CN117650031A - 探测口径连续可调式法拉第杯、调节方法及调节装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了探测口径连续可调式法拉第杯、调节方法及调节装置，其中，法拉第杯包括：用于导入探测电子的静电透镜组件，所述静电透镜组件的前端设有用于接入电压形成电势差将探测电子的动能转化为势能以控制不同尺寸的电子束通过、以调整测量尺寸的加压控制单元；设置在所述加压控制单元后侧以接入偏压限制电子逃逸的抑制极；设置在所述抑制极后侧用于接收通过所述抑制极的电子束以实现探测测量动作的收集极；以及，用于固定所述加压控制单元、所述抑制极和所述收集极的绝缘固定套。通过调整接入加压控制单元的电压值即可改变电子束的测量尺寸，而无需进行复杂的结构设计或者破坏真空环境，整体成本较低、且操作过程方便快捷。
Description
技术领域
本发明涉及电学检测部件技术领域，尤其是涉及一种探测口径连续可调式法拉第杯、调节方法及调节装置。
背景技术
法拉第杯是一种金属制杯状、用来测量带电粒子入射强度的真空侦测器，其测得的电流可以用来判定入射电子或离子的数量。由于其可以绝对衡量带电粒子的束流，因此广泛应用于电子显微镜、电子束直写设备以及质谱仪等领域。
以电子显微镜为例，电子显微镜的成像性能一定程度上取决电子源的质量。电子源的关键参数例如总发射电流、角电流密度分布等关键参数对电子光学设计、设备运行以及后期调试至关重要，通常需要优先测量。而法拉第杯作为一种绝对电流测量工具，具有很高的分辨率和灵敏度，是束流测量的最优选择。通过结合法拉第杯和高精度三维位移装置，可以精确测量电子束在某一个截面上的绝对束流分布。
法拉第杯的位置精度由最外圈的孔径大小决定，常规的法拉第杯机械加工完成后已经确定其测量口径的物理尺寸，因此使用过程中通常无法原位更改。在实际测量中，前期为了寻找电子束位置和大致形状，我们期望使用大口径法拉第杯以缩短扫描时间并提高效率；而精确测量电子束关键参数时，则期望使用小孔径法拉第杯，提高位置精度和分辨率。
由于法拉第杯工作于超高真空环境，如果测量时更换不同探测径的法拉第杯，不可避免地需要破坏真空环境，造成测试周期延长。因此为了实现在真空内原位改变法拉第杯的探测口径，现有设计中通常集成设计一些不同尺寸的孔径光阑，通过步进马达控制，实现原位机械更换不同口径的光阑的功能，避免了破坏超高真空环境。然而这种集成不同孔径光阑的方案需要进行复杂的结构传动设计，设计成本和控制成本较高。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种探测口径连续可调式法拉第杯、调节方法及调节装置，具有调节控制方便且成本低的优点。
本发明的目的采用如下技术方案实现：
根据本公开实施例的第一方面，提供一种探测口径连续可调式法拉第杯，包括：
用于导入探测电子的静电透镜组件，所述静电透镜组件的前端设有用于接入电压形成电势差将探测电子的动能转化为势能以控制不同尺寸的电子束通过、以调整测量尺寸的加压控制单元；
设置在所述加压控制单元后侧以接入偏压限制电子逃逸的抑制极；
设置在所述抑制极后侧用于接收通过所述抑制极的电子束以实现探测测量动作的收集极；以及，
用于固定所述加压控制单元、所述抑制极和所述收集极的绝缘固定套。
实现上述技术方案，使用时，由电子发生装置发出探测电子并由静电透镜组件导入，根据所需的测量尺寸通过外部加压装置向加压控制单元接入相应的电压值，加压控制单元在静电透镜组件前端形成一个电势差，此时由于能量守恒，探测电子被减速，其一部分动能被转化为势能，由于电场的靠近加压控制单元的能量较大，因此会使得探测电子外侧的动能转化更多，而探测电子中心仍具有足够动能的电子会通过抑制极，接入加压控制单元的电压不同即会形成不同强度电场，从而改变经过抑制极的电子束的直径，调节的连续性更强，而同时在抑制极上接入偏压，探测电子形成电子束通过抑制极时，该偏压会限制电子逃逸，最终被收集极收集进行探测测量动作；通过调整接入加压控制单元的电压值即可改变电子束的测量尺寸，而无需进行复杂的结构设计或者破坏真空环境，整体成本较低、且操作过程方便快捷。
在一些示例性的实施方式中，所述加压控制单元包括：
设置在所述静电透镜组件前端的接地极，所述接地极用于接地连接以阻挡部分外围电子；
设置在所述接地极与所述抑制极之间的减速极，所述减速极用于与外部加压装置相连接以接入电压形成电势差将探测电子的动能转化为势能，所述外部加压装置通过改变不同的接入电压以控制不同尺寸的电子束通过。
实现上述技术方案，当探测电子经过接地极进入静电透镜组件时，位于外围部分探测电子即会与接地极相接触，接地极接地将这部分的探测电子导出，从而能够过滤外部紊乱的探测电子，而减速极接入电压后会产生电压差而形成电场，由于能量守恒，探测电子一部分的动能被转化为势能，从而限制部分探测电子通过，即剩余具有足够动能的电子才能通过减速极，从而改变了通过的电子束的尺寸，通过改变不同的接入电压即可控制不同尺寸的电子束通过，满足不同的探测需求。
在一些示例性的实施方式中，所述绝缘固定套外固定设置有接地外壳，所述接地极固定于所述接地外壳的前端。
实现上述技术方案，通过接地外壳与接地极相固定便于进行接地连接。
在一些示例性的实施方式中，所述绝缘固定套内依次开设有第一嵌槽、第二嵌槽和第三嵌槽，所述减速极卡嵌于所述第一嵌槽，所述抑制极卡嵌于所述第二嵌槽，所述收集极卡嵌于所述第三嵌槽。
实现上述技术方案，通过设置第一嵌槽、第二嵌槽和第三嵌槽，便于安装固定减速极、抑制极和收集极。
在一些示例性的实施方式中，所述绝缘固定套由陶瓷材料制成。
在一些示例性的实施方式中，所述收集极的中部开设有楔形或锥形的收集槽。
实现上述技术方案，便于对探测电子进行收集和汇聚。
本公开实施例的第二方面，提供一种调节法拉第杯探测口径的方法，所述调节方法基于如第一方面所述的法拉第杯实现，包括：
通过电子发生装置发射探测电子并导入所述静电透镜组件内；
设定外部加压装置的电压值并接入所述加压控制单元形成电势差将探测电子的动能转化为势能以控制不同尺寸的电子束通过；
于所述抑制极上接入偏压以限制电子逃逸，并由所述收集极接收通过所述抑制极的电子束以实现探测测量动作。
实现上述技术方案，由静电透镜组件导入探测电子，加压控制单元接入电压后形成电势差而产生电场，将一部分探测电子动能转换为势能，从而限制探测电子经过的数量，即控制了通过加压控制单元的电子束的尺寸，而通过在抑制极接入偏压后可以限制探测电子逃逸，最终被收集极收集进行探测测量动作；通过调整接入加压控制单元的电压值即可改变电子束的测量尺寸，而无需进行复杂的结构设计或者破坏真空环境，整体成本较低、且操作过程方便快捷。
在一些示例性的实施方式中，所述设定外部加压装置的电压值并接入所述加压控制单元形成电势差将探测电子的动能转化为势能以控制不同尺寸的电子束通过具体包括：
根据所需的测量尺寸按照预定策略设定与所述加压控制单元对应连接的外部加压装置的电压值；
所述接地极接地连接以将探测电子中的外围电子阻挡导出以形成第一电子束；
所述减速极接入所述外部加压装置提供的电压以形成电势差将所述第一电子束的动能转化为势能，位于所述第一电子束中心部位具备足够通过所述抑制极动能的电子通过以形成第二电子束。
实现上述技术方案，由于最终通过的电子束的直径与接入的电压值呈一定比例，因此根据所需的测量尺寸设定相应的电压值，即可获得相应直径的电子束，当探测电子经过接地极进入静电透镜组件时，位于外围部分探测电子即会与接地极相接触，接地极接地将这部分的探测电子导出，从而能够过滤外部紊乱的探测电子，形成第一电子束；而减速极接入电压后会产生电压差而形成电场，由于能量守恒，探测电子一部分的动能被转化为势能，从而限制部分探测电子通过，即剩余具有足够动能的电子才能通过减速极，从而改变了通过的电子束的尺寸，形成第二电子束，通过改变不同的接入电压即可控制不同尺寸的电子束通过，满足不同的探测需求。
本公开实施例的第三方面，提供一种调节法拉第杯探测口径的装置，包括：
如第一方面所述的探测口径连续可调式法拉第杯；
与所述减速极相连接的第一加压装置，所述第一加压装置用于按照预定策略设置电压值以接入所述减速极；
与所述抑制极相连接的第二加压装置，所述第二加压装置用于向所述抑制极提供偏压。
实现上述技术方案，通过第一加压装置向减速极提供不同大小的电压值，从而形成不同尺寸的电子束，通过第二加压装置相抑制极提供偏压，从而可以抑制探测电子逃逸，进而实现连续的探测尺寸的调整。
本公开实施例的第四方面，提供一种探测口径连续可调式法拉第杯的应用，将如第一方面所述的探测口径连续可调式法拉第杯应用于电子显微镜、电子束直写设备或者质谱仪。
综上所述，相比现有技术，本发明具有如下有益效果：
本发明实施例通过提供一种探测口径连续可调式法拉第杯、调节方法及调节装置，其中，法拉第杯包括：用于导入探测电子的静电透镜组件，所述静电透镜组件的前端设有用于接入电压形成电势差将探测电子的动能转化为势能以控制不同尺寸的电子束通过、以调整测量尺寸的加压控制单元；设置在所述加压控制单元后侧以接入偏压限制电子逃逸的抑制极；设置在所述抑制极后侧用于接收通过所述抑制极的电子束以实现探测测量动作的收集极；以及，用于固定所述加压控制单元、所述抑制极和所述收集极的绝缘固定套。使用时，由电子发生装置发出探测电子并由静电透镜组件导入，根据所需的测量尺寸通过外部加压装置向加压控制单元接入相应的电压值，加压控制单元在静电透镜组件前端形成一个电势差，此时由于能量守恒，探测电子被减速，其一部分动能被转化为势能，由于电场的靠近加压控制单元的能量较大，因此会使得探测电子外侧的动能转化更多，而探测电子中心仍具有足够动能的电子会通过抑制极，接入加压控制单元的电压不同即会形成不同强度电场，从而改变经过抑制极的电子束的直径，调节的连续性更强，而同时在抑制极上接入偏压，探测电子形成电子束通过抑制极时，该偏压会限制电子逃逸，最终被收集极收集进行探测测量动作；通过调整接入加压控制单元的电压值即可改变电子束的测量尺寸，而无需进行复杂的结构设计或者破坏真空环境，整体成本较低、且操作过程方便快捷。
附图说明
图1为本发明实施例中探测口径连续可调式法拉第杯的结构示意图。
图2为本发明实施例中探测电子尺寸调节的原理图。
图3为本发明实施例中调节装置的结构示意图。
图4为本发明实施例中调节装置另一实时方式的结构示意图。
图中数字和字母所表示的相应部件名称：
10、静电透镜组件；20、加压控制单元；21、接地极；22、减速极；23、接地外壳；30、抑制极；40、收集极；41、收集槽；50、绝缘固定套；51、第一嵌槽；52、第二嵌槽；53、第三嵌槽；60、第一加压装置；70、第二加压装置。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1所示，本发明实施例第一方面提供一种探测口径连续可调式法拉第杯，包括：用于导入探测电子的静电透镜组件10，静电透镜组件10的前端设有用于接入电压形成电势差将探测电子的动能转化为势能以控制不同尺寸的电子束通过、以调整测量尺寸的加压控制单元20；设置在加压控制单元20后侧以接入偏压限制电子逃逸的抑制极30；设置在抑制极30后侧用于接收通过抑制极30的电子束以实现探测测量动作的收集极40；以及，用于固定加压控制单元20、抑制极30和收集极40的绝缘固定套50。
具体的，加压控制单元20、抑制极30、收集极40和绝缘固定套50等构件构成该静电透镜组件10，加压控制单元20包括：设置在静电透镜组件10前端的接地极21，接地极21用于接地连接以阻挡部分外围电子；设置在接地极21与抑制极30之间的减速极22，减速极22用于与外部加压装置相连接以接入电压形成电势差将探测电子的动能转化为势能，外部加压装置通过改变不同的接入电压以控制不同尺寸的电子束通过；其中，绝缘固定套50外固定设置有接地外壳23，接地极21固定于接地外壳23的前端，通过接地外壳23与接地极21相固定便于进行接地连接；接地极21、减速极22、抑制极30采用非磁性金属材料制成，如316L不锈钢材料或者钛/钛合金，收集极40采用二次电子产额较低的材料，如石墨。
当探测电子经过接地极21进入静电透镜组件10时，位于外围部分探测电子即会与接地极21相接触，接地极21接地将这部分的探测电子导出，从而能够过滤外部紊乱的探测电子，而减速极22接入电压后会产生电压差而形成电场，由于能量守恒，探测电子一部分的动能被转化为势能，从而限制部分探测电子通过，即剩余具有足够动能的电子才能通过减速极22，从而改变了通过的电子束的尺寸，通过改变不同的接入电压即可控制不同尺寸的电子束通过，满足不同的探测需求。
可以理解是，接地极21、减速极22、抑制极30、收集极40的具体工程为：接地极21是接地外壳23的一部分，接地外壳23为整个法拉第杯系统外部的金属外壳；减速极22和接地极21形成减速电场，用以筛选进入收集极40的电子尺寸，通过控制减速极22电压可以控制进入收集极40的电子束尺寸；抑制极30主要防止进入收集极40的电子或者产生的二次电子逃逸出来造成测量误差，收集极40用于当探测电子打入收集极40材料内导走形成电流进行测量。
在一些实施例中，还可以在收集极40上连接一根导线，导线连接至高精度电流表，例如纳安表或者皮安表，从而可以测量进入法拉第杯的电流。
绝缘固定套50用于实现电绝缘，绝缘固定套50内依次开设有第一嵌槽51、第二嵌槽52和第三嵌槽53，减速极22卡嵌于第一嵌槽51，抑制极30卡嵌于第二嵌槽52，收集极40卡嵌于第三嵌槽53，通过设置第一嵌槽51、第二嵌槽52和第三嵌槽53，便于安装固定减速极22、抑制极30和收集极40。
本实施例中，绝缘固定套50由陶瓷材料制成，当然在其他实施例中，绝缘固定套50也可以由其他具有足够硬度的绝缘材料制成，同时，在收集极40的中部开设有楔形或锥形的收集槽41，以便于对探测电子进行收集和汇聚。
使用时，由电子发生装置发出探测电子并由静电透镜组件10导入，根据所需的测量尺寸通过外部加压装置向加压控制单元20接入相应的电压值，加压控制单元20在静电透镜组件10前端形成一个电势差，此时由于能量守恒，探测电子被减速，其一部分动能被转化为势能，由于电场的靠近加压控制单元20的能量较大，因此会使得探测电子外侧的动能转化更多，而探测电子中心仍具有足够动能的电子会通过抑制极30，接入加压控制单元20的电压不同即会形成不同强度电场，从而改变经过抑制极30的电子束的直径，调节的连续性更强，而同时在抑制极30上接入偏压，探测电子形成电子束通过抑制极30时，该偏压会限制电子逃逸，最终被收集极40收集进行探测测量动作；通过调整接入加压控制单元20的电压值即可改变电子束的测量尺寸，而无需进行复杂的结构设计或者破坏真空环境，整体成本较低、且操作过程方便快捷。
本发明实施例的第二方面还提供一种调节法拉第杯探测口径的方法，该调节方法基于如第一方面所述的法拉第杯实现，包括：
S100、通过电子发生装置发射探测电子并导入静电透镜组件10内，其中，电子发生装置设置在法拉第杯所应用的设备上，用于产生并发射探测电子。
S200、设定外部加压装置的电压值并接入加压控制单元20形成电势差将探测电子的动能转化为势能以控制不同尺寸的电子束通过。
其中，S200具体包括：
S201、根据所需的测量尺寸按照预定策略设定与加压控制单元20对应连接的外部加压装置的电压值；
S202、接地极21接地连接以将探测电子中的外围电子阻挡导出以形成第一电子束；
S203、减速极22接入外部加压装置提供的电压以形成电势差将第一电子束的动能转化为势能，位于第一电子束中心部位具备足够通过抑制极30动能的电子通过以形成第二电子束。
由于最终通过的电子束的直径与接入的电压值呈一定比例，因此根据所需的测量尺寸设定相应的电压值，即可获得相应直径的电子束，当探测电子经过接地极21进入静电透镜组件10时，位于外围部分探测电子即会与接地极21相接触，接地极21接地将这部分的探测电子导出，从而能够过滤外部紊乱的探测电子，形成第一电子束；而减速极22接入电压后会产生电压差而形成电场，由于能量守恒，探测电子一部分的动能被转化为势能，从而限制部分探测电子通过，即剩余具有足够动能的电子才能通过减速极22，从而改变了通过的电子束的尺寸，形成第二电子束，通过改变不同的接入电压即可控制不同尺寸的电子束通过，满足不同的探测需求。
S300、于抑制极30上接入偏压以限制电子逃逸，并由收集极40接收通过抑制极30的电子束以实现探测测量动作。
由静电透镜组件10导入探测电子，加压控制单元20接入电压后形成电势差而产生电场，将一部分探测电子动能转换为势能，从而限制探测电子经过的数量，即控制了通过加压控制单元20的电子束的尺寸，而通过在抑制极30接入偏压后可以限制探测电子逃逸，最终被收集极40收集进行探测测量动作；通过调整接入加压控制单元20的电压值即可改变电子束的测量尺寸，而无需进行复杂的结构设计或者破坏真空环境，整体成本较低、且操作过程方便快捷。
如图2所示，以一具体实现方式为例：
假设探测电子的动能为2000eV，当减速极22电压很小或者为0时，由接地极21进入法拉第杯的探测电子基本全部被收集极40吸收，如图2中a部分所示，而为了防止收集极40由于二次电子逃逸导致测量不准，在抑制极30通常加-100V左右的偏压；当减速极22的电压进一步增加，由于能量守恒，探测电子被减速，探测电子一部分动能被转化为势能，当探测电子通过减速极22后，还有部分动能的探测电子会进入收集极40被接收，此时可理解为-2000V等势线之间的区域为探测电子的探测区域，如图2中b-c部分所示；当减速极22的电压足够大时，所有的探测电子均会被反射回去，进而没有探测电子进入收集极40，如图2中d部分所示。
本发明实施例的第三方面提供一种调节法拉第杯探测口径的装置，包括：如第一方面所述的探测口径连续可调式法拉第杯；与减速极22相连接的第一加压装置60，第一加压装置60用于按照预定策略设置电压值以接入减速极22；以及，与抑制极30相连接的第二加压装置70，第二加压装置70用于向抑制极30提供偏压。
如图3所示，第一加压装置60和第二加压装置70可以分体的两个电压控制装置，两者分别控制接入减速极22和抑制极30的电压值，当然在其他实施例中，如图4所示，第一加压装置60和第一加压装置60也可以为一体结构，即该电压控制装置具有至少两个控制分路，分别与减速极22和抑制极30的相连接，以分别控制接入减速极22和抑制极30的电压值。
通过第一加压装置60向减速极22提供不同大小的电压值，从而形成不同尺寸的电子束，通过第二加压装置70相抑制极30提供偏压，从而可以抑制探测电子逃逸，进而实现连续的探测尺寸的调整。
本发明实施例的第四方面，提供一种探测口径连续可调式法拉第杯的应用，即将如第一方面所述探测口径连续可调式法拉第杯应用于电子显微镜、电子束直写设备或者质谱仪，同时采用该种探测口径连续可调式法拉第杯可以实现连续的测量尺寸调整，而无需进行复杂的结构设计或者破坏真空环境，整体成本较低、且操作过程方便快捷。
以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进演变，都是依据本发明实质技术对以上实施例做的等同修饰与演变，这些都属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种探测口径连续可调式法拉第杯，其特征在于，包括：
用于导入探测电子的静电透镜组件，所述静电透镜组件的前端设有用于接入电压形成电势差将探测电子的动能转化为势能以控制不同尺寸的电子束通过、以调整测量尺寸的加压控制单元；
设置在所述加压控制单元后侧以接入偏压限制电子逃逸的抑制极；
设置在所述抑制极后侧用于接收通过所述抑制极的电子束以实现探测测量动作的收集极；以及，
用于固定所述加压控制单元、所述抑制极和所述收集极的绝缘固定套。
2.根据权利要求1所述的探测口径连续可调式法拉第杯，其特征在于，所述加压控制单元包括：
设置在所述静电透镜组件前端的接地极，所述接地极用于接地连接以阻挡部分外围电子；
设置在所述接地极与所述抑制极之间的减速极，所述减速极用于与外部加压装置相连接以接入电压形成电势差将探测电子的动能转化为势能，所述外部加压装置通过改变不同的接入电压以控制不同尺寸的电子束通过。
3.根据权利要求2所述的探测口径加连续可调式法拉第杯，其特征在于，所述绝缘固定套外固定设置有接地外壳，所述接地极固定于所述接地外壳的前端。
4.根据权利要求2所述的探测口径连续可调式法拉第杯，其特征在于，所述绝缘固定套内依次开设有第一嵌槽、第二嵌槽和第三嵌槽，所述减速极卡嵌于所述第一嵌槽，所述抑制极卡嵌于所述第二嵌槽，所述收集极卡嵌于所述第三嵌槽。
5.根据权利要求1所述的探测口径连续可调式法拉第杯，其特征在于，所述绝缘固定套由陶瓷材料制成。
6.根据权利要求1所述的探测口径连续可调式法拉第杯，其特征在于，所述收集极的中部开设有楔形或锥形的收集槽，所述收集极由石墨制成。
7.一种调节法拉第杯探测口径的方法，其特征在于，所述调节方法基于如权利要求1-6中任一项所述的法拉第杯实现，包括：
通过电子发生装置发射探测电子并导入所述静电透镜组件内；
设定外部加压装置的电压值并接入所述加压控制单元形成电势差将探测电子的动能转化为势能以控制不同尺寸的电子束通过；
于所述抑制极上接入偏压以限制电子逃逸，并由所述收集极接收通过所述抑制极的电子束以实现探测测量动作。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述设定外部加压装置的电压值并接入所述加压控制单元形成电势差将探测电子的动能转化为势能以控制不同尺寸的电子束通过具体包括：
根据所需的测量尺寸按照预定策略设定与所述加压控制单元对应连接的外部加压装置的电压值；
所述接地极接地连接以将探测电子中的外围电子阻挡导出以形成第一电子束；
所述减速极接入所述外部加压装置提供的电压以形成电势差将所述第一电子束的动能转化为势能，位于所述第一电子束中心部位具备足够通过所述抑制极动能的电子通过以形成第二电子束。
9.一种调节法拉第杯探测口径的装置，其特征在于，包括：
如权利要求1-6中任一项所述的探测口径连续可调式法拉第杯；
与所述减速极相连接的第一加压装置，所述第一加压装置用于按照预定策略设置电压值以接入所述减速极；
与所述抑制极相连接的第二加压装置，所述第二加压装置用于向所述抑制极提供偏压。
10.一种探测口径连续可调式法拉第杯的应用，其特征在于，将如权利要求1至6中所述的探测口径连续可调式法拉第杯应用于电子显微镜、电子束直写设备或者质谱仪。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311675581.4A CN117650031A (zh) | 2023-12-07 | 2023-12-07 | 探测口径连续可调式法拉第杯、调节方法及调节装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311675581.4A CN117650031A (zh) | 2023-12-07 | 2023-12-07 | 探测口径连续可调式法拉第杯、调节方法及调节装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117650031A true CN117650031A (zh) | 2024-03-05 |
Family
ID=90049213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311675581.4A Pending CN117650031A (zh) | 2023-12-07 | 2023-12-07 | 探测口径连续可调式法拉第杯、调节方法及调节装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117650031A (zh) |
-
2023
- 2023-12-07 CN CN202311675581.4A patent/CN117650031A/zh active Pending
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