CN117479812A - 一种压电结构 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种压电结构，包括：基底和至少1个悬臂梁结构。悬臂梁结构包括悬空部分，悬空部分包括第一区域和第二区域，悬空部分靠近第一区域的一侧和基底接触，悬空部分的其他侧和基底之间具有缝隙。沿着第二区域朝向第一区域的方向，第一区域具有和所述基底接触的接触边缘。第一区域具有缺口，在平行于悬臂梁结构的方向上，缺口从悬空部分和基底之间的缝隙开始沿着接触边缘延伸固定距离，也就是说，缺口设置在和基底接触的第一区域，并且是悬臂梁结构两侧，缺口位于缝隙附近，这样设置的缺口能够调整悬臂梁结构在第一区域的应力集中趋势，通过控制缺口的大小从而降低悬臂梁结构的共振频率，进而提高压电结构的低频性能。

Description

一种压电结构

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别涉及一种压电结构。

背景技术

随着半导体相关技术的发展，压电结构形成的声学器件也在飞速发展。压电结构形成的声学器件例如可以是微机电系统(MEMS)压电换能器，MEMS压电换能器可以应用在智能终端设备中，实现不同频段声信号接收和发射功能。

当前的压电结构由于受到结构设计尺寸微型化的影响，对于较低频率的声学信号不敏感，性能较难提升。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种压电结构，该压电结构能够降低振动频率，提高压电结构的低频性能。

为实现上述目的，本申请有如下技术方案：

本申请提供了一种压电结构，包括：基底和至少1个悬臂梁结构，所述悬臂梁结构包括悬空部分，所述悬空部分包括第一区域和第二区域，在平行于所述悬臂梁结构的方向上，所述悬空部分靠近第一区域的一侧和所述基底接触，所述悬空部分的其他侧和所述基底之间具有缝隙，所述悬空部分用于进行自由振动；

沿着所述第二区域朝向所述第一区域的方向，所述第一区域具有和所述基底接触的接触边缘；

所述第一区域具有缺口，在平行于所述悬臂梁结构的方向上，所述缺口从所述缝隙开始沿着所述接触边缘延伸固定距离。

可选地，通过调整所述固定距离调整所述悬臂梁结构的共振频率。

可选地，所述接触边缘包括第一部分、第二部分和第三部分，所述第一部分和所述第三部分分别位于所述第二部分的两侧，所述第二部分位于所述第一部分和所述第三部分远离所述第二区域的方向，所述缺口包括第一缺口和第二缺口，所述第一缺口的位置和所述第一部分的位置重合，所述第二缺口的位置和所述第三部分的位置重合，所述第一缺口延伸的固定距离等于所述第二缺口延伸的固定距离。

可选地，所述固定距离小于或等于所述接触边缘的1/3。

可选地，所述缺口的高度和设置在所述第一区域的膜层的厚度相同。

可选地，所述缺口具有第一侧和第二侧，所述第一侧为靠近所述缝隙的一侧，所述第二侧为远离所述缝隙的一侧，所述基底具有开口，所述开口和所述第二侧接触，所述开口从所述第二侧开始在所述基底沿着远离所述第二区域的方向延伸，所述开口和所述缺口呈固定角度。

可选地，所述固定角度为90°。

可选地，所述开口的高度大于所述缺口的高度。

可选地，所述缺口包括第一缺口和第二缺口，所述开口包括第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第一缺口的第二侧接触，所述第二开口和所述第二缺口的第二侧接触。

可选地，所述悬臂梁结构具有划缝，所述划缝用于将同一个悬臂梁结构的第二区域分隔为第一目标区域和第二目标区域，所述第一目标区域和所述第二目标区域远离所述第一区域的一侧连接。

可选地，所述划缝的长度小于缝隙的长度。

可选地，所述划缝用于将同一个悬臂梁结构的第一区域分隔为第三目标区域和第四目标区域，所述第三目标区域和所述第四目标区域不连接。

可选地，所述划缝用于将同一个悬臂梁结构的第一区域分隔为第三目标区域和第四目标区域，所述第三目标区域和所述第四目标区域远离所述第二区域的一侧连接。

本申请提供了一种压电结构，包括：基底和至少1个悬臂梁结构。悬臂梁结构包括悬空部分，悬空部分包括第一区域和第二区域，在平行于悬臂梁结构的方向上，悬空部分靠近第一区域的一侧和基底接触，悬空部分的其他侧和基底之间具有缝隙，悬空部分用于进行自由振动，即悬空部分用于接收声学振动信号。沿着第二区域朝向第一区域的方向，第一区域具有和基底接触的接触边缘，也就是接触边缘为悬臂梁结构的固定支撑边。第一区域具有缺口，在平行于悬臂梁结构的方向上，缺口从缝隙开始沿着接触边缘延伸固定距离，也就是说，缺口设置在和基底接触的第一区域，并且是悬臂梁结构两侧第一区域，缺口位于缝隙附近，这样设置的缺口能够调整悬臂梁结构在第一区域的应力集中趋势，通过调整缺口的大小从而改变悬臂梁结构的约束边界，从而降低悬臂梁结构的共振频率。较低的共振频率使得压电结构对低频信号更加灵敏，提高低频机电转换效率，进而提高压电结构的低频性能。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1和图2示出了两种压电结构的三维结构示意图；

图3示出了本申请实施例提供的一种压电结构的三维结构示意图；

图4示出了图3提供的压电结构的局部结构示意图；

图5示出了本申请实施例提供的另一种压电结构的俯视结构示意图；

图6A示出了本申请实施例提供的不具有缺口的压电结构的应力示意图；

图6B示出了本申请实施例提供的具有缺口的压电结构的应力示意图；

图7示出了本申请实施例提供的又一种压电结构的俯视结构示意图；

图8示出了图7提供的压电结构的局部结构示意图；

图9示出了本申请实施例提供的又一种压电结构的俯视结构示意图；

图10示出了图9提供的压电结构的局部结构示意图；

图11示出了本申请实施例提供的又一种压电结构的俯视结构示意图；

图12A示出了本申请实施例提供的不具有划缝的压电结构的挠度示意图；

图12B示出了本申请实施例具有划缝的压电结构的挠度示意图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是本申请还可以采用其它不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似推广，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

本申请结合示意图进行详细描述，在详述本申请实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本申请保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

随着半导体相关技术的发展，压电结构形成的声学器件也在飞速发展。压电结构形成的声学器件例如可以是微机电系统(MEMS)压电换能器，MEMS压电换能器可以应用在智能终端设备中，实现不同频段声信号接收和发射功能。当前常用的压电结构可以是包括悬臂梁式的，参考图1或图2所示。悬臂梁式的压电结构包括固定部分和悬空部分，悬空部分可以自由振动，固定部分固定在基底上。图1为两瓣矩形悬臂梁，图2为四瓣三角形悬臂梁。悬空部分在感应到外部声学信号后振动从而在固定部分的压电材料产出应力变化的趋势，这种趋势通过上下电极的连接将产生不断变化的电信号，从而完成从感应外部信号到输出电信号的过程。

但是在实际中，随着传感器尺寸逐步微型化，压电芯片设计尺寸被压缩，经典设计的固有频率难以下降，压电结构的低频接收能力明显下降。也就是说，当前的压电结构由于受到结构设计尺寸微型化的影响，对于较低频率的声学信号不敏感，性能较难提升。

基于此，本申请提供了一种压电结构，包括：基底和至少1个悬臂梁结构。悬臂梁结构包括悬空部分，悬空部分包括第一区域和第二区域，在平行于悬臂梁结构的方向上，悬空部分靠近第一区域的一侧和基底接触，悬空部分的其他侧和基底之间具有缝隙，悬空部分用于进行自由振动，即悬空部分用于接收声学振动信号。沿着第二区域朝向第一区域的方向，第一区域具有和基底接触的接触边缘，也就是接触边缘为悬臂梁结构的固定支撑边。第一区域具有缺口，在平行于悬臂梁结构的方向上，缺口从缝隙开始沿着接触边缘延伸固定距离，也就是说，缺口设置在和基底接触的第一区域，并且是悬臂梁结构两侧第一区域，缺口位于缝隙附近，这样设置的缺口能够调整悬臂梁结构在第一区域的应力集中趋势，通过增大缺口的大小从而改变悬臂梁结构的约束边界，从而降低悬臂梁结构的共振频率。较低的共振频率使得压电结构对低频信号更加灵敏，提高低频机电转换效率，进而提高压电结构的低频性能。

为了更好地理解本申请的技术方案和技术效果，以下将结合附图对具体的实施例进行详细的描述。

参考图3所示，为本申请实施例提供的一种压电结构的三维结构示意图，该压电结构包括：基底110和至少1个悬臂梁结构120。基底例如可以是硅基底。悬臂梁结构120可以由依次层叠的第一电极、压电层和第二电极形成。压电层可以是压电材料。

在本申请的实施例中，若压电结构包括至少2个悬臂梁结构，则相邻的悬臂梁结构120之间不连接，相邻的悬臂梁结构120之间具有缝隙，也就是说，缝隙将相邻的悬臂梁结构120完全切分为了2个部分。

在实际应用中，压电结构包括的悬臂梁结构120的数量可以根据实际情况进行设计，多个悬臂梁结构120的形状可以不同，也可以相同。相同形状的悬臂梁结构120共振频率相同，在实际应用中应用更为广泛。参考图3所示，压电结构包括8个悬臂梁结构120，8个悬臂梁结构120的形状相同，每个悬臂梁结构120的俯视图为三角形。参考图5所示，压电结构包括4个悬臂梁结构120，4个悬臂梁结构120的形状相同，每个悬臂梁结构120的俯视图为不规则四边形。

在本申请的实施例中，悬臂梁结构120包括固定部分(图未示出)和悬空部分。

悬空部分包括第一区域121和第二区域122，悬空部分用于接收声学振动信号，进行自由振动，第二区域122和第一区域121连接，第一区域121是设置感应电极的区域，第二区域122是设置结构电极的区域。

在平行于悬臂梁结构120的方向上，悬空部分靠近第一区域121的一侧和基底110接触，即第一区域121的一侧和基底110接触。悬空部分的其他侧和基底110之间不连接，也就是说，悬空部分除了和基底110利用第一区域121的一侧进行接触，其他侧全部不和基底110进行接触。

固定部分延伸至基底110，也就是说，固定部分嵌入基底110，基底110通过包围固定部分110从而向悬臂梁结构120提供支撑力，即基底110通过固定部分向悬臂梁结构120提供支撑力。

在实际应用中，固定部分嵌入基底110可以类似薄片插入墙面。固定部分可以和基底110的侧壁呈90°，即固定部分可以垂直插入基底110。

在本申请的实施例中，沿着第二区域122朝向第一区域121的方向，第一区域121具有第一边1211和接触边缘1212，参考图4所示，第一边1211为用于区分第二区域122和第一区域121，也就是说在实际压电结构中，第一边1211并不存在，仅为本申请中介绍第一区域121和第二区域122之间的位置进行引入。接触边缘1212为第一区域121和基底110接触的边缘，接触边缘1212实际为第一区域121在向基底110方向延伸时被截止的边缘，接触边缘1212位于第一边1211远离第二区域122的方向。也就是说，接触边缘1212是第一区域121最外侧的边，接触边缘1212位于第一区域121和基底110接触的一侧，也就是接触边缘为悬臂梁结构120的固定支撑边。

第一区域121具有缺口130，参考图4所示，在平行于悬臂梁结构120的方向上，缺口130从缝隙开始沿着接触边缘1212延伸固定距离。缺口130沿着接触边缘1212延伸，也就是说，缺口130位于第一区域121，并且缺口130从缝隙开始延伸固定距离，即缺口130位于悬臂梁结构120两侧，缺口130形成第一区域121和基底110之间的空隙。缺口130设置于缝隙附近，能够调整优化第一区域121的应力集中趋势，提高压电结构的机电转换效率。通过缺口130固定约束改变边界条件，从而降低悬臂梁结构120的一阶共振频率，提高压电结构的低频机电转换效率，进而提高压电结构的低频性能。

作为一种示例，相较于不具有缺口130的压电结构，具有缺口130的压电结构的一阶共振频率可以从28.84khz降低至27.863khz，从而提高压电结构的低频机电转换效率。

参考图6A和图6B所示，图6A为不具有缺口130的压电结构的应力示意图，图6B为具有缺口130的压电结构的应力示意图。在1KHZ的外载下，具有缺口130的压电结构的应力集中趋势更明显，最大应力上升了约3％，也就是说，相比于27KHZ的频率下，1KHZ低频的转换能力得到提升。此外，具有缺口130的压电结构实现应力集中效应的优化，可以提供更多的电极设计方案，丰富电极设计场景。

在本申请的实施例中，缺口130从缝隙开始沿着接触边缘1212延伸固定距离，固定距离则为缺口130的长度，缺口130的长度指的是缺口130沿着接触边缘1212延伸的长度。缺口130的长度会影响悬臂梁结构120降低的共振频率，进而影响悬臂梁结构120的共振频率，缺口130的长度越长，悬臂梁结构120的共振频率越低。因此，可以通过调整缺口130的长度从而调整降低的共振频率，即通过调整固定距离调整悬臂梁结构120的共振频率。

在实际应用中，缺口130的长度不能过大，这样会导致压电结构有效感应面积过小，并且结构可靠性变差。缺口130的长度也不能过小，这样可能起不到降低共振频率的作用。缺口130的长度小于或等于接触边缘1212的1/3，即固定距离小于或等于接触边缘1212的1/3。

在实际应用中，缺口130的高度和设置在第一区域121的膜层的厚度相同，即在垂直于所述悬臂梁结构120的方向上，缺口130贯穿设置在第一区域121的膜层。

在本申请的实施例中，缺口130从相邻的悬臂梁结构120之间的缝隙开始延伸，即缺口130只分布在缝隙附近，因此即使悬臂梁结构120为不规则形状(参考图5)或悬臂梁结构120中具有划缝150(参考图11)，缺口130也不会有除了缝隙附近的其他的设置位置。

在实际应用中，压电结构的形状可以根据实际情况进行设计，悬臂梁结构120的形状也可以根据实际情况进行设计，本申请利用正八边形的压电结构进行示例说明。

在本申请的实施例中，接触边缘1212包括三个部分，分别为第一部分1212-1、第二部分1212-2和第三部分1212-3，第一部分1212-1和第三部分1212-3分别位于第二部分1212-2的两侧，参考图4所示。由于缺口130设置在缝隙附近，并且悬臂梁结构120具有两侧，每一侧都分别和其他的悬臂梁结构120具有缝隙，因此同一个悬臂梁结构120可以设置有2个缺口130。也就是说，缺口130包括第一缺口131和第二缺口132，第一缺口131的位置和第一部分1212-1的位置重合，第二缺口132的位置和第三部分1212-3的位置重合。这样第一缺口131和第二缺口132的位置为空隙，第二部分1212-2位于第一部分1212-1和第三部分1212-3远离第二区域121的方向，也就是说，第一部分1212-1和第三部分1212-3由于附近设置有缺口130，相较于第二部分1212-2内缩。

第一缺口131和第二缺口132延伸的固定距离等于第一部分1212-1的长度，第一部分1212-1的长度和第三部分1212-3的长度相等。也就是说，第一缺口131和第二缺口132在悬臂梁结构120的两侧对称设置，并且第一缺口131和第二缺口132的长度相等。这样每个悬臂梁结构120两侧的缺口130是相同的，实现悬臂梁结构120两侧的信号一致。

在实际应用中，每个悬臂梁结构120的两侧都可以分别设置缺口130，并且缺口130延伸的固定距离相同，这样每个悬臂梁结构120都拥有相同的共振频率。

在本申请的实施例中，缺口130具有第一侧和第二侧，第一侧为靠近缝隙的一侧，第二侧为远离缝隙的一侧，这样缺口130延伸的固定距离则为第一侧和第二侧之间的距离。

压电结构还可以在基底110设置开口140，参考图7-图10所示，开口140和缺口130的第二侧接触，开口140从第二侧开始在基底110沿着远离第二区域122的方向延伸，开口140和缺口130呈固定角度，即开口140和接触边缘1212呈固定角度，开口140从接触边缘1212向远离第二区域122的方向延伸。开口140用于辅助缺口130的制造，这是因为在实际制造缺口130的工艺过程中，缺口130因为较小，工艺时可能存在达不到设计标准，利用开口140能够实现缺口130在制造时符合设计标准，并且提高缺口130同一形状形成的重复率，保证缺口130的工艺一致性。

在实际应用中，开口140可先于缺口130制造形成，以便利用开口140辅助缺口130的制造。也可以先进行缺口130的制造，而后再形成开口140，之后利用开口140修正缺口130的形状，使得缺口130符合设计标准。

在实际应用中，开口140和缺口130之间的固定角度可以为90°，这样能够更容易利用开口140制造缺口130为符合设计标准的形状。

在实际应用中，开口140的高度大于缺口130的高度，即在垂直于悬臂梁结构120的方向上，开口140贯穿基底110的厚度大于设置在第一区域121的膜层的厚度，这样更方便利用开口140制造缺口130为符合设计标准的形状。

在本申请的实施例中，同一个悬臂梁结构120可以设置有2个缺口130。也就是说，缺口130包括第一缺口131和第二缺口132，相应地，开口140也包括第一开口141和第二开口142，第一开口141和第一缺口131的第二侧接触，第二开口142和第二缺口132的第二侧接触，这样方便第一缺口131和第二缺口132的工艺制造。

在本申请的实施例中，可以在悬臂梁结构120中设置划缝150，参考图11所示，划缝150不完全切割悬臂梁结构120，这样即使悬臂梁结构120中设置有划缝150，包括划缝150的悬臂梁结构120还是一个悬臂梁结构120，不会被划缝150分割为两个悬臂梁结构120。划缝150能够调整整个悬臂梁结构120的成型状态，划缝150有助于悬臂梁结构120的成型一致性，并且在悬臂梁结构120中设置划缝150能够降低压电结构的挠度。

作为一种示例，参考图12A和图12B所示，图12A为不具有划缝150的压电结构的挠度示意图，图12B为具有划缝150的压电结构的挠度示意图。相较于不具有划缝150的压电结构的成型结果，具有划缝150的压电结构的挠度更低，挠度由4.459降低到3.959，降低了11.2％。

划缝150可以将同一个悬臂梁结构120的第二区域122分隔为2部分，分别为第一目标区域和第二目标区域，第一目标区域和第二目标区域远离第一区域121的一侧连接。也就是说，划缝150不完全切割同一个悬臂梁结构120的第二区域122，远离第一区域121一侧的第二区域122没有被划缝150切割。这样即使悬臂梁结构120中设置有划缝150，由于部分第二区域122依旧连接，此时还是同一个悬臂梁结构120。

在实际应用中，为避免划缝150将同一个悬臂梁结构120分割为不连接的两部分，将划缝150的长度设置为小于相邻的悬臂梁结构120之间的缝隙的长度。划缝150的长度能够影响压电结构的挠度，因此可以通过调整划缝150的长度从而控制压电结构的挠度。

在本申请的实施例中，由于划缝150未完全切割第二区域122，此时还依旧是同一个悬臂梁结构120，这样划缝150可以完全切割第一区域121，也可以不完全切割第一区域122。也就是说，无论划缝150是否完全切割第一区域121，悬臂梁结构120都依旧利用未完全切割的第二区域122进行连接。

第一种可能的实现方式为划缝150完全切割第一区域121，即划缝150将同一个悬臂梁结构120的第一区域121分隔为第三目标区域和第四目标区域，第三目标区域和第四目标区域不连接。这样可以划分开第一区域121的电极并形成多种电路设计，丰富压电结构的设计。

第二种可能的实现方式为划缝150未完全切割第一区域121，划缝150将同一个悬臂梁结构120的第一区域121分隔为第三目标区域和第四目标区域，第三目标区域和第四目标区域远离第二区域122的一侧连接。也就是说，划缝150未完全将第一区域121切割完毕，参考图11所示。

由此可见，本申请实施例提供的压电结构，包括设置于第一区域121的缺口130，缺口130可以帮助优化悬臂梁结构120的应力。压电结构还可以包括开口140，用于辅助缺口130的工艺制造。压电结构还可以包括划缝150，用于控制悬臂梁成型的挠度，提高加工一致性。上述缺口130和划缝150都可以提高压电结构的性能。

本申请提供了一种压电结构，包括：基底和至少1个悬臂梁结构。悬臂梁结构包括悬空部分，悬空部分包括第一区域和第二区域，在平行于悬臂梁结构的方向上，悬空部分靠近第一区域的一侧和基底接触，悬空部分的其他侧和基底之间具有缝隙，悬空部分用于进行自由振动，即悬空部分用于接收声学振动信号。沿着第二区域朝向第一区域的方向，第一区域具有和基底接触的接触边缘，也就是接触边缘为悬臂梁结构的固定支撑边。第一区域具有缺口，在平行于悬臂梁结构的方向上，缺口从缝隙开始沿着接触边缘延伸固定距离，也就是说，缺口设置在和基底接触的第一区域，并且是悬臂梁结构两侧第一区域，缺口位于缝隙附近，这样设置的缺口能够调整悬臂梁结构在第一区域的应力集中趋势，通过调整缺口的大小从而改变悬臂梁结构的约束边界，从而降低悬臂梁结构的共振频率，较低的共振频率使得压电结构对低频信号更加灵敏，提高低频机电转换效率，进而提高压电结构的低频性能。

以上所述仅是本申请的优选实施方式，虽然本申请已以较佳实施例披露如上，然而并非用以限定本申请。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本申请技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本申请技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本申请技术方案的内容，依据本申请的技术实质对以上实施例所做的任何的简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本申请技术方案保护的范围内。

Claims (13)

1.一种压电结构，其特征在于，包括：基底和至少1个悬臂梁结构，所述悬臂梁结构包括悬空部分，所述悬空部分包括第一区域和第二区域，在平行于所述悬臂梁结构的方向上，所述悬空部分靠近第一区域的一侧和所述基底接触，所述悬空部分的其他侧和所述基底之间具有缝隙，所述悬空部分用于进行自由振动；

沿着所述第二区域朝向所述第一区域的方向，所述第一区域具有和所述基底接触的接触边缘；

所述第一区域具有缺口，在平行于所述悬臂梁结构的方向上，所述缺口从所述缝隙开始沿着所述接触边缘延伸固定距离。

2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，通过调整所述固定距离调整所述悬臂梁结构的共振频率。

3.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，所述接触边缘包括第一部分、第二部分和第三部分，所述第一部分和所述第三部分分别位于所述第二部分的两侧，所述第二部分位于所述第一部分和所述第三部分远离所述第二区域的方向，所述缺口包括第一缺口和第二缺口，所述第一缺口的位置和所述第一部分的位置重合，所述第二缺口的位置和所述第三部分的位置重合，所述第一缺口延伸的固定距离等于所述第二缺口延伸的固定距离。

4.根据权利要求3所述的结构，其特征在于，所述固定距离小于或等于所述接触边缘的1/3。

5.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述缺口的高度和设置在所述第一区域的膜层的厚度相同。

6.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述缺口具有第一侧和第二侧，所述第一侧为靠近所述缝隙的一侧，所述第二侧为远离所述缝隙的一侧，所述基底具有开口，所述开口和所述第二侧接触，所述开口从所述第二侧开始在所述基底沿着远离所述第二区域的方向延伸，所述开口和所述缺口呈固定角度。

7.根据权利要求6所述的结构，其特征在于，所述固定角度为90°。

8.根据权利要求6所述的结构，其特征在于，所述开口的高度大于所述缺口的高度。

9.根据权利要求6所述的结构，其特征在于，所述缺口包括第一缺口和第二缺口，所述开口包括第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第一缺口的第二侧接触，所述第二开口和所述第二缺口的第二侧接触。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的结构，其特征在于，所述悬臂梁结构具有划缝，所述划缝用于将同一个悬臂梁结构的第二区域分隔为第一目标区域和第二目标区域，所述第一目标区域和所述第二目标区域远离所述第一区域的一侧连接。

11.根据权利要求10所述的结构，其特征在于，所述划缝的长度小于所述缝隙的长度。

12.根据权利要求10所述的结构，其特征在于，所述划缝用于将同一个悬臂梁结构的第一区域分隔为第三目标区域和第四目标区域，所述第三目标区域和所述第四目标区域不连接。

13.根据权利要求10所述的结构，其特征在于，所述划缝用于将同一个悬臂梁结构的第一区域分隔为第三目标区域和第四目标区域，所述第三目标区域和所述第四目标区域远离所述第二区域的一侧连接。