CN117688890A - 一种网格边界缺陷标定方法、系统及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种网格边界缺陷标定方法、系统及存储介质，本发明的网格边界缺陷标定方法包括：获取掩模版图，选择并获取该掩模版图的起始点坐标，基于该起始点坐标构建平面直角坐标系；读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；基于平面直角坐标系对掩模版图进行网格划分，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据，判断并标定相应的缺陷为网格边界缺陷。在标定过程中对每个缺陷进行单一判断与标定，判断标准简单且能够同时进行，提升对网格边界缺陷的标定效率，进而使得整体运算更高效。

Description

一种网格边界缺陷标定方法、系统及存储介质

【技术领域】

本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种网格边界缺陷标定方法、系统及存储介质。

【背景技术】

光刻技术是用于制造超大规模集成电路的核心技术之一，从180nm技术节点开始，器件上的关键线宽(critical dimension，CD)开始小于曝光波长，光学邻近效应修正(optical proximity correction，OPC)变得必不可少，成为掩模图形处理中的一个关键步骤。由于计算光刻的运算量巨大，目前的EDA软件和计算机服务器集群的计算能力还不足以支持一次性优化整个芯片版图(full chip design)，一般需要对完整的芯片版图进行网格划分，然后进行分布式并行计算，最后将各个分块优化好的掩模结果整合起来得到完整的掩模版图。

OPC处理后的版图需要做仿真计算，确定其是否符合工艺窗口的要求，不符合工艺窗口要求的版图部分被称为缺陷，边界的缺陷跟相邻的网格分块的优化过程都有关联，必须另外处理，以保证符合工艺要求。目前标定网格边界光刻缺陷的做法是首先用GUI软件打开OPC优化后的掩模版图，然后加载光刻缺陷数据库，在GUI界面上依次点击每个缺陷，定位到缺陷的坐标，查看这个坐标是不是在网格分块的附近。如果在网格线附近就打上标签记录下来。这种做法需要工程师一步一步手工操作，因此效率十分低下。如果缺陷数据库的数据记录很多，则需要花费大量的时间才能完成。

【发明内容】

为高效标定网格边界光刻缺陷，本发明提供了一种网格边界缺陷标定方法、系统及存储介质。

本发明解决技术问题的方案是提供一种网格边界缺陷标定方法，包括以下步骤：获取掩模版图，选择并获取该掩模版图的起始点坐标，基于该起始点坐标构建平面直角坐标系；读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；基于平面直角坐标系对掩模版图进行网格划分，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据，判断并标定相应的所述缺陷为网格边界缺陷。

优选地，所述网格均匀划分，且网格均为正方形。

优选地，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标包括：基于起始点坐标与预设网格边长划分掩模版图；基于每一网格中每一小格所在位置获取行列坐标；基于缺陷坐标落入网格范围筛选缺陷网格，获取该缺陷网格的行列坐标。

优选地，基于缺陷坐标落入网格范围筛选缺陷网格包括缺陷坐标与该缺陷网格的坐标数据的函数关系式，该函数关系式中行与列的数值均向下取整以组成该缺陷网格的行列坐标。

优选地，所述缺陷网格的坐标数据包括该缺陷网格的起点坐标与对角线终点坐标。

优选地，基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据，判断并标定相应的所述缺陷为网格边界缺陷包括：基于缺陷坐标，该缺陷网格的起点坐标与对角线终点坐标计算该缺陷到网格各边的距离；选取最短距离，判断该最短距离与预设边界距离的大小；若该最短距离小于或等于预设边界距离，则判断为网格边界缺陷并标定，反之则判断为常规缺陷。

优选地，基于最短距离与预设边界距离判断为网格边界缺陷并标定之后还包括将标定的网格边界缺陷记录到新缺陷数据库中的步骤，包括：遍历光刻缺陷数据库中所有记录的缺陷；对所述缺陷进行读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标，基于起始点坐标对掩模版图进行网格划分并获取缺陷网格行列坐标，获取各缺陷网格的坐标数据，到基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据标定所述缺陷的持续迭代，标定所有缺陷；将所有标定的网格边界缺陷汇总，得到新光刻边界缺陷数据库。

优选地，缺陷数据库包括缺陷的类型、位置坐标及大小信息。

本发明为解决上述技术问题还提供一种网格边界缺陷标定系统，包括版图信息获取模块、坐标数据获取模块、网格划分模块及缺陷标定模块，其中，版图信息获取模块用于获取掩模版图及该掩模版图上的起始点坐标；读取预设缺陷数据库；坐标数据获取模块用于基于起始点坐标构建平面直角坐标系；基于预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；网格划分模块用于基于起始点坐标对掩模版图进行网格划分；缺陷标定模块用于基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据判断并标定网格边界缺陷。

本发明为解决上述技术问题还提供一种存储介质，所述存储介质存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如上所述的网格边界缺陷标定方法。

与现有技术相比，本发明的一种网格边界缺陷标定方法、系统及存储介质具有以下优点：

1、本发明的网格边界缺陷标定方法，包括以下步骤：获取掩模版图，选择并获取该掩模版图的起始点坐标，基于该起始点坐标构建平面直角坐标系；读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；基于平面直角坐标系对掩模版图进行网格划分，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据，判断并标定相应的缺陷为网格边界缺陷。通过该方法，将预设缺陷数据库的所有缺陷看做一个整体并带入掩模版图进行对应坐标的筛选与标定以快速获取网格边界缺陷。在标定过程中对每个缺陷进行单一判断与标定，判断标准为缺陷网格的坐标数据与缺陷坐标间关系，计算获取方式简单，且能同时对多个缺陷进行快速判断与标定，从而提升对网格边界缺陷的标定效率，进而使得整体运算更高效。

2、本发明的网格边界缺陷标定方法，网格均匀划分，且网格均为正方形。网格的划分决定了缺陷坐标落入网格的位置，划分不均匀会导致对缺陷的标定出现误差，从而影响整个掩模版图的缺陷标定结果，网格划分为正方形进一步保证了划分的均匀性。

3、本发明的网格边界缺陷标定方法，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标包括：基于起始点坐标与预设网格边长划分掩模版图；基于每一网格中每一小格所在位置获取行列坐标；基于缺陷坐标落入网格范围筛选缺陷网格，获取该缺陷网格的行列坐标。通过划分掩模版图并确定缺陷网格，从而方便对应缺陷坐标与缺陷网格行列坐标的关系标定缺陷是否为网格边界缺陷，从而对网格边界缺陷进行单独标定。

4、本发明的网格边界缺陷标定方法，缺陷网格的坐标数据包括该缺陷网格的起点坐标与对角线终点坐标。通过对缺陷网格坐标数据的分解，起点坐标与对角线终点坐标涵盖整个网格的所有边界数据，从而对落入该缺陷网格的缺陷进行与边界间位置关系的确定，进而便于高效筛选出网格边界缺陷，从而进行标定，筛选过程更简单，标定更准确。

5、本发明的网格边界缺陷标定方法，基于最短距离与预设边界距离判断为网格边界缺陷并标定之后还包括将标定的网格边界缺陷记录到新缺陷数据库中的步骤，包括：遍历光刻缺陷数据库中所有记录的缺陷；对缺陷进行读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标，基于起始点坐标对掩模版图进行网格划分并获取缺陷网格行列坐标，获取各缺陷网格的坐标数据，到基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据标定所述缺陷的持续迭代，标定所有缺陷；将所有标定的网格边界缺陷汇总，得到新光刻边界缺陷数据库。新光刻边界缺陷数据库能汇总所有标定的网格边界缺陷，便于对该掩模版图数据进行学习，也便于对该掩模版图的标定结果进行随时的检验，从而保证标定结果的准确性。

6、本发明还提供一种网格边界缺陷标定系统，包括版图信息获取模块、坐标数据获取模块、网格划分模块及缺陷标定模块，其中，版图信息获取模块用于获取掩模版图及该掩模版图上的起始点坐标；读取预设缺陷数据库；坐标数据获取模块用于基于起始点坐标构建平面直角坐标系；基于预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；网格划分模块用于基于起始点坐标对掩模版图进行网格划分；缺陷标定模块用于基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据判断并标定网格边界缺陷。网格边界缺陷标定系统具有与上述网格边界缺陷标定方法相同的有益效果，在此不做赘述。

7、本发明还提供一种存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被执行时实现上述网格边界缺陷标定方法，具有与上述网格边界缺陷标定方法相同的有益效果，在此不做赘述。

【附图说明】

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明第一实施例提供的一种网格边界缺陷标定方法的步骤流程图。

图2是本发明第一实施例提供的一种网格边界缺陷标定方法中步骤S3的步骤流程图。

图3是本发明第一实施例提供的一种网格边界缺陷标定方法中步骤S5的步骤流程图。

图4是本发明第一实施例提供的一种网格边界缺陷标定方法中步骤S5之后的步骤流程图。

图5是本发明第一实施例提供的一种网格边界缺陷标定方法中网格各坐标数据的示意图。

图6是本发明第二实施例提供的一种网格边界缺陷标定系统的结构示意图。

图7是本发明第三实施例提供的一种存储介质的结构示意图。

附图标识说明：

1、网格边界缺陷标定系统；2、存储介质；

11、版图信息获取模块；12、坐标数据获取模块；13、网格划分模块；14、缺陷标定模块；21、计算机程序。

【具体实施方式】

为了使本发明的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1，本发明第一实施例提供一种网格边界缺陷标定方法，包括以下步骤：

S1：获取掩模版图，选择并获取该掩模版图的起始点坐标，基于该起始点坐标构建平面直角坐标系；

S2：读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；

S3：基于平面直角坐标系对掩模版图进行网格划分，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；

S4：基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；

S5：基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据，判断并标定相应的缺陷为网格边界缺陷。

需要说明的是，平面直角坐标系的建立位置不设限制，掩模版图可以同时位于该坐标系的不同象限内，但是为了便于直观获取网格的行列坐标，将掩模版图设置在该坐标系的第一象限或第三象限内，使横纵坐标同时为正值或负值时使用更方便。

具体的，在本发明具体实施例中，以该掩模版图在第一象限内左下角的顶点作为起始点坐标，并基于此建立坐标系，使得掩模版图全部位于平面直角坐标系的第一象限内，进而使得横纵坐标均为正值，便于后续坐标点间计算与网格的行列坐标直观获取。

具体地，缺陷数据库包括缺陷的类型、位置坐标及大小信息。

可以理解地，通过该方法，将预设缺陷数据库的所有缺陷看做一个整体并带入掩模版图进行对应坐标的筛选与标定以快速获取网格边界缺陷。在标定过程中对每个缺陷进行单一判断与标定，判断标准为缺陷网格的坐标数据与缺陷坐标间关系，该方法的缺陷网格的坐标数据与缺陷坐标间关系计算获取方式简单，且能同时对多处缺陷进行快速判断与标定，从而提升对网格边界缺陷的标定效率，进而使得整体运算更高效。

进一步地，网格均匀划分，且网格均为正方形。

需要说明的是，由于计算光刻的运算量巨大，目前的光刻缺陷检测软件和计算机服务器集群的计算能力还不足以支持一次性优化整个芯片版图，一般需要对完整的芯片版图进行网格划分，得到微米量级的正方形分块(patch)，然后进行分布式并行计算，最后将各个分块优化好的掩模结果整合起来得到完整的掩模版图。

可选地，网格可以划分边长为20-50um的正方形。

具体地，网格边长可以选取为20um，35um或50um等，具体网格边长的数据根据客户要求或实际情况选定。

需要说明的是，网格覆盖面积需要大于掩模版图的总面积，也即网格会额外覆盖掩模版图的四周，从而保证掩模版图中所有缺陷均能被网格划分并在网格中体现出来，网格覆盖面积过小可能会导致掩模版图边界部分缺陷出现遗漏。

此外，为了便于对网格的行数与列数进行计算，起始点坐标设置为坐标系原点坐标，网格边长通常设定为整数，且在该坐标系中，网格超出掩模版图的位于第二象限与第四象限的部分为整数格，也即网格边界与坐标轴重合，从而使得网格的行列数更便于直观获取。

可以理解地，网格的划分决定了缺陷坐标落入网格的位置，划分不均匀会导致对缺陷的标定出现误差，从而影响整个掩模版图的缺陷标定结果，网格划分为正方形进一步保证了划分的均匀性。

进一步地，请结合图2、图3及图5，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标包括：

S31：基于起始点坐标与预设网格边长划分掩模版图；

S32：基于每一网格中每一小格所在位置获取行列坐标；

S33：基于缺陷坐标落入网格范围筛选缺陷网格，获取该缺陷网格的行列坐标。

更进一步地，基于缺陷坐标落入网格范围筛选缺陷网格包括缺陷坐标与该缺陷网格的坐标数据的函数关系式，该函数关系式中行与列的数值均向下取整以组成该缺陷网格的行列坐标。

具体地，缺陷坐标与该缺陷网格的坐标数据的函数关系式为：

行数＝floor((y-y0)/a))，floor是向下取整数；

列数＝floor((x-x0)/a))，floor是向下取整数；

其中，起始点坐标(x0,y0)，缺陷坐标(x,y)，正方形网格边长a。

需要说明的是，起始点坐标(x0,y0)为平面直角坐标系的原点，因此行与列的数值为函数关系式数值的整数部分，因此向下取整，从而确定行数与列数。

具体地，在本发明具体实施中，如图5所示的缺陷网格坐标(1,2)表示该缺陷网格位于所有网格的第一行，第二列。

可以理解地，通过划分掩模版图并确定缺陷网格，从而方便对应缺陷坐标与缺陷网格行列坐标的关系标定缺陷是否为网格边界缺陷，从而对网格边界缺陷进行单独标定。

具体地，缺陷网格的坐标数据包括该缺陷网格的起点坐标与对角线终点坐标。

更具体地，正方形网格的起点坐标(x1,y1)和对角线终点坐标(x2,y2)；

其中，各坐标点的函数式为：

起点x1＝x0+列数*a

起点y1＝y0+行数*a

终点x2＝x0+(列数+1)*a

终点y2＝y0+(行数+1)*a

可以理解地，通过对缺陷网格坐标数据的分解，起点坐标与对角线终点坐标涵盖整个网格的所有边界数据，从而对落入该缺陷网格的缺陷进行与边界间位置关系的确定，进而便于高效筛选出网格边界缺陷，从而进行标定，筛选过程更简单，标定更准确。

进一步地，基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据，判断并标定相应的缺陷为网格边界缺陷包括：

S51：基于缺陷坐标，该缺陷网格的起点坐标与对角线终点坐标计算该缺陷到网格各边的距离；

S52：选取最短距离，判断该最短距离与预设边界距离的大小；

S53：若该最短距离小于或等于预设边界距离，则判断为网格边界缺陷并标定，反之则判断为常规缺陷。

需要说明的是，缺陷数据库为通过光刻缺陷检测软件对该掩模版图进行检测获取的缺陷整体数据库，其中包括网格边界缺陷与常规缺陷，由于在同一个掩模版图内，网格边界缺陷与常规缺陷是相对的，均受网格边长影响，因此在优化过程中，网格边长不会发生改变，始终以初始设计值为准。

具体地，根据当前的缺陷坐标(x,y)和当前正方形网格的起点坐标(x1,y1)和对角线终点坐标(x2,y2)，计算当前缺陷坐标(x,y)到正方形网格四条边的距离：

距离d1＝y2-y

距离d2＝y-y1

距离d3＝x-x1

距离d4＝x2-x

并分别比较d1、d2、d3及d4的大小关系，获取数值最小者为最短距离D，根据给定的边界距离S，比较最小距离D和给定的边界距离S(例如0.2微米)的大小。如果D小于等于S，则标定当前缺陷为网格边界缺陷，反之则判断为常规缺陷。

其中，距离边界S依据实际需求设定，这里不做限制。

进一步地，请参阅图4，基于最短距离与预设边界距离判断为网格边界缺陷并标定之后还包括将标定的网格边界缺陷记录到新缺陷数据库中的步骤，包括：

S51：遍历光刻缺陷数据库中所有记录的缺陷；

S52：对缺陷进行读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标，基于起始点坐标对掩模版图进行网格划分并获取缺陷网格行列坐标，获取各缺陷网格的坐标数据，到基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据标定网格边界缺陷的持续迭代，标定所有缺陷；

S53：将所有标定的网格边界缺陷汇总，得到新光刻边界缺陷数据库。

需要说明的是，新光刻边界缺陷数据库能汇总所有标定的网格边界缺陷，便于对该掩模版图数据进行学习，也便于对该掩模版图的标定结果进行随时的检验，从而保证标定结果的准确性。

请参阅图6，本发明又是实施例是提供一种网格边界缺陷标定系统1，包括版图信息获取模块11、坐标数据获取模块12、网格划分模块13及缺陷标定模块14，其中，版图信息获取模块11用于获取掩模版图及该掩模版图上的起始点坐标；读取预设缺陷数据库；

坐标数据获取模块12用于基于起始点坐标构建平面直角坐标系；基于预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；

网格划分模块13用于基于起始点坐标对掩模版图进行网格划分；

缺陷标定模块14用于基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据判断并标定网格边界缺陷。

可以理解地，网格边界缺陷标定系统1具有与上述网格边界缺陷标定方法相同的有益效果，在此不做赘述。

请参阅图7，本发明再一实施例是提供一种存储介质2，其上存储有计算机程序21，该计算机程序21被执行时实现上述网格边界缺陷标定方法。

存储介质2具有与上述网格边界缺陷标定方法相同的有益效果，在此不做赘述。

可以理解地，根据本发明公开的实施例，上文参考流程图描述的过程可以被实现为计算机软件程序。例如，本公开的实施例包括一种计算机程序产品，其包括承载在计算机可读介质上的计算机程序，该计算机程序包含用于执行流程图所示的方法的程序代码。在这样的实施例中，该计算机程序可以通过通信部分从网络上被下载和安装，和/或从可拆卸介质被安装。在该计算机程序被中央处理单元(CPU)执行时，执行本申请的方法中限定的上述功能。需要说明的是，本申请所述的计算机可读介质可以是计算机可读信号介质或者计算机可读存储介质或者是上述两者的任意组合。计算机可读存储介质例如包括但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子可以包括但不限于：具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机访问存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。在本申请中，计算机可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。而在本申请中，计算机可读的信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了计算机可读的程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。计算机可读的信号介质还可以是计算机可读存储介质以外的任何计算机可读介质，该计算机可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。计算机可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于：无线、电线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。

可以以一种或多种程序设计语言或其组合来编写用于执行本申请的操作的计算机程序代码，所述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言诸如Java、Smalltalk、C++，还包括常规的过程式程序设计语言诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算机上执行、部分地在用户计算机上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算机上部分在远程计算机上执行、或者完全在远程计算机或服务端上执行。在涉及远程计算机的情形中，远程计算机可以通过任意种类的网络包括局域网(LAN)或广域网(WAN)连接到用户计算机，或者，可以连接到外部计算机(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。

在本发明所提供的实施例中，应理解，“与A对应的B”表示B与A相关联，根据A可以确定B。但还应理解，根据A确定B并不意味着仅仅根据A确定B，还可以根据A和/或其他信息确定B。

应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定特征、结构或特性可以以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于可选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。

在本发明的各种实施例中，应理解，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的必然先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。

在本发明的附图中的流程图和框图，图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现方案中，方框中所标注的功能也可以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，在此基于涉及的功能而确定。需要特别注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

与现有技术相比，本发明的一种网格边界缺陷标定方法、系统及存储介质具有以下优点：

1、本发明的网格边界缺陷标定方法，包括以下步骤：获取掩模版图，选择并获取该掩模版图的起始点坐标，基于该起始点坐标构建平面直角坐标系；读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；基于平面直角坐标系对掩模版图进行网格划分，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据，判断并标定相应的缺陷为网格边界缺陷。通过该方法，将预设缺陷数据库的所有缺陷看做一个整体并带入掩模版图进行对应坐标的筛选与标定以快速获取网格边界缺陷。在标定过程中对每个缺陷进行单一判断与标定，判断标准为缺陷网格的坐标数据与缺陷坐标间关系，计算获取方式简单，且能同时对多个缺陷进行快速判断与标定，从而提升对网格边界缺陷的标定效率，进而使得整体运算更高效。

2、本发明的网格边界缺陷标定方法，网格均匀划分，且网格均为正方形。网格的划分决定了缺陷坐标落入网格的位置，划分不均匀会导致对缺陷的标定出现误差，从而影响整个掩模版图的缺陷标定结果，网格划分为正方形进一步保证了划分的均匀性。

3、本发明的网格边界缺陷标定方法，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标包括：基于起始点坐标与预设网格边长划分掩模版图；基于每一网格中每一小格所在位置获取行列坐标；基于缺陷坐标落入网格范围筛选缺陷网格，获取该缺陷网格的行列坐标。通过划分掩模版图并确定缺陷网格，从而方便对应缺陷坐标与缺陷网格行列坐标的关系标定缺陷是否为网格边界缺陷，从而对网格边界缺陷进行单独标定。

4、本发明的网格边界缺陷标定方法，缺陷网格的坐标数据包括该缺陷网格的起点坐标与对角线终点坐标。通过对缺陷网格坐标数据的分解，起点坐标与对角线终点坐标涵盖整个网格的所有边界数据，从而对落入该缺陷网格的缺陷进行与边界间位置关系的确定，进而便于高效筛选出网格边界缺陷，从而进行标定，筛选过程更简单，标定更准确。

5、本发明的网格边界缺陷标定方法，基于最短距离与预设边界距离判断为网格边界缺陷并标定之后还包括将标定的网格边界缺陷记录到新缺陷数据库中的步骤，包括：遍历光刻缺陷数据库中所有记录的缺陷；对缺陷进行读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标，基于起始点坐标对掩模版图进行网格划分并获取缺陷网格行列坐标，获取各缺陷网格的坐标数据，到基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据标定所述缺陷的持续迭代，标定所有缺陷；将所有标定的网格边界缺陷汇总，得到新光刻边界缺陷数据库。新光刻边界缺陷数据库能汇总所有标定的网格边界缺陷，便于对该掩模版图数据进行学习，也便于对该掩模版图的标定结果进行随时的检验，从而保证标定结果的准确性。

6、本发明还提供一种网格边界缺陷标定系统，包括版图信息获取模块、坐标数据获取模块、网格划分模块及缺陷标定模块，其中，版图信息获取模块用于获取掩模版图及该掩模版图上的起始点坐标；读取预设缺陷数据库；坐标数据获取模块用于基于起始点坐标构建平面直角坐标系；基于预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；网格划分模块用于基于起始点坐标对掩模版图进行网格划分；缺陷标定模块用于基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据判断并标定网格边界缺陷。网格边界缺陷标定系统具有与上述网格边界缺陷标定方法相同的有益效果，在此不做赘述。

7、本发明还提供一种存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被执行时实现上述网格边界缺陷标定方法，具有与上述网格边界缺陷标定方法相同的有益效果，在此不做赘述。

以上对本发明实施例公开的一种网格边界缺陷标定方法、系统及存储介质进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制，凡在本发明的原则之内所作的任何修改，等同替换和改进等均应包含本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种网格边界缺陷标定方法，其特征在于，包括以下步骤：

获取掩模版图，选择并获取该掩模版图的起始点坐标，基于该起始点坐标构建平面直角坐标系；

读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；

基于平面直角坐标系对掩模版图进行网格划分，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；

基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；

基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据，判断并标定相应的所述缺陷为网格边界缺陷。

2.如权利要求1所述的网格边界缺陷标定方法，其特征在于：所述网格均匀划分，且网格均为正方形。

3.如权利要求1所述的网格边界缺陷标定方法，其特征在于，基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标包括：

基于起始点坐标与预设网格边长划分掩模版图；

基于每一网格中每一小格所在位置获取行列坐标；

基于缺陷坐标落入网格范围筛选缺陷网格，获取该缺陷网格的行列坐标。

4.如权利要求3所述的网格边界缺陷标定方法，其特征在于：基于缺陷坐标落入网格范围筛选缺陷网格包括缺陷坐标与该缺陷网格的坐标数据的函数关系式，该函数关系式中行与列的数值均向下取整以组成该缺陷网格的行列坐标。

5.如权利要求1所述的网格边界缺陷标定方法，其特征在于：所述缺陷网格的坐标数据包括该缺陷网格的起点坐标与对角线终点坐标。

6.如权利要求5所述的网格边界缺陷标定方法，其特征在于，基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据标定所述缺陷包括：

基于缺陷坐标，该缺陷网格的起点坐标与对角线终点坐标计算该缺陷到网格各边的距离；

选取最短距离，判断该最短距离与预设边界距离的大小；

若该最短距离小于或等于预设边界距离，则判断为网格边界缺陷并标定，反之则判断为常规缺陷。

7.如权利要求6所述的网格边界缺陷标定方法，其特征在于，基于最短距离与预设边界距离判断为网格边界缺陷并标定之后还包括将标定的网格边界缺陷记录到新缺陷数据库中的步骤，包括：

遍历光刻缺陷数据库中所有记录的缺陷；

对所述缺陷进行读取预设缺陷数据库获取各缺陷坐标，基于起始点坐标对掩模版图进行网格划分并获取缺陷网格行列坐标，获取各缺陷网格的坐标数据，到基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据标定所述缺陷的持续迭代，标定所有缺陷；

将所有标定的网格边界缺陷汇总，得到新光刻边界缺陷数据库。

8.如权利要求1所述的网格边界缺陷标定方法，其特征在于：缺陷数据库包括缺陷的类型、位置坐标及大小信息。

9.一种网格边界缺陷标定系统，其特征在于，包括版图信息获取模块：用于获取掩模版图及该掩模版图上的起始点坐标；读取预设缺陷数据库；

坐标数据获取模块：用于基于起始点坐标构建平面直角坐标系；基于预设缺陷数据库获取各缺陷坐标；基于各缺陷坐标获取所有缺陷所在的缺陷网格的行列坐标；基于起始点坐标与各缺陷网格的行列坐标获取各缺陷网格的坐标数据；

网格划分模块：用于基于起始点坐标对掩模版图进行网格划分；

缺陷标定模块：用于基于各缺陷坐标及对应的缺陷网格的坐标数据判断并标定网格边界缺陷。

10.一种存储介质，其特征在于：所述存储介质存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如权利要求1-8中任一项所述的网格边界缺陷标定方法。