CN117696133A - 用于外泌体处理的微流控芯片及其制作方法 - Google Patents
用于外泌体处理的微流控芯片及其制作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117696133A CN117696133A CN202311447640.2A CN202311447640A CN117696133A CN 117696133 A CN117696133 A CN 117696133A CN 202311447640 A CN202311447640 A CN 202311447640A CN 117696133 A CN117696133 A CN 117696133A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- nano
- electrode layer
- plate unit
- layer
- microfluidic chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000001808 exosome Anatomy 0.000 title claims abstract description 80
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 54
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 48
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 25
- 239000002063 nanoring Substances 0.000 claims description 19
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 17
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 9
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 9
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 4
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 claims description 4
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 3
- 230000008676 import Effects 0.000 claims description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 14
- 238000004720 dielectrophoresis Methods 0.000 abstract description 13
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 4
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 4
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- -1 Polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000033772 system development Effects 0.000 description 1
Abstract
本发明公开一种用于外泌体处理的微流控芯片及其制作方法，涉及生物检测技术领域。基于本发明微流控芯片的结构，将光学生物传感阵列单元的纳米洞电极层和纳米光栅传感电极层接通电源后，由于检测通道上下直径不同，每一个检测通道的两个非对称金纳米电极会形成非均匀电场，使外泌体的纳米颗粒发生极化，从而在纳米颗粒上产生介电泳力作用并驱使其运动聚集到底层的纳米光栅传感电极层表面上，从而被纳米光栅传感电极层有效检测到，达到高效、高灵敏度检测外泌体的效果。
Description
技术领域
本发明涉及生物检测技术领域，尤其涉及一种用于外泌体处理的微流控芯片及其制作方法。
背景技术
微流控芯片(microfluidic chip)是当前微全分析系统发展的热点领域。微流控芯片分析以芯片为操作平台，同时以分析电化学信号为基础，以微机电加工技术为依托，以微管道网络为结构特征，以生命科学为目前主要应用对象，是当前微全分析系统领域发展的重点。微流控技术的目标是把整个化验室的功能，包括采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等集成在微芯片上，且可以多次使用。微流控芯片的特征主要是其容纳流体的有效结构(通道、反应室和其它某些功能部件)至少在一个纬度上为微米级尺度，由于微米级的结构，流体在其中显示和产生了与宏观尺度不同的特殊性能。目前，在检测外泌体时，微流控芯片无法将外泌体集成在底部的传感表面上，导致检测准确度不高。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种用于外泌体处理的微流控芯片及其制作方法，能够提高外泌体检测的准确性。
一方面，本发明实施例提供了一种用于外泌体处理的微流控芯片，包括光学生物传感阵列单元，所述光学生物传感阵列单元包括依次设置的纳米洞电极层、纳米环层和纳米光栅传感电极层；
所述纳米洞电极层包括多个第一孔洞，所述纳米环层包括多个第二孔洞，所述第一孔洞的直径大于所述第二孔洞的直径；
所述纳米洞电极层的第一孔洞与所述纳米环层的第二孔洞对齐形成检测通道；
所述纳米洞电极层和所述纳米光栅传感电极层用于连接电源。
根据本发明一些实施例，所述纳米光栅传感电极层包括玻璃衬底子层和金属纳米光栅电极子层，所述金属纳米光栅电极子层设置在所述纳米环层和所述玻璃衬底子层之间。
根据本发明一些实施例，所述纳米洞电极层为金纳米洞电极层，所述纳米环层为金纳米环层，所述金属纳米光栅电极子层为金纳米光栅电极子层。
根据本发明一些实施例，所述用于外泌体处理的微流控芯片包括底板单元和顶板单元，所述光学生物传感阵列单元设置在所述底板单元和所述顶板单元之间，所述光学生物传感阵列单元的纳米光栅传感电极层设置在所述底板单元上；
所述底板单元与所述顶板单元的边缘连接，以形成所述光学生物传感阵列单元的外壳。
根据本发明一些实施例，所述底板单元包括分离区域和检测区域，所述分离区域设置有微米柱阵列，所述检测区域设置所述光学生物传感阵列单元；
所述顶板单元上的一边设置有检测物进口，所述顶板单元上的另一边设置有颗粒物出口和外泌体出口。
根据本发明一些实施例，所述顶板单元上朝向所述光学生物传感阵列单元的一侧设置有微流控通道。
另一方面，本发明实施例还提供了一种用于外泌体处理的微流控芯片的制作方法，包括以下步骤：
在纳米光栅传感电极层上旋涂光刻胶；
通过三维纳米柱模具在光刻胶上压印出由第一孔洞和第二孔洞构成的检测通道，并去除残胶，其中，所述三维纳米柱模具上有多个纳米柱，每个纳米柱由两个直径不同的子柱构成；
在形成检测通道的光刻胶上铺设金属材料以得到纳米洞电极层，并形成光学生物传感阵列单元；
对所述光学生物传感阵列单元进行封装，得到外泌体处理的微流控芯片。
根据本发明一些实施例，所述制作方法还包括以下步骤：
在玻璃衬底上铺设金属材料；
在金属材料上旋涂光刻胶；
通过光栅模具在光刻胶上压印出纳米光栅，并蚀刻残胶和金属材料，形成纳米光栅传感电极层。
根据本发明一些实施例，所述对所述光学生物传感阵列单元进行封装，得到外泌体处理的微流控芯片包括以下步骤：
通过微米柱阵列模具倒模出底板单元，以使底板单元的分离区域分布微米柱阵列；
将所述光学生物传感阵列单元设置在所述底板单元的检测区域；
通过微流控通道模具倒模出顶板单元，以使顶板单元分布多条微流控通道；
将所述顶板单元与设置有光学生物传感阵列单元的底板单元贴合，形成微流控芯片。
根据本发明一些实施例，所述对所述光学生物传感阵列单元进行封装，得到外泌体处理的微流控芯片还包括以下步骤：
将所述底板单元放置在带两个电极端口的玻璃衬板上；
通过第一导线连接纳米光栅传感电极层和其中一个电极端口，通过第二导线连接纳米洞电极层和另一个电极端口。
本发明上述的技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：将光学生物传感阵列单元的纳米洞电极层和纳米光栅传感电极层接通电源后，由于检测通道上下直径不同，每一个检测通道的两个非对称金纳米电极会形成非均匀电场，使外泌体的纳米颗粒发生极化，从而在纳米颗粒上产生介电泳力作用并驱使其运动聚集到底层的纳米光栅传感电极层表面上，从而被纳米光栅传感电极层有效检测到，达到高效、高灵敏度检测外泌体的效果。
附图说明
图1是本发明实施例提供用于外泌体处理的微流控芯片的整体示意图；
图2是本发明实施例提供的光学生物传感阵列单元的整体示意图；
图3是本发明实施例提供的常规通道均匀电场示意图；
图4是本发明实施例提供的本实施例的检测通道非均匀电场示意图；
图5是本发明实施例提供的微流控芯片中外泌体分离过程示意图；
图6是本发明实施例提供的外泌体流动过程示意图；
图7是本发明实施例提供的局域表面等离激元共振峰与外泌体浓度关系示意图；
图8是本发明实施例提供的微流控芯片制作过程示意图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或者类似的标号表示相同或者类似的原件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、左、右等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
本发明的描述中，如果有描述到第一、第二等只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或者暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
本发明实施例提供了一种用于外泌体处理的微流控芯片，参照图1，本发明实施例的用于外泌体处理的微流控芯片包括光学生物传感阵列单元100。
参照图2，光学生物传感阵列单元包括依次设置的纳米洞电极层110、纳米环层120和纳米光栅传感电极层130。纳米洞电极层包括多个第一孔洞，纳米环层包括多个第二孔洞，第一孔洞的直径大于第二孔洞的直径。纳米洞电极层的第一孔洞与纳米环层的第二孔洞对齐形成检测通道。纳米洞电极层和纳米光栅传感电极层可用于连接电源。
具体地，纳米洞电极层、纳米环层和纳米光栅传感电极层从上到下依次设置，纳米洞电极层为可以为金纳米洞电极层，纳米环层可以为金纳米环层，金属纳米光栅电极子层为可以金纳米光栅电极子层。
相关技术中，微流控芯片的检测通道如图3所示，当上下两块均匀电极通电后，电极之间会形成均匀电场，无法在外泌体这种纳米颗粒上产生介电泳力，从而无法将外泌体集成在底部的传感表面上，导致检测准确度不高。本发明实施例的检测通道如图4所示，将光学生物传感阵列单元顶部的纳米洞电极层和底部的纳米光栅传感电极层通电后，由于上下两个非对称金纳米电极，会在检测通道中形成非均匀电场，使纳米颗粒发生极化，从而在纳米颗粒上产生介电泳力作用并驱使其运动到底部的纳米光栅传感表面上，从而实现外泌体的准确检测。其中，检测通道中外泌体的介电泳力的表达式如下：
其中，FDEP是外泌体所受介电泳力，r是外泌体的有效半径，εm是液体的介电常数，FCM是克劳修斯莫索提因子，其大小决定了介电泳力的方向，是外加电场的均方根平方的梯度,ε*是复合介电常数，εp是外泌体的介电常数，σ是电导率，ω是外加电场的角频率。当FCM>0时，外泌体流向电场强度较强的方向，称为阳性介电电泳。当FCM<0时,外泌体流向电场强度较弱的方向，称为阴性介电电泳。通过选择合适的电场频率，可以驱使外泌体在微流体中流向位于底部的纳米光栅传感电极层的金纳米传感阵列上进行检测。
在本实施例中，可以通过向光学生物传感阵列单元外加交流电压，形成非均匀电场来产生介电泳力，以吸引流体中的外泌体流向底层的金纳米传感阵列，也可以通过外部光激发产生多重高阶局域等离激元共振模式，包括Fano及Fabry-Perot共振，在高效捕获微流体中外泌体颗粒物的同时，极大地提高光学生物传感阵列单元对外泌体颗粒的检测灵敏度。
在一些实施例中，请继续参照图2，纳米光栅传感电极层包括玻璃衬底子层132和金属纳米光栅电极子层131，金属纳米光栅电极子层设置在纳米环层和所述玻璃衬底子层之间。
在一些实施例中，请继续参照图1，用于外泌体处理的微流控芯片包括底板单元300和顶板单元200，光学生物传感阵列单元设置在底板单元和顶板单元之间，光学生物传感阵列单元的纳米光栅传感电极层设置在底板单元上。底板单元与顶板单元的边缘连接，以形成光学生物传感阵列单元的外壳。
在一些实施例中，请参照图1和图5，底板单元包括分离区域和检测区域，分离区域设置有微米柱阵列310，微米柱阵列由多个微米柱形成，检测区域设置光学生物传感阵列单元100。顶板单元上的一边设置有检测物进口221，顶板单元上的另一边设置有颗粒物出口222和外泌体出口223。
在本实施例中，待检测流体从检测物进口进入微流控芯片，由于流体中的细胞等大颗粒物的体积及重量均远远高于外泌体纳米颗粒物，在经过分离区域的微米柱阵列时，能够有效分离外泌体510及细胞等大颗粒物520，使得外泌体在微流体中受层流运动和斯托克斯牵引力作用向检测区域的光学生物传感阵列单元流动，而细胞等大颗粒物从另一处通道的颗粒物出口流出，外泌体完成检测后从外泌体出口流出，最终微流控芯片能够从待检测流体中分离出外泌体。
在一些实施例中，请继续参照图1，顶板单元上朝向光学生物传感阵列单元的一侧设置有微流控通道210。
在本实施中，请参照图6的外泌体在微流控芯片中的流动过程，外泌体经过微米柱阵列分离并随层流流动，当外泌体遇到顶部立体纳米光栅结构的微流控通道时，会受到额外的流体剪切力作用改变运动轨迹，使其有机会进入下方光学生物传感阵列单元的孔洞内。同时，光学生物传感阵列单元的检测通道由直径不同的第一孔洞和第二孔洞组成，上方的第一孔洞直径大于下方的第二孔洞，检测通道在一定的电场频率下产生非均匀电场，会在外泌体上产生介电泳力并驱使其向下流动聚集到光学生物传感阵列单元的底部进行检测。当外泌体填满检测通道的底层和中层后，检测通道内的流体速度会减小，从而使新的外泌体更容易流向下一个未填满的检测通道内并被有效检测到。进一步地，参照图7，随着被检测外泌体浓度的增加，局域表面等离激元共振峰会随之产生明显偏移，从而实现高效、高灵敏度检测外泌体。
在一些实施例中，请继续参照图1，本发明实施例的微流控芯片还包括芯片玻璃衬底400，芯片玻璃衬底设置有两个电极端口，分别为第一电极端口410和第二电极端口420，芯片玻璃衬底设置在底板单元下方，第一电极端口通过导线与光学生物传感阵列单元的纳米洞电极层的顶部电极材料连接，第二电极端口通过导线与纳米光栅传感电极层的金属纳米光栅电极子层连接。
另一方面，本发明实施例还提供了一种用于外泌体处理的微流控芯片的制作方法，包括以下步骤：
在纳米光栅传感电极层上旋涂光刻胶；
通过三维纳米柱模具在光刻胶上压印出由第一孔洞和第二孔洞构成的检测通道，并去除残胶，其中，三维纳米柱模具上有多个纳米柱，每个纳米柱由两个直径不同的子柱构成；
在形成检测通道的光刻胶上铺设金属材料以得到纳米洞电极层，并形成光学生物传感阵列单元；
对光学生物传感阵列单元进行封装，得到外泌体处理的微流控芯片。
在一些实施例中，本发明实施例的制作方法还包括以下步骤：
在玻璃衬底上铺设金属材料，金属材料可以是金或者铬；
在金属材料上旋涂光刻胶；
通过光栅模具在光刻胶上压印出纳米光栅，并蚀刻残胶和金属材料，形成纳米光栅传感电极层。
在一些实施例中，对光学生物传感阵列单元进行封装，得到外泌体处理的微流控芯片这一步骤，包括以下步骤：
通过微米柱阵列模具倒模出底板单元，以使底板单元的分离区域分布微米柱阵列；
将光学生物传感阵列单元设置在底板单元的检测区域；
通过微流控通道模具倒模出顶板单元，以使顶板单元分布多条微流控通道；
将顶板单元与设置有光学生物传感阵列单元的底板单元贴合，形成微流控芯片。
在一些实施例中，对光学生物传感阵列单元进行封装，得到外泌体处理的微流控芯片这一步骤，还包括以下步骤：
将底板单元放置在带两个电极端口的玻璃衬板上；
通过第一导线连接纳米光栅传感电极层和其中一个电极端口，通过第二导线连接纳米洞电极层和另一个电极端口。
示例性地，请参照图8，本发明实施例的微流控芯片制作过程如下：
S1、在玻璃衬底上沉积金/铬的金属材料；
S2、在金属材料上旋涂光刻胶；
S3、通过光栅模具在光刻胶上通过控制温度、压力及紫外曝光进行纳米压印，以压印出纳米光栅；
S4、通过反应离子干法蚀刻残胶，通过湿法蚀刻去掉未被光刻胶覆盖的金/铬薄膜；
S5、去除光刻胶，形成纳米光栅传感电极层；
S6、在纳米光栅传感电极层上旋涂光刻胶；
S7、通过三维纳米柱模具在光刻胶上压印出双层洞状纳米柱结构(即检测通道)；
S8、去除光刻胶的残胶，底部的金纳米光栅暴露在双层洞状纳米柱下；
S9、在形成检测通道的光刻胶上热蒸发镀膜金/铬的金属材料，形成光学生物传感阵列单元；
S10、通过微米柱阵列模具在聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料上倒模出底板单元；
S11、将底板单元放置在带电极端口的玻璃衬底上；
S12、将光学生物传感阵列单元放置在底板单元内；
S13、通过微流控通道模具在聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料上倒模出带纳米微流控通道的顶板单元；
S14、将顶板单元倒盖在底板单元上，并通过第一导线连接纳米光栅传感电极层和其中一个电极端口，通过第二导线连接纳米洞电极层和另一个电极端口，在顶板单元安装待检测进口、颗粒物出口和外泌体出口。
本实施例中，通过纳米压印技术将光学生物传感阵列单元的三维多层金纳米阵列结构集成在同一芯片单元中，使得三维多层金纳米阵列结构不仅能够产生多重高阶等离激元共振模式如Fano及Fabry-Perot共振，同时也能作为金纳米电极产生介电泳力并用于有效分离和捕获微流体中的外泌体颗粒物，从而极大地提高外泌体的检测灵敏度。微流控芯片的制造工艺流程简单、可控，适合大面积、大规模量产基于三维多层金纳米传感阵列的光学生物传感芯片。
上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。
Claims (10)
1.一种用于外泌体处理的微流控芯片，其特征在于，包括光学生物传感阵列单元，所述光学生物传感阵列单元包括依次设置的纳米洞电极层、纳米环层和纳米光栅传感电极层；
所述纳米洞电极层包括多个第一孔洞，所述纳米环层包括多个第二孔洞，所述第一孔洞的直径大于所述第二孔洞的直径；
所述纳米洞电极层的第一孔洞与所述纳米环层的第二孔洞对齐形成检测通道；
所述纳米洞电极层和所述纳米光栅传感电极层用于连接电源。
2.根据权利要求1所述的用于外泌体处理的微流控芯片，其特征在于，所述纳米光栅传感电极层包括玻璃衬底子层和金属纳米光栅电极子层，所述金属纳米光栅电极子层设置在所述纳米环层和所述玻璃衬底子层之间。
3.根据权利要求2所述的用于外泌体处理的微流控芯片，其特征在于，所述纳米洞电极层为金纳米洞电极层，所述纳米环层为金纳米环层，所述金属纳米光栅电极子层为金纳米光栅电极子层。
4.根据权利要求1所述的用于外泌体处理的微流控芯片，其特征在于，所述用于外泌体处理的微流控芯片包括底板单元和顶板单元，所述光学生物传感阵列单元设置在所述底板单元和所述顶板单元之间，所述光学生物传感阵列单元的纳米光栅传感电极层设置在所述底板单元上；
所述底板单元与所述顶板单元的边缘连接，以形成所述光学生物传感阵列单元的外壳。
5.根据权利要求4所述的用于外泌体处理的微流控芯片，其特征在于，所述底板单元包括分离区域和检测区域，所述分离区域设置有微米柱阵列，所述检测区域设置所述光学生物传感阵列单元；
所述顶板单元上的一边设置有检测物进口，所述顶板单元上的另一边设置有颗粒物出口和外泌体出口。
6.根据权利要求4所述的用于外泌体处理的微流控芯片，其特征在于，所述顶板单元上朝向所述光学生物传感阵列单元的一侧设置有微流控通道。
7.一种用于外泌体处理的微流控芯片的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
在纳米光栅传感电极层上旋涂光刻胶；
通过三维纳米柱模具在光刻胶上压印出由第一孔洞和第二孔洞构成的检测通道，并去除残胶，其中，所述三维纳米柱模具上有多个纳米柱，每个纳米柱由两个直径不同的子柱构成；
在形成检测通道的光刻胶上铺设金属材料以得到纳米洞电极层，并形成光学生物传感阵列单元；
对所述光学生物传感阵列单元进行封装，得到外泌体处理的微流控芯片。
8.根据权利要求7所述的用于外泌体处理的微流控芯片的制作方法，其特征在于，所述制作方法还包括以下步骤：
在玻璃衬底上铺设金属材料；
在金属材料上旋涂光刻胶；
通过光栅模具在光刻胶上压印出纳米光栅，并蚀刻残胶和金属材料，形成纳米光栅传感电极层。
9.根据权利要求7所述的用于外泌体处理的微流控芯片的制作方法，其特征在于，所述对所述光学生物传感阵列单元进行封装，得到外泌体处理的微流控芯片包括以下步骤：
通过微米柱阵列模具倒模出底板单元，以使底板单元的分离区域分布微米柱阵列；
将所述光学生物传感阵列单元设置在所述底板单元的检测区域；
通过微流控通道模具倒模出顶板单元，以使顶板单元分布多条微流控通道；
将所述顶板单元与设置有光学生物传感阵列单元的底板单元贴合，形成微流控芯片。
10.根据权利要求9所述的用于外泌体处理的微流控芯片的制作方法，其特征在于，所述对所述光学生物传感阵列单元进行封装，得到外泌体处理的微流控芯片还包括以下步骤：
将所述底板单元放置在带两个电极端口的玻璃衬板上；
通过第一导线连接纳米光栅传感电极层和其中一个电极端口，通过第二导线连接纳米洞电极层和另一个电极端口。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311447640.2A CN117696133A (zh) | 2023-11-01 | 2023-11-01 | 用于外泌体处理的微流控芯片及其制作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311447640.2A CN117696133A (zh) | 2023-11-01 | 2023-11-01 | 用于外泌体处理的微流控芯片及其制作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117696133A true CN117696133A (zh) | 2024-03-15 |
Family
ID=90154084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311447640.2A Pending CN117696133A (zh) | 2023-11-01 | 2023-11-01 | 用于外泌体处理的微流控芯片及其制作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117696133A (zh) |
-
2023
- 2023-11-01 CN CN202311447640.2A patent/CN117696133A/zh active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Zhang et al. | DEP-on-a-chip: Dielectrophoresis applied to microfluidic platforms | |
| Huang et al. | SERS‐Enabled Lab‐on‐a‐Chip Systems | |
| CN101581728B (zh) | 微芯片和用于微芯片的通道结构 | |
| US8226907B2 (en) | Microfluidic devices and methods of making the same | |
| KR101709762B1 (ko) | 생체분자 농축 기능 일체형 센서 및 그 제조방법 | |
| US7279883B2 (en) | Particle analyzer and methods for use thereof | |
| US20050148064A1 (en) | Microfluid molecular-flow fractionator and bioreactor with integrated active/passive diffusion barrier | |
| TWI497068B (zh) | 半導體裝置、層析裝置、用於偵測一或多個分子之積體電路及半導體裝置之形成方法 | |
| US20090066315A1 (en) | Dynamic modulation for multiplexation of microfluidic and nanofluidic based biosensors | |
| JP2010540940A (ja) | 動電学的な濃縮装置及びその使用方法 | |
| CN112368234B (zh) | 微纳米通道结构、传感器及其制备方法、微流体装置 | |
| Toudeshkchoui et al. | Microfluidic devices with gold thin film channels for chemical and biomedical applications: a review | |
| WO2020223271A1 (en) | Graphene nanopore device for sequencing nucleic acids | |
| KR20160021176A (ko) | 미세 유체칩을 이용한 나노입자 분리 및 이를 이용한 생체물질분석방법 | |
| EP2764347A2 (en) | Devices for detecting a particle in a sample and methods for use thereof | |
| Kordzadeh-Kermani et al. | Electrified lab on disc systems: A comprehensive review on electrokinetic applications | |
| US9829425B2 (en) | Optofluidic devices and methods for sensing single particles | |
| KR101770557B1 (ko) | 생체분자 농축 장치 | |
| CN117696133A (zh) | 用于外泌体处理的微流控芯片及其制作方法 | |
| Sitkov et al. | Fabrication Features of a Microfluidic System Formation for Hybrid-integrated Biosensors Based on Peptide Aptamers | |
| KR101759894B1 (ko) | 랩온어칩 및 이의 제조 방법 | |
| Edwards et al. | Microscale purification systems for biological sample preparation | |
| EP4161698A1 (en) | Dielectrophoresis detection device | |
| CN113614509B (zh) | 微流体通道背板及其制备方法、微流控检测芯片 | |
| Poonia et al. | Raman and Surface-Enhanced Raman Scattering Detection in Flowing Solutions for Complex Mixture Analysis |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |