终止时刻的预设时段内所有时刻对应类别的工艺时间最新时刻子室内环境数据或非工艺时间最新时刻子室内环境数据的均值作为对应类别的处理数值，否则将每个类别工艺时间的最新时刻子室内环境数据或非工艺时间的最新时刻子室内环境数据作为对应类别的处理数值。

4.根据权利要求1所述的一种洁净室智能调控系统，其特征在于，判断求取模块，包括：

静压差子模块，用于将洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻气压值的处理数值与在非工艺时间的最新时刻气压值的处理数值的差值，作为洁净室在当前时刻的静压差；

静压差判断子模块，用于将洁净室在当前时刻的静压差与预设压差范围进行数值对比，若洁净室在当前时刻的静压差处于预设压差范围内，则判断结果为符合，否则，判断结果为不符合；

送风风量求取子模块，用于当判断结果为不符合时求取洁净室在当前时刻的泄漏风量。

5.根据权利要求4所述的一种洁净室智能调控系统，其特征在于，送风风量求取子模块，包括：

数据获取单元，用于当判断结果为不符合时，基于预设传感器实时获取洁净室内预设缝隙位置处的数据，包括预设缝隙的长度和预设缝隙单位长度的漏风风量；

风量求取单元，用于求取预设缝隙长度与预设缝隙单位长度的漏风风量的积，并将积作为洁净室在当前时刻的泄漏风量。

6.根据权利要求1所述的一种洁净室智能调控系统，其特征在于，送风模块，包括：

换气计算子模块，用于基于洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值计算当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数；

换气方式获取子模块，用于基于洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值和在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值确定出洁净室在当前时刻的换气方式，基于洁净室在当前时刻的换气次数和换气方式进行送风控制；

其中，洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值至少还包括洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、在非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、工艺时间的最新时刻回风量的处理数值。

7.根据权利要求6所述的一种洁净室智能调控系统，其特征在于，换气计算子模块基于洁净室在当前时刻的泄漏风量、洁净室的基础数据及洁净室在工艺时间的最新时刻室内环境处理数值和非工艺时间的最新时刻室内环境处理数值计算当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数的方法，包括：

获取计算换气次数所需的洁净室基础数据，包括洁净室回风风路管道上的过滤器过滤效率和送风风路管道上的过滤器过滤效率、洁净室的预设尘埃粒子数阈值；

基于预设尘埃粒子数阈值、洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值、当前时刻的泄漏风量、在工艺时间的最新时刻回风量的处理数值、回风风路管道上的过滤器过滤效率、送风风路管道上的过滤器过滤效率，计算出换气次数，包括：

；

其中，P为当前时刻需对洁净室进行换气的换气次数，R为洁净室的预设尘埃粒子数阈值，且预设尘埃粒子数阈值单位为粒/立方米，V为洁净室在工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值U为洁净室在非工艺时间的最新时刻室内尘埃粒子数的处理数值，且室内尘埃粒子数的处理数值的单位为粒，Q为洁净室在当前时刻的泄漏风量，W为洁净室在工艺时间的最新时刻回风量的处理数值，且泄漏风量和回风量的处理数值单位为/>，为洁净室回风风路管道上的过滤器过滤效率，/>为洁净室送风风路管道上的过滤器过滤效率。

8.根据权利要求6所述的一种洁净室智能调控系统，其特征在于，换气方式获取子模块，包括：

数值差值确定单元，用于求取洁净室在工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值与在非工艺时间的最新时刻室内温度值的处理数值之间的数值差值；

第一换气方式确定单元，用于若数值差值为正数时，将洁净室在当前时刻的换气方式确定为将室内大气加热至标定温度后经送风风路输送至洁净室；

第二换气方式确定单元，用于若数值差值为负数时，将洁净室在当前时刻的换气方式确定为将室内大气冷却至标定温度后经送风风路输送至洁净室；

第三换气方式确定单元，用于若数值差值为零时，将洁净室在当前时刻的换气方式确定为将室内大气直接经送风风路输送至洁净室；

送风控制单元，用于基于洁净室在当前时刻的换气次数和换气方式进行送风控制。

9.根据权利要求2所述的一种洁净室智能调控系统，其特征在于，含湿量判断模块，包括：

含湿量判断子模块，用于判断洁净室在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值是否符合预设含湿量范围；

含湿量控制方式子模块，用于当洁净室在在工艺时间的最新时刻室内采集点含湿量的处理数值不符合预设含湿量范围时，则基于洁净室含湿量上限、洁净室含湿量下限、在非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量获得洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式。

10.根据权利要求9所述的一种洁净室智能调控系统，其特征在于，含湿量控制方式子模块基于洁净室含湿量上限、洁净室含湿量下限、在非工艺时间的最新时刻室内含湿量的处理数值及标定含湿量获得洁净室在当前时刻的特定含湿量控制方式的方法，包括：

获取预设含湿量范围，并将预设含湿量范围的上限和下限分别作为洁净室含湿量上限和洁净室含湿量下限，将预设含湿量范围的中间值作为标定含湿量；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室的含湿量上限，且洁净室室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则将对洁净室进行次数递增的换气，直至洁净室的含湿量与标定含湿量相同时停止换气；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室的含湿量上限，且洁净室室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值不大于洁净室室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则对洁净室的对送风风路中的气体进行恒温除湿同时开启换气，直至洁净室的含湿量与标定含湿量相同时停止；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值小于洁净室的含湿量下限，且洁净室室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值大于洁净室室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则启动洁净室的加湿设备，直至洁净室的室内采集点含湿量的处理数值与标定含湿量相同时，停止加湿设备的运行；

若洁净室的室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值小于洁净室的含湿量下限，且洁净室室内采集点在工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值不大于洁净室室内采集点在非工艺时间的最新时刻含湿量的处理数值时，则对洁净室的对送风风路中的气体进行恒温加湿同时开启换气，直至洁净室的含湿量与标定含湿量相同时停止。