CN117894655A - 一种微焦点x射线管 - Google Patents

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CN117894655A CN202410053120.1A CN202410053120A CN117894655A CN 117894655 A CN117894655 A CN 117894655A CN 202410053120 A CN202410053120 A CN 202410053120A CN 117894655 A CN117894655 A CN 117894655A
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张超
薛延波
王鹏
吴祥
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Lima Precision Measurement Technology Suzhou Co ltd
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Lima Precision Measurement Technology Suzhou Co ltd
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Abstract

本发明提出了一种微焦点X射线管,包括:壳体部、阴极组件、阳极组件及窗口;阴极组件包括阴极壳体、阴极及阴极芯柱;阴极壳体的侧壁与壳体部的第一侧壁固定连接,阴极设在阴极壳体内靠近第一侧壁的位置用于产生电子束流,阴极芯柱设在阴极壳体内远离第一侧壁的位置;阳极组件包括阳极杆、阳极靶及散热部;阳极靶设置在阳极杆的第一端用于通过接收电子束流的撞击而产生X射线,阳极杆的第一端设在壳体部的内部,阳极杆的与其第一端相对的第二端伸出至壳体部的外部,散热部设在阳极杆的内部用于对阳极杆进行散热;窗口设在壳体部的第二侧壁上用于供X射线射出;阴极壳体内和壳体部内形成真空环境。本发明能提高整管的最大功率和/或连续工作时间。

Description

一种微焦点X射线管
技术领域
本发明属于X射线技术领域,具体涉及一种微焦点X射线管。
背景技术
X射线管是一种能够产生X射线的特殊装置,由于X射线极强的穿透性,因此被广泛应用于医疗、安检以及工业检测领域。X射线管由壳体封装提供真空环境,通过阴极发射电子束,利用外部电源加载在阴阳两极之间高压产生的电场去加速电子,加速后的电子轰击阳极靶与内部原子核以及核外电子相互作用产生X射线,X射线通过出射窗口辐射到X射线管外,整个过程中,需要一个稳定的高压环境和稳定的电子束流,去保证X射线管持续可靠的产生X射线。
然而,目前的X射线管的能量转换效率通常在1%左右,其余99%的能量都转换成了热量。这是由于目前常规的X射线发生技术都是通过电子束轰击阳极靶材去实现的,电子在与原子核以及核外电子相互作用的过程中,大部分能量以热量的形式残留在了阳极靶材内部,只有很少一部分形成了X射线光子并辐射到外部空间中。而且这99%的能量通常只能储存在阳极内部或者通过与阳极直接接触的器件一起换热去耗散掉,从而导致大部分X射线管会有一个最大功率的限制和/或连续工作时间的限制。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足之处,提供一种微焦点X射线管。
为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:一种微焦点X射线管,包括:壳体部、阴极组件、阳极组件以及窗口;其中,所述阴极组件包括阴极壳体、阴极以及阴极芯柱;所述阴极壳体的侧壁与所述壳体部的第一侧壁固定连接,所述阴极设置在所述阴极壳体内靠近所述第一侧壁的位置用于产生电子束流,所述阴极芯柱设置在所述阴极壳体内远离所述第一侧壁的位置;所述阳极组件包括阳极杆、阳极靶以及散热部;所述阳极靶设置在所述阳极杆的第一端用于通过接收所述电子束流的撞击而产生X射线,所述阳极杆的所述第一端设置在所述壳体部的内部,所述阳极杆的与其所述第一端相对的第二端伸出至所述壳体部的外部,所述散热部设置在所述阳极杆的内部用于对所述阳极杆进行散热;所述窗口设置在所述壳体部的第二侧壁上用于供所述X射线射出;所述阴极壳体的内部和所述壳体部的内部形成真空环境。
在一个具体实施例中,所述散热部包括:液冷管和介质通道;其中,所述液冷管的第一端设置在所述阳极杆的内部并靠近所述阳极杆的所述第一端,所述液冷管的与其所述第一端相对的第二端设置在所述阳极杆的内部并伸出至所述壳体部的外部且靠近所述阳极杆的所述第二端;所述介质通道设置在所述液冷管的外壁与所述阳极杆的内壁之间;所述液冷管内的冷却液自所述液冷管的所述第二端流向所述液冷管的所述第一端,并从所述液冷管的所述第一端端口流出经所述介质通道反流回至所述阳极杆的所述第二端端口后流出。
在一个具体实施例中,所述阳极组件包括阳极屏蔽罩,所述阳极屏蔽罩的顶部套设在所述阳极杆的凸台顶部的外部,所述阳极屏蔽罩的底部开口朝向所述阳极杆的所述第二端。
在一个具体实施例中,所述壳体部包括:第一壳体和与所述第一壳体固定连接的第二壳体,所述窗口设置在所述第一壳体上,所述阳极杆的所述第一端设置在所述第一壳体的内部,所述阳极杆的所述第二端和所述液冷管的所述第二端均伸出至所述第二壳体的外部,所述阴极壳体与所述第一壳体固定连接。
在一个具体实施例中,所述阳极组件还包括转接环,所述转接环的顶部套设在所述凸台底部的外部,所述转接环的底部与所述第二壳体的第一端固定连接。
在一个具体实施例中,所述第一壳体通过连接部与所述第二壳体的第二端连接。
在一个具体实施例中,所述阳极靶呈倾斜设置,所述阴极和所述窗口均朝向所述阳极靶,且所述电子束流射向所述阳极靶的第一方向与所述X射线射出所述窗口的第二方向垂直。
在一个具体实施例中,所述阳极靶的中心点与所述窗口的中心点的连线与所述阴极组件的中心线垂直,所述阴极组件的所述中心线穿过所述阳极靶的所述中心点。
在一个具体实施例中,所述阳极杆的所述第一端靠近所述阳极靶的周向边缘位置设置有圆角部。
在一个具体实施例中,所述阴极包括聚束极、栅极以及阴极体;其中,所述聚束极朝向所述阳极组件的一侧轴向设置有电子束流通道和与所述电子束流通道连通的聚束极孔;所述栅极设置在所述聚束极的内部并远离所述阳极组件,所述栅极的中部轴向设置有与所述聚束极孔连通的栅极孔;所述阴极体设置在所述聚束极的内部靠近所述栅极并远离所述聚束极孔。
在一个具体实施例中,所述阴极还包括:栅极引线、热丝地引线、热丝引线以及阴极体引线,所述阴极芯柱包括:栅极引脚、热丝地引脚、热丝引脚以及阴极体引脚;其中,所述栅极引线设置在所述栅极上并与所述栅极引脚电连接;所述热丝地引线设置在所述阴极体上远离所述栅极的一侧并与所述热丝地引脚电连接;所述热丝引线设置在所述阴极体上远离所述栅极的一侧并与所述热丝引脚电连接;所述阴极体引线设置在所述阴极体上并与所述阴极体引脚电连接。
在一个具体实施例中,所述第一壳体的侧壁上设置有排气口。
在一个具体实施例中,所述排气口采用无氧铜制成。
在一个具体实施例中,所述第一壳体接地。
在一个具体实施例中,所述第一壳体采用玻璃、陶瓷、不锈钢、无氧铜和/或蒙乃尔合金制成。
在一个具体实施例中,所述第二壳体采用绝缘材质制成。
在一个具体实施例中,所述绝缘材质为陶瓷和/或玻璃。
在一个具体实施例中,所述阴极壳体采用不锈钢、可伐合金、镍和/或无氧铜制成。
在一个具体实施例中,所述阴极芯柱采用陶瓷和/或可伐合金制成。
在一个具体实施例中,所述阳极杆采用不锈钢、无氧铜和/或蒙乃尔合金制成。
在一个具体实施例中,所述阳极靶采用钨和/或钨铼合金制成。
在一个具体实施例中,所述液冷管采用不锈钢、无氧铜和/或蒙乃尔合金制成。
在一个具体实施例中,所述冷却液为变压器油或去离子水。
在一个具体实施例中,所述阳极屏蔽罩采用不锈钢制成。
在一个具体实施例中,所述转接环采用可伐合金制成。
在一个具体实施例中,所述窗口采用铍或金刚石制成。
在一个具体实施例中,所述窗口的厚度为0.05~0.20毫米。
在一个具体实施例中,所述连接部采用可伐合金制成。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
1、本发明的X射线管设置了散热部,能够对阳极杆进行散热,使得阳极杆具有较强的散热能力,进而使得阳极靶上被电子束流轰击产生的热量传递给阳极杆并被快速地散掉,从而能够减少阳极杆的热量累积,使得X射线管可以承受的最大功率大,和/或持续工作的时间长,进而使得X射线管的应用场景变的更加宽泛,能够满足在线式高功率连续工作场景的需求。
2、本发明的X射线管的散热部设置了液冷管和介质通道,通过液冷管内流入到介质通道内的冷却液与阳极杆充分换热,使得阳极杆具有极佳的换热能力和散热能力,能够及时带走由阳极靶上传递过来的热量,进而使得阳极靶具备更好的热承载能力,从而承受更多的电子轰击而不损坏,该X射线管的热载荷能力强,能够承受的最大功率大,和/或持续工作的时间长,进而使得X射线管的应用场景变的更加宽泛,能够满足在线式高功率连续工作场景的需求,且稳定性好,可靠性好。
3、本发明的X射线管的阳极组件设置了阳极屏蔽罩,利用阳极屏蔽罩包裹阳极杆部分结构特征能够起到减少电场畸变提高电场稳定性的作用。。
4、本发明的X射线管的阳极靶呈倾斜设置,能够便于电子束流射向阳极靶并进行撞击,从而便于产生X射线,并且便于X射线射出窗口。
5、本发明的X射线管的阳极杆的第一端靠近阳极靶的周向边缘位置设置有圆角部,能够起到均匀阳极杆周围电场的作用,并且能够使得电子束流发射更加稳定且不易打火。
6、本发明的X射线管的第一壳体的侧壁上设置有排气口,能够用于将X射线管内的气体最大化的排空,使得X射线管达到超高真空的水平,以便于X射线管能够保持长期稳定的运行。
7、本发明的X射线管结构简单,使用方便,经济性好,应用范围广。
附图说明
图1示出了本发明的X射线管的一个具体实施例的剖视示意图;
图2示出了本发明的X射线管的阴极的一个具体实施例的剖视示意图。
其中,1-壳体部;11-第一侧壁;12-第二侧壁;13-第一壳体;14-第二壳体;15-连接部;16-排气口;2-阴极组件;21-阴极壳体;22-阴极;221-聚束极;2211-电子束流通道;2212-聚束极孔;222-栅极;2221-栅极孔;223-阴极体;224-栅极引线;225-热丝地引线;226-热丝引线;227-阴极体引线;23-阴极芯柱;231-栅极引脚;232-热丝地引脚;233-热丝引脚;234-阴极体引脚;24-中心线;3-阳极组件;31-阳极杆;311-第二端端口;312-凸台;313-圆角部;32-阳极靶;33-散热部;331-液冷管;3311-第一端端口;332-介质通道;34-阳极屏蔽罩;35-转接环;36-连线;4-窗口。
具体实施方式
下面结合附图所示的实施例对本发明作进一步说明。
本发明所提到的方向用语例如“内”、“外”、“轴向”、“第一方向”、“第二方向”等,仅是参考附加图式的方式。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。
如图1、图2所示,本发明的微焦点X射线管,包括:壳体部1、阴极组件2、阳极组件3以及窗口4。其中,
阴极组件2包括阴极壳体21、阴极22以及阴极芯柱23。阴极壳体21的侧壁与壳体部1的第一侧壁11固定连接。阴极22设置在阴极壳体21内靠近第一侧壁11的位置用于产生电子束流。阴极芯柱23设置在阴极壳体21内远离第一侧壁11的位置。
阳极组件3包括阳极杆31、阳极靶32以及散热部33。阳极靶32设置在阳极杆31的第一端用于通过接收电子束流的撞击而产生X射线。阳极杆31的第一端设置在壳体部1的内部。阳极杆31的与其第一端相对的第二端伸出至壳体部1的外部。散热部33设置在阳极杆31的内部用于对阳极杆31进行散热。
窗口4设置在壳体部1的第二侧壁12上用于供X射线射出。
阴极壳体21的内部和壳体部1的内部形成真空环境。
其中,阴极22产生的电子束流射向阳极靶32并对阳极靶32进行撞击,使得阳极靶32产生X射线。X射线通过窗口4射出。利用散热部33对阳极杆31进行散热,使得阳极杆31具有较强的散热能力,进而使得阳极靶32上被电子束流轰击产生的热量传递给阳极杆31并被快速地散掉,从而能够减少阳极杆31的热量累积,提高X射线管可以承受的最大功率和/或持续工作的时间。
在一个具体的实施例中,如图1所示,散热部33包括:液冷管331和介质通道332。其中,
液冷管331的第一端设置在阳极杆31的内部并靠近阳极杆31的第一端,液冷管331的与其第一端相对的第二端设置在阳极杆31的内部并伸出至壳体部1的外部且靠近阳极杆31的第二端。
介质通道332设置在液冷管331的外壁与阳极杆31的内壁之间。
液冷管331内的冷却液自液冷管331的第二端流向液冷管331的第一端,并从液冷管331的第一端端口3311流出经介质通道332反流回至阳极杆31的第二端端口311后流出。
其中,通过液冷管331内流入到介质通道332内的冷却液与阳极杆31充分换热,使得阳极杆31具有极佳的换热能力和散热能力,能够及时带走由阳极靶32上传递过来的热量,进而使得阳极靶32具备更好的热承载能力,从而承受更多的电子轰击而不损坏,该X射线管的热载荷能力强,能够承受的最大功率大,和/或持续工作的时间长,且稳定性好,可靠性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阳极组件3包括阳极屏蔽罩34,阳极屏蔽罩34的顶部套设在阳极杆31的凸台312顶部的外部,阳极屏蔽罩34的底部开口朝向阳极杆31的第二端。其中,利用阳极屏蔽罩34包裹阳极杆31部分结构特征能够起到减少电场畸变提高电场稳定性的作用。
在一个具体的实施例中,如图1所示,壳体部1包括:第一壳体13和与第一壳体13固定连接的第二壳体14。窗口4设置在第一壳体13上。阳极杆31的第一端设置在第一壳体13的内部,阳极杆31的第二端和液冷管331的第二端均伸出至第二壳体14的外部。阴极壳体21与第一壳体13固定连接。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阳极组件3还包括转接环35,转接环35的顶部套设在凸台312底部的外部,转接环35的底部与第二壳体14的第一端固定连接。其中,利用转接环35能够便于连接第二壳体14,且连接的稳定性好,可靠性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,凸台312设置在阳极杆31的中部,能够便于通过阳极屏蔽罩34包裹阳极杆31部分结构特征,并且便于通过转接环35连接第二壳体14。
在一个具体的实施例中,如图1所示,第一壳体13通过连接部15与第二壳体14的第二端连接。其中,利用连接部15能够便于第一壳体13和第二壳体14连接,且连接的稳定性好,可靠性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阳极靶32呈倾斜设置,阴极22和窗口4均朝向阳极靶32,且电子束流射向阳极靶32的第一方向与X射线射出窗口4的第二方向垂直。其中,阳极靶32呈倾斜设置能够便于电子束流射向阳极靶32并进行撞击,从而便于产生X射线,并且便于X射线射出窗口4。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阳极靶32的中心点与窗口4的中心点的连线36与阴极组件2的中心线24垂直,阴极组件2的中心线24穿过阳极靶32的中心点,能够进一步便于电子束流射向阳极靶32并进行撞击,从而便于产生X射线,并且进一步便于X射线射出窗口4。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阳极杆31的第一端靠近阳极靶32的周向边缘位置设置有圆角部313,能够起到均匀阳极杆31周围电场的作用,并且能够使得电子束流发射更加稳定且不易打火。
在一个具体的实施例中,如图2所示,阴极22包括聚束极221、栅极222以及阴极体223。其中,
聚束极221朝向阳极组件3的一侧轴向设置有电子束流通道2211和与电子束流通道2211连通的聚束极孔2212。
栅极222设置在聚束极221的内部并远离阳极组件3,栅极222的中部轴向设置有与聚束极孔2212连通的栅极孔2221;
阴极体223设置在聚束极221的内部靠近栅极222并远离聚束极孔2212。
其中,阴极体223具有-1200~-500V之间的偏压,栅极222具有-1500~-500V之间的偏压,聚束极221具有地电位。阴极体223经过加热,内部的电子突破功函数脱离阴极体223进入到真空环境内,栅极222通过偏压的调整去控制电子束流产生的过程,电子电子束流经过栅极孔2221和聚束极孔2212进入到电子束通道224,最终进入到壳体部1的内部并飞向阳极靶32。并且利用阴极体223和栅极222的偏压,能够有效控制电子束流的大小和发射电子束流的面积。
在一个具体的实施例中,如图2所示,阴极22还包括:栅极引线224、热丝地引线225、热丝引线226以及阴极体引线227。如图1所示,阴极芯柱23包括:栅极引脚231、热丝地引脚232、热丝引脚233以及阴极体引脚234。其中,
栅极引线224设置在栅极222上并与栅极引脚231电连接。
热丝地引线225设置在阴极体223上远离栅极222的一侧并与热丝地引脚232电连接。
热丝引线226设置在阴极体223上远离栅极222的一侧并与热丝引脚233电连接;
阴极体引线227设置在阴极体223上并与阴极体引脚234电连接。
其中,阴极体223经过热丝加热,内部的电子突破功函数脱离阴极体223进入到真空环境内,栅极222通过偏压的调整去控制电子束流产生的过程,电子电子束流经过栅极孔2221和聚束极孔2212进入到电子束通道224,最终进入到壳体部1的内部并飞向阳极靶32,稳定性好,可靠性好,且结构简单,使用方便。
在一个具体的实施例中,如图1、图2所示,栅极引线224与栅极引脚231通过金属丝和/或金属带连接或焊接,稳定性好,可靠性好,且结构简单,使用方便。
在一个具体的实施例中,如图1、图2所示,热丝地引线225与热丝地引脚232通过金属丝和/或金属带连接或焊接,稳定性好,可靠性好,且结构简单,使用方便。
在一个具体的实施例中,如图1、图2所示,热丝引线226与热丝引脚233通过金属丝和/或金属带连接或焊接,稳定性好,可靠性好,且结构简单,使用方便。
在一个具体的实施例中,如图1、图2所示,阴极体引线227与阴极体引脚234通过金属丝和/或金属带连接或焊接,稳定性好,可靠性好,且结构简单,使用方便。
在一个具体的实施例中,如图1所示,第一壳体13的侧壁上设置有排气口16,能够用于将X射线管内的气体最大化的排空,使得X射线管达到超高真空的水平,以便于X射线管能够保持长期稳定的运行。
在一个具体的实施例中,如图1所示,排气口16采用无氧铜制成,外表光滑,使用寿命长,且纯净度高,经济性好
在一个具体的实施例中,如图1所示,第一壳体13接地,能够减小阳极组件3周边电荷累积,提高X射线管的耐压性能,提高电子发射和电场聚焦的稳定性。
在一个具体的实施例中,如图1所示,第一壳体13采用玻璃、陶瓷、不锈钢、无氧铜和/或蒙乃尔合金制成,牢固可靠,且经济性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,第一壳体13一体成型,结构简单,使用方便,且经济性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,第二壳体14采用绝缘材质制成,绝缘性好。
在一个具体的实施例中,绝缘材质为陶瓷和/或玻璃,结构简单,使用方便,且经济性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,连接部15采用可伐合金制成,机械强度高,且耐腐蚀性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阴极壳体21采用不锈钢、可伐合金、镍和/或无氧铜制成,机械强度高,耐腐蚀性好,且经济性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阴极22为热阴极,电子输出稳定,且简单易用,经济性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阴极芯柱23采用陶瓷和/或可伐合金制成,电绝缘性好,且机械强度高。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阳极杆31采用不锈钢、无氧铜和/或蒙乃尔合金制成,机械强度高,耐腐蚀性好,且使用寿命长。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阳极靶32采用钨和/或钨铼合金制成,能够提高X射线的产生效率。
在一个具体的实施例中,如图1所示,液冷管331采用不锈钢、无氧铜和/或蒙乃尔合金制成,机械强度高,耐腐蚀性好,且使用寿命长。
在一个具体的实施例中,冷却液为变压器油或去离子水,具有优异的热传导性能,且环保性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,阳极屏蔽罩34采用不锈钢制成,能够便于获得更高的表面光洁度。
在一个具体的实施例中,如图1所示,转接环35采用可伐合金制成,机械强度高,耐腐蚀性好,且经济性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,窗口4采用铍或金刚石制成,耐高温性好,机械强度高,且耐腐蚀性好。
在一个具体的实施例中,如图1所示,窗口4的厚度为0.05~0.20毫米,能够便于X射线的出射。
本发明的X射线管使用时,利用散热部33对阳极杆31进行散热,使得阳极杆31具有较强的散热能力,进而使得阳极靶32上被电子束流轰击产生的热量传递给阳极杆31并被快速地散掉,从而能够减少阳极杆31的热量累积,提高X射线管可以承受的最大功率和/或持续工作的时间。
本发明的保护范围不限于上述的实施例,显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变形而不脱离本发明的范围和精神。倘若这些改动和变形属于本发明权利要求及其等同技术的范围,则本发明的意图也包含这些改动和变形在内。

Claims (22)

1.一种微焦点X射线管,其特征在于,包括:壳体部(1)、阴极组件(2)、阳极组件(3)以及窗口(4);其中,
所述阴极组件(2)包括阴极壳体(21)、阴极(22)以及阴极芯柱(23);所述阴极壳体(21)的侧壁与所述壳体部(1)的第一侧壁(11)固定连接,所述阴极(22)设置在所述阴极壳体(21)内靠近所述第一侧壁(11)的位置用于产生电子束流,所述阴极芯柱(23)设置在所述阴极壳体(21)内远离所述第一侧壁(11)的位置;
所述阳极组件(3)包括阳极杆(31)、阳极靶(32)以及散热部(33);所述阳极靶(32)设置在所述阳极杆(31)的第一端用于通过接收所述电子束流的撞击而产生X射线,所述阳极杆(31)的所述第一端设置在所述壳体部(1)的内部,所述阳极杆(31)的与其所述第一端相对的第二端伸出至所述壳体部(1)的外部,所述散热部(33)设置在所述阳极杆(31)的内部用于对所述阳极杆(31)进行散热;
所述窗口(4)设置在所述壳体部(1)的第二侧壁(12)上用于供所述X射线射出;
所述阴极壳体(21)的内部和所述壳体部(1)的内部形成真空环境。
2.根据权利要求1所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述散热部(33)包括:液冷管(331)和介质通道(332);其中,
所述液冷管(331)的第一端设置在所述阳极杆(31)的内部并靠近所述阳极杆(31)的所述第一端,所述液冷管(331)的与其所述第一端相对的第二端设置在所述阳极杆(31)的内部并伸出至所述壳体部(1)的外部且靠近所述阳极杆(31)的所述第二端;
所述介质通道(332)设置在所述液冷管(331)的外壁与所述阳极杆(31)的内壁之间;
所述液冷管(331)内的冷却液自所述液冷管(331)的所述第二端流向所述液冷管(331)的所述第一端,并从所述液冷管(331)的所述第一端端口(3311)流出经所述介质通道(332)反流回至所述阳极杆(31)的所述第二端端口(311)后流出。
3.根据权利要求2所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述阳极组件(3)包括阳极屏蔽罩(34),所述阳极屏蔽罩(34)的顶部套设在所述阳极杆(31)的凸台(312)顶部的外部,所述阳极屏蔽罩(34)的底部开口朝向所述阳极杆(31)的所述第二端。
4.根据权利要求3所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述壳体部(1)包括:第一壳体(13)和与所述第一壳体(13)固定连接的第二壳体(14),所述窗口(4)设置在所述第一壳体(13)上,所述阳极杆(31)的所述第一端设置在所述第一壳体(13)的内部,所述阳极杆(31)的所述第二端和所述液冷管(331)的所述第二端均伸出至所述第二壳体(14)的外部,所述阴极壳体(21)与所述第一壳体(13)固定连接。
5.根据权利要求4所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述阳极组件(3)还包括转接环(35),所述转接环(35)的顶部套设在所述凸台(312)底部的外部,所述转接环(35)的底部与所述第二壳体(14)的第一端固定连接。
6.根据权利要求4所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述第一壳体(13)通过连接部(15)与所述第二壳体(14)的第二端连接。
7.根据权利要求1所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述阳极靶(32)呈倾斜设置,所述阴极(22)和所述窗口(4)均朝向所述阳极靶(32),且所述电子束流射向所述阳极靶(32)的第一方向与所述X射线射出所述窗口(4)的第二方向垂直。
8.根据权利要求7所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述阳极靶(32)的中心点与所述窗口(4)的中心点的连线(36)与所述阴极组件(2)的中心线(24)垂直,所述阴极组件(2)的所述中心线(24)穿过所述阳极靶(32)的所述中心点。
9.根据权利要求1所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述阳极杆(31)的所述第一端靠近所述阳极靶(32)的周向边缘位置设置有圆角部(313)。
10.根据权利要求1所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述阴极(22)包括聚束极(221)、栅极(222)以及阴极体(223);其中,
所述聚束极(221)朝向所述阳极组件(3)的一侧轴向设置有电子束流通道(2211)和与所述电子束流通道(2211)连通的聚束极孔(2212);
所述栅极(222)设置在所述聚束极(221)的内部并远离所述阳极组件(3),所述栅极(222)的中部轴向设置有与所述聚束极孔(2212)连通的栅极孔(2221);
所述阴极体(223)设置在所述聚束极(221)的内部靠近所述栅极(222)并远离所述聚束极孔(2212)。
11.根据权利要求10所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述阴极(22)还包括:栅极引线(224)、热丝地引线(225)、热丝引线(226)以及阴极体引线(227),所述阴极芯柱(23)包括:栅极引脚(231)、热丝地引脚(232)、热丝引脚(233)以及阴极体引脚(234);其中,
所述栅极引线(224)设置在所述栅极(222)上并与所述栅极引脚(231)电连接;
所述热丝地引线(225)设置在所述阴极体(223)上远离所述栅极(222)的一侧并与所述热丝地引脚(232)电连接;
所述热丝引线(226)设置在所述阴极体(223)上远离所述栅极(222)的一侧并与所述热丝引脚(233)电连接;
所述阴极体引线(227)设置在所述阴极体(223)上并与所述阴极体引脚(234)电连接。
12.根据权利要求4所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述第一壳体(13)的侧壁上设置有排气口(16)。
13.根据权利要求12所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述排气口(16)采用无氧铜制成。
14.根据权利要求4所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述第一壳体(13)接地,所述第一壳体(13)采用玻璃、陶瓷、不锈钢、无氧铜和/或蒙乃尔合金制成。
15.根据权利要求4所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述第二壳体(14)采用绝缘材质制成。
16.根据权利要求15所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述绝缘材质为陶瓷和/或玻璃。
17.根据权利要求1所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述阴极壳体(21)采用不锈钢、可伐合金、镍和/或无氧铜制成,所述阴极芯柱(23)采用陶瓷和/或可伐合金制成。
18.根据权利要求1所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述阳极杆(31)采用不锈钢、无氧铜和/或蒙乃尔合金制成,所述阳极靶(32)采用钨和/或钨铼合金制成,所述液冷管(331)采用不锈钢、无氧铜和/或蒙乃尔合金制成,所述冷却液为变压器油或去离子水。
19.根据权利要求3所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述阳极屏蔽罩(34)采用不锈钢制成。
20.根据权利要求5所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述转接环(35)采用可伐合金制成。
21.根据权利要求1所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述窗口(4)采用铍或金刚石制成,所述窗口(4)的厚度为0.05~0.20毫米。
22.根据权利要求6所述的微焦点X射线管,其特征在于,所述连接部(16)采用可伐合金制成。
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