CN117729699A - 一种线路板des线显影蚀刻退膜装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，涉及蚀刻退膜技术领域。本发明包括装置主体，且装置主体顶部中心处设置有储液池，储液池顶部设置有滤板，装置主体上方设置有顶板组件，还包括均匀装置，均匀装置设置在顶板组件内壁顶部，均匀装置包括电动伸缩柱、喷枪、半球柱和转板，电动伸缩柱顶部贯穿且固定安装在顶板组件内壁顶部，且电动伸缩柱伸缩端外壁设置有弹簧，喷枪顶部贯穿且固定安装在电动伸缩柱伸缩端底部，半球柱顶部转动安装在喷枪内部。本发明使得半球柱与转板同步转动将退膜液扰动，防止液体对物料喷洒不均，防止退膜液喷洒时存在局限性过于集中从而降低物料的退膜效果。

Description

一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置

技术领域

本发明涉及蚀刻退膜技术领域，具体为一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置。

背景技术

显影蚀刻退膜装置是一种在半导体制造过程中使用的设备，用于处理和加工半导体芯片，它包括显影系统、蚀刻系统和退膜系统等部分组成，是半导体加工中不可或缺的一种装置。

专利公告号为CN215420989U的专利公开了线路板DES线显影蚀刻退膜装置，属于蚀刻退膜领域。该专利包括安装板，安装板一表面固定连接有若干第一连接板，第一连接板一表面固定安装有退膜机，退膜机下表面固定连接若干第二连接板，第二连接板两侧面均固定连接滑轨，滑轨一表面滑动连接有滑块，滑块两相对表面固定安装有滑板，滑板上表面固定连接有斜坡，滑板上表面开设有通槽，滑板下表面固定连接有第三连接板，第三连接板下表面螺纹连接有固定板。该专利在使用时能够方便的将滑板安装在传送带下方，加工时退膜机通过喷液口向线路板喷射药液退膜，四散飞溅的药液在斜坡的作用下集中通过通槽流向下方的废液盒，从而能够方便的收集药液，也方便更换，使用简单方便。

但是目前该装置还存在不足之处：该装置能够将退膜机通过喷液口向线路板喷射药液退膜，但是药液在喷洒过程中容易过于集中，致使药液对线路板的喷洒不够均匀，从而影响退膜效果，因此，我们提出了一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，解决了上述背景技术中提出的药液在喷洒过程中容易过于集中问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，包括装置主体，且装置主体顶部中心处设置有储液池，所述储液池顶部设置有滤板，所述装置主体上方设置有顶板组件，还包括均匀装置、循环装置、注压装置和打捞装置，所述均匀装置设置在顶板组件内壁顶部，所述循环装置设置在装置主体右侧，所述注压装置设置在循环装置内部，所述打捞装置设置在均匀装置内部，所述均匀装置包括电动伸缩柱、喷枪、半球柱和转板，所述电动伸缩柱顶部贯穿且固定安装在顶板组件内壁顶部，且电动伸缩柱伸缩端外壁设置有弹簧，所述喷枪顶部贯穿且固定安装在电动伸缩柱伸缩端底部，电动伸缩柱伸缩端带动喷枪上下移动对物料喷洒退膜液，弹簧形变产生的拉力拉动电动伸缩柱伸缩端及时上升，避免喷枪与物料发生磕碰对物料造成损害，所述半球柱顶部转动安装在喷枪内部，所述转板右侧固定安装在半球柱外壁左侧，喷枪的喷力使得转板产生旋转的力从而带动半球柱同步转动，依靠半球柱与转板同步转动将退膜液扰动，防止液体对物料喷洒不均。

优选的，所述均匀装置还包括液体箱、加热柱和圆孔板，所述液体箱底部固定安装在顶板组件顶部中心处，所述加热柱底部贯穿且固定安装在半球柱顶部，所述圆孔板背面固定安装在加热柱外壁正面，且圆孔板底部与液体箱内壁底部接触，半球柱带动加热柱同步转动，同时喷枪抽动液体箱内部退膜液时产生的吸力使得圆孔板产生旋转的力从而促进加热柱转动，加热柱的增强半球柱的旋转力，促进喷枪的喷洒均匀度，圆孔板依靠加热柱的加热效果以及圆孔增大与液体的接触面积，加快了对退膜液的加热效果。

优选的，所述循环装置包括U形管、水泵、电动转柱和刀片，所述U形管底部左侧贯穿且固定安装在储液池内部，且U形管顶部左侧贯穿且固定安装在液体箱右侧，所述水泵设置在U形管右侧中心处，通过水泵的抽力将储液池中的退膜液依靠U形管输送至液体箱中，形成液体循环，方便液体收集的同时节省了资源浪费现象，所述电动转柱底部转动安装在水泵内壁底部，且电动转柱外壁设置有弧形槽，所述刀片背面固定安装在电动转柱外壁表面，电动转柱旋转时带动刀片同步转动，刀片转动时会将退膜液中携带的物料膜产片进行切割碎化。

优选的，所述循环装置还包括横杆、空心滤环和圆形炭块，所述横杆左端滑动安装在电动转柱弧形槽内部，所述空心滤环外壁滑动连接在水泵内部处，且空心滤环内壁右侧固定连接在横杆右端，所述空心滤环底部设置有圆孔，电动转柱转动时依靠弧形槽对横杆的限制，使得横杆上下移动时带动空心滤环同步移动，空心滤环将水泵中的液体灌入排出，对水泵中液体进行净化处理，所述圆形炭块底部通过弹簧固定安装在空心滤环内壁底部，依靠液体灌入和排出空心滤环内部时产生的冲力和拉力，使得圆形炭块沿着空心滤环内壁上下滑动，进一步促进对退膜液中脏物与物料膜残渣的吸附净化效果。

优选的，所述注压装置包括摆动板、气压囊和喷气枪，所述摆动板左侧一端铰接在空心滤环内壁靠近底部一端，空心滤环上下移动时与液体的冲击力使得摆动板往复上下摆动，从而对水泵内部液体产生推动力，增加液体流动速度，同时还增加水泵内部的水压，使得液体能够更远或更高地供给，所述气压囊固定安装在摆动板底部与水泵内壁底部之间，所述喷气枪左侧固定安装在气压囊外壁右侧，气压囊形变时产生的压力通过喷气枪将气压囊内部气压喷出，通过对水泵内部注入气体，可以增加水泵的排空能力，有效减少泵内残余液体的含量。

优选的，所述注压装置还包括弧形塞和弧形弹板，所述弧形塞左侧滑动安装在喷气枪右侧，所述弧形弹板左侧固定连接在气压囊外壁右侧，且弧形弹板内壁左侧与弧形塞右侧接触，喷气枪喷力推动弧形塞向远离喷气枪方向运动，弧形塞顶动弧形弹板同步形变，使得气压囊内部气体能够正常喷出，之后依靠弧形弹板弹力快速复原时带动弧形塞快速复位，依靠弧面对液体进行遮挡。

优选的，所述打捞装置包括转盘、凸球杆、压杆和活性炭板，所述转盘底部固定安装在加热柱顶部，所述凸球杆右端固定安装在转盘外壁表面，所述压杆左端设置在凸球杆右端弧面底部，所述活性炭板左右两端铰接在液体箱内壁右侧，且活性炭板左侧与压杆右侧固定连接，加热柱带动转盘同步转动，转盘带动凸球杆同步转动，凸球杆转动时会不断抵触压杆向下摆动，压杆带动活性炭板同步摆动，活性炭板摆动时对U形管排出的退膜液进行摆动过滤，进一步提升对退膜液净化效果同时也将液体推动。

优选的，所述打捞装置还包括网板、碾压块和弹片，所述网板顶部固定安装在凸球杆外壁底部，网板转动时会对液体中微小块状固体进行打捞，防止块状固体影响显影效果，所述碾压块上下两端滑动安装在网板内壁处，所述弹片固定安装在碾压块右侧与相邻一侧之间，弹片形变时带动碾压块沿着网板内壁同步滑动，依靠碾压块的滑动碾压将块状固体碾碎。

本发明提供了一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置。具备以下有益效果：

(1)、本发明通过均匀装置的设置，通过电动伸缩柱和喷枪配合，使得电动伸缩柱伸缩端带动喷枪上下移动对物料喷洒退膜液，当喷枪下降过低抵触到物料时，依靠弹簧形变产生的拉力拉动电动伸缩柱伸缩端及时上升从而同步拉动喷枪上移，避免喷枪与物料发生磕碰对物料造成损害；通过半球柱和转板配合，使得半球柱与转板同步转动将退膜液扰动，防止液体对物料喷洒不均，防止退膜液喷洒时存在局限性过于集中从而降低物料的退膜效果；通过加热柱和圆孔板配合，使得加热柱的旋转力同步增强半球柱的旋转力，从而进一步促进喷枪的喷洒均匀度；同时圆孔板依靠加热柱的加热效果以及圆孔增大与液体的接触面积，此时圆孔板旋转时加快了对退膜液的加热效果，促进液体分子的活跃性从而提升对物料的退膜效果。

(2)、本发明通过循环装置的设置，通过U形管和水泵配合，使得水泵的抽力将储液池中的退膜液依靠U形管输送至液体箱中，形成液体循环，方便液体收集的同时节省了资源浪费现象，实现资源利用合理化减少了经济支出；通过电动转柱和刀片配合，使得刀片转动时会将退膜液中携带的物料膜产片进行切割碎化，防止物料膜缠绕水泵电机转轴，造成水泵烧化短路现象；通过横杆和空心滤环配合，使得空心滤环依靠底部圆孔将水泵中的液体灌入排出，对水泵中液体进行净化处理，防止退膜液二次使用时内部携带脏物降低物料显示清晰度；通过圆形炭块的设置，使得圆形炭块往复上下移动，进一步促进对退膜液中脏物与物料膜残渣的吸附净化效果，保证液体的洁净性。

(3)、本发明通过注压装置的设置，通过空心滤环和摆动板配合，使得依靠摆动板的摆动对水泵内部液体产生推动力，从而增加液体流动速度，增加水泵内部的水压，使得液体能够更远或更高地供给；通过气压囊和喷气枪配合，通过对水泵内部注入气体，可以增加水泵的排空能力，有效减少泵内残余液体的含量，从而提高泵的启动性能和运行效率，以及降低液体表面张力，减小泡沫的生成和对泵的影响，提高水泵运行效率同时也延长了水泵的使用寿命；通过弧形塞和弧形弹板配合，使得气压囊内部气体能够正常喷出，之后依靠弧形弹板弹力快速复原时带动弧形塞快速复位，依靠弧面对液体进行遮挡，有效防止液体通过喷气枪进入气压囊内部，避免气体受到液体侵蚀混合。

(4)、本发明通过打捞装置的设置，通过加热柱、转盘、凸球杆、压杆和活性炭板配合，使得活性炭板摆动时对U形管排出的退膜液进行摆动过滤，进一步提升对退膜液净化效果同时也将液体推动，避免退膜液过度堆积在液体箱进口处产生反溢现象；同时凸球杆转动时液体箱内部液体搅动，有效促进液体循环加热的均匀性；通过网板和凸球杆配合，使得网板转动时会对液体中微小块状固体进行打捞，防止块状固体影响显影效果的同时也避免堵塞液体箱底部的出液口；通过碾压块和弹片配合，使得依靠碾压块的滑动碾压将块状固体碾碎，防止块状固体长期存在粘附在液体箱内壁上从而增加后期清理难度，同时块状固体也减缓了液体箱内部液体的混合速度。

附图说明

图1为本发明整体的示意图；

图2为本发明整体的内部结构示意图；

图3为本发明均匀装置示意图；

图4为本发明均匀装置剖视示意图；

图5为本发明循环装置示意图；

图6为本发明循环装置剖视示意图；

图7为本发明循环装置中单一结构剖视示意图；

图8为本发明注压装置示意图；

图9为本发明打捞装置示意图。

图中：1、装置主体；11、滤板；2、顶板组件；3、均匀装置；31、电动伸缩柱；32、喷枪；33、半球柱；34、转板；35、液体箱；36、加热柱；37、圆孔板；4、循环装置；41、U形管；42、水泵；43、电动转柱；44、刀片；45、横杆；46、空心滤环；47、圆形炭块；5、注压装置；51、摆动板；52、气压囊；53、喷气枪；54、弧形塞；55、弧形弹板；6、打捞装置；61、转盘；62、凸球杆；63、压杆；64、活性炭板；65、网板；66、碾压块；67、弹片。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例1

请参阅图1-7，本实施例提供了一种技术方案：一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，包括装置主体1，且装置主体1顶部中心处设置有储液池，储液池顶部设置有滤板11，装置主体1上方设置有顶板组件2，还包括均匀装置3、循环装置4，均匀装置3设置在顶板组件2内壁顶部，循环装置4设置在装置主体1右侧，均匀装置3包括电动伸缩柱31、喷枪32、半球柱33和转板34，电动伸缩柱31顶部贯穿且固定安装在顶板组件2内壁顶部，且电动伸缩柱31伸缩端外壁设置有弹簧，喷枪32顶部贯穿且固定安装在电动伸缩柱31伸缩端底部，电动伸缩柱31伸缩端带动喷枪32上下移动对物料喷洒退膜液，弹簧形变产生的拉力拉动电动伸缩柱31伸缩端及时上升，避免喷枪32与物料发生磕碰对物料造成损害，半球柱33顶部转动安装在喷枪32内部，转板34右侧固定安装在半球柱33外壁左侧，喷枪32的喷力使得转板34产生旋转的力从而带动半球柱33同步转动，依靠半球柱33与转板34同步转动将退膜液扰动，防止液体对物料喷洒不均。

均匀装置3还包括液体箱35、加热柱36和圆孔板37，液体箱35底部固定安装在顶板组件2顶部中心处，加热柱36底部贯穿且固定安装在半球柱33顶部，圆孔板37背面固定安装在加热柱36外壁正面，且圆孔板37底部与液体箱35内壁底部接触，半球柱33带动加热柱36同步转动，同时喷枪32抽动液体箱35内部退膜液时产生的吸力使得圆孔板37产生旋转的力从而促进加热柱36转动，加热柱36的增强半球柱33的旋转力，促进喷枪32的喷洒均匀度，圆孔板37依靠加热柱36的加热效果以及圆孔增大与液体的接触面积，加快了对退膜液的加热效果。

循环装置4包括U形管41、水泵42、电动转柱43和刀片44，U形管41底部左侧贯穿且固定安装在储液池内部，且U形管41顶部左侧贯穿且固定安装在液体箱35右侧，水泵42设置在U形管41右侧中心处，通过水泵42的抽力将储液池中的退膜液依靠U形管41输送至液体箱35中，形成液体循环，方便液体收集的同时节省了资源浪费现象，电动转柱43底部转动安装在水泵42内壁底部，且电动转柱43外壁设置有弧形槽，刀片44背面固定安装在电动转柱43外壁表面，电动转柱43旋转时带动刀片44同步转动，刀片44转动时会将退膜液中携带的物料膜产片进行切割碎化。

循环装置4还包括横杆45、空心滤环46和圆形炭块47，横杆45左端滑动安装在电动转柱43弧形槽内部，空心滤环46外壁滑动连接在水泵42内部处，且空心滤环46内壁右侧固定连接在横杆45右端，空心滤环46底部设置有圆孔，电动转柱43转动时依靠弧形槽对横杆45的限制，使得横杆45上下移动时带动空心滤环46同步移动，空心滤环46将水泵42中的液体灌入排出，对水泵42中液体进行净化处理，圆形炭块47底部通过弹簧固定安装在空心滤环46内壁底部，依靠液体灌入和排出空心滤环46内部时产生的冲力和拉力，使得圆形炭块47沿着空心滤环46内壁上下滑动，进一步促进对退膜液中脏物与物料膜残渣的吸附净化效果。

使用时，将物料放置在装置主体1顶部滤板11处，启动电动伸缩柱31，电动伸缩柱31伸缩端带动喷枪32上下移动对物料喷洒退膜液，当喷枪32下降过低抵触到物料时，依靠弹簧形变产生的拉力拉动电动伸缩柱31伸缩端及时上升从而同步拉动喷枪32上移，避免喷枪32与物料发生磕碰对物料造成损害；同时依靠喷枪32的喷力使得转板34产生旋转的力从而带动半球柱33同步转动，依靠半球柱33与转板34同步转动将退膜液扰动，防止液体对物料喷洒不均，防止退膜液喷洒时存在局限性过于集中从而降低物料的退膜效果；半球柱33转动时带动加热柱36同步转动，同时喷枪32抽动液体箱35内部退膜液时产生的吸力使得圆孔板37产生旋转的力开始转动从而促进加热柱36转动，加热柱36的旋转力同步增强半球柱33的旋转力，从而进一步促进喷枪32的喷洒均匀度；同时圆孔板37依靠加热柱36的加热效果以及圆孔增大与液体的接触面积，此时圆孔板37旋转时加快了对退膜液的加热效果，促进液体分子的活跃性从而提升对物料的退膜效果。

喷枪32喷洒出的过多液体会通过滤板11流入储液池中，启动水泵42，通过水泵42的抽力将储液池中的退膜液依靠U形管41输送至液体箱35中，形成液体循环，方便液体收集的同时节省了资源浪费现象，实现资源利用合理化减少了经济支出；启动电动转柱43，电动转柱43旋转时带动刀片44同步转动，刀片44转动时会将退膜液中携带的物料膜产片进行切割碎化，防止物料膜缠绕水泵42电机转轴，造成水泵42烧化短路现象；电动转柱43转动时依靠弧形槽对横杆45的限制，使得横杆45上下移动时带动空心滤环46同步移动，空心滤环46依靠底部圆孔将水泵42中的液体灌入排出，对水泵42中液体进行净化处理，防止退膜液二次使用时内部携带脏物降低物料显示清晰度；同时依靠液体灌入和排出空心滤环46内部时产生的冲力和拉力，使得圆形炭块47沿着空心滤环46内壁上下滑动，圆形炭块47带动弹簧同步形变，之后依靠弹簧形变复原过程的弹力带动圆形炭块47往复上下移动，进一步促进对退膜液中脏物与物料膜残渣的吸附净化效果，保证液体的洁净性。

实施例2

请参阅图1-9，基于实施例1的基础上，本实施例中还包括注压装置5和打捞装置6，注压装置5设置在循环装置4内部，打捞装置6设置在均匀装置3内部；

注压装置5包括摆动板51、气压囊52和喷气枪53，摆动板51左侧一端铰接在空心滤环46内壁靠近底部一端，空心滤环46上下移动时与液体的冲击力使得摆动板51往复上下摆动，从而对水泵42内部液体产生推动力，增加液体流动速度，同时还增加水泵42内部的水压，使得液体能够更远或更高地供给，气压囊52固定安装在摆动板51底部与水泵42内壁底部之间，喷气枪53左侧固定安装在气压囊52外壁右侧，气压囊52形变时产生的压力通过喷气枪53将气压囊52内部气压喷出，通过对水泵42内部注入气体，可以增加水泵42的排空能力，有效减少泵内残余液体的含量。

注压装置5还包括弧形塞54和弧形弹板55，弧形塞54左侧滑动安装在喷气枪53右侧，弧形弹板55左侧固定连接在气压囊52外壁右侧，且弧形弹板55内壁左侧与弧形塞54右侧接触，喷气枪53喷力推动弧形塞54向远离喷气枪53方向运动，弧形塞54顶动弧形弹板55同步形变，使得气压囊52内部气体能够正常喷出，之后依靠弧形弹板55弹力快速复原时带动弧形塞54快速复位，依靠弧面对液体进行遮挡。

打捞装置6包括转盘61、凸球杆62、压杆63和活性炭板64，转盘61底部固定安装在加热柱36顶部，凸球杆62右端固定安装在转盘61外壁表面，压杆63左端设置在凸球杆62右端弧面底部，活性炭板64左右两端铰接在液体箱35内壁右侧，且活性炭板64左侧与压杆63右侧固定连接，加热柱36带动转盘61同步转动，转盘61带动凸球杆62同步转动，凸球杆62转动时会不断抵触压杆63向下摆动，压杆63带动活性炭板64同步摆动，活性炭板64摆动时对U形管41排出的退膜液进行摆动过滤，进一步提升对退膜液净化效果同时也将液体推动。

打捞装置6还包括网板65、碾压块66和弹片67，网板65顶部固定安装在凸球杆62外壁底部，网板65转动时会对液体中微小块状固体进行打捞，防止块状固体影响显影效果，碾压块66上下两端滑动安装在网板65内壁处，弹片67固定安装在碾压块66右侧与相邻一侧之间，弹片67形变时带动碾压块66沿着网板65内壁同步滑动，依靠碾压块66的滑动碾压将块状固体碾碎。

使用时，空心滤环46上下移动时与液体的冲击力使得摆动板51往复上下摆动，依靠摆动板51的摆动对水泵42内部液体产生推动力，从而增加液体流动速度，同时还增加水泵42内部的水压，使得液体能够更远或更高地供给；摆动板51上下摆动时拉动气压囊52同步形变，气压囊52形变时产生的压力通过喷气枪53将气压囊52内部气压喷出，通过对水泵42内部注入气体，可以增加水泵42的排空能力，有效减少泵内残余液体的含量，从而提高泵的启动性能和运行效率，以及降低液体表面张力，减小泡沫的生成和对泵的影响，提高水泵42运行效率同时也延长了水泵42的使用寿命；喷气枪53喷力推动弧形塞54向远离喷气枪53方向运动，弧形塞54顶动弧形弹板55同步形变，使得气压囊52内部气体能够正常喷出，之后依靠弧形弹板55弹力快速复原时带动弧形塞54快速复位，依靠弧面对液体进行遮挡，有效防止液体通过喷气枪53进入气压囊52内部，避免气体受到液体侵蚀混合。

加热柱36带动转盘61同步转动，转盘61带动凸球杆62同步转动，凸球杆62转动时会不断抵触压杆63向下摆动，压杆63带动活性炭板64同步摆动，活性炭板64摆动时对U形管41排出的退膜液进行摆动过滤，进一步提升对退膜液净化效果同时也将液体推动，避免退膜液过度堆积在液体箱35进口处产生反溢现象；同时凸球杆62转动时液体箱35内部液体搅动，有效促进液体循环加热的均匀性；凸球杆62转动时带动网板65同步转动，网板65转动时会对液体中微小块状固体进行打捞，防止块状固体影响显影效果的同时也避免堵塞液体箱35底部的出液口；网板65旋转时与液体产生的阻力使得弹片67弧形面形变收缩，弹片67形变时带动碾压块66沿着网板65内壁同步滑动，依靠碾压块66的滑动碾压将块状固体碾碎，防止块状固体长期存在粘附在液体箱35内壁上从而增加后期清理难度，同时块状固体也减缓了液体箱35内部液体的混合速度。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，包括装置主体(1)，且装置主体(1)顶部中心处设置有储液池，所述储液池顶部设置有滤板(11)，所述装置主体(1)上方设置有顶板组件(2)，其特征在于：还包括均匀装置(3)、循环装置(4)、注压装置(5)和打捞装置(6)，所述均匀装置(3)设置在顶板组件(2)内壁顶部，所述循环装置(4)设置在装置主体(1)右侧，所述注压装置(5)设置在循环装置(4)内部，所述打捞装置(6)设置在均匀装置(3)内部，所述均匀装置(3)包括电动伸缩柱(31)、喷枪(32)、半球柱(33)和转板(34)，所述电动伸缩柱(31)顶部贯穿且固定安装在顶板组件(2)内壁顶部，且电动伸缩柱(31)伸缩端外壁设置有弹簧，所述喷枪(32)顶部贯穿且固定安装在电动伸缩柱(31)伸缩端底部，所述半球柱(33)顶部转动安装在喷枪(32)内部，所述转板(34)右侧固定安装在半球柱(33)外壁左侧。

2.根据权利要求1所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述均匀装置(3)还包括液体箱(35)、加热柱(36)和圆孔板(37)，所述液体箱(35)底部固定安装在顶板组件(2)顶部中心处，所述加热柱(36)底部贯穿且固定安装在半球柱(33)顶部，所述圆孔板(37)背面固定安装在加热柱(36)外壁正面，且圆孔板(37)底部与液体箱(35)内壁底部接触。

3.根据权利要求2所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述循环装置(4)包括U形管(41)、水泵(42)、电动转柱(43)和刀片(44)，所述U形管(41)底部左侧贯穿且固定安装在储液池内部，且U形管(41)顶部左侧贯穿且固定安装在液体箱(35)右侧，所述水泵(42)设置在U形管(41)右侧中心处，所述电动转柱(43)底部转动安装在水泵(42)内壁底部，且电动转柱(43)外壁设置有弧形槽，所述刀片(44)背面固定安装在电动转柱(43)外壁表面。

4.根据权利要求3所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述循环装置(4)还包括横杆(45)、空心滤环(46)和圆形炭块(47)，所述横杆(45)左端滑动安装在电动转柱(43)弧形槽内部，所述空心滤环(46)外壁滑动连接在水泵(42)内部处，且空心滤环(46)内壁右侧固定连接在横杆(45)右端，所述空心滤环(46)底部设置有圆孔，所述圆形炭块(47)底部通过弹簧固定安装在空心滤环(46)内壁底部。

5.根据权利要求4所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述注压装置(5)包括摆动板(51)、气压囊(52)和喷气枪(53)，所述摆动板(51)左侧一端铰接在空心滤环(46)内壁靠近底部一端，所述气压囊(52)固定安装在摆动板(51)底部与水泵(42)内壁底部之间，所述喷气枪(53)左侧固定安装在气压囊(52)外壁右侧。

6.根据权利要求5所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述注压装置(5)还包括弧形塞(54)和弧形弹板(55)，所述弧形塞(54)左侧滑动安装在喷气枪(53)右侧，所述弧形弹板(55)左侧固定连接在气压囊(52)外壁右侧，且弧形弹板(55)内壁左侧与弧形塞(54)右侧接触。

7.根据权利要求2所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述打捞装置(6)包括转盘(61)、凸球杆(62)、压杆(63)和活性炭板(64)，所述转盘(61)底部固定安装在加热柱(36)顶部，所述凸球杆(62)右端固定安装在转盘(61)外壁表面，所述压杆(63)左端设置在凸球杆(62)右端弧面底部，所述活性炭板(64)左右两端铰接在液体箱(35)内壁右侧，且活性炭板(64)左侧与压杆(63)右侧固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述打捞装置(6)还包括网板(65)、碾压块(66)和弹片(67)，所述网板(65)顶部固定安装在凸球杆(62)外壁底部，所述碾压块(66)上下两端滑动安装在网板(65)内壁处，所述弹片(67)固定安装在碾压块(66)右侧与相邻一侧之间。