CN117451621A - 一种感光干膜在线检测与质量控制系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及检测系统的技术领域,具体涉及一种感光干膜在线检测与质量控制系统,该系统包括信息预设模块、检测模块、视觉模块、控制模块和传输模块,控制模块根据相关信息计算基板表面温湿度检测的总次数的选择函数、基板表面信息参考指数、基板预处理参考指数和感光干膜附着力预测因子,根据感光干膜附着力预测因子得出感光干膜附着力预测信息并传输至传输模块;传输模块将感光干膜附着力预测信息传输至用户端。通过测试基板表面的贴合环境,在控制模块的配合下得到感光干膜附着力预测信息,进而能预估后续贴合的感光干膜附着力的强弱效果。
Description
技术领域
本发明涉及检测系统的技术领域,具体涉及一种感光干膜在线检测与质量控制系统。
背景技术
感光干膜是一种用于印刷电路板(PCB)制造的特殊材料。它是一种光敏性材料,可以在受到紫外线或其他适当波长的光照射时发生化学反应,从而形成图案或图层。感光干膜通常用于制作PCB上的导线、连接器和其他电子元件的图案。
感光干膜的制作过程包括以下步骤:准备基板:将要制作PCB的基板表面清洁并涂上一层感光干膜。掩膜:将一个透明的掩膜或模板放在感光干膜的顶部,上面有所需的电路图案或图层。曝光:将感光干膜和掩膜一起暴露在紫外线或其他光源下。光源透过掩膜,照射到感光干膜上,使其在光照射区域发生化学反应,变得固化或交联。显影:将暴露后的感光干膜浸入特定的显影液中。显影液将未曝光区域的感光干膜溶解掉,留下只有曝光区域的图案。蚀刻:在感光干膜上的裸露金属区域上使用化学蚀刻过程,将不需要的金属材料蚀刻掉,形成所需的电路图案。清洗:清洗掉剩余的感光干膜和显影液,以及任何其他杂质,使PCB表面干净。检测:对贴合后的感光干膜进行性能测试。
经过我们大量的检索与参考发现现在已经开发出了很多检测方法,例如现有技术的有如公开号为CN103235485A所公开的感光干膜的检测方法,其步骤如下:(1)先称取重量为W1的感光干膜;(2)然后将感光干膜置于200°C的恒温下干燥2h,干燥后将感光干膜的重量记为W2;(3)检测感光干膜的挥发分含量n,该挥发分含量根据公式n=(W1-W2)/W1×100计算,当0.5≤n≤1时,该感光干膜达到预定要求。
现有技术中的检测方法并未对感光干膜和基板之间的附着力进行检测,然而感光干膜的附着力直接反映其质量水平,质量好的干膜具有较高的附着力,而质量差的干膜则容易脱落,因此为及时了解感光干膜的质量,有必要及时获取感光干膜与基板的附着力情况。
发明内容
本发明的目的在于检测感光干膜的附着力,针对上述存在的不足,提出一种感光干膜在线检测与质量控制系统。
本发明采用如下技术方案:
一种感光干膜在线检测与质量控制系统,该系统包括信息预设模块、检测模块、视觉模块、控制模块和传输模块,所述信息预设模块、检测模块、视觉模块、传输模块均与控制模块通信连接;
所述信息预设模块用于设定基板预处理权重指数、基板表面信息权重指数、基板表面质量检测的总次数、基板表面温度的理论值和基板表面相对湿度的理论值的信息,并传输至控制模块;
所述检测模块用于检测且得出基板表面粗糙度参考指数、第次基板检测时温度的实测值和第/>次基板检测时相对湿度的实测值的信息,并传输至控制模块;
所述视觉模块用于检测且得出第次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积和基板表面的总面积的信息,并传输至控制模块;
所述控制模块根据相关信息计算基板表面温湿度检测的总次数的选择函数、基板表面信息参考指数、基板预处理参考指数和感光干膜附着力预测因子,根据感光干膜附着力预测因子得出感光干膜附着力预测信息并传输至传输模块;
所述传输模块将感光干膜附着力预测信息传输至用户端。
可选的,所述检测模块包括粗糙度检测子模块、温度检测子模块和相对湿度检测子模块,所述粗糙度检测子模块、温度检测子模块、相对湿度检测子模块均与控制模块通信连接;
所述粗糙度检测子模块用于检测基板表面粗糙度并得出基板表面粗糙度参考指数的信息,并传输至控制模块;
所述温度检测子模块用于检测基板表面温度并得出第次基板检测时温度的实测值的信息,并传输至控制模块;
所述相对湿度检测子模块用于检测基板表面相对湿度并得出第次基板检测时相对湿度的实测值的信息,并传输至控制模块。
可选的,所述视觉模块包括依次通信连接的图像拍摄子模块、目标筛选子模块和数据处理子模块,所述数据处理子模块与控制模块通信连接;
所述图像拍摄子模块用于拍摄原始图像且传输至目标筛选子模块;
所述目标筛选子模块根据预设的目标筛选原始图像,且得出筛选图像并传输至数据处理子模块;
所述数据处理子模块用于处理且得出第次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积和基板表面的总面积的信息,并传输至控制模块。
可选的,所述控制模块计算感光干膜附着力预测因子时,满足以下式子:
;
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其中,为感光干膜附着力预测因子,/>为基板预处理参考指数,/>为基板预处理权重指数,/>为基板表面信息参考指数,/>为基板表面信息权重指数;
为基板表面粗糙度参考指数,/>分别有以下取值,/>或/>,当时为基板表面粗糙度的检测值属于基板表面粗糙度的理论值的范围内,当/>时为基板表面粗糙度的检测值不属于基板表面粗糙度的理论值的范围内,为A次检测所得的基板表面存在油污的总面积的最大值,/>为基板表面质量检测的总次数,/>为第1次检测时基板表面存在油污的总面积,/>为第/>次检测时基板表面存在油污的总面积,/>为A次检测所得的基板表面存在铁锈的总面积的最大值,/>为第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积,/>为第次检测时基板表面存在铁锈的总面积,/>为基板表面的总面积;/>为基板表面温湿度检测的总次数的选择函数,/>为第/>次基板检测时温度的实测值,/>为基板表面温度的理论值,/>为第/>次基板检测时相对湿度的实测值,/>为基板表面相对湿度的理论值。
可选的,所述控制模块计算感光干膜附着力预测信息时,满足以下式子:
;
其中,为感光干膜附着力预测信息,/>为感光干膜附着力预测因子的选择阈值,当/>时为预测感光干膜附着力好,当/>时为预测感光干膜附着力差。
可选的,该系统还包括剥离实验模块,所述控制模块、视觉模块均与剥离实验模块通信连接;
所述剥离实验模块用于试验且得出剥离力量、剥离能量、剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息,并将剥离力量、剥离能量、剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息传输至控制模块,将剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息传输至视觉模块;
所述视觉模块还得出剥离实验后第次检测感光干膜表面存在异常的总面积、剥离实验后第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积、感光干膜表面的总面积、剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积、剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积、破坏指数、第/>次检测时感光干膜的厚度和第/>次检测时感光干膜的厚度的信息,并传输至控制模块;
所述控制模块根据相关信息计算感光干膜的材料参考指数、剥离力量补偿指数的选择函数和感光干膜附着力实测因子,根据感光干膜附着力实测因子得出感光干膜附着力实测信息并传输至传输模块;
所述传输模块将感光干膜附着力实测信息传输至用户端。
可选的,所述剥离实验模块包括参数分析子模块和参数设定模块,所述参数分析子模块、参数设定子模块均与控制模块通信连接;
所述参数分析子模块用于分析且得出剥离力量和剥离能量的信息,并传输至控制模块;
所述参数设定子模块用于设定剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息,并传输至控制模块、视觉模块。
可选的,所述控制模块计算感光干膜附着力实测因子时,满足以下式子:
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其中,为感光干膜附着力实测因子,/>为剥离力量补偿指数的选择函数,为剥离力量,/>为剥离能量,/>为剥离实验对应的检测感光干膜的总次数,为剥离实验后C次检测感光干膜表面存在异常的总面积中最大的总面积值,/>为剥离实验前C次检测感光干膜表面存在异常的总面积中最大的总面积值,/>为剥离实验后第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为剥离实验后第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为感光干膜表面的总面积,/>为剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为破坏指数,/>分别有以下取值,或/>,当/>时为剥离实验后感光干膜撕裂但未分离,当/>时为剥离实验后感光干膜分离成至少两部分;
为感光干膜的材料参考指数,/>为感光干膜厚度检测的总次数,为D次检测感光干膜的厚度的最大厚度值,/>为D次检测感光干膜的厚度的最小厚度值,/>为第/>次检测时感光干膜的厚度,/>为第次检测时感光干膜的厚度。
可选的,所述控制模块计算感光干膜附着力实测信息时,满足以下式子:
;
其中,为感光干膜附着力实测信息,/>为感光干膜附着力实测因子的选择阈值,当/>时为实测感光干膜附着力好,当/>时为实测感光干膜附着力差。
本发明所取得的有益效果是:
1、通过测试基板表面的贴合环境,在控制模块的配合下得到感光干膜附着力预测信息,进而能预估后续贴合的感光干膜附着力的强弱效果;
2、当感光干膜贴合于基板后,进行剥离实验,在控制模块的配合下能得到感光干膜附着力实测信息,进而能进一步的获取感光干膜附着力强弱的信息;
3、用户端可以快速、及时查看感光干膜附着力预测信息、感光干膜附着力实测信息,从而能判断产品的质量。
为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容,请参阅以下有关本发明的详细说明与附图,然而所提供的附图仅用于提供参考与说明,并非用来对本发明加以限制。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明中剥离实验模块的结构示意图;
图3为本发明实施例二的整体结构示意图。
具体实施方式
以下是通过特定的具体实施例来说明本发明的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用,本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用,在不背离本发明的精神下进行各种修饰与变更。另外,本发明的附图仅为简单示意说明,并非依实际尺寸描绘,事先声明。以下实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容,但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。
实施例一:本实施例提供了一种感光干膜在线检测与质量控制系统,结合图1和图2所示。
一种感光干膜在线检测与质量控制系统,该系统包括信息预设模块、检测模块、视觉模块、控制模块和传输模块,所述信息预设模块、检测模块、视觉模块、传输模块均与控制模块通信连接;
所述信息预设模块用于设定基板预处理权重指数、基板表面信息权重指数、基板表面质量检测的总次数、基板表面温度的理论值和基板表面相对湿度的理论值的信息,并传输至控制模块;
所述检测模块用于检测且得出基板表面粗糙度参考指数、第次基板检测时温度的实测值和第/>次基板检测时相对湿度的实测值的信息,并传输至控制模块;
所述视觉模块用于检测且得出第次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积和基板表面的总面积的信息,并传输至控制模块;
所述控制模块根据相关信息计算基板表面温湿度检测的总次数的选择函数、基板表面信息参考指数、基板预处理参考指数和感光干膜附着力预测因子,根据感光干膜附着力预测因子得出感光干膜附着力预测信息并传输至传输模块;
所述传输模块将感光干膜附着力预测信息传输至用户端。
可选的,所述检测模块包括粗糙度检测子模块、温度检测子模块和相对湿度检测子模块,所述粗糙度检测子模块、温度检测子模块、相对湿度检测子模块均与控制模块通信连接;
所述粗糙度检测子模块用于检测基板表面粗糙度并得出基板表面粗糙度参考指数的信息,并传输至控制模块;
所述温度检测子模块用于检测基板表面温度并得出第次基板检测时温度的实测值的信息,并传输至控制模块;
所述相对湿度检测子模块用于检测基板表面相对湿度并得出第次基板检测时相对湿度的实测值的信息,并传输至控制模块。
可选的,所述视觉模块包括依次通信连接的图像拍摄子模块、目标筛选子模块和数据处理子模块,所述数据处理子模块与控制模块通信连接;
所述图像拍摄子模块用于拍摄原始图像且传输至目标筛选子模块;
所述目标筛选子模块根据预设的目标筛选原始图像,且得出筛选图像并传输至数据处理子模块;
所述数据处理子模块用于处理且得出第次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积和基板表面的总面积的信息,并传输至控制模块。
可选的,所述控制模块计算感光干膜附着力预测因子时,满足以下式子:
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其中,为感光干膜附着力预测因子,/>为基板预处理参考指数,/>为基板预处理权重指数,/>为基板表面信息参考指数,/>为基板表面信息权重指数;
为基板表面粗糙度参考指数,/>分别有以下取值,/>或/>,当时为基板表面粗糙度的检测值属于基板表面粗糙度的理论值的范围内,当/>时为基板表面粗糙度的检测值不属于基板表面粗糙度的理论值的范围内,为A次检测所得的基板表面存在油污的总面积的最大值,/>为基板表面质量检测的总次数,/>为第1次检测时基板表面存在油污的总面积,/>为第/>次检测时基板表面存在油污的总面积,/>为A次检测所得的基板表面存在铁锈的总面积的最大值,/>为第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积,/>为第次检测时基板表面存在铁锈的总面积,/>为基板表面的总面积;/>为基板表面温湿度检测的总次数的选择函数,/>为第/>次基板检测时温度的实测值,/>为基板表面温度的理论值,/>为第/>次基板检测时相对湿度的实测值,/>为基板表面相对湿度的理论值。
具体的,计算基板表面粗糙度参考指数时需要注意以下事项,基板表面粗糙度的检测值和基板表面粗糙度的理论值的单位均为微米,基板表面粗糙度的检测值通过相关仪器测量,基板表面粗糙度的理论值的范围为本领域技术人员根据历史数据预先设定;相关的面积的单位均为平方毫米;计算基板表面的总面积时需要注意以下事项,基板表面指的是基板上涂抹感光干膜的面;相关的温度的单位均为摄氏度;基板预处理权重指数、基板表面信息权重指数由本领域技术人员根据历史数据预先设定;通过计算感光干膜附着力测试因子可以推测感光干膜附着在基板上的情况;关于基板表面质量检测的总次数由本领域技术人员预先设定,在感光干膜贴合至基板前对基板表面质量进行检测,通过基板的表面质量能估算感光干膜贴合在基板上的效果,以为第一次至第/>次结束,第/>次检测的时间设定在感光干膜贴合至基板前的24小时内处理即可,多基板表面质量进行多次检测是为了提高检测的精度,每次检测的时间间隔不作详细的设定,例如,假定感光干膜贴合在基板的工序时间在2023年1月3日早上10点,则对应的基板表面质量检测的时间范围在2023年1月2日早上十点至2023年1月3日早上10点之间。
可选的,所述控制模块计算感光干膜附着力预测信息时,满足以下式子:
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其中,为感光干膜附着力预测信息,/>为感光干膜附着力预测因子的选择阈值,当/>时为预测感光干膜附着力好,当/>时为预测感光干膜附着力差。
可选的,该系统还包括剥离实验模块,所述控制模块、视觉模块均与剥离实验模块通信连接;
所述剥离实验模块用于试验且得出剥离力量、剥离能量、剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息,并将剥离力量、剥离能量、剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息传输至控制模块,将剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息传输至视觉模块;
所述视觉模块还得出剥离实验后第次检测感光干膜表面存在异常的总面积、剥离实验后第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积、感光干膜表面的总面积、剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积、剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积、破坏指数、第/>次检测时感光干膜的厚度和第/>次检测时感光干膜的厚度的信息,并传输至控制模块;
所述控制模块根据相关信息计算感光干膜的材料参考指数、剥离力量补偿指数的选择函数和感光干膜附着力实测因子,根据感光干膜附着力实测因子得出感光干膜附着力实测信息并传输至传输模块;
所述传输模块将感光干膜附着力实测信息传输至用户端。
可选的,所述剥离实验模块包括参数分析子模块和参数设定模块,所述参数分析子模块、参数设定子模块均与控制模块通信连接;
所述参数分析子模块用于分析且得出剥离力量和剥离能量的信息,并传输至控制模块;
所述参数设定子模块用于设定剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息,并传输至控制模块、视觉模块。
可选的,所述控制模块计算感光干膜附着力实测因子时,满足以下式子:
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其中,为感光干膜附着力实测因子,/>为剥离力量补偿指数的选择函数,为剥离力量,/>为剥离能量,/>为剥离实验对应的检测感光干膜的总次数,为剥离实验后C次检测感光干膜表面存在异常的总面积中最大的总面积值,/>为剥离实验前C次检测感光干膜表面存在异常的总面积中最大的总面积值,/>为剥离实验后第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为剥离实验后第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为感光干膜表面的总面积,/>为剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为破坏指数,/>分别有以下取值,或/>,当/>时为剥离实验后感光干膜撕裂但未分离,当/>时为剥离实验后感光干膜分离成至少两部分;
为感光干膜的材料参考指数,/>为感光干膜厚度检测的总次数,为D次检测感光干膜的厚度的最大厚度值,/>为D次检测感光干膜的厚度的最小厚度值,/>为第/>次检测时感光干膜的厚度,/>为第次检测时感光干膜的厚度。
具体的,计算感光干膜附着力实测因子时需要注意以下事项,计算时采用剥离实验的方法,将感光干膜贴在基板上,然后通过剥离实验分开两者;由于得到的剥离力量会存在一定的误差,该误差可能与感光干膜的材料均匀性相关,因此设定剥离力量补偿指数的选择函数;剥离力量是在剥离实验中施加到感光干膜样品上的力量,其通常以单位面积上的力量来表示,例如牛顿,剥离力量越大,则对应感光干膜的附着力越强;剥离能量是指在剥离实验中所需的总能量,其单位为焦耳;相关提及的异常的总面积,指的是感光干膜表面出现气泡、凹陷、凸起、裂痕等的异常的总面积,感光干膜表面指的是感光干膜远离基板的面,相关的异常的总面积的单位为平方毫米;第次检测时感光干膜的厚度和第/>次检测时感光干膜的厚度的单位均为毫米;关于剥离实验对应的检测感光干膜的总次数由本领域技术人员预先设定,在剥离实验前后对感光干膜进行检测,以/>为第一次至第/>次结束,剥离实验前的时间范围指的是当感光干膜贴合在基板上至剥离实验前之间,剥离实验后的时间范围指的是当感光干膜与基板分离后,尤其需要注意的是,剥离实验后每次检测之间的间隔时间为1分钟,剥离实验前每次检测的时间间隔不作详细的设定。
可选的,所述控制模块计算感光干膜附着力实测信息时,满足以下式子:
;
其中,为感光干膜附着力实测信息,/>为感光干膜附着力实测因子的选择阈值,当/>时为实测感光干膜附着力好,当/>时为实测感光干膜附着力差。
以上单位只是一种示例,本领域技术人员可以在实施本方案的时候,根据实际需求来进行不同的设计而采用对应的单位。
本实施例解决了传统的检测系统检测较为单一的问题,具体的,通过测试基板表面的贴合环境,在控制模块的配合下得到感光干膜附着力预测信息,进而能预估后续贴合的感光干膜附着力的强弱效果;
另外,当感光干膜贴合于基板后,进行剥离实验,在控制模块的配合下能得到感光干膜附着力实测信息,进而能进一步的获取感光干膜附着力强弱的信息;
最后,用户端可以快速、及时查看感光干膜附着力预测信息、感光干膜附着力实测信息,从而能判断产品的质量。
实施例二:本实施例包含了实施例一的全部内容,提供了一种感光干膜在线检测与质量控制系统,结合图3所示。
一种感光干膜在线检测与质量控制系统,该系统还包括整理模块,整理模块、传输模块均与控制模块通信连接;
信息预设模块还用于设定感光干膜附着力预测权重指数和感光干膜附着力实测权重指数的信息,并传输至控制模块;
控制模块根据感光干膜附着力预测权重指数、感光干膜附着力实测权重指数、感光干膜附着力实测信息和感光干膜附着力预测信息计算感光干膜附着力计算因子,根据感光干膜附着力计算因子得出感光干膜附着力计算信息,并将感光干膜附着力计算信息传输至传输模块、整理模块;
传输模块将感光干膜附着力计算信息传输至用户端;
整理模块根据感光干膜附着力计算信息将同批次的产品夹取至废品区域内。
可选的,控制模块计算感光干膜附着力计算因子时,满足以下式子:
;
;
其中,为感光干膜附着力计算因子,/>为感光干膜附着力预测权重指数,为感光干膜附着力实测权重指数。
具体的,感光干膜附着力预测权重指数和感光干膜附着力实测权重指数由本领域技术人员根据历史数据预先设定。
可选的,控制模块计算感光干膜附着力计算信息时,满足以下式子:
;
其中,为感光干膜附着力计算信息,/>为感光干膜附着力计算因子的选择阈值,当/>时为感光干膜附着力好,当/>时为感光干膜附着力差。
本实施例解决了传统的质量控制系统实用性较低的问题,具体的,本实施例通过设置感光干膜附着力预测权重指数和感光干膜附着力实测权重指数,在控制模块的配合下得出感光干膜附着力计算信息,上述结合感光干膜贴合前后的信息能提高计算的精准度以及整体系统的实用性。
以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例,并非因此局限本发明的保护范围,所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化,均包含于本发明的保护范围内,此外,随着技术发展其中的元素是可以更新的。
Claims (9)
1.一种感光干膜在线检测与质量控制系统,其特征在于,该系统包括信息预设模块、检测模块、视觉模块、控制模块和传输模块,所述信息预设模块、检测模块、视觉模块、传输模块均与控制模块通信连接;
所述信息预设模块用于设定基板预处理权重指数、基板表面信息权重指数、基板表面质量检测的总次数、基板表面温度的理论值和基板表面相对湿度的理论值的信息,并传输至控制模块;
所述检测模块用于检测且得出基板表面粗糙度参考指数、第次基板检测时温度的实测值和第/>次基板检测时相对湿度的实测值的信息,并传输至控制模块;
所述视觉模块用于检测且得出第次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积和基板表面的总面积的信息,并传输至控制模块;
所述控制模块根据相关信息计算基板表面温湿度检测的总次数的选择函数、基板表面信息参考指数、基板预处理参考指数和感光干膜附着力预测因子,根据感光干膜附着力预测因子得出感光干膜附着力预测信息并传输至传输模块;
所述传输模块将感光干膜附着力预测信息传输至用户端。
2.如权利要求1所述的一种感光干膜在线检测与质量控制系统,其特征在于,所述检测模块包括粗糙度检测子模块、温度检测子模块和相对湿度检测子模块,所述粗糙度检测子模块、温度检测子模块、相对湿度检测子模块均与控制模块通信连接;
所述粗糙度检测子模块用于检测基板表面粗糙度并得出基板表面粗糙度参考指数的信息,并传输至控制模块;
所述温度检测子模块用于检测基板表面温度并得出第次基板检测时温度的实测值的信息,并传输至控制模块;
所述相对湿度检测子模块用于检测基板表面相对湿度并得出第次基板检测时相对湿度的实测值的信息,并传输至控制模块。
3.如权利要求2所述的一种感光干膜在线检测与质量控制系统,其特征在于,所述视觉模块包括依次通信连接的图像拍摄子模块、目标筛选子模块和数据处理子模块,所述数据处理子模块与控制模块通信连接;
所述图像拍摄子模块用于拍摄原始图像且传输至目标筛选子模块;
所述目标筛选子模块根据预设的目标筛选原始图像,且得出筛选图像并传输至数据处理子模块;
所述数据处理子模块用于处理且得出第次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在油污的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积、第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积和基板表面的总面积的信息,并传输至控制模块。
4.如权利要求3所述的一种感光干膜在线检测与质量控制系统,其特征在于,所述控制模块计算感光干膜附着力预测因子时,满足以下式子:
;
;
;
;
;
其中,为感光干膜附着力预测因子,/>为基板预处理参考指数,/>为基板预处理权重指数,/>为基板表面信息参考指数,/>为基板表面信息权重指数;
为基板表面粗糙度参考指数,/>分别有以下取值,/>或/>,当/>时为基板表面粗糙度的检测值属于基板表面粗糙度的理论值的范围内,当/>时为基板表面粗糙度的检测值不属于基板表面粗糙度的理论值的范围内,为A次检测所得的基板表面存在油污的总面积的最大值,/>为基板表面质量检测的总次数,/>为第/>次检测时基板表面存在油污的总面积,/>为第/>次检测时基板表面存在油污的总面积,/>为A次检测所得的基板表面存在铁锈的总面积的最大值,/>为第/>次检测时基板表面存在铁锈的总面积,/>为第次检测时基板表面存在铁锈的总面积,/>为基板表面的总面积;/>为基板表面温湿度检测的总次数的选择函数,/>为第/>次基板检测时温度的实测值,/>为基板表面温度的理论值,/>为第/>次基板检测时相对湿度的实测值,/>为基板表面相对湿度的理论值。
5.如权利要求4所述的一种感光干膜在线检测与质量控制系统,其特征在于,所述控制模块计算感光干膜附着力预测信息时,满足以下式子:
;
其中,为感光干膜附着力预测信息,/>为感光干膜附着力预测因子的选择阈值,当/>时为预测感光干膜附着力好,当/>时为预测感光干膜附着力差。
6.如权利要求5所述的一种感光干膜在线检测与质量控制系统,其特征在于,该系统还包括剥离实验模块,所述控制模块、视觉模块均与剥离实验模块通信连接;
所述剥离实验模块用于试验且得出剥离力量、剥离能量、剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息,并将剥离力量、剥离能量、剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息传输至控制模块,将剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息传输至视觉模块;
所述视觉模块还得出剥离实验后第次检测感光干膜表面存在异常的总面积、剥离实验后第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积、感光干膜表面的总面积、剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积、剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积、破坏指数、第/>次检测时感光干膜的厚度和第/>次检测时感光干膜的厚度的信息,并传输至控制模块;
所述控制模块根据相关信息计算感光干膜的材料参考指数、剥离力量补偿指数的选择函数和感光干膜附着力实测因子,根据感光干膜附着力实测因子得出感光干膜附着力实测信息并传输至传输模块;
所述传输模块将感光干膜附着力实测信息传输至用户端。
7.如权利要求6所述的一种感光干膜在线检测与质量控制系统,其特征在于,所述剥离实验模块包括参数分析子模块和参数设定模块,所述参数分析子模块、参数设定子模块均与控制模块通信连接;
所述参数分析子模块用于分析且得出剥离力量和剥离能量的信息,并传输至控制模块;
所述参数设定子模块用于设定剥离实验对应的检测感光干膜的总次数和感光干膜厚度检测的总次数的信息,并传输至控制模块、视觉模块。
8.如权利要求7所述的一种感光干膜在线检测与质量控制系统,其特征在于,所述控制模块计算感光干膜附着力实测因子时,满足以下式子:
;
;
;
其中,为感光干膜附着力实测因子,/>为剥离力量补偿指数的选择函数,/>为剥离力量,/>为剥离能量,/>为剥离实验对应的检测感光干膜的总次数,为剥离实验后C次检测感光干膜表面存在异常的总面积中最大的总面积值,/>为剥离实验前C次检测感光干膜表面存在异常的总面积中最大的总面积值,/>为剥离实验后第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为剥离实验后第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为感光干膜表面的总面积,/>为剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为剥离实验前第/>次检测感光干膜表面存在异常的总面积,/>为破坏指数,/>分别有以下取值,或/>,当/>时为剥离实验后感光干膜撕裂但未分离,当/>时为剥离实验后感光干膜分离成至少两部分;
为感光干膜的材料参考指数,/>为感光干膜厚度检测的总次数,为D次检测感光干膜的厚度的最大厚度值,/>为D次检测感光干膜的厚度的最小厚度值,/>为第/>次检测时感光干膜的厚度,/>为第次检测时感光干膜的厚度。
9.如权利要求8所述的一种感光干膜在线检测与质量控制系统,其特征在于,所述控制模块计算感光干膜附着力实测信息时,满足以下式子:
;
其中,为感光干膜附着力实测信息,/>为感光干膜附着力实测因子的选择阈值,当/>时为实测感光干膜附着力好,当/>时为实测感光干膜附着力差。
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