CN1178374A - 高分辨率图象拾取方法及其装置 - Google Patents

Abstract

一种高分辩率图象拾取方法,包括:将捕捉检查目标上的图象信息的图象拾取传感器的每组光接收象素分成多个区域;并针对每个分解的区域捕捉来自检查目标的图象,从而最后用所有光接收象素的区域来捕捉检查目标上的图象信息。

Description

高分辩率图象拾取方法及其装置

本发明涉及一种拾取高分辩率图象的方法及其装置。更具体地，本发明涉及到一种高分辩率图象拾取方法及其装置，用于增强图象拾取系统的分辩率，它被用于生产线上检查电子设备和其它埸合的显示设备上的坏点时自动地确定检查结果的可靠性，这些显示设备比如是液晶板，阴罩，CRT板和等离子显示器。

作为读取显示在显示设备上的屏幕的主要的方法，是提供了一个使用CCD区域传感器，该传感器是两维的传感器。

在该方法中，排列在两维传感器的列和行中的象素与排列在显示设备的列和行中的象素互相关联(下面除非特别说明，显示设备的象素被称为″显示象素″，传感器的象素被称为传感器象素″)，其中象素是如此排列的，即多个传感器象素与一个显示象素相关联。

以3000×1000象素液晶板作为显示设备为例来解释。液晶板包括象素的显示部分和非显示部分。在这些显示部分的光检查中的坏点可分为两类：暗点，它是液晶板在显示状态时不进行显示的一组显示象素；亮点，它是在非显示状态中进行显示的一组显示象素。用于检查这些坏点的自动检查装置，需要确定显示设备中这些坏点的正确位置。在这种情况下，当两个传感器象素被分配到一个显示象素中时，在行方向需要6000个象素。

可是，要增加传感器象素以满足增长的液晶板高密度象素的要求是不容易的。这是由于在半导体制造过程中，由于增加传感器象素，传感器象素本身出现坏点的可能性增加。为此原因，倘若使用具有传感器象素少的CCD区域传感器，其中的方法甚至不允许实施所需的自动检查装置。作为使用具有少的传感器象素的CCD区域传感器的方法，传统的方法是在第一位置利用多个CCD区域传感器，以及这样的方法，即移动CCD区域传感器的相对位置，并以小步移动来检查目标(例如，参见文章″LCD显示图象质量的自动检查技术″杂志″Monthly LCD Intelligence″，66-75页，1996年3月出版)。

可是，上述的两种常规方法具有如下问题。

首先，利用多个CCD区域传感器的第一种方法，它很难对齐检查装置的图象拾取光学系统，此外，它在处理图象拾取传感器之间显示象素的图象拾取部分的重叠部分时很复杂。因此，它不是所要采用的方法。而且，当CCD区域传感器很昂贵时，利用多个CCD区域传感器会使得整个图象拾取系统价格非常高。

在移动CCD区域传感器的相对位置并以小步移动来检查目标的第二个方法中，由于CCD区域传感器的象素数没有增加，不要期望分辩率有一个跳跃性的改变。例如，将显示象素51的幅度设置得小于图7所示的传感器象素50，结果显示象素的数量可以增加，其中显示象素被分配到传感器象素。这种情况是当显示象素在行方向计数2000个象素时图象拾取传感器在行方向计数到1000个象素。在这种情况，即使CCD区域传感器和检查目标之间的相对位置以小步移动，也可能获得唯一显示象素的信息，因为只有一个图象拾取传感器被分配到两个显示象素。

本发明的目标是提供一种高分辩率的图象拾取方法和装置，它能解决上述问题，并且容易实现高分辩率。

为实现这些和其它目标，按照本发明的第一方面，提供一种高分辩率图象拾取方法，包括：将捕捉检查目标上的图象信息的图象拾取传感器的每个光接收象素分成多个区域；并针对划分的区域的每一个从检查目标上捕捉图象信息，因此最后用所有光接收象素的区域来捕捉在检查目标上的图象信息。

按照本发明的第二个方面，提供一种按照第一方面的高分辩率图象拾取方法，其中图象信息是如此捕捉的，即在检查目标与图象拾取传感器之间提供光接收象素区域分解部分，每个光接收象素区域分解部分相应于图象拾取传感器的每个光接收象素放置，其面积小于一个光接收象素，只有从检查目标发出的、通过光接收象素区域分解部分的光才被图象拾取传感器的光接收象素捕捉，以作为图象信息。

按照本发明的第三个方面，提供一种高分辩率图象拾取装置，它包括：图象拾取传感器，具有捕捉检查目标上图象信息的多个光接收象素；光接收象素区域分解元件，具有光接收象素区域分解部分，该元件放置在图象拾取传感器与检查目标之间，而且每个光接收象素区域分解部分相应于图象拾取传感器的每个光接收象素放置，其面积小于一个光接收象素的面积，只有从检查目标发出的、通过光接收象素区域分解部分的光才被图象拾取传感器的光接收象素捕捉，以作为图象信息。

按照本发明的第四方面，提供一种按照第三方面的高分辩率图象拾取装置，其中，光接收象素区域分解元件是具有光阀功能的平板元件，每个光接收象素区域分解部分是该平板元件的孔径。

按照本发明第五方面，提供一种按照第三或第四方面的高分辩率图象拾取装置，其中，每个光接收象素区域分解部分的尺寸在水平和垂直方向都为图象拾取传感器的每个光接收象素的一半，检查目标上的图象信息以图象拾取传感器的每个光接收象素的1/4为单元被捕捉到图象拾取传感器。

按照本发明的第六方面，提供一种按照第三至第五方面任意一个的高分辩率图象拾取装置，其中光接收象素区域分解元件是由光屏蔽材料制成的暴光控制板，并具有与图象拾取传感器的每个光接收象素一一对应的针孔，其中高分辩率图象拾取装置还包括如此安装的透镜，使得通过该针孔的光在图象拾取传感器的光接收象素上形成图象。

按照本发明的第七方面，提供一种按照第三至第六方面任意一个的高分辩率图象拾取装置，其中光接收象素区域分解元件在每次图象拾取传感器的暴光完成后移动，其中图象拾取传感器的每个光接收象素面的暴光是多次完成的，以增强分辩率。

按照本发明的第八方面，提供一种按照第三至第七方面任意一个的高分辩率图象拾取装置，其中图象拾取传感器是具有多个100％的孔径的图象拾取传感器。

按照本发明的第九方面，提供一种按照第三至第八方面任意一个的高分辩率图象拾取装置，其中光接收象素区域分解元件由平板元件给定，该平板元件具有一些装置能控制从检查目标发射光的位置和尺寸，这些装置的数量是与图象拾取传感器的光接收象素数量相对应的。

按照本发明的第十方面，提供一种高分辩率图象拾取装置，包括：

图象拾取传感器，具有捕捉检查目标上图象信息的多个光接收象素；

光接收象素区域分解元件，具有光接收象素区域分解部分，该元件放置在图象拾取传感器与检查目标之间，而且每个光接收象素区域分解部分相应于图象拾取传感器的每个光接收象素放置，其面积小于一个光接收象素的面积。

其中光接收象素区域分解元件的光接收象素区域分解部分的光发射部分如此移动，使得只有从检查目标发出的、通过光接收象素区域分解部分的光发射部分的光才被图象拾取传感器的光接收象素捕捉，以作为图象信息。

按照本发明的第十一方面，提供一种按照第十方面的高分辩率图象拾取装置，其中光接收象素区域分解元件是一个具有光屏蔽功能的液晶阀，每个光接收象素区域分解部分是液晶象素，光发射部分是光发射象素。

本发明该方面的高分辩率图象拾取装置，其中图象拾取的象素数增加了，它能实现指定的传感器象素数即为显示检查目标所需的象素。在这种情况下，通过选择没有坏点和少的图象拾取传感器的CCD区域传感器来优化本发明该方面的光学系统，就可实现高分辩率。

下面解释按照本发明该方面的获得高分辩率的效果。

图8显示了拍摄一部分的图象，其中在不发射光的阴影部分有规律地形成孔。假设有孔的部分被拾取，以照亮图象。在该例子中，当一个传感器象素被分配到四个孔时，传感器象素的尺寸由60，61指示。移动传感器象素60一个孔距成为传感器象素61。同时，当一个传感器象素被指定一个孔时，传感器象素的尺寸由63指示。

现在假设在必要检测具有相对于常规孔65只有50％不发射光部分的异常孔64。在这种情况下，在拾取正常孔65的图象中所接收的光量设为100，而在拾取包括50％发射部分的异常孔64的图象中所接收的光量为50。然后，在下列两种情况(a)和(b)是重合的。应说明情况(a)相应于现有技术方法，情况(b)相应于本发明的一个实施例。

 (a)对于传感器象素61，从四个正常孔65接收的总光量为400，而对于60从三个正常孔65和一个异常孔64接收的光量为350。结果，传感器象素61，60在接收的光量方面互相不同，为[400∶350]＝[1.0∶0.875]，结果传感器像素61的接收光量是传感器象素60的1.14倍。

(b)利用设置到传感器象素63的分辩率，传感器象素63接收的光量即射到正常孔65上的光量为100，传感器象素63接收的光量即射到异常孔64上的光量为50。结果，传感器象素63在接收的光量方面不同，射到正常孔65和射到异常孔64上的光量为[100∶50]＝[1.0∶0.5]，因此射到正常孔65上的、由传感器象素63接收的光量是射到异常孔64上的、由传感器象素63接收的光量的两倍。

在(a)，(b)两种情况中比较，检测异常孔64的灵敏度在此是不同的，[(b)的灵敏度∶(a)的灵敏度]＝[2∶1.14]，因此有1.75倍的差别。结果，发现传感器象素尺寸小即分辩率高的情况(b)在检测灵敏度方面比情况(a)要高。

尽管在现有技术中显示的、以小步移动象素的相对位置的例子中的方法试图增强检测灵敏度以到达(b)的情况，但它不是一个解决方法。参见图8，传感器象素62显示了传感器象素60被移动传感器象素60半个孔距的情况。在这种半个孔距的情况，传感器象素62所接收的光量为350，等于传感器象素60所接收的光量，该情况与情况(a)类似。与情况(b)比较，显然，灵敏度差异对应着1.75这样一个结果的因数。

相反，本发明能获得的检测灵敏度与情况(b)相当。即图象拾取传感器的每个光接收象素被分解成小区域，多个分解的小区域被分配给显示象素，它是检查目标。通过如此做，图象拾取的象素量显著增加，由此，显示象素即检查目标所需的、指定的传感器象素数可以实现。用图8的例子来解释，当常规方法是将一个象素上的图象信息从整个传感器象素60捕捉时，本发明则提出将一个光接收象素分解成比如四个，即传感器象素60的整个区域被分解成比如四个传感器象素63，使得它可能捕捉相对于一个显示象素的四个图象信息，因此提高分辩率。

本发明该方面的高分辩率图象拾取装置，通过选择没有坏点和少的图象拾取传感器的CCD区域传感器来优化本发明该方面的光学系统，就可实现高分辩率。

利用按照本发明的该方案在于提高分辩率的图象拾取方法和装置，图象拾取传感器的每个光接收象素被分解成小的区域，并且这些多个分解的小区域被分配给检查目标的一个检查目标部分，由此，图象拾取的象素数可显著地增加，因此可容易地实现高分辩率。而且利用价格相当低的、具有象素坏点的可靠性很小、图象拾取传感器数少的CCD区域传感器，就可能使分辩率有很大的增强。另外，相对于图象拾取传感器的尺寸来调整光接收象素区域分解部分的大小可以容易地获得所需的分辩率。

通过下面结合附图对本发明的最佳实施例进行描述，本发明的上述目的和优点将更清楚。

图1是采用按照本发明一个实施例的高分辩率图象拾取方法的高分辩率图象拾取装置的示意图；

图2显示了在图1装置中使用的图象拾取传感器；

图3显示了在图1装置中使用的、具有孔径的暴光控制板；

图4是该实施例中图象捕捉过程的流程图；

图5A至5D显示了具有孔径的平板在图象拾取传感器之前的移动，在左部分可以发射光，其中图5A显示了象素的左上部分被暴光的情况；图5B显示了象素的右上部分被暴光的情况；图5C显示了象素的左下部分被暴光的情况；图5D显示了象素的右下部分被暴光的情况；

图6显示了本实施例中捕捉到图象存贮器中的象素数据；

图7显示了用于解释现有技术的、显示象素与传感器象素之间分配关系；

图8显示了用于解释本发明与现有技术相比的操作和效果的、显示象素与传感器象素之间分配关系；

图9A至9E显示了按照本发明其它实施例具有光发射象素和光屏蔽象素的液晶阀，

其中图9A显示了这种情况，其中光通过阀的液晶象素的左上光发射象素20a发射，使得图象拾取传感器的每个光接收象素被暴光，这与图5A对应。

其中图9B显示了这种情况，其中光通过阀的液晶象素的右上光发射象素20a发射，使得图象拾取传感器的每个光接收象素被暴光，这与图5B对应。

其中图9C显示了这种情况，其中光通过阀的液晶象素的左下光发射象素20a发射，使得图象拾取传感器的每个光接收象素被暴光，这与图5C对应。

其中图9D显示了这种情况，其中光通过阀的液晶象素的右下光发射象素20a发射，使得图象拾取传感器的每个光接收象素被暴光，这与图5D对应。

其中图9E显示了这种情况，其中图象拾取传感器的所有光接收象素都不暴光，因此显示光屏蔽象素20b。

在描述本发明之前，应注意在整个附图中相同的部分用相同的标号表示。

下面，将结合附图描述本发明的实施例。

图1是采用按照本发明一个实施例的高分辩率图象拾取方法的高分辩率图象拾取装置的结构图。在图1中，图象拾取传感器1具有：几乎100％面对检查目标4的数个孔径；暴光控制板2，它放置在图象拾取传感器1之前并在图象拾取传感器1与检查目标4之间，它用作为光接收象素区域分解元件，所具有的区域孔径2a每个都作为光接收象素区域分解部分；棱镜3，放置在暴光控制板2的检查目标侧。为简单起见，假设图象拾取传感器1具有3×3共9个光接收象素1a，如图2所示。即该装置包括：具有数个几乎100％的孔径的图象拾取传感器1；具有孔径2a的暴光控制板2，孔径2a是在发射光小于图象拾取传感器1的部分形成的，对应于位于图象拾取传感器1之前的图象拾取传感器象素，并可小步移动，其中具有孔径2a的暴光控制板2在图象拾取传感器暴光时小步移动，其中暴光是相对于每个图象拾取传感器象素的区域多次完成的。因此，孔径的分辩率增强。

暴光控制板2具有孔径2a，通过这些孔，如图3的阴影部分，可以发光。在本实施例中，为了加倍水平和街垂直方向的分辩率，形成的孔的尺寸在水平方向和垂直方向都是图象拾取传感器1的光接收象素1a的1/2，该孔用作为向图象拾取传感器1发射光的发射部分，其中孔被称作为孔径2a。因此，对应于图2所示图象拾取传感器1的9个光接收象素1a，在暴光控制板2上形成了9个孔径2a，如图3所示。

再假设：通过其驱动源为脉冲马达或线性马达的板位置移动装置7，具有孔径2a暴光控制板2可以小步移动，并且暴光控制板2可在水平和垂直言方向以四倍于1/2象素步骤移动。

图象拾取传感器1可以获得每个象素的灰度信号，该信号以数字形式送到计算机5。在计算机5中，该信号例如以8比特密度数据并与象素的行列兼容的形式存贮在存贮器6中，另外，在计算机5中存贮了所述的执行坏点检查的图象处理算法的程序。该图象处理算法的典型例子是将目标象素与其周围象素的图象数据比较，因此检测出超过算法阈值的部分。

图4显示了本实施例的高分辩率图象拾取装置捕捉到图象数据处理流程。图5A至图5D显示了在每个小步移动之后暴光控制板2停在图象拾取传感器1前面的位置。处理流程如下。

首先，图4中的步骤#1，移动暴光控制板2到相对于图象拾取传感器1的左上位置，如图5A所示。在图5A的位置，用虚线表示的暴光控制板2的下边缘和右边缘与用实线表示的图象拾取传感器1的下边缘和右边缘重合。

下面，在步骤#2，检查目标4在图5A状态为图象拾取传感器1暴光，由此通过图象拾取传感器1捕捉检查目标4的象素数据送到计算机5，因此图象数据g11LU′g12LU′g13LU′g21LU′g22LU′g23LU′g31LU′g32LU′g33LU′被存贮在图6所示的图象存贮器6中，其中描述字符″LU″表示这些图象数据是从位于左上位置的暴光控制板2产生的。

下面，在步骤#3，将位于图5A位置的暴光控制板2移动到相对于图象拾取传感器1的右上位置，如图5B所示。在图5B的位置，用虚线表示的暴光控制板2的下边缘和左边缘与用实线表示的图象拾取传感器1的下边缘和左边缘重合。

下面，在步骤#4，检查目标4在图5B状态为图象拾取传感器1暴光，由此通过图象拾取传感器1捕捉检查目标4的象素数据送到计算机5，因此图象数据g11RU′g12RU′g13RU′g21RU′g22RU′g23RU′g31RU′g32RU′g33RU′被存贮在图6所示的图象存贮器6中，其中描述字符″RU″表示这些图象数据是从位于右上位置的暴光控制板2产生的。

下面，在步骤#5，将位于图5B位置的暴光控制板2移动到相对于图象拾取传感器1的左下位置，如图5C所示。在图5C的位置，用虚线表示的暴光控制板2的上边缘和右边缘与用实线表示的图象拾取传感器1的上边缘和右边缘重合。

下面，在步骤#6，检查目标4在图5C状态为图象拾取传感器1暴光，由此通过图象拾取传感器1捕捉检查目标4的象素数据送到计算机5，因此图象数据g11LD′ g12LD′ g13LD′ g21LD′ g22LD′ g23LD′g31LD′g32LD′g33LD′被存贮在图6所示的图象存贮器6中，其中描述字符″LD″表示这些图象数据是从位于左下位置的暴光控制板2产生的。

下面，在步骤#7，将位于图5C位置的暴光控制板2移动到相对于图象拾取传感器1的右下位置，如图5D所示。在图5D的位置，用虚线表示的暴光控制板2的上边缘和左边缘与用实线表示的图象拾取传感器1的上边缘和左边缘重合。

下面，在步骤#8，检查目标4在图5D状态为图象拾取传感器1暴光，由此通过图象拾取传感器1捕捉检查目标4的象素数据送到计算机5，因此图象数据g11RD′ g12RD′ g13RD′ g21RD′ g22RD′ g23RD′g31RD′g32RD′g33RD′被存贮在图6所示的图象存贮器6中，其中描述字符″RD″表示这些图象数据是从位于右下位置的暴光控制板2产生的。

应注意的是四个图象数据例如g11LU′g11RU′g11LD′g11RD′总称为图象数据g11。类似，图象存贮器6还存贮图象数据g12，…g33。

作为上述处理的结果，图象拾取传感器1和每个光接收象素1a只是部分顺序暴光，即如图5A至5D所示的左上，右上，左下和右下部分顺序暴光。也就是说，对于每个状态，在指定给为图象拾取传感器1暴光的每个光接收象素1a的部分之外，具有孔径2a的暴光控制板2不存在，图象拾取传感器1的每个光接收象素1a在图5A中只产生左上部分的图象信息，在图5B中只产生右上部分的图象信息，在图5C中只产生左下部分的图象信息，在图5D中只产生右下部分的图象信息。因此在每种情况的图象信息被存贮在图象存贮器6的相应位置，如图6所示。结果，如图6所示，获得了在检查目标上水平方向和垂直方向上分解成六等份的图象数据，作为整个图象数据。即，通过上述的上下左右小步移动具有孔径2a的暴光控制板2，就使水平和垂直方向的分辩率都增加了一倍。此后，类似于常规的坏点检查过程可以执行高分辩率的图象密度数据捕捉。

显然，可理解的是通过改变具有孔径2a的暴光控制板2的尺寸和改变与该尺寸对应的小步移动量就可增强分辩率。例如，考虑到具有2000×2000个象素的CCD区域传感器作为图象拾取传感器1，并且具有孔径2a的暴光控制板2的孔径2a的水平和垂直尺寸相对于图象拾取传感器1只有光接收象素1a的1/3，其中具有孔径2a的暴光控制板2在水平和垂直方向每个都以1/3象素步距移动9次。在这种情况，结果是相当于分辩率增强9倍，因此可获得相当于使用6000×6000的CCD区域传感器的分辩率。

例如，当检查目标为具有大量的200μm显示象素的21英寸CRT显示屏时，使用2000×2000象素图象拾取传感器的结果是只要分配200μm传感器象素，正如在观察埸方面的转换。这意味着只有一个传感器象素可被分配给显示象素。结果，如果进行分辩率的检查将导致现有技术中出现的问题。为此，在上述的本发明的实施例中，采用下列措施。采用具有2000×2000个象素的CCD区域传感器作为图象拾取传感器，板的孔径即孔的水平和垂直尺寸是图象拾取传感器1中每个象素尺寸的1/2，其中具有孔径的板在水平和垂直方向都以1/2象素步距移动四次。在这种情况下，分辩率相当于增强四倍，由此可获得相当于使用4000×4000 CCD区域传感器的分辩率。该例子会取得在要获得的本发明的操作中所描述的效果。增强了四成的分辩率可以使检测异常孔的灵敏度比现有技术高1.75倍。

利用按照本发明的实施例的高分辩率图象拾取方法和装置，图象拾取传感器1的每个光接收象素1a被分解成小的区域，并且这些多个分解的小区域被分配给检查目标的一个检查目标部分，由此，图象拾取的象素数可显著地增加，因此可容易地实现高分辩率。而且利用价格相当低的、具有象素坏点的可靠性很小、图象拾取传感器数少的CCD区域传感器，就可能使分辩率有很大的增强。另外，相对于图象拾取传感器的尺寸来调整光接收象素区域分解部分的大小可以容易地获得所需的分辩率。应注意的是本发明并不限制于上述的实施例，它可以有各种改型。

例如，作为光接收象素区域分解元件的暴光控制板2并不限制于1个事先具有孔并将移动的板。可能采用这样一种方法，例如发射光的部分和不发射光的部分利用比如液晶阀20之类从外部来自动控制，如图9A-9E所示。即，光接收象素区域分解元件可由板元件比如具有光接收象素区域分解部分的液晶阀20给出，或由类似的设备给出，该设备从检查目标4发射光，并可从该元件外部控制检查目标的光的发射位置和尺寸，以及与图象拾取传感器1的光接收象素的数量相应的该设备的数量。更具体地，图9E中的阀20具有液晶象素，每个发光象素20a从检查目标4发射光，每个光屏蔽象素20b不从检查目标4发射光。因此，不用阀20本身的移动，就可控制液晶象素，如此发光象素20a与光屏蔽象素20b切换，就象发光象素移动一样，如图9A-9D所示。

而且，在上面的实施例中，处理流程是从左上到右上到左下到右下次序进行的。可是，该次序也不限制于一个中，只要它能使整个象素区域最终都暴光。

而且，在存贮器6中被捕捉的图象数据的结构也不是限制性的。

另外，在上述实施例中，具有孔径的暴光控制板2被放置在棱镜3的后面。可是，该位置并不限制于此，而是任意位置，只要它在图象拾取传感器1之前。

这里引用1996年6月28日申请的整个日本专利申请号8-169127作为参考，包括说明书，权利要求书，附图，和简要部分。

尽管通过上面结合附图对本发明的最佳实施例进行了描述，但应注意的是不脱离本发明的精神和范围，普通专业技术人员可作出各种变化和改型，本发明的范围由权利要求确定。

Claims (11)

1，一种高分辩率图象拾取方法，包括：

将捕捉检查目标(4)上的图象信息的图象拾取传感器(1)的每组光接收象素(1a)分成多个区域；并且

针对每个分解的区域捕捉来自检查目标的图象，因此最后用所有光接收象素的区域来捕捉在检查目标上的图象信息。

2，按照权利要求1的高分辩率图象拾取方法，其中图象信息是如此捕捉的，即在检查目标与图象拾取传感器之间提供光接收象素区域分解部分，每个光接收象素区域分解部分相应于图象拾取传感器的每个光接收象素放置，其面积小于一个光接收象素，只有从检查目标发出的、通过光接收象素区域分解部分的光才被图象拾取传感器的光接收象素捕捉，以作为图象信息。

3，一种高分辩率图象拾取装置，它包括：

图象拾取传感器(1)，具有捕捉检查目标(4)上图象信息的多个光接收象素(1a)；

光接收象素区域分解元件(2)，具有光接收象素区域分解部分(2a)，该元件放置在图象拾取传感器与检查目标之间，而且每个光接收象素区域分解部分相应于图象拾取传感器的每个光接收象素放置，其面积小于一个光接收象素的面积，

其中，只有从检查目标发出的、通过光接收象素区域分解部分的光才被图象拾取传感器的光接收象素捕捉，以作为图象信息。

4，按照权利要求3的高分辩率图象拾取装置，其中，光接收象素区域分解元件是具有光阀功能的平板元件，每个光接收象素区域分解部分(2a)是该平板元件的孔径。

5，按照权利要求3或4的高分辩率图象拾取装置，其中，每个光接收象素区域分解部分的尺寸在水平和垂直方向都为图象拾取传感器的每个光接收象素的一半，检查目标上的图象信息以图象拾取传感器的每个光接收象素的1/4为单元被捕捉到图象拾取传感器。

6.按照权利要求3至5的高分辩率图象拾取装置，其中光接收象素区域分解元件是由光屏蔽材料制成的暴光控制板(2)，并具有与图象拾取传感器的每个光接收象素(2a)一一对应的针孔，

其中高分辩率图象拾取装置还包括如此安装的透镜(3)，使得通过该针孔的光在图象拾取传感器的光接收象素上形成图象。

7.按照权利要求3至6的高分辩率图象拾取装置，其中光接收象素区域分解元件(2)在每次图象拾取传感器的暴光完成后移动，其中图象拾取传感器的每个光接收象素面的暴光是多次完成的，以增强分辩率。

8.按照权利要求3至7的高分辩率图象拾取装置，其中图象拾取传感器是具有多个100％的孔径的图象拾取传感器。

9.按照权利要求3至8的高分辩率图象拾取装置，其中光接收象素区域分解元件由平板元件给定，该平板元件具有一些装置能控制从检查目标发射光的位置和尺寸，这些装置的数量是与图象拾取传感器的光接收象素数量相对应的。

10.一种高分辩率图象拾取装置，包括：

图象拾取传感器(1)，具有捕捉检查目标(4)上图象信息的多个光接收象素(1a)；

光接收象素区域分解元件(20)，具有光接收象素区域分解部分(20a，20b)，该元件放置在图象拾取传感器与检查目标之间，而且每个光接收象素区域分解部分相应于图象拾取传感器的每个光接收象素放置，其面积小于一个光接收象素的面积，

其中光接收象素区域分解元件的光接收象素区域分解部分的光发射部分(20a)如此移动，使得只有从检查目标发出的、通过光接收象素区域分解部分的光发射部分的光才被图象拾取传感器的光接收象素捕捉，以作为图象信息。

11.按照权利要求10的高分辩率图象拾取装置，其中光接收象素区域分解元件是一个具有光屏蔽功能的液晶阀(20)，每个光接收象素区域分解部分(2a)是液晶象素，光发射部分(20a)是光发射象素。

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