CN117498137A - 全固态302-340nm紫外可调谐光源 - Google Patents
全固态302-340nm紫外可调谐光源 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117498137A CN117498137A CN202311521978.8A CN202311521978A CN117498137A CN 117498137 A CN117498137 A CN 117498137A CN 202311521978 A CN202311521978 A CN 202311521978A CN 117498137 A CN117498137 A CN 117498137A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- frequency
- light
- module
- crystal
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 60
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 72
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 41
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 14
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 8
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 11
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 11
- 239000008710 crystal-8 Substances 0.000 description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 5
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- HGCGQDMQKGRJNO-UHFFFAOYSA-N xenon monochloride Chemical compound [Xe]Cl HGCGQDMQKGRJNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/108—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
- H01S3/1083—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering using parametric generation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/108—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/108—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
- H01S3/109—Frequency multiplication, e.g. harmonic generation
Abstract
本发明公开了一种全固态302‑340nm紫外可调谐光源。具体为一种基于1064nm泵浦源的全固态302‑340nm紫外可调谐光源，属于激光器技术领域。本申请将1064nm激光脉冲作为光学参量振荡器的泵浦光，获得1400‑1884nm激光输出，将1400‑1884nm信号光与1064nm基频光进行和频，再将和频光倍频后最终得到302‑340nm紫外激光脉冲输出。本发明具有高峰值功率、重频可调、结构稳定等特点，得到的302‑340nm紫外可调谐激光可作为激光医疗、精密加工等领域的重要设备。
Description
技术领域
本发明涉及激光器技术领域，尤其涉及一种全固态302-340nm紫外可调谐光源。
背景技术
波长为302-340nm中波紫外光位于UV-B范围内，是光纤光栅刻写、脉冲沉积镀膜、激光医疗的重要波段。目前紫外波段大能量激光较为直接且成熟的产生方式为准分子激光。例如308nm准分子激光，由氯化氙(XeCl)准分子激光器产生。氯化氙准分子气体激光器较为成熟，但存在维护成本高、体积庞大、价格高、工作物质有毒等问题。全固态激光器具有结构紧凑、光束质量好、峰值功率高、波长可调谐、重复频率可调等优势，是良好的紫外波段光源。
目前较为常用的紫外波段固体激光器为355nm、266nm激光器，通过对1064nm固体激光进行三倍频或四倍频实现，但此方式难以实现目标波段可调谐输出。专利CN116093725A介绍了一种通过增益介质实现1000-1100nm基频光输出，并通过四倍频的方式实现250-275nm激光输出的方法。利用激光增益介质实现波长变换过程中需抑制其他波长的产生，存在增益竞争的问题。且激光晶体波长调节范围相比于光学参量振荡器较为有限，难以实现大能量连续可调谐紫外波段输出；专利CN115498492A介绍了一种通过532nm泵浦拉曼增益介质得到573nm一阶斯托克斯光并和频得到372nm的方法。拉曼晶体的自聚焦效应和热致双折射效应会影响拉曼光功率稳定性及指向稳定性，在与非线性晶体和频产生372nm时会导致相位失配，转化效率较差。此方法产生的波长远离UV-B波段，并且无法实现波长连续精准调谐；专利CN114142329A介绍了一种利用444nm泵浦增益介质得到522nm并倍频得到261nm紫外激光输出的方法。444nm泵浦源波长不易得到，系统稳定性受限。且此方法中提到通过更换激光晶体和倍频晶体实现输出波长变换，方式复杂，不能实现波长连续调谐；专利CN112234424A介绍了一种利用1064nm Nd:YAG激光器三倍频后得到的355nm与1645nm Er:YAG激光器二倍频后得到的822.5nm和频得到248nm的方法。此方法利用两台激光器体积较大，功率消耗较高，且两台激光器分别经过多个非线性频率变换过程，系统复杂。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种全固态302-340nm紫外可调谐光源，以大能量1064nm脉冲激光器泵浦的光学参量振荡器为基础，通过和频及倍频的非线性光学频率变换方式，实现大能量302-340nm可调谐激光输出。
为了实现上述目的，本发明的一种全固态302-340nm紫外可调谐光源，包括泵浦源、谐振腔、和频模块和倍频模块；
所述泵浦源用于输出1064nm的基频光；
所述谐振腔用于将泵浦源输入的1064nm的基频光，形成光学参量振荡产生1400-1884nm的信号光；
所述和频模块用于将1064nm的基频光与1400-1884nm的信号光进行和频，产生604-680nm的和频光；
所述倍频模块用于将形成的604-680nm和频光进行倍频，产生302-340nm倍频光。
进一步优选的，所述谐振腔包括同轴依次设置的第一平面镜、光学参量振荡晶体和第二平面镜；所述泵浦源、谐振腔、和频模块以及倍频模块同轴设置。
再进一步，还包括准直模块，所述准直模块包括依次同轴设置的凸透镜和第一平凹镜，所述准直模块设置在泵浦源与谐振腔之间。
再进一步，所述和频模块设置在谐振腔之外。
作为优选的，还包括偏振隔离模块，所述偏振隔离模块设置在准直模块与泵浦源之间；所述和频模块设置在谐振腔之内，所述谐振腔内还设有谐波镜；所述谐波镜、和频模块依次设置在光学参量振荡晶体和第二平面镜之间。
进一步优选的，所述谐振腔包括依次同轴设置的第一平面镜、光学参量振荡晶体以及非同轴设置的第三平面镜；所述第三平面镜、和频模块、第二平凹镜以及倍频模块依次同轴设置；所述第二平凹镜所在光轴与光学参量振荡晶体所在光轴呈一定夹角。
可选的，所述和频模块采用LBO或BBO非线性晶体，用于将1064nm基频光与1400-1884nm信号光和频产生604-680nm和频光，前后表面镀有1064nm及1400-1884nm、604-680nm增透膜系。
可选的，所述光学参量振荡晶体采用KTP、KTA等非线性晶体，用于产生1400-1884nm信号光，两端镀有1064nm及1400-1884nm增透保护膜。
可选的，所述倍频晶体10为BBO倍频晶体，用于将604-680nm倍频产生302-340nm，两端镀有604-680nm及302-340nm增透膜系。
本申请公开的全固态302-340nm紫外可调谐光源，将1064nm激光脉冲作为光学参量振荡晶体的泵浦光，获得1400-1884nm激光输出，将1400-1884nm信号光与1064nm基频光进行和频，再将和频光倍频后最终得到302-340nm紫外激光脉冲输出。本发明具有高峰值功率、重频可调、结构稳定等特点，得到的302-340nm紫外可调谐激光可作为激光医疗、精密加工等领域的重要设备。
附图说明
图1为本发明提供的全固态302-340nm紫外可调谐光源的结构示意图。
图2为本发明实施例1中全固态302-340nm紫外可调谐光源的结构示意图。
图3为本发明实施例2中全固态302-340nm紫外可调谐光源的结构示意图。
图4为本发明实施例3中全固态302-340nm紫外可调谐光源的结构示意图。
具体实施方式
以下通过附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。
如图1所示，本发明一方面实施例提供的全固态302-340nm紫外可调谐光源，包括泵浦源、谐振腔、和频模块和倍频模块；图1中谐振腔的外部采用虚线框表示，用于说明在本申请中和频模块可以设置在谐振腔内部，也可以设置在谐振腔外部。
泵浦源用于输出1064nm的基频光；谐振腔用于将泵浦源输入的1064nm的基频光，形成光学参量振荡产生1400-1884nm的信号光；和频模块用于将1064nm的基频光与1400-1884nm的信号光进行和频，产生604-680nm的和频光；倍频模块用于将形成的604-680nm和频光进行倍频，产生302-340nm倍频光。
在本申请中1064nm泵浦源出射基频光，入射到光学参量振荡晶体后，光学参量振荡晶体产生的信号光与基频光和频，随后进入倍频晶体实现紫外可调谐脉冲激光输出。
实施例1：
如图2所示，本申请提供了一个实施例，以大能量1064nm脉冲激光器泵浦的光学参量振荡器为基础，通过和频及倍频的非线性光学频率变换方式，实现大能量302-340nm可调谐激光输出。
进一步优选的，谐振腔包括同轴依次设置的第一平面镜、光学参量振荡晶体和第二平面镜；泵浦源、谐振腔、和频模块以及倍频模块同轴设置。还包括准直模块，准直模块包括依次同轴设置的凸透镜和第一平凹镜，准直模块设置在泵浦源与谐振腔之间；和频模块设置在谐振腔之外。
具体包括同轴依次设置的泵浦源1，所述泵浦源1后依次设有准直模块2、谐振腔、第一45度镜701、和频晶体8、第二45度镜702、倍频晶体10、第三45度镜703；其中，准直模块包括凸透镜201、第一平凹镜202、谐振腔包括第一平面镜4、光学参量振荡晶体5、第二平面镜6。
泵浦源1发出1064nm基频光，经过准直模块2进行准直聚焦到光学参量振荡晶体5上，光学参量振荡晶体5在第一平面镜4和第二平面镜6组成的谐振腔中形成光学参量振荡产生1400-1884nm信号光。第一45度镜701将光学参量振荡晶体产生的闲频光滤除，剩余基频光及信号光透射输出，入射到和频晶体8上和频产生604-680nm。剩余基频光和信号光经第二45度镜702反射输出，604-680nm和频光经过倍频晶体10倍频后产生302-340nm倍频光，剩余和频光经第三45度镜703反射输出，302-340nm倍频光透射输出。
本实施例中，优选地，泵浦源1中心波长为1064nm，重复频率可调。
优选地，第一平面镜4为全反射镜，镀有1064nm高透和1400-1884nm高反的膜系。第二平面镜为6输出镜，镀有1064nm高透和1400-1884nm部分透膜系，为避免镜片对闲频光3000-4000nm中红外波段的吸收导致损伤，镜片采用CaF2、蓝宝石等材质。
光学参量振荡晶体5选用KTP、KTA等非线性晶体，用于产生1400-1884nm信号光，两端镀有1064nm及1400-1884nm增透保护膜。
第一45度镜701为平面镜，镀有1064nm、1300-1884nm高透和3000-4000nm高反膜系，材质为CaF2、蓝宝石等。
第二45度镜702为平面镜，镀有1064nm、1400-1884nm高反膜系，604-680nm高透膜系，材质为K9等。
第三45度镜703为平面镜，镀有604-680nm高反膜系，302-340nm高透膜系，材质为紫外熔融石英。
优选地，和频晶体8为LBO、BBO等和频晶体，用于将1064nm基频光与1400-1884nm信号光和频产生604-680nm和频光，前后表面镀有1064nm及1400-1884nm、604-680nm增透膜系。
优选地，倍频晶体10为BBO等倍频晶体，用于将604-680nm倍频产生302-340nm，两端镀有604-680nm及302-340nm增透膜系。
为进一步提升光光转化效率，本申请还提供了一个实施例，利用大能量1064nm脉冲激光器泵浦的光学参量振荡器内腔和频的方式结合外腔倍频，实现大能量302-340nm可调谐激光输出。
实施例2：
与实施例1不同的是，本实施例为内腔和频，对基频光利用率更高，能够提高整体转化效率。还包括偏振隔离模块，偏振隔离模块设置在准直模块与泵浦源之间，偏振隔离模块包括依次同轴设置的第一半波片301、隔离器303以及第二半波片303；与实施例1不同的是和频模块设置在谐振腔之内，所述谐振腔内还设有谐波镜；所述谐波镜、和频模块依次设置在光学参量振荡晶体5和第二平面镜602之间。
1064nm泵浦源出射激光，经过隔离器并进行缩束后泵浦光学参量振荡晶体，和频晶体置于谐振腔内，光学参量振荡晶体产生的信号光与基频光和频，并由谐波镜控制同向输出，随后进入倍频晶体实现紫外可调谐脉冲激光输出。
具体结构如图3所示：包括泵浦源1，所述泵浦源1后依次设有第一半波片301、隔离器303、第二半波片302、准直模块2、第一平面镜4、光学参量振荡晶体5、谐波镜9、和频晶体8、第二平面镜602、第四45度镜704、倍频晶体10、第三45度镜703；泵浦源1发出1064nm基频光，经过第一半波片301调整偏振方向进入隔离器303，并经过第二半波片302调整为光学参量振荡所需的偏振后经过准直模块进行缩束到光学参量振荡晶体5上，光学参量振荡晶体5在第一平面镜4和第二平面镜602组成的谐振腔中形成光学参量振荡产生1400-1884nm信号光。和频晶体8将基频光与信号光和频产生604-680nm和频光。谐波镜9将反向的和频光反射至同向输出。第四45度镜704将产生的闲频光滤除，和频光透射输出。604-680nm和频光经过倍频晶体10倍频后产生302-340nm倍频光，剩余和频光经第三45度镜703反射输出，302-340nm倍频光透射输出。
本实施例中，泵浦源1中心波长为1064nm，重复频率可调。
隔离器303为法拉第隔离器，防止1064nm回光打坏激光源内增益介质。
谐波镜9为平面镜，镀有1064nm高透、1400-1884nm高透、604-680nm高反膜系。第二平面镜602为平面镜，与上述实施例不同的是，本实施例中第二平面镜602镀有1064nm高反、1400-1884nm高反、604-680nm高透膜系。为避免镜片对闲频光3000-4000nm中红外波段的吸收导致损伤，镜片采用CaF2、蓝宝石等材质。
光学参量振荡晶体5为KTP、KTA等非线性晶体，用于产生1400-1884nm信号光，两端镀有1064nm及1400-1884nm增透保护膜。
和频晶体10为LBO、BBO等非线性晶体，用于将1064nm基频光与1400-1884nm信号光和频产生604-680nm和频光，前后表面镀有1064nm及1400-1884nm、604-680nm增透膜系。
第四45度镜704为平面镜，镀有604-680nm高透和3000-4000nm高反膜系，材质为CaF2、蓝宝石等。
倍频晶体10为BBO等倍频晶体，用于将604-680nm倍频产生302-340nm，两端镀有604-680nm及302-340nm增透膜系。
第三45度镜703为平面镜，镀有604-680nm高反膜系，302-340nm高透膜系，材质为紫外熔融石英。
为了进一步提升光光转化效率，进一步优选的，谐振腔还可以采用V型腔，即包括依次同轴设置的第一平面镜、光学参量振荡器以及非同轴设置的第三平面镜603；所述第三平面镜603、和频模块、第二平凹镜11以及倍频模块依次同轴设置；第二平凹镜11所在光轴与光学参量振荡器所在光轴呈45度夹角。
实施例3：
本实施例采用V型腔内腔和频优化光斑分布。利用大能量1064nm脉冲激光器泵浦的光学参量振荡器V型腔内腔和频的方式结合外腔倍频，实现大能量302-340nm可调谐激光输出。
1064nm泵浦源出射激光，经过隔离器并进行缩束后，和频晶体置于光学参量振荡器V型腔内，光学参量振荡器产生的信号光与基频光和频，输出后进入倍频晶体实现紫外可调谐脉冲激光输出。
如图4所示：包括泵浦源1，所述泵浦源1后依次设有偏振隔离模块、准直模块、第一平面镜4、光学参量振荡晶体5、第三平面镜603、和频晶体8、第二平凹镜11、倍频晶体10、第三45度镜703。
泵浦源1发出1064nm基频光，经过偏振隔离模块调整为光学参量振荡所需的偏振后经准直模块进行缩束到光学参量振荡晶体5上，光学参量振荡晶体5在第一平面镜4和第三平面镜603组成的谐振腔中形成光学参量振荡产生1400-1884nm信号光。和频晶体8将基频光与信号光和频产生604-680nm和频光经第二平凹镜11输出。604-680nm和频光经过倍频晶体10倍频后产生302-340nm倍频光，剩余和频光经第三45度镜703反射输出，302-340nm倍频光透射输出。通过将谐振腔的结构设置为V型，采用V型腔内腔和频优化光斑分布，使腔内基频光与参量光实现更好的模式匹配，并进一步增加非线性晶体处的能量密度，从而实现更高的转化效率。
本实施例中，泵浦源1中心波长为1064nm，重复频率可调。
隔离器3为法拉第隔离器，防止1064nm回光打坏激光源内增益介质。第一平面镜4为输入镜，镀有1064nm高透、1400-1884nm高反、604-680nm高反膜系。第三平面镜603为全反镜，镀有1064nm高反、1400-1884nm高反、604-680nm高反膜系。第二平凹镜为输出镜，镀有1064nm高反、1400-1884nm高反、604-680nm高透膜系。为避免镜片对闲频光3000-4000nm中红外波段的吸收导致损伤，镜片均采用CaF2、蓝宝石等材质。设置第二平凹镜使非线性晶体处的光斑尺寸变小，提高能量密度进而提高转化效率。
优选地，光学参量振荡晶体8为KTP、KTA等非线性晶体，用于产生1400-1884nm信号光，两端镀有1064nm及1400-1884nm增透保护膜。
和频晶体8为LBO、BBO等非线性晶体，用于将1064nm基频光与1400-1884nm信号光和频产生604-680nm和频光，前后表面镀有1064nm及1400-1884nm、604-680nm增透膜系。
倍频晶体10为BBO等倍频晶体，用于将604-680nm倍频产生302-340nm，两端镀有604-680nm及302-340nm增透膜系。
第三45度镜703为平面镜，镀有604-680nm高反膜系，302-340nm高透膜系，材质为紫外熔融石英。
显然，上述实施例仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (9)
1.一种全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，包括泵浦源、谐振腔、和频模块和倍频模块；
所述泵浦源用于输出1064nm的基频光；
所述谐振腔用于将泵浦源输入的1064nm的基频光，形成光学参量振荡产生1400-1884nm的信号光；
所述和频模块用于将1064nm的基频光与1400-1884nm的信号光进行和频，产生604-680nm的和频光；
所述倍频模块用于将形成的604-680nm和频光进行倍频，产生302-340nm倍频光。
2.根据权利要求1所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，所述谐振腔包括同轴依次设置的第一平面镜、光学参量振荡晶体和第二平面镜；所述泵浦源、谐振腔、和频模块以及倍频模块同轴设置。
3.根据权利要求2所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，还包括准直模块，所述准直模块包括依次同轴设置的凸透镜和第一平凹镜，所述准直模块设置在泵浦源与谐振腔之间。
4.根据权利要求3所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，所述和频模块设置在谐振腔之外。
5.根据权利要求3所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，还包括偏振隔离模块，所述偏振隔离模块设置在准直模块与泵浦源之间；所述和频模块设置在谐振腔之内，所述谐振腔内还设有谐波镜；所述谐波镜、和频模块依次设置在光学参量振荡晶体和第二平面镜之间。
6.根据权利要求1所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，所述谐振腔包括依次同轴设置的第一平面镜、光学参量振荡晶体以及非同轴设置的第三平面镜；所述第三平面镜、和频模块、第二平凹镜以及倍频模块依次同轴设置；所述第二平凹镜所在光轴与光学参量振荡晶体所在光轴呈一定夹角。
7.根据权利要求4-6中任意一项所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，所述和频模块采用LBO或BBO非线性晶体，用于将1064nm基频光与1400-1884nm信号光和频产生604-680nm和频光，前后表面镀有1064nm及1400-1884nm、604-680nm增透膜系。
8.根据权利要求1-6中任意一项所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，所述光学参量振荡晶体采用KTP、KTA非线性晶体，用于产生1400-1884nm信号光，两端镀有1064nm及1400-1884nm增透保护膜。
9.根据权利要求1-6中任意一项所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，所述倍频晶体10为BBO倍频晶体，用于将604-680nm倍频产生302-340nm，两端镀有604-680nm及302-340nm增透膜系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311521978.8A CN117498137A (zh) | 2023-11-15 | 2023-11-15 | 全固态302-340nm紫外可调谐光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311521978.8A CN117498137A (zh) | 2023-11-15 | 2023-11-15 | 全固态302-340nm紫外可调谐光源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117498137A true CN117498137A (zh) | 2024-02-02 |
Family
ID=89668841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311521978.8A Pending CN117498137A (zh) | 2023-11-15 | 2023-11-15 | 全固态302-340nm紫外可调谐光源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117498137A (zh) |
-
2023
- 2023-11-15 CN CN202311521978.8A patent/CN117498137A/zh active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5047668A (en) | Optical walkoff compensation in critically phase-matched three-wave frequency conversion systems | |
| US5296960A (en) | Intracavity-doubled tunable optical parametric oscillator | |
| US5406408A (en) | Intracavity-doubled tunable optical parametric oscillator | |
| CN109196737B (zh) | 用于三次谐波生成的高效激光系统 | |
| JPH03505950A (ja) | 低損失外部光学共振器を使用するレーザ高調波発生器 | |
| CN110112642B (zh) | 一种光学参量振荡器 | |
| JP2012522375A (ja) | 再利用した中間高調波を用いた共振器内高調波発生 | |
| CN101777726A (zh) | 一种二极管端面泵浦全固态紫外激光器 | |
| CN101777724B (zh) | 端面泵浦双波长同轴切换输出调q基频、倍频激光器 | |
| CN107658687B (zh) | 同步泵浦的自启动飞秒钛宝石激光振荡器 | |
| CN110571639A (zh) | 一种种子光注入的纳秒脉冲窄线宽光学参量振荡器 | |
| CN111725695A (zh) | 一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器 | |
| US10642127B1 (en) | Single Crystal optical parametric amplifier | |
| CN111416263A (zh) | 一种基于磷锗锌晶体非共线相位匹配差频的太赫兹源 | |
| CN101436752A (zh) | 一种端面泵浦主动调q腔外倍频绿光激光器 | |
| CN114300921B (zh) | 一种用于大气探测的多波长脉冲激光器 | |
| Mes et al. | Third-harmonic generation of a continuous-wave Ti: Sapphire laser in external resonant cavities | |
| CN117498137A (zh) | 全固态302-340nm紫外可调谐光源 | |
| CN211351244U (zh) | 一种种子光注入的纳秒脉冲窄线宽光学参量振荡器 | |
| CN113346343A (zh) | 腔内级联式谐波转换可调谐激光器 | |
| Marshall et al. | Highly efficient optical parametric oscillators | |
| CN202749676U (zh) | 一种端面泵浦双波长同轴切换输出激光器 | |
| CN117498138A (zh) | 基于532nm泵浦源的全固态290-340nm紫外可调谐光源 | |
| CN113725703A (zh) | 一种波长连续可调谐拉曼激光振荡器 | |
| KR100458677B1 (ko) | 유도 브릴루앙 산란 및 내부 공진기형 2차 조화파 발생을이용한 라만 레이저 발진 장치 및 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |