CN111725695A - 一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器 - Google Patents

一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器 Download PDF

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赵智刚
刘兆军
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Abstract

本发明涉及一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，属于激光器领域，包括泵浦源、第一光参量振荡器、谐波发生器、第一和频发生器、第二光参量振荡器和第二和频发生器，第一光参量振荡器包括第一非线性晶体，谐波发生器包括二倍频非线性晶体和三倍频非线性晶体，第一和频发生器包括第一和频非线性晶体，第二光参量振荡器包括第二非线性晶体，第二和频发生器包括第二和频非线性晶体；本发明以Nd:YAG调Q激光器作为泵浦源，并通过非线性晶体获得可调谐输出，同时得到1550nm和1895nm的激光输出，然后通过和频方式同时得到289nm和299nm的输出激光。

Description

一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器
技术领域
本发明涉及一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，属于激光器技术领域。
背景技术
紫外激光器具有输出波长短、光子能量高、衍射效应小等特性，是光谱检测、相干测量、生物医疗、精密微加工等的理想光源，在科研、生物、环境、工业等领域均有广泛应用。特别是在环境检测和环境保护领域，紫外激光是检测化学和生物有机体的重要光源。然而，在环境监测中，为提高测量精度，以及对多种气体进行监测，往往需要采用双波长，甚至多波长的紫外激光光源。例如，在对对流层臭氧的长期、区域性监测中，289nm和299nm的激光可以作为差分吸收激光雷达(DIAL)的光源，快速重复地测量臭氧浓度的空间分布和对流层中的臭氧浓度，从而在环境检测和环境保护领域扮演着重要的角色。
目前，同时产生289nm和299nm激光的主要方式是基于受激拉曼效应，如中国专利文献CN103185712A公开的一种“产生多波长受激拉曼的装置”。但是，由于密闭的高压环境，使其存在气体泄露和爆炸的危险。其他产生紫外激光的方式仅能获得289nm或299nm单一波长，包括以下几种方法：
A、传统方法是通过266nm激光泵浦的气体拉曼激光器来获取紫外激光，但是激光器的尺寸较大，而且由于热晕和热击穿效应，受激拉曼散射具有功率限制，另一个缺点是频率上转换需要高强度的深紫外泵浦光源；
B、利用Nd:YAG调Q激光器产生四次谐波泵浦掺铈晶体，获得紫外激光输出，但是，这种掺铈晶体尚未得到广泛应用和普及；
C、通过钛宝石激光器产生三次谐波以获得紫外激光，但是该晶体的热效应非常严重，而且只能使用蓝绿波长的激光作为泵浦源，体积庞大且价格昂贵；
D、以Nd:YAG激光器为泵浦源的光参量振荡器，通过二次倍频以及光参量振荡的方式产生紫外调谐激光输出，获得可调谐单一波长紫外激光。但调谐激光器维护困难、不稳定。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提出一种同时产生波长为289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，以Nd:YAG调Q激光器作为泵浦源，通过光参量振荡同时得到1550nm和1895nm的激光输出，然后通过和频方式同时得到波长为289nm和299nm的激光输出。该激光器具有结构简单紧凑、激光输出稳定、造价低等优点。
本发明采用以下技术方案：
一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，包括泵浦源、第一分束镜、第二分束镜、第一光参量振荡器、产生三次谐波的谐波发生器、第一和频发生器、第二光参量振荡器和第二和频发生器，所述第一光参量振荡器包括第一非线性晶体，谐波发生器包括二倍频非线性晶体和三倍频非线性晶体，第一和频发生器包括第一和频非线性晶体，第二光参量振荡器包括第二非线性晶体，第二和频发生器包括第二和频非线性晶体；
泵浦源为Nd:YAG调Q激光器，中心波长为1064nm，1064nm的泵浦光通过第一分束镜分为两路，其中一路透过第一分束镜作为第一光参量振荡器的泵浦光，经过第一光参量振荡器的第一非线性晶体得到1550nm的激光输出；
另一路1064nm泵浦光经过第二分束镜，又分为两路，分别为1064nm的第二路激光和第三路激光，第二路激光作为谐波发生器的基频光，经过二倍频非线性晶体，产生532nm的倍频光，532nm的倍频光和二次倍频转换剩余的1064nm基频光经过三倍频非线性晶体进行和频，得到355nm的激光；
第三路激光作为第二光参量振荡器的泵浦光，经过第二非线性晶体得到1895nm的激光输出；
将第一光参量振荡器得到的1550nm激光和谐波发生器得到的355nm激光在第一和频非线性晶体内进行和频，得到289nm激光输出，将谐波发生器得到的355nm激光和第二光参量振荡器得到的1895nm激光在第二和频非线性晶体内进行和频，得到299nm激光输出。
本发明中，1064nm激光通过第一光参量振荡器的第一非线性晶体可获得1550nm激光，通过第二光参量振荡器的第二非线性晶体可获得1895nm激光，可以通过转动微调其非线性晶体的角度来获得不同波长激光输出。
本发明的第一光参量振荡器和第二光参量振荡器具有波长可调谐(通过转动调节其内非线性晶体的角度来实现调谐)，效率高，结构简单，工作可靠的特点。
本发明中使用两个分束镜将泵浦源产生的1064nm激光分成三路分别用于光参量振荡和倍频。
本发明和频过程中用到的355nm激光是通过Nd:YAG调Q激光器进行频率转换产生三次谐波得到的，是目前获得355nm紫外激光的合理方案。三次谐波产生355nm激光技术和光参量振荡器技术两种技术都比较容易实现，所需要的器件也容易获得，所以本发明的激光器比较容易实现，更有利于推动289nm和299nm紫外激光器向小型化、性能稳定化方向迈进。
优选的，三倍频非线性晶体沿光路方向的后方依次设置有第一45°平面镜、第三分束镜和第二45°平面镜。
沿光路方向第一光参量振荡器的后方设置有第三45°平面镜，第一和频发生器后方设置于第四45°平面镜。
沿光路方向第二光参量振荡器的后方设置有第五45°平面镜，第二和频发生器后方设置于第六45°平面镜。
355nm激光在第三分束镜分为两路，一路在第二45°平面镜进行反射，与1550nm激光在第三45°平面镜中汇合在一起，入射至第一和频发生器；另一路在与1895nm激光在第五45°平面镜中汇合在一起，入射至第二和频发生器。
优选的，所述第一光参量振荡器沿光路方向依次包括第一腔镜、第一非线性晶体、第一输出耦合镜和第七45°平面镜。
优选的，所述第二光参量振荡器沿光路方向依次包括第二腔镜、第二非线性晶体、第二输出耦合镜和第八45°平面镜。
优选的，第一分束镜和第二分束镜用于将一束激光分为两束激光，并均镀有对1064nm的增透膜，第三分束镜上镀有对355nm的增透膜，将355nm激光分为同样的两束光。
优选的，所述二倍频非线性晶体为RDP(磷酸二氢铷晶体)、KTP(磷酸钛氧钾晶体)、BBO(偏硼酸钡晶体)、LBO(三硼酸锂晶体)(等其他适用晶体)中的一种，且该二倍频非线性晶体两端面均镀有对1064nm和532nm的增透膜，二倍频非线性晶体的作用为使得1064nm激光经过非线性变换产生532nm激光。
优选的，所述三倍频非线性晶体为RDP(磷酸二氢铷晶体)、KTP(磷酸钛氧钾晶体)、BBO(偏硼酸钡晶体)、LBO(三硼酸锂晶体)(等其他适用晶体)中的一种，该三倍频非线性晶体两端面均镀有对1064nm、532nm和355nm的增透膜，三倍频非线性晶体的作用为使得532nm激光和二倍频后剩余的1064nm激光经过该非线性变换产生355nm激光，属于现有技术。
优选的，所述第一45°平面镜在355nm入射面镀有1064nm和532nm的高反膜，以及355nm的增透膜。
优选的，第二45°平面镜在355nm入射面镀有对355nm的高反膜。
优选的，所述第一和频非线性晶体和第二和频非线性晶体均为RDP(磷酸二氢铷晶体)、KTP(磷酸钛氧钾晶体)、BBO(偏硼酸钡晶体)、LBO(三硼酸锂晶体)(等其他适用晶体)中的一种，其中，第一和频非线性晶体两端面镀有对1550nm、355nm和289nm的增透膜，第二和频非线性晶体两端面镀有对1895nm、355nm和299nm的增透膜。
优选的，第三45°平面镜上在355nm入射面镀有对355nm的高反膜，在1550nm入射面上镀有有1550nm的增透膜。
第四45°平面镜的任一面上镀有对1550nm、355nm的高反膜和对289nm的增透膜；
第五45°平面镜1895nm光的入射面镀有1064nm的高反膜和1895nm的增透膜，另一面镀有355nm的高反膜。
第六45°平面镜的任一面镀有对1895nm、355nm的高反膜和对299nm的增透膜。
进一步优选的，第一光参量振荡器内的第一腔镜为平面镜，其两端面均镀有对1064nm高透的介质膜，背向泵浦源的一侧镀有对1550nm激光、3μm激光高反的介质膜，因为第一光参量振荡器会产生激光1550nm和3μm的激光，本发明只需要激光。
进一步优选的，所述第一非线性晶体为RDP(磷酸二氢铷晶体)、KTP(磷酸钛氧钾晶体)、BBO(偏硼酸钡晶体)、LBO(三硼酸锂晶体)(等其他适用晶体)中的一种，该第一非线性晶体两端面均镀有对1064nm和1550nm的增透膜。
进一步优选的，第一输出耦合镜面向第一非线性晶体的一侧镀有对1550nm激光高反的介质膜，两侧均镀有对1064nm光高透的介质膜，用于输出1550nm激光，即对泵浦光透出，对激光高反使激光在腔内振荡。
进一步优选的，第七45°平面镜镀有1550nm的高反膜，以及3μm和1064nm的增透膜。
进一步优选的，第二光参量振荡器内的第二腔镜为平面镜，其两端面均镀有对1064nm高透的介质膜，背向泵浦源的一侧镀有对1895nm激光、3μm激光高反的介质膜，同理，第二光参量振荡器也会产生激光1550nm和3μm的激光，本发明只需要激光。
第二非线性晶体为RDP(磷酸二氢铷晶体)、KTP(磷酸钛氧钾晶体)、BBO(偏硼酸钡晶体)、LBO(三硼酸锂晶体)(等其他适用晶体)中的一种，该第二非线性晶体两端面均镀有对1064nm和1895nm增透膜。
第二输出耦合镜面向第二非线性晶体的一侧镀有对1895nm激光高反的介质膜，两侧均镀有对1064nm光高透的介质膜，用于输出1895nm激光。
第八45°平面镜镀有1895nm的高反膜，以及3μm和1064nm的增透膜。
值得说明的是，本发明中，通过二倍频非线性晶体倍频获得532nm激光，通过三倍频非线性晶体进行和频得到355nm激光，通过第一和频非线性晶体和频获得289nm输出光，以及通过第二和频非线性晶体和频获得299nm输出光，获得所需波长激光的单一过程和原理均为现有技术，可参考现有技术进行，但是并不代表其组合为现有结构。
本发明未详尽之处，均可参见现有技术。
本发明的有益效果为：
1)本发明利用非线性频率变换技术，提供一种同时产生289nm和299nm两种波长的全固态紫外激光，可以满足差分吸收激光雷达等对多波长紫外光源的需求。
2)本发明采用全固态激光器结构，具有体积小，结构简单，稳定性好，易于维护等优点，更有利于满足环境监测等对紫外光源的需求。
3)本发明采用技术成熟的二极管泵浦Nd:YAG调Q激光器作为泵浦源来实现289nm和299nm输出的全固态紫外激光器，相比于传统的深紫外光源泵浦源，不需要频率上转换，更有利于降低成本，推动289nm和299nm紫外激光器向小型化、市场化推广。
附图说明
图1为本发明的一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器的结构示意图；
图2为本发明所述产生1550nm波长的第一光参量振荡器结构示意图；
图3为本发明所述产生1895nm波长的第二光参量振荡器结构示意图；
图中，1-泵浦源，2-第一分束镜，3-第二分束镜，4-二倍频非线性晶体，5-三倍频非线性晶体，6-第一45°平面镜，7-第三分束镜，8-第二45°平面镜，9-第三45°平面镜，10-第一和频非线性晶体，11-第四45°平面，12-第五45°平面镜，13-第二和频非线性晶体，14-第六45°平面镜，15-第一腔镜，16-第一非线性晶体，17-第一输出耦合镜，18-第七45°平面镜，19-第二腔镜，20-第二非线性晶体，21-第二输出耦合镜，22-第八45°平面镜。
具体实施方式：
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述，但不仅限于此，本发明未详尽说明的，均按本领域常规技术。
实施例1：
一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，如图1-3所示，包括泵浦源1、第一分束镜2、第二分束镜3、第一光参量振荡器(OPO1)、产生三次谐波的谐波发生器、第一和频发生器、第二光参量振荡器(OPO2)和第二和频发生器，第一光参量振荡器包括第一非线性晶体，谐波发生器包括二倍频非线性晶体4和三倍频非线性晶体5，第一和频发生器包括第一和频非线性晶体10，第二光参量振荡器包括第二非线性晶体，第二和频发生器包括第二和频非线性晶体13。
泵浦源1为Nd:YAG调Q激光器，中心波长为1064nmNd:YAG调Q激光器的输出腔镜是高斯镜，保证了输出激光具有更小的发散角，泵浦源1发出1064nm的泵浦光通过第一分束镜2分为两路，一路光透过第一分束镜2作为第一光参量振荡器的泵浦光，经过第一光参量振荡器的第一非线性晶体得到1550nm的激光输出。
另一路1064nm激光经过第二分束镜3，又分为两路，分别为1064nm的第二路激光和第三路激光，第二路激光作为谐波发生器的基频光，经过二倍频非线性晶体4，产生532nm的倍频光，532nm的倍频光和二次倍频转换剩余的1064nm基频光经过三倍频非线性晶体5进行和频，得到355nm的激光。
第三路激光作为第二光参量振荡器的泵浦光，经过第二非线性晶体得到1895nm的激光输出。
将第一光参量振荡器得到的1550nm激光和谐波发生器得到的355nm激光在第一和频非线性晶体10内进行和频，得到289nm激光输出；将谐波发生器得到的355nm激光和第二光参量振荡器得到的1895nm激光在第二和频非线性晶体13内进行和频，得到299nm激光输出。
本发明中，1064nm激光通过第一光参量振荡器的第一非线性晶体可获得1550nm激光，通过第二光参量振荡器的第二非线性晶体可获得1895nm激光，可以通过转动微调其非线性晶体的角度来获得不同的输出光，可参考现有技术进行。
本发明的第一光参量振荡器和第二光参量振荡器具有波长可调谐(通过转动调节其内非线性晶体的角度来实现调谐)，效率高，结构简单，工作可靠的特点。
本发明中使用两个分束镜将泵浦源产生的1064nm激光分成三路分别用于光参量振荡和倍频。
三倍频非线性晶体5沿光路方向的后方依次设置有第一45°平面镜6、第三分束镜7和第二45°平面镜8。
沿光路方向第一光参量振荡器的后方设置有第三45°平面镜9，第一和频发生器后方设置于第四45°平面镜11。
沿光路方向第二光参量振荡器的后方设置有第五45°平面镜12，第二和频发生器后方设置于第六45°平面镜14。
355nm激光在第三分束镜7分为两路，一路在第二45°平面镜8进行反射，与1550nm激光在第三45°平面镜9中汇合在一起，入射至第一和频发生器；另一路在与1895nm激光在第五45°平面镜12中汇合在一起，入射至第二和频发生器。
第一光参量振荡器沿光路方向依次包括第一腔镜15、第一非线性晶体16、第一输出耦合镜17和第七45°平面镜18。
第二光参量振荡器沿光路方向依次包括第二腔镜19、第二非线性晶体20、第二输出耦合镜21和第八45°平面镜22。
第一分束镜2和第二分束镜3用于将一束激光分为两束激光，并均镀有对1064nm的增透膜，第三分束镜7上镀有对355nm的增透膜，将355nm激光分为同样的两束光。
二倍频非线性晶体4为RDP(磷酸二氢铷晶体)、KTP(磷酸钛氧钾晶体)、BBO(偏硼酸钡晶体)、LBO(三硼酸锂晶体)(等其他适用晶体)，且该二倍频非线性晶体两端面均镀有对1064nm和532nm的增透膜，二倍频非线性晶体的作用为使得1064nm激光经过非线性变换产生532nm激光。
三倍频非线性晶体5为RDP(磷酸二氢铷晶体)、KTP(磷酸钛氧钾晶体)、BBO(偏硼酸钡晶体)、LBO(三硼酸锂晶体)(等其他适用晶体)中的一种，该三倍频非线性晶体两端面均镀有对1064nm、532nm和355nm的增透膜，三倍频非线性晶体的作用为使得532nm激光和二倍频后剩余的1064nm激光经过该非线性变换产生355nm激光，属于现有技术。
第一45°平面镜6在355nm入射面镀有1064nm和532nm的高反膜，以及355nm的增透膜。
第二45°平面镜8在355nm入射面镀有对355nm的高反膜。
第一和频非线性晶体10和第二和频非线性晶体13均为RDP(磷酸二氢铷晶体)、KTP(磷酸钛氧钾晶体)、BBO(偏硼酸钡晶体)、LBO(三硼酸锂晶体)(等其他适用晶体)中的一种，其中，第一和频非线性晶体两端面镀有对1550nm、355nm和289nm的增透膜，第二和频非线性晶体两端面镀有对1895nm、355nm和299nm的增透膜。
第三45°平面镜9上在355nm入射面镀有对355nm的高反膜，在1550nm入射面上镀有有1550nm的增透膜；
第四45°平面镜11的任一面上镀有对1550nm、355nm的高反膜和对289nm的增透膜。
第五45°平面镜12的1895nm光的入射面镀有1064nm的高反膜和1895nm的增透膜，另一面镀有355nm的高反膜。
第六45°平面镜14的任一面镀有对1895nm、355nm的高反膜和对299nm的增透膜。
第一光参量振荡器内的第一腔镜15为平面镜，其两端面均镀有对1064nm高透的介质膜，背向泵浦源的一侧镀有对1550nm激光、3μm激光高反的介质膜，因为第一光参量振荡器会产生激光1550nm和3μm的激光，本发明只需要激光。
第一非线性晶体16为RDP(磷酸二氢铷晶体)、KTP(磷酸钛氧钾晶体)、BBO(偏硼酸钡晶体)、LBO(三硼酸锂晶体)(等其他适用晶体)中的一种，该第一非线性晶体两端面均镀有对1064nm和1550nm的增透膜。
第一输出耦合镜17面向第一非线性晶体的一侧镀有对1550nm激光高反的介质膜，两侧均镀有对1064nm光高透的介质膜，用于输出1550nm激光，即对泵浦光透出，对激光高反使激光在腔内振荡。
第七45°平面镜18镀有1550nm的高反膜，以及3μm和1064nm的增透膜，使得1550nm的激光反射，与后续的355nm激光汇合。
第二光参量振荡器内的第二腔镜19为平面镜，其两端面均镀有对1064nm高透的介质膜，背向泵浦源的一侧镀有对1895nm激光、3μm激光高反的介质膜，同理，第二光参量振荡器也会产生激光1550nm和3μm的激光。
第二非线性晶体20为RDP(磷酸二氢铷晶体)、KTP(磷酸钛氧钾晶体)、BBO(偏硼酸钡晶体)、LBO(三硼酸锂晶体)(等其他适用晶体)中的一种，该第二非线性晶体两端面均镀有对1064nm和1895nm增透膜。
第二输出耦合镜面向第二非线性晶体的一侧镀有对1895nm激光高反的介质膜，两侧均镀有1064nm高透的介质膜，用于输出1895nm激光。
第八45°平面镜22镀有1895nm的高反膜，以及3μm和1064nm的增透膜。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，包括泵浦源、第一分束镜、第二分束镜、第一光参量振荡器、产生三次谐波的谐波发生器、第一和频发生器、第二光参量振荡器和第二和频发生器，所述第一光参量振荡器包括第一非线性晶体，谐波发生器包括二倍频非线性晶体和三倍频非线性晶体，第一和频发生器包括第一和频非线性晶体，第二光参量振荡器包括第二非线性晶体，第二和频发生器包括第二和频非线性晶体；
泵浦源为Nd:YAG调Q激光器，中心波长为1064nm，泵浦源发出1064nm的泵浦光通过第一分束镜分为两路，一路光透过第一分束镜作为第一光参量振荡器的泵浦光，通过第一光参量振荡器的第一非线性晶体得到1550nm的激光输出；
另一路1064nm激光经过第二分束镜，又分为两路，分别为1064nm的第二路激光和第三路激光，第二路激光作为谐波发生器的基频光，经过二倍频非线性晶体产生532nm的倍频光，532nm的倍频光和二次倍频转换剩余的1064nm基频光经过三倍频非线性晶体进行和频，得到355nm的激光；
第三路激光作为第二光参量振荡器的泵浦光，通过第二非线性晶体得到1895nm的激光输出；
将第一光参量振荡器得到的1550nm激光和谐波发生器得到的355nm激光在第一和频非线性晶体内进行和频，得到289nm激光输出；将谐波发生器得到的355nm激光和第二光参量振荡器得到的1895nm激光在第二和频非线性晶体内进行和频，得到299nm激光输出。
2.根据权利要求1所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，三倍频非线性晶体沿光路方向的后方依次设置有第一45°平面镜、第三分束镜和第二45°平面镜；
沿光路方向第一光参量振荡器的后方设置有第三45°平面镜，第一和频发生器后方设置于第四45°平面镜；
沿光路方向第二光参量振荡器的后方设置有第五45°平面镜，第二和频发生器后方设置于第六45°平面镜；
355nm激光在第三分束镜分为两路，一路在第二45°平面镜进行反射，与1550nm激光在第三45°平面镜中汇合在一起，入射至第一和频发生器；另一路在与1895nm激光在第五45°平面镜中汇合在一起，入射至第二和频发生器。
3.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，所述第一光参量振荡器沿光路方向依次包括第一腔镜、第一非线性晶体、第一输出耦合镜和第七45°平面镜；
优选的，所述第二光参量振荡器沿光路方向依次包括第二腔镜、第二非线性晶体、第二输出耦合镜和第八45°平面镜。
4.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，所述第一分束镜和第二分束镜用于将一束激光分为两束激光，并均镀有对1064nm的增透膜，第三分束镜上镀有对355nm的增透膜。
5.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，所述二倍频非线性晶体为RDP、KTP、BBO、LBO等其他适用晶体中的一种，且该二倍频非线性晶体两端面均镀有对1064nm和532nm的增透膜；
优选的，所述三倍频非线性晶体为RDP、KTP、BBO、LBO等其他适用晶体中的一种，该三倍频非线性晶体两端面均镀有对1064nm、532nm和355nm的增透膜。
6.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，所述第一45°平面镜在355nm入射面镀有1064nm和532nm的高反膜，以及355nm的增透膜；
优选的，所述第二45°平面镜在355nm入射面镀有对355nm的高反膜。
7.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，所述第一和频非线性晶体和第二和频非线性晶体均为RDP、KTP、BBO、LBO等其他适用晶体中的一种，其中，第一和频非线性晶体两端面镀有对1550nm、355nm和289nm的增透膜，第二和频非线性晶体两端面镀有对1895nm、355nm和299nm的增透膜。
8.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，第三45°平面镜上在355nm入射面镀有对355nm的高反膜，在1550nm入射面上镀有有1550nm的增透膜；
第四45°平面镜的任一面上镀有对1550nm、355nm的高反膜和对289nm的增透膜；
第五45°平面镜1895nm光的入射面镀有1064nm的高反膜和1895nm的增透膜，另一面镀有355nm的高反膜；
优选的，第六45°平面镜的任一面镀有对1895nm、355nm的高反膜和对299nm的增透膜。
9.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，第一光参量振荡器内的第一腔镜为平面镜，其两端面均镀有对1064nm高透的介质膜，背向泵浦源的一侧镀有对1550nm激光、3μm激光高反的介质膜；
优选的，所述第一非线性晶体为RDP、KTP、BBO、LBO等其他适用晶体中的一种，该第一非线性晶体两端面均镀有对1064nm和1550nm的增透膜；
优选的，第一输出耦合镜面向第一非线性晶体的一侧镀有对1550nm激光高反的介质膜，两侧均镀有对1064nm光高透的介质膜，用于输出1550nm激光；
优选的，第七45°平面镜镀有1550nm的高反膜，以及3μm和1064nm的增透膜。
10.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，第二光参量振荡器内的第二腔镜为平面镜，其两端面均镀有对1064nm高透的介质膜，背向泵浦源的一侧镀有对1895nm激光、3μm激光高反的介质膜；
第二非线性晶体为RDP、KTP、BBO、LBO等其他适用晶体中的一种，该第二非线性晶体两端面均镀有对1064nm和1895nm增透膜；
第二输出耦合镜面向第二非线性晶体的一侧镀有对1895nm激光高反的介质膜，两侧均镀有对1064nm激光高透的介质膜，用于输出1895nm激光；
优选的，第八45°平面镜镀有1895nm的高反膜，以及3μm和1064nm的增透膜。
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