CN117329113A - 真空设备、评估装置、通信系统以及用于运行真空设备的方法和用于运行评估装置的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种真空设备，包括：监测模块，其设计为用于监测真空设备的运行参数；和无线接口模块，其设计为用于与远离真空设备的评估装置的无线接口模块通信，并且将运行参数提供至评估装置。

Description

真空设备、评估装置、通信系统以及用于运行真空设备的方法 和用于运行评估装置的方法

技术领域

本发明涉及真空设备、评估装置和具有真空设备和评估装置的通信系统。本发明还涉及用于运行真空设备的方法、用于运行评估装置的方法以及用于运行通信系统的方法。

背景技术

在实践中，通常需要且希望的是：监测和评估真空设备的运行参数。然而，这通常经由工业现场处的公司网络内的有线的技术方案来实现。然而，这在安装和维护方面是成本高昂的。

此外，真空设备在工业现场进行现场初始化和配置。然而，这通常需要服务技术人员。此外，存在的风险是：真空设备的运行员错误地执行配置。此外，真空设备的运行员通常不具备识别必要维护的专业知识，或者真空设备的运行员出于成本原因拒绝该维护。这会导致真空设备直至完全失效。

作为制造商，还期望了解真空设备的常规运行和通常的使用类型，以便能够对真空设备的运行者的需求做出反应。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种改进的真空设备、一种改进的评估装置、一种通信系统、一种用于运行真空设备的改进的方法、一种用于运行评估装置的改进的方法以及一种用于运行通信系统的改进方法。

该目的通过独立权利要求的主题实现。

特别地，通过根据本发明的技术方案实现：将真空设备连接至所谓的物联网。通过根据本发明的技术方案还实现：可以弃用诸如路由器和调制解调器的硬件部件，并且尤其地弃用有线数据连接。通过根据本发明的技术方案同样实现：改进真空设备的性能和使用寿命，并且在真空设备的使用寿命期间降低成本。

这首先通过真空设备实现，该真空设备包括：监测模块，该检测模块设计为用于监测真空设备的运行参数；和无线接口模块，该无线接口模块设计为用于与远离真空设备的评估装置的无线接口模块进行通信，并且将运行参数提供至评估装置。

真空设备是与真空应用，特别是真空产生，结合使用的设备。例如，真空设备是真空泵或真空泵的部件，特别是转动叶片泵(Drehschieberpumpe)、隔膜泵(Membranpumpe)、涡旋泵(Scrollpumpe)、螺杆泵、罗茨泵或涡轮分子泵。真空设备也可以由多个真空设备组成，并且形成真空设备的联合体，即例如由涡轮分子泵、前级泵和一个或多个测量管构成的装置，测量管经由共同的控制设备彼此连接并共同工作。

真空设备首先包括监测模块，该检测模块构成用于监测真空设备的运行参数。运行参数包括直接或间接涉及真空设备运行的所有参数，特别是涉及真空设备的部件的那些参数。真空设备的部件例如是转子、定子、轴承和/或涉及真空泵的功率供应和/或控制的电气或电子部件。真空设备的其他示例性提到的部件是真空设备的阀、测量管和/或质谱仪。

例如，运行参数是涉及真空设备的运行介质的那些参数，运行介质例如是冷却液或吹扫气(Spülgas)，那些参数特别是冷却液温度和/或冷却液流速，或特别是吹扫气温度和/或吹扫气压力和/或吹扫气流速。运行参数也可以是电流和/或电压和/或电功率，特别是电流消耗和/或电压消耗和/或功率消耗，或者运行参数也可以是真空设备的，特别是真空设备的部件的转速和/或温度和/或振动状态和/或定向。运行参数也可以包括测量变量，特别是与真空设备的运行间接相关的测量变量或所确定的测量变量，例如测量管中的压力或质谱仪的结果。

此外，例如，运行参数是涉及真空设备的环境变量的那些参数，例如环境温度、环境湿度、环境压力和/或环境震动。

此外，例如，运行参数是涉及真空设备的事件的那些参数，例如电压变化和/或电流变化和/或功率变化，和/或受限的功能，例如真空设备的部件的功能限制和/或功能失效和/或真空设备完全失效。

要理解的是：术语运行参数以一般复数形式使用并且还包括单个运行参数。

在下文中，监测尤其是指检测、记录和/或评估，尤其是通过合适的传感器进行确定、记录和/或评估。例如，可以借助于转速传感器确定真空泵的转子的转速，可以借助于温度传感器确定环境温度，或者可以借助于流量传感器确定冷却液流量。特别地可以借助合适的处理器进行可能的额外的评估。

特别地，运行参数的评估可以通过合适的处理器在真空设备中部分地或完全地进行。替代地，运行参数的评估不在真空设备中进行，而是如下文进一步描述的那样，仅在评估装置中进行。

运行参数的评估尤其可以包括确定表明真空设备状态的一个或多个抽象值。例如，评估可以包括建立真空设备或真空设备的部件的健康指数，其中健康指数是数字，特别是整数或具有一位或两位小数的数字，真空设备的一般状态可以从该数字中确定。

监测到的运行参数和/或运行参数的评估可以暂存在真空设备上，例如存储模块，或者可以暂存在与真空设备连接的装置上，即例如存储装置上。特别地，运行参数和/或运行参数的评估可以在存储时被加密。还特别地，运行参数和/或运行参数的评估可以被加密，使得真空设备的购买者、持有者、所有人或运行者无法访问运行参数和/或运行参数的评估，并且还特别地，仅评估装置访问运行参数和/或运行参数的评估。

真空设备还包括无线接口模块，该无线接口模块设计为用于与远离真空设备的评估装置的无线接口模块通信。特别地，真空设备的无线接口模块和评估装置的无线接口模块是相互兼容的接口模块。在此，无线接口模块满足和/或支持无线通信标准。无线通信标准例如是诸如3G、4G、5G的移动无线标准。替代地或附加地，无线通信标准是WLAN，特别是802.11，或蓝牙。特别地，真空设备和评估装置直接相互通信，这意味着没有连接在中间的中继或代理。特别地，接口模块尤其可以与真空设备的控制设备连接和/或集成在控制设备中。

根据一个实施例，无线通信标准是LongRange或LoRa。LongRange是一种无线电标准，该无线电标准在400MHz和900MHz之间的相对较低的频段内工作，进而由于从中产生的波长相对较高，即使在发送功率低的情况下，也具有特别好的范围和对地面和墙壁的穿透力。由此，只需要少量的部件。特别地，可以使用公共基础设施的LongRange网关，所谓的LongRange-WAN或广域网。因此，该标准独立于私人移动网络运营商。LongRange标准也处于无线电频谱的免费区域内，由此没有任何使用费。由此得到尤其成本适宜的通信。

评估装置远离真空设备地设置。当前，远离是指彼此间隔开和/或空间上的远离，特别是至少几米，更特别是几千米。评估装置例如是位于计算中心的远程服务器。特别地，评估装置部分地或完全地在云中实现。替代地或附加地，评估装置设计为移动终端机构，该移动终端机构尤其可以访问云。特别地，评估装置设计为，使得仅真空设备的制造商或分销商可以访问评估装置，并且更特别地，真空设备的购买者、持有者、所有人或运行者不能访问评估装置。

在此，真空设备的接口模块设计为：用于将之前监测到的运行参数和/或评估提供给评估装置。在此，该提供可以加密地，特别是借助端到端加密来进行。

运行参数的监测和提供特别是定期地或周期性地或重复地进行，例如每周一次、每天一次、每小时一次、每分钟一次或每秒一次。特别地，运行参数可以在较长时间段期间被监视或被确定和收集，然后被提供至评估装置。

在此，提供也可以理解为通过真空设备的无线接口发送和/或通过评估装置的无线接口调用。在此，提供可以自主地进行，这意味着没有评估装置的请求，或者提供可以响应于来自评估装置的请求来进行。

通过该实施例实现：在中央地点处评估一个或多个真空设备。特别地，实现为，使得能够通过评估早期识别相应的真空设备处或真空设备的部件处的损坏、故障或错误操作，进而可以采取例如就一个或多个部件的维护或更换而言的适当的措施。因此，例如，可以基于评估委托服务技术人员或向客户发送自助服务指导。因此也增加了真空设备的使用寿命和客户满意度。

根据一个实施例，真空设备的无线接口模块设计为：用于与第二真空设备的无线接口模块通信，并且用于从第二真空设备接收第二真空设备的运行参数，其中真空设备的无线接口模块还设计为：用于将第二真空设备的运行参数提供至评估装置。

在此，上述真空设备也可称为第一真空设备。在此，第一真空设备的无线接口模块设计为：用于与第二真空设备的无线接口模块通信。

在此，第二真空设备的无线接口模块可以设计为与第一真空设备的前述的无线接口模块是相似的或相同的。

在此，第一真空设备的无线接口模块设计为：用于接收第二真空设备的运行参数，第二真空设备，尤其是第二真空设备的监测模块，确定第二真空设备的运行参数，第二真空设备的监测模块设计为与第一真空设备的监测模块是相似的或相同的。

如上该，第二真空设备的运行参数可以是与第一真空设备的运行参数相似的或相同的运行参数。

在此，第一真空设备的无线接口模块还设计为：用于将之前从第二真空设备接收到的运行参数提供至评估装置。在此，评估装置设置为不仅远离第一真空设备设置，而且还远离第二真空设备。特别地，第一真空设备作为用于第二真空设备的中继或代理。

特别地，第一真空设备和第二真空设备设置在共同的工业大厅中和/或共同的工业现场处。更具体地，第一真空设备和第二真空设备是真空设备的单个的购买者、持有者、所有人或运行者的真空设备。

替代地，第一真空设备也可以经由其他的接口与第二真空设备通信。特别地，第一真空设备和第二真空设备还可以经由有线接口连接，例如通过串行接口连接，或者借助于离散的数字或模拟信号连接。

通过该实施例实现的是：第二真空设备仍可以由评估装置来评估，其中该第二真空设备不具有对到远程评估装置的无线通信连接的访问或仅具有对到远程评估装置的无线通信连接的较差的访问，例如因为评估装置设置在工业现场的屏蔽移动无线电网络的部分中。

根据一个实施例，第一真空设备还包括控制模块，其中第一真空设备的无线接口模块还设计为：用于从评估装置接收控制参数，以控制第一真空设备的控制模块。

控制模块适于：控制或影响真空设备的功能，尤其是运行功能。例如，控制模块可以影响部件的转速，例如涡轮分子泵的转子的转速，或者控制模块可以影响施加在真空设备的电压、电流或功率。这通过从评估装置接收控制参数来进行，如在下文中更具体地描述的那样。在此，控制参数以一般复数形式使用并且还包括唯一的控制参数。

控制参数还可以包括用于真空设备或真空设备的一个或多个部件的更新，特别是固件更新。

特别地，控制参数可以在在先接入和查看所执行的评估之后由停留在远程地点处的服务技术人员根据各当前的情况制定或适配，进而传输至真空设备。

通过该实施例例如实现的是：主动地抵消真空设备的部件处的所面临的损坏、故障或错误操作，进而同样延长真空设备的使用寿命。同样地，通过该实施例实现所谓的无线更新。

根据一个实施例，第一真空设备的无线接口模块还设计为：用于从评估装置接收用于第二真空设备的控制参数，并且提供至第二真空设备的接口模块。

特别地，在该实施例中，第一真空设备作为用于第二真空设备的中继或代理，如前所述。

通过该实施例实现的是：如上所述的不具有对无线通信连接的访问或仅具有对无线通信连接的较差访问的第二真空设备仍可以由远程评估装置提供控制参数。

根据一个实施例，真空设备的功能关闭取决于控制参数。

在该实施例中，第一真空设备的无线接口模块从评估装置接收控制参数，其中先前有效的，即启用的功能通过在控制模块中应用控制参数而被停用。

例如，通过接收控制参数可以完全关闭真空泵或者可以将真空泵的转子的转速调节到较低的“待机”值。

通过该实施例实现的是：以特别有效的方式抵消真空设备的部件处的所面临的损坏、故障或错误运行。此外，真空设备的制造商或分销商可以选择性地关闭个别功能，特别是如果真空设备的购买者、持有者、所有人或运行者尚结清未付款，或不再想为特定服务付款。在现场还不需要服务技术人员来停用功能。

根据一个实施例，第一真空设备的功能的开启取决于控制参数。

在该实施例中，第一真空设备和/或第二真空设备的无线接口模块从评估装置接收控制参数，其中通过在控制模块中使用控制参数启用先前未生效的，即停用的功能。

例如，虽然作为第一真空设备和/或第二真空设备的真空泵在接收到控制参数之前仅可能具有相对低的泵功率，但在接收到控制参数之后可以实现更高的泵功率。

通过该实施例实现的是：特别有效地响应客户对特定功能的期望。特别地，无需服务技术人员在现场实现新功能。此外，真空设备的制造商或分销商可以选择性地开启个别功能，特别是如果真空设备的购买者、持有者、所有人或运行者准备为特定的服务(即使仅是暂时地)支付费用。例如，用户可以例如(如在计算机戏中那样)购买或租用真空泵的特定的能力。

根据一个实施例，第一真空设备的功能的限制取决于控制参数。

在该实施例中，第一真空设备和/或第二真空设备的无线接口模块从评估装置接收控制参数，其中通过在控制模块中使用控制参数限制先前有效的功能。

例如，虽然在接收到控制参数之前作为第一真空设备和/或第二真空设备的真空泵具有的相对高的泵功率，但是在接收控制参数之后可以仅实现较低的泵功率。

通过该实施例实现的是：以特别有效的方式抵消真空设备的部件处的所面临的损坏、故障或错误运行。此外，真空设备的制造商或分销商可以选择性地限制个别功能，特别是如果真空设备的购买者、持有者、所有人或运行者期望这样做、尚未结清未付款或不想(特别是不再想)为特定服务，特别是如果只是暂时预订该服务。。在现场也不需要服务技术人员来限制功能。

根据一个实施例，真空设备的无线接口模块还设计为：用于检查与评估装置的无线接口模块的通信连接，并且如果不存在通信连接，则将运行参数提供给放大装置。

放大装置是放大和转发接收到的信号，特别是无线信号的装置。特别地，放大装置同样包括无线接口模块，该无线接口模块设计为：用于与第一真空设备和/或第二真空设备的无线接口模块和/或与评估装置的无线接口模块通信。此外，特别地，放大装置构设计为：用于从真空设备接收数据，并且提供至评估装置，即转发至该评估装置。放大装置还可以增加接收到的数据的信号强度。

放大装置同样起中继或代理的作用，并且既可以用于放大两个真空设备之间的通信，也可以用于放大真空设备和评估装置之间的通信。

特别地，放大装置可以远离评估装置设置并且可以与第一真空设备和/或第二真空设备一起设置或者也可以远离它们。

通过该实施例实现的是：如上所述的不具有对通信连接的访问或仅具有对通信连接差的访问的真空设备仍然能够与远程评估装置通信。

本文开头提到的目的还通过一种评估装置来实现，该评估装置包括：无线接口模块，该无线接口模块设计为用于与远离评估装置的真空设备的无线接口模块通信，并且从真空设备接收监测到的运行参数；和计算模块，该计算模块设计为：用于评估接收到的运行参数。

真空设备特别可以是先前描述的实施例，特别可以是第一真空设备。

在此，借助于合适的处理器评估运行参数。特别地，运行参数可以由计算模块随时间评估。例如，即使是运行参数的最小变化也可以被识别，并且可以推断出真空设备的部件的失效或即将进行的真空设备的部件的所需的维护或更换。

根据一个实施例，计算模块设计为：用于借助于人工智能评估接收到的运行参数。

在此，特别地，计算模块可以是基于机器学习的人工智能，该人工智能例如使用神经网络。

通过该实施例实现不再需要人工干预的特别有效地和自动化地评估。

根据一个实施例，评估装置的接口模块还设计为：用于基于真空设备的运行参数的评估将控制参数提供至真空设备。

关于评估装置的其他优点和实施例，还参考真空设备的先前描述的优点和实施例。

本文开头提到的目的同样通过一种通信系统来实现，该通信系统包括如上所描述的真空设备的实施例以及如上所描述的评估装置的实施例。

根据一个实施例，通信系统还包括第二真空设备，该第二真空设备包括：监测模块，该检测模块设计为：用于监测第二真空设备的运行参数；和无线接口模块，该无线接口模块设计为：用于与评估装置的无线接口模块通信，并且将运行参数提供至评估装置，其中计算模块还设计为：用于评估接收的运行参数。

第二真空设备特别可以是先前描述的第二真空设备的实施例。

关于通信系统的其他优点和实施例，还参考真空设备，特别是第一真空设备和评估装置的先前描述的优点和实施例。

本文开头提到的目的还通过一种用于运行真空设备的方法来实现，该方法包括以下步骤：监测真空设备的运行参数；以及与远离真空设备的评估装置的无线接口模块通信，以便将运行参数提供给评估装置。

该方法可以可选地包括提供真空设备，特别是根据先前描述的实施例之一的真空设备。

特别地，该方法可以部分地或完全地通过先前描述的真空设备的实施例来执行。

本文开头提到的目的同样通过一种用于运行评估装置的方法来实现，该方法包括以下步骤：与远离评估装置的真空设备的无线接口模块通信，以从真空设备接收监测的运行参数；以及评估接收的运行参数。

该方法可以可选地包括提供评估装置，特别是根据先前描述的实施例之一的评估装置。

特别地，该方法可以部分地或完全地通过先前描述的评估装置的实施例来执行。

本文开头提到的目的还通过一种用于运行通信系统的方法来实现，该方法包括以下步骤：监测真空设备的运行参数；与远离真空设备的评估装置的无线接口模块通信，以便将运行参数提供至评估装置，并且接收至远程的评估装置；以及评估接收到的运行参数。

该方法可以可选地包括提供通信系统，特别是根据先前描述的实施例之一的通信系统。

特别地，该方法可以部分地或完全地通过先前描述的通信系统的实施例来执行。

关于该方法的优点和实施例，参考真空设备、评估装置和通信系统的先前描述的优点和实施例。

附图说明

现在根据以下附图描述真空设备的、评估装置的和通信系统的实施例，以及用于运行真空设备的方法的、用于运行评估装置的方法的和用于运行通信系统的方法的实施例。附图示出的是：

图1示出真空设备、评估装置以及通信系统的实施例的示意图；和

图2示出用于运行真空设备的方法的、用于运行评估装置的方法的和用于运行通信系统的方法的实施例的流程图。

在此，相同的附图标记表示相同或相似的特征。

附图标记列表

1通信系统

10第一真空设备

11监测模块

12 接口模块

13 控制模块

20 第二真空设备

21 监测模块

22 接口模块

23 控制模块

30 第三真空设备

31 监测模块

32 接口模块

33 控制模块

40 第四真空设备

41 监测模块

42 接口模块

43 控制模块

50 评估装置

51 计算模块

52 接口模块

60 放大装置

70 工业现场

100 方法

101 方法步骤

102 方法步骤

103 方法步骤

104 方法步骤

105 方法步骤

106 方法步骤

107 方法步骤

具体实施方式

图1示出真空设备10的、评估装置50的以及通信系统1的实施例的示意图。

在此，通信系统1例如具有第一真空设备10、第二真空设备20、第三真空设备30和第四真空设备40。可以理解的是：通信系统1可以包括更少的真空设备，例如单个的或恰好两个真空设备，还可以包括更多的真空设备，例如五个、十个或更多个真空设备。如果在下文中一般使用术语“真空设备”，则意味着单个和多个真空设备。

在此，真空设备同样示例性地在公共的地点示出，例如处于公共的工业大厅和/或公共的工业现场70，特别是真空设备的单个持有者或所有人处。

通信系统1还包括评估装置50，该评估装置50远离真空设备设置，并且尤其远离工业现场70设置。如示例性地示出的，评估装置50至少部分地位于云中。替代地或附加地，评估装置50的至少一部分可以位于真空设备的制造商或分销商处。

通信系统1还包括放大装置60，该放大装置60与真空设备一起同样设置在工业现场70放大装置60。替代地或附加地，放大装置也可以设置在远离工业现场70的地点。

在此，第一真空设备10包括监测模块11、无线接口模块12和控制模块13。第二真空设备20、第三真空设备30和第四真空设备40同样分别包括监测模块41、无线接口模块42和控制模块43。

评估装置50包括无线接口模块52，并且放大装置60同样包括无线接口模块62。在此，真空设备、评估装置50和放大装置60的无线接口模块都设计为：用于相互通信。

附加地，真空设备、评估装置50和/或放大装置60可以包括为清楚起见未示出的其他模块。例如，真空设备可以包括一个或多个存储模块和/或一个或多个处理器模块。

在此，真空设备的相应的监测模块持续监测相应的真空设备的运行参数，并将该运行参数存储在存储模块中。于是，在预定义的时间段之后或在出现预定义的事件时，相应的无线接口模块经由相应的无线接口模块将运行参数直接或间接地提供至远程评估装置50，如在下文描述的那样。

在此，在图1中示例性地示出：第一真空设备10的无线接口模块12与放大装置60的无线接口模块62通信，并且将第一真空设备10监测到的运行参数提供至放大装置60。这例如因为第一真空设备10处于工业现场70的不利场所而进行，在该场所处该第一真空设备10不具有足够的无线接收，进而无法与评估装置50直接通信。放大装置60然后将从第一真空设备接收的运行参数提供至远程评估装置50。

同样如图1所示，第二真空设备20和第三真空设备30或它们的无线接口模块具有足够的无线接收，并将它们监测的运行参数直接提供至远程评估装置50。

图1还示例性地示出：第四真空设备40的无线接口模块42与第三真空设备32的无线接口模块32通信，进而第四真空设备40将第四真空设备40监测的运行参数提供至第三真空设备30，而不是直接提供至评估装置50。这尤其可以在当第四真空设备40处于工业现场70处的不利场所时进行，在该工业现场该第四真空设备40没有足够的无线接收，进而无法与评估装置50直接通信，并且也没有放大设备60如之前描述的那样处于有效范围内。

接收的运行参数然后在评估装置50处评估，并且基于该创建控制参数并且将控制参数提供至相应的真空设备。在第一真空设备10的情况下，这重新经由放大装置60来进行；在第二真空设备20和第三真空设备30的情况下，这分别直接进行；并且在第四真空设备40的情况下，这经由第三真空设备30来进行。

基于接收的控制参数，然后借助于相应的控制模块控制真空设备的功能。在此，如上所述，第一真空设备和/或第二真空设备的功能的例如关闭、开启和/或限制取决于控制参数。

图2示出用于运行真空设备的、用于运行评估装置的和用于运行通信系统的方法100的实施例的流程图。

在方法100的第一步骤101中，监测第一真空设备的运行参数。

在另一步骤102中，无线接收第一真空设备附近的第二真空设备的运行参数。

在随后的步骤103中，监测的运行参数被无线地提供至远离第一真空设备的评估装置，并且在该评估装置处被无线地接收。这可以直接地或经由放大装置进行。

在另一步骤104中，第一真空设备和第二真空设备的接收的运行参数在远程评估装置处被评估。这借助于人工智能来进行。

在随后的步骤105中，基于对第一真空设备和第二真空设备的运行参数的评估，在评估装置处创建用于第一真空设备和第二真空设备的控制参数，并且将该控制参数无线地提供至第一真空设备。这可以直接地或经由放大装置进行。

在另一步骤106中，第一真空设备将用于第二真空设备的控制参数无线地提供至第二真空设备。

在随后的步骤107中，用于第一真空设备的控制参数在第一真空设备处实施，并且用于第二真空设备的控制参数在第二真空设备处实施，以控制第一真空设备和第二真空设备。在此，第一真空设备和/或第二真空设备的功能的例如关闭、开启和/或限制取决于控制参数。

Claims (15)

1.一种真空设备(10)，包括：

-监测模块(11)，其设计为：用于监测所述真空设备(10)的运行参数；和

-无线接口模块(12)，其设计为：用于与远离所述真空设备(10)的评估装置(50)的无线接口模块(52)通信，并且将所述运行参数提供至所述评估装置(50)。

2.根据权利要求1所述的真空设备(10)，其中所述真空设备(10)的所述无线接口模块(12)设计为：用于与第二真空设备(20)的无线接口模块(22)通信，并且从所述第二真空设备(20)接收所述第二真空设备(20)的运行参数，其中所述真空设备(10)的所述无线接口模块(12)还设计为：用于将所述第二真空设备(20)的所述运行参数提供至所述评估装置(50)。

3.根据前述权利要求中任一项所述的真空设备(10)，还包括控制模块(13)，其中所述真空设备(10)的所述无线接口模块(12)还设计为：用于从所述评估装置(50)接收控制参数，以控制所述真空设备的所述控制模块(13)。

4.根据权利要求2或3所述的真空设备(10)，其中所述真空设备(10)的所述无线接口模块(12)还设计为：用于从所述评估装置(50)接收用于所述第二真空设备(20)的控制参数，并且将所述控制参数提供至所述第二真空设备(20)的所述接口模块(22)。

5.根据权利要求3或4所述的真空设备(10)，

其中所述真空设备(10)的功能的关闭取决于所述控制参数。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的真空设备(10)，

其中所述真空设备(10)的功能的开启取决于所述控制参数。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的真空设备(10)，

其中所述真空设备(10)的功能的限制取决于所述控制参数。

8.根据前述权利要求中任一项所述的真空设备，其中所述无线接口模块(12)设计为：用于在LongRange通信标准下与所述评估装置(50)通信。

9.根据前述权利要求中任一项所述的真空设备(10)，其中所述真空设备(10)的无线接口模块(12)还设计为：用于检查与所述评估装置(50)的所述无线接口模块(52)的通信连接，并且如果不存在所述通信连接，则将所述运行参数提供至放大装置(60)。

10.一种评估装置(50)，包括：

-无线接口模块(52)，其设计为：用于与远离所述评估装置(50)的真空设备(10)的无线接口模块(12)通信，并且从所述真空设备(10)接收监测的运行参数；和

-计算模块(51)，其设计为：用于评估接收的运行参数，

特别地，其中所述计算模块(51)设计为：用于借助于人工智能评估所述接收的运行参数。

11.根据权利要求10所述的评估装置(50)，其中所述评估装置(50)的所述接口模块(52)还设计为：用于基于第一真空设备(10)的所述运行参数的评估将控制参数提供至所述真空设备(10)。

12.一种通信系统(1)，包括：

-根据权利要求1至9中任一项所述的真空设备(10)；和

-根据权利要求10或11所述的评估装置(50)，

特别地，其中所述通信系统还包括：

-第二真空设备(20)，所述第二真空设备包括：

-监测模块(21)，其设计为：用于监测所述第二真空设备(20)的运行参数；和

-无线接口模块(22)，其设计为：用于与所述评估装置(50)的所述无线接口模块(52)通信，并且将所述运行参数提供至所述评估装置(50)，

其中所述计算模块(51)还设计为：用于评估接收的运行参数。

13.一种用于运行真空设备(10)的方法，包括以下步骤：

-监测所述真空设备(10)的运行参数；和

-与远离所述真空设备(10)的评估装置(50)的无线接口模块(52)通信，以将所述运行参数提供至所述评估装置(50)。

14.一种用于运行评估装置(50)的方法，包括以下步骤：

-与远离所述评估装置(50)的真空设备(10)的无线接口模块(12)通信，以从所述真空设备(10)接收监测的运行参数；和

-评估接收的运行参数。

15.一种用于运行通信系统的方法(1)，包括以下步骤：

-监测真空设备(10)的运行参数；

-与远离所述真空设备的评估装置(50)的无线接口模块(52)通信，以将所述运行参数提供至所述评估装置(50)，并且将所述运行参数接收至远程的所述评估装置(50)；和

-评估接收的运行参数。