CN117558088A - 一种真空蚀刻机的减振装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种真空蚀刻机的减振装置，涉及减振装置技术领域，包括：承载底座，所述承载底座顶端面中心部位开设有一处弹簧收纳槽a，弹簧收纳槽a内端底面固定安装有一组减振弹簧；所述承载底座正上方设有一块承托块体，承托块体底端面与减振弹簧顶端固定相连接；本发明减振装置在实现消能减振的同时，可对所减振支撑的设备实现有无位置偏离的实时监测，当监测判定其发生位置偏离时，一是通过高分贝的蜂鸣警示，对周围工作人员实现警示提醒，二是通过第一时间的无线网络消息发送，以便于在设备不运行状态下，对工作人员实现消息提醒，解决了现减振底座无法对所减振支撑的设备实现位移监测的问题。

Description

一种真空蚀刻机的减振装置

技术领域

本发明涉及减振装置技术领域，尤其涉及一种真空蚀刻机的减振装置。

背景技术

减振装置，指减振底座，其用于配合大型设备辅助安装，设置于大型设备底部，将其与地面相隔离，对大型设备起到减振辅助作用，例如真空蚀刻机，为了保证其应用时的稳定，其与地面之间布设减振底座，以保证真空蚀刻操作不受振动影响。

但现减振底座多采用橡胶垫及弹簧只是实现单一的减振功能，无法对所减振支撑的设备实现位移监测，导致设备发生移位时，无法对工作人员实现及时提醒，因而发生位移时，易导致设备所连接导线等受损松动，影响其操作应用，而且减振底座也将向位移方向所偏离，对减振底座的橡胶垫及弹簧造成长久性的偏离挤压，对其减振效果造成一定的影响。

发明内容

本公开实施例涉及一种真空蚀刻机的减振装置，本发明减振装置在实现消能减振的同时，可对所减振支撑的设备实现有无位置偏离的实时监测，当监测判定其发生位置偏离时，一是通过高分贝的蜂鸣警示，对周围工作人员实现警示提醒，二是通过第一时间的无线网络消息发送，以便于在设备不运行状态下，对工作人员实现消息提醒，利于其及时得知，以前往对其进行及时的位置复位。

本公开第一方面，提供了一种真空蚀刻机的减振装置，具体包括: 承载底座，所述承载底座呈方形块结构，承载底座顶端面四处边缘夹角部位均开设有一处缺槽；四处所述缺槽内端底面均开设有一处安装孔位，安装孔位贯通承载底座底端面；所述承载底座顶端面中心部位开设有一处弹簧收纳槽a，弹簧收纳槽a内端底面固定安装有一组减振弹簧；所述承载底座正上方设有一块承托块体，承托块体呈方形块结构，承托块体边长尺寸与承载底座边长尺寸相一致，承托块体底端面与减振弹簧顶端固定相连接；所述承托块体顶端面固定粘接有一块橡胶减振块体，橡胶减振块体呈方形块结构，橡胶减振块体边长尺寸与承托块体边长尺寸相一致；所述承载底座内部设有微控制器；所述承载底座内部还设有与微控制器电性相连的蓄电池，蓄电池外接电源。

至少一些实施例中，所述承载底座内部还设有与微控制器电性相连的5G模块；还包括有移动终端，所述移动终端为手机，移动终端与5G模块无线网络传输连接；所述承载底座后端面固定安装有一组蜂鸣器，蜂鸣器与微控制器电性相连。

至少一些实施例中，所述承载底座顶端面前侧方及左侧方均开设有一处插接开口，插接开口呈矩形开口结构，插接开口贯通承载底座底端面；位于前侧方的所述插接开口内端前侧面及后侧面均开设有一处安装槽，两处安装槽内均各安装有一组位移警示开关，位移警示开关与微控制器电性相连；所述位移警示开关采用轻触开关，该两组位移警示开关的按键端均朝向插接开口，且其分别与插接开口内端前侧面及后侧面处于同一垂直面。

至少一些实施例中，位于前侧方的所述插接开口内端前侧面及后侧面四处边缘夹角部位均各开设有一处弹簧收纳槽b，弹簧收纳槽b呈圆形槽结构；所述承载底座前端面相对于位于前侧方的四处弹簧收纳槽b轴心部位均各开设有一处与其相连通的插接孔位，插接孔位为圆孔；位于后侧方的四处弹簧收纳槽b内端面轴心均各开设有一处限位插槽，限位插槽呈圆形槽结构。

至少一些实施例中，还包括有往复滑动板，所述往复滑动板呈矩形板结构，往复滑动板前端面四处边缘夹角部位均固定安装有一根限位插柱；四根限位插柱外围均套接有一根复位弹簧，复位弹簧后端与往复滑动板前端面固定相连接；所述往复滑动板前端面固定安装有一块橡胶抵压块，橡胶抵压块呈圆形块结构，橡胶抵压块结构尺寸小于安装槽结构尺寸；位于前侧方的插接开口内滑动安装有两块往复滑动板；位于前侧方的往复滑动板的四根限位插柱分别滑动插接在四处插接孔位内部，而该四根复位弹簧分别与位于前侧方的四处弹簧收纳槽b内端面固定相连接；位于后侧方的往复滑动板的四根限位插柱分别滑动插接在四处限位插槽内部，而该四根复位弹簧分别与位于后侧方的四处弹簧收纳槽b内端面固定相连接。

至少一些实施例中，位于左侧方的所述插接开口内端左侧面及右侧面均开设有一处安装槽，该两处安装槽内也均各安装有一组与微控制器电性相连的位移警示开关；该两组位移警示开关的按键端均朝向该处插接开口，且其分别与该处插接开口内端左侧面及右侧面处于同一垂直面。

至少一些实施例中，位于左侧方的所述插接开口内端左侧面及右侧面四处边缘夹角部位也均各开设有一处弹簧收纳槽b；所述承载底座左端面相对于位于左侧方的四处弹簧收纳槽b轴心部位也均各开设有一处与其相连通的插接孔位；位于右侧方的四处弹簧收纳槽b内端面轴心也均各开设有一处限位插槽。

至少一些实施例中，位于左侧方的插接开口内滑动安装有两块往复滑动板；位于左侧方的往复滑动板的四根限位插柱分别滑动插接在该处插接开口的四处插接孔位内部，而该四根复位弹簧分别与位于左侧方的四处弹簧收纳槽b内端面固定相连接；位于右侧方的往复滑动板的四根限位插柱分别滑动插接在该处插接开口的四处限位插槽内部，而该四根复位弹簧分别与位于右侧方的四处弹簧收纳槽b内端面固定相连接。

至少一些实施例中，所述承托块体底端面前侧方及左侧方均各开设有一处往复滑槽，往复滑槽呈矩形槽结构；位于前侧方的往复滑槽内端前侧面及后侧面之间固定连接有两根限位柱；位于左侧方的往复滑槽内端左侧面及右侧面之间也均固定连接有两根限位柱；所述承托块体前端面相对于位于前侧方的往复滑槽部位开设有一处与其相连通的螺纹通孔；所述承托块体左端面相对于位于左侧方的往复滑槽部位也开设有一处与其相连通的螺纹通孔；还包括有抵压块体，所述抵压块体呈矩形块体结构，抵压块体前端面上侧方两处边缘夹角部位均各开设有一处配合孔位；所述抵压块体前端面通过一组轴承转动安装有一根传动柱，传动柱外周面设置有外螺纹，传动柱前端面固定安装有扭动旋钮；两处往复滑槽内均各滑动安装有一块抵压块体，配合孔位与传动柱滑动相连接，而传动柱通过外螺纹与螺纹通孔螺纹传动相连接。

至少一些实施例中，所述复位弹簧伸展状态下，橡胶抵压块与位移警示开关的按键端相接触；两块所述抵压块体分别插接在两处插接开口的各两块往复滑动板之间，且复位弹簧伸展状态下，抵压块体与往复滑动板相接触。

本发明提供了一种真空蚀刻机的减振装置，具有如下有益效果：

本发明减振装置在实现消能减振的同时，可对所减振支撑的设备实现有无位置偏离的实时监测，当监测判定其发生位置偏离时，一是通过高分贝的蜂鸣警示，对周围工作人员实现警示提醒，二是通过第一时间的无线网络消息发送，以便于在设备不运行状态下，对工作人员实现消息提醒，利于其及时得知，以前往对其进行及时的位置复位。

此外，本发明通过抵压块体与往复滑动板的抵压配合，可实现全方位的位置偏离监测，以保证设备发生位置偏离时，通过抵压块体对往复滑动板的抵压，从而同步使得橡胶抵压块按压启动位移警示开关，以实现位置偏离的警示提醒。

此外，本发明抵压块体为位置可往复调节式设计，通过该设计，利于判定设备位置偏离，经由蜂鸣器实现高分贝蜂鸣警示后，在需要对设备进行位置复位时，可通过对抵压块体的位置调节，解除抵压块体与往复滑动板的抵压配合，以关闭蜂鸣器，避免高分贝蜂鸣在进行位置复位时，造成噪音影响。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。

下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。

在附图中：

图1示出了本申请的前端轴视结构示意图；

图2示出了本申请的后端轴视结构示意图；

图3示出了本申请的底端轴视结构示意图；

图4示出了本申请的拆分状态下结构示意图；

图5示出了本申请的承载底座拆分状态下结构示意图；

图6示出了本申请的承托块体拆分状态下结构示意图；

图7示出了本申请的图6中A处局部放大结构示意图；

图8示出了本申请的侧视结构示意图；

图9示出了本申请的图8剖视状态下结构示意图；

图10示出了本申请的限位插槽部位剖视状态下结构示意图；

图11示出了本申请的系统框图；

附图标记列表

1、承载底座；101、缺槽；102、安装孔位；103、蜂鸣器；104、插接开口；105、往复滑动板；106、弹簧收纳槽a；107、减振弹簧；108、安装槽；109、位移警示开关；1010、弹簧收纳槽b；1011、插接孔位；1012、限位插柱；1013、复位弹簧；1014、限位插槽；1015、蓄电池；1016、5G模块；1017、移动终端；1018、微控制器；1019、橡胶抵压块；

2、承托块体；201、橡胶减振块体；202、抵压块体；203、配合孔位；204、往复滑槽；205、限位柱；206、螺纹通孔；207、传动柱；208、外螺纹；209、扭动旋钮；2010、轴承。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一：请参考图1至图11：

本发明提出了一种真空蚀刻机的减振装置，包括：承载底座1，承载底座1呈方形块结构，承载底座1顶端面四处边缘夹角部位均开设有一处缺槽101；四处缺槽101内端底面均开设有一处安装孔位102，安装孔位102贯通承载底座1底端面，故承载底座1安装时，可通过穿插过安装孔位102紧固件与地面的固定安装，从而实现对承载底座1的固定安装；承载底座1顶端面中心部位开设有一处弹簧收纳槽a106，弹簧收纳槽a106内端底面固定安装有一组减振弹簧107；承载底座1正上方设有一块承托块体2，承托块体2呈方形块结构，承托块体2边长尺寸与承载底座1边长尺寸相一致，承托块体2底端面与减振弹簧107顶端固定相连接，通过减振弹簧107的设置，可实现消能减振；承托块体2顶端面固定粘接有一块橡胶减振块体201，橡胶减振块体201呈方形块结构，橡胶减振块体201边长尺寸与承托块体2边长尺寸相一致；承载底座1内部设有微控制器1018；承载底座1内部还设有与微控制器1018电性相连的蓄电池1015，蓄电池1015外接电源；承载底座1后端面固定安装有一组蜂鸣器103，通过蜂鸣器103的设置，当判定发生位置偏离时，可通过蜂鸣器103的启动蜂鸣，对工作人员实现蜂鸣警示，蜂鸣器103与微控制器1018电性相连；承载底座1内部还设有与微控制器1018电性相连的5G模块1016；还包括有移动终端1017，移动终端1017为工作人员的手机，移动终端1017与5G模块1016无线网络传输连接，通过5G模块1016与移动终端1017的无线网络传输，当判定发生位置偏离时，可通过5G模块1016对移动终端1017的消息发送，便于工作人员第一时间得知发生位置偏离，以便于其及时前往进行位置复位。

本公开实施例中，承载底座1顶端面前侧方及左侧方均开设有一处插接开口104，插接开口104呈矩形开口结构，插接开口104贯通承载底座1底端面；位于前侧方的插接开口104内端前侧面及后侧面均开设有一处安装槽108，两处安装槽108内均各安装有一组位移警示开关109，位移警示开关109与微控制器1018电性相连；位移警示开关109采用轻触开关，该两组位移警示开关109的按键端均朝向插接开口104，且其分别与插接开口104内端前侧面及后侧面处于同一垂直面，位于前侧方的插接开口104内端前侧面及后侧面四处边缘夹角部位均各开设有一处弹簧收纳槽b1010，弹簧收纳槽b1010呈圆形槽结构；承载底座1前端面相对于位于前侧方的四处弹簧收纳槽b1010轴心部位均各开设有一处与其相连通的插接孔位1011，插接孔位1011为圆孔；位于后侧方的四处弹簧收纳槽b1010内端面轴心均各开设有一处限位插槽1014，限位插槽1014呈圆形槽结构。

本公开实施例中，还包括有往复滑动板105，往复滑动板105呈矩形板结构，往复滑动板105前端面四处边缘夹角部位均固定安装有一根限位插柱1012；四根限位插柱1012外围均套接有一根复位弹簧1013，复位弹簧1013后端与往复滑动板105前端面固定相连接；往复滑动板105前端面固定安装有一块橡胶抵压块1019，橡胶抵压块1019呈圆形块结构，橡胶抵压块1019结构尺寸小于安装槽108结构尺寸；位于前侧方的插接开口104内滑动安装有两块往复滑动板105；位于前侧方的往复滑动板105的四根限位插柱1012分别滑动插接在四处插接孔位1011内部，而该四根复位弹簧1013分别与位于前侧方的四处弹簧收纳槽b1010内端面固定相连接；位于后侧方的往复滑动板105的四根限位插柱1012分别滑动插接在四处限位插槽1014内部，而该四根复位弹簧1013分别与位于后侧方的四处弹簧收纳槽b1010内端面固定相连接。

本公开实施例中，位于左侧方的插接开口104内端左侧面及右侧面均开设有一处安装槽108，该两处安装槽108内也均各安装有一组与微控制器1018电性相连的位移警示开关109；该两组位移警示开关109的按键端均朝向该处插接开口104，且其分别与该处插接开口104内端左侧面及右侧面处于同一垂直面，位于左侧方的插接开口104内端左侧面及右侧面四处边缘夹角部位也均各开设有一处弹簧收纳槽b1010；承载底座1左端面相对于位于左侧方的四处弹簧收纳槽b1010轴心部位也均各开设有一处与其相连通的插接孔位1011；位于右侧方的四处弹簧收纳槽b1010内端面轴心也均各开设有一处限位插槽1014，位于左侧方的插接开口104内滑动安装有两块往复滑动板105；位于左侧方的往复滑动板105的四根限位插柱1012分别滑动插接在该处插接开口104的四处插接孔位1011内部，而该四根复位弹簧1013分别与位于左侧方的四处弹簧收纳槽b1010内端面固定相连接；位于右侧方的往复滑动板105的四根限位插柱1012分别滑动插接在该处插接开口104的四处限位插槽1014内部，而该四根复位弹簧1013分别与位于右侧方的四处弹簧收纳槽b1010内端面固定相连接。

实施例二，在实施例一的基础上，承托块体2底端面前侧方及左侧方均各开设有一处往复滑槽204，往复滑槽204呈矩形槽结构；位于前侧方的往复滑槽204内端前侧面及后侧面之间固定连接有两根限位柱205；位于左侧方的往复滑槽204内端左侧面及右侧面之间也均固定连接有两根限位柱205；承托块体2前端面相对于位于前侧方的往复滑槽204部位开设有一处与其相连通的螺纹通孔206；承托块体2左端面相对于位于左侧方的往复滑槽204部位也开设有一处与其相连通的螺纹通孔206；还包括有抵压块体202，抵压块体202呈矩形块体结构，抵压块体202前端面上侧方两处边缘夹角部位均各开设有一处配合孔位203；抵压块体202前端面通过一组轴承2010转动安装有一根传动柱207，传动柱207外周面设置有外螺纹208，传动柱207前端面固定安装有扭动旋钮209；两处往复滑槽204内均各滑动安装有一块抵压块体202，配合孔位203与传动柱207滑动相连接，而传动柱207通过外螺纹208与螺纹通孔206螺纹传动相连接；

当传动柱207通过外螺纹208与螺纹通孔206的螺纹配合沿螺纹通孔206移动时，经由轴承2010将传动柱207的回转运动转换成直线运动，从而驱动抵压块体202通过限位柱205与配合孔位203的滑动配合沿往复滑槽204往复移动，从而调节抵压块体202所处位置。

本公开实施例中，复位弹簧1013伸展状态下，橡胶抵压块1019与位移警示开关109的按键端相接触；两块抵压块体202分别插接在两处插接开口104的各两块往复滑动板105之间，且复位弹簧1013伸展状态下，抵压块体202与往复滑动板105相接触，故当发生位置偏离时，抵压块体202必将抵压位置偏离方向与其相接触的往复滑动板105。

本实施例的工作原理：

应用时，真空蚀刻机底端面四处边缘夹角部位与地面之间均布设一组本发明减振装置；

承载底座1通过穿插过安装孔位102的紧固件与地面固定安装，以对承载底座1实现位置限位，而橡胶减振块体201则与真空蚀刻机底端面相接触，且其之间通过减振弹簧107实现消能减振，以保证真空蚀刻机应用时的稳定性；

真空蚀刻机正常放置时，抵压块体202所处位置正好插接在处于复位弹簧1013伸展状态下的两块往复滑动板105之间，此时抵压块体202分别与两块往复滑动板105相接触；

当真空蚀刻机因外物碰撞等因素发生位置偏离时，此时在真空蚀刻机的偏离带动下，承托块体2将同步向所偏离方向移动，此时将带动抵压块体202沿插接开口104向偏离方向滑动，而抵压块体202沿插接开口104向偏离方向滑动时，抵压块体202将抵压对应偏离方向的往复滑动板105，此时往复滑动板105被抵压使得其也沿插接开口104向偏离方向滑动，而原与位移警示开关109按键端相接触的橡胶抵压块1019将与位移警示开关109的按键端抵压相接触，此时位移警示开关109将处于被按压启动状态；

位移警示开关109被按压启动后，其将反馈信号给予微控制器1018，而微控制器1018首先控制蜂鸣器103启动，经由蜂鸣器103启动发出高分贝的蜂鸣警示，以对工作人员实现警示提醒，提醒其当前真空蚀刻机发生位置偏离，需要及时位置复位；进一步的，微控制器1018在控制蜂鸣器103启动的同时，其也将通过5G模块1016向为工作人员手机的移动终端1017发送消息，该设置，利于在真空蚀刻机不应用时，所启动的蜂鸣器103无法提醒到工作人员时，通过消息的第一时间发送，利于工作人员及时得知，以便于其前往对其进行位置复位；

本发明位移警示开关109采用轻触开关，故当位移警示开关109被橡胶抵压块1019抵压处于启动状态时，蜂鸣器103将一直处于蜂鸣启动状态，以避免短时间的蜂鸣警示无法被知晓；而当工作人员知晓并准备进行位置复位时，为了避免蜂鸣器103的高分贝蜂鸣造成不便影响，此时工作人员可依据偏移方向，找到对应的被抵压的位移警示开关109部位，然后抓捏扭动旋钮209，使得外螺纹208沿螺纹通孔206螺纹传动，以调节抵压块体202所处位置，使得抵压块体202不再抵压往复滑动板105，此时在复位弹簧1013的复位回弹下，往复滑动板105恢复至原先位置，使得橡胶抵压块1019不再抵压位移警示开关109，而因位移警示开关109采用轻触开关，故位移警示开关109按键端不再受到抵压时，蜂鸣器103将自动关闭，保证工作人员后续位置复位时，不受到高分贝蜂鸣影响。

本文中，有以下几点需要注意：

1.本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其它结构可参考通常设计。

在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。

以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种真空蚀刻机的减振装置，其特征在于，包括：承载底座（1），所述承载底座（1）呈方形块结构，承载底座（1）顶端面四处边缘夹角部位均开设有一处缺槽（101）；四处所述缺槽（101）内端底面均开设有一处安装孔位（102），安装孔位（102）贯通承载底座（1）底端面；所述承载底座（1）顶端面中心部位开设有一处弹簧收纳槽a（106），弹簧收纳槽a（106）内端底面固定安装有一组减振弹簧（107）；所述承载底座（1）正上方设有一块承托块体（2），承托块体（2）呈方形块结构，承托块体（2）边长尺寸与承载底座（1）边长尺寸相一致，承托块体（2）底端面与减振弹簧（107）顶端固定相连接；所述承托块体（2）顶端面固定粘接有一块橡胶减振块体（201），橡胶减振块体（201）呈方形块结构，橡胶减振块体（201）边长尺寸与承托块体（2）边长尺寸相一致；所述承载底座（1）内部设有微控制器（1018）；所述承载底座（1）内部还设有与微控制器（1018）电性相连的蓄电池（1015），蓄电池（1015）外接电源。

2.根据权利要求1所述的一种真空蚀刻机的减振装置，其特征在于，所述承载底座（1）内部还设有与微控制器（1018）电性相连的5G模块（1016）；还包括有移动终端（1017），所述移动终端（1017）为手机，移动终端（1017）与5G模块（1016）无线网络传输连接；所述承载底座（1）后端面固定安装有一组蜂鸣器（103），蜂鸣器（103）与微控制器（1018）电性相连。

3.根据权利要求2所述的一种真空蚀刻机的减振装置，其特征在于，所述承载底座（1）顶端面前侧方及左侧方均开设有一处插接开口（104），插接开口（104）呈矩形开口结构，插接开口（104）贯通承载底座（1）底端面；位于前侧方的所述插接开口（104）内端前侧面及后侧面均开设有一处安装槽（108），两处安装槽（108）内均各安装有一组位移警示开关（109），位移警示开关（109）与微控制器（1018）电性相连；所述位移警示开关（109）采用轻触开关，两组位移警示开关（109）的按键端均朝向插接开口（104），且其分别与插接开口（104）内端前侧面及后侧面处于同一垂直面。

4.根据权利要求3所述的一种真空蚀刻机的减振装置，其特征在于，位于前侧方的所述插接开口（104）内端前侧面及后侧面四处边缘夹角部位均各开设有一处弹簧收纳槽b（1010），弹簧收纳槽b（1010）呈圆形槽结构；所述承载底座（1）前端面相对于位于前侧方的四处弹簧收纳槽b（1010）轴心部位均各开设有一处与其相连通的插接孔位（1011），插接孔位（1011）为圆孔；位于后侧方的四处弹簧收纳槽b（1010）内端面轴心均各开设有一处限位插槽（1014），限位插槽（1014）呈圆形槽结构。

5.根据权利要求4所述的一种真空蚀刻机的减振装置，其特征在于，还包括有往复滑动板（105），所述往复滑动板（105）呈矩形板结构，往复滑动板（105）前端面四处边缘夹角部位均固定安装有一根限位插柱（1012）；四根限位插柱（1012）外围均套接有一根复位弹簧（1013），复位弹簧（1013）后端与往复滑动板（105）前端面固定相连接；所述往复滑动板（105）前端面固定安装有一块橡胶抵压块（1019），橡胶抵压块（1019）呈圆形块结构，橡胶抵压块（1019）结构尺寸小于安装槽（108）结构尺寸；位于前侧方的插接开口（104）内滑动安装有两块往复滑动板（105）；位于前侧方的往复滑动板（105）的四根限位插柱（1012）分别滑动插接在四处插接孔位（1011）内部，而四根复位弹簧（1013）分别与位于前侧方的四处弹簧收纳槽b（1010）内端面固定相连接；位于后侧方的往复滑动板（105）的四根限位插柱（1012）分别滑动插接在四处限位插槽（1014）内部，而四根复位弹簧（1013）分别与位于后侧方的四处弹簧收纳槽b（1010）内端面固定相连接。

6.根据权利要求5所述的一种真空蚀刻机的减振装置，其特征在于，位于左侧方的所述插接开口（104）内端左侧面及右侧面均开设有一处安装槽（108），两处安装槽（108）内也均各安装有一组与微控制器（1018）电性相连的位移警示开关（109）；两组位移警示开关（109）的按键端均朝向插接开口（104），且其分别与插接开口（104）内端左侧面及右侧面处于同一垂直面。

7.根据权利要求6所述的一种真空蚀刻机的减振装置，其特征在于，位于左侧方的所述插接开口（104）内端左侧面及右侧面四处边缘夹角部位也均各开设有一处弹簧收纳槽b（1010）；所述承载底座（1）左端面相对于位于左侧方的四处弹簧收纳槽b（1010）轴心部位也均各开设有一处与其相连通的插接孔位（1011）；位于右侧方的四处弹簧收纳槽b（1010）内端面轴心也均各开设有一处限位插槽（1014）。

8.根据权利要求7所述的一种真空蚀刻机的减振装置，其特征在于，位于左侧方的插接开口（104）内滑动安装有两块往复滑动板（105）；位于左侧方的往复滑动板（105）的四根限位插柱（1012）分别滑动插接在插接开口（104）的四处插接孔位（1011）内部，而四根复位弹簧（1013）分别与位于左侧方的四处弹簧收纳槽b（1010）内端面固定相连接；位于右侧方的往复滑动板（105）的四根限位插柱（1012）分别滑动插接在插接开口（104）的四处限位插槽（1014）内部，而四根复位弹簧（1013）分别与位于右侧方的四处弹簧收纳槽b（1010）内端面固定相连接。

9.根据权利要求8所述的一种真空蚀刻机的减振装置，其特征在于，所述承托块体（2）底端面前侧方及左侧方均各开设有一处往复滑槽（204），往复滑槽（204）呈矩形槽结构；位于前侧方的往复滑槽（204）内端前侧面及后侧面之间固定连接有两根限位柱（205）；位于左侧方的往复滑槽（204）内端左侧面及右侧面之间也均固定连接有两根限位柱（205）；所述承托块体（2）前端面相对于位于前侧方的往复滑槽（204）部位开设有一处与其相连通的螺纹通孔（206）；所述承托块体（2）左端面相对于位于左侧方的往复滑槽（204）部位也开设有一处与其相连通的螺纹通孔（206）；还包括有抵压块体（202），所述抵压块体（202）呈矩形块体结构，抵压块体（202）前端面上侧方两处边缘夹角部位均各开设有一处配合孔位（203）；所述抵压块体（202）前端面通过一组轴承（2010）转动安装有一根传动柱（207），传动柱（207）外周面设置有外螺纹（208），传动柱（207）前端面固定安装有扭动旋钮（209）；两处往复滑槽（204）内均各滑动安装有一块抵压块体（202），配合孔位（203）与传动柱（207）滑动相连接，而传动柱（207）通过外螺纹（208）与螺纹通孔（206）螺纹传动相连接。

10.根据权利要求9所述的一种真空蚀刻机的减振装置，其特征在于，所述复位弹簧（1013）伸展状态下，橡胶抵压块（1019）与位移警示开关（109）的按键端相接触；两块所述抵压块体（202）分别插接在两处插接开口（104）的各两块往复滑动板（105）之间，且复位弹簧（1013）伸展状态下，抵压块体（202）与往复滑动板（105）相接触。