CN117300807A - 一种多线切割机主辊的集成式加工装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多线切割机主辊的集成式加工装置，包括机身，所述机身内壁设置有线槽加工机构，所述线槽加工机构包括安装于机身顶部的第一导轨组，所述第一导轨组活动连接有第一位移板与第二位移板，所述第一位移板顶部固接有夹持卡盘，所述第二位移板顶端固接有尾顶架，所述机身顶部安装有平行于第一导轨组的第二导轨组，所述第二导轨组活动连接有第三位移板，所述第三位移板的顶端活动安装有刀架；通过线槽加工机构模块化，夹持卡盘与尾顶架可纵向运动，刀架可纵向与横向运动，当工件长度较小时可通过工件移动磨削，当工件长度较大时，可通过刀架移动磨削加工，提高了整机的工作效率与加工精度，提升了设备适应范围。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆片加工领域，尤其涉及一种多线切割机主辊的集成式加工装置。
背景技术
光伏产业对硅片的需求日益增大，为保证高质量、高效率和低损耗地对硅棒进行切割，多线切割技术在切片加工中得到了广泛的应用。多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法，数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式；
多线切割机主辊是一根高精度主轴，主辊是多线切割机主轴系统的关键零件，要求具有足够的刚性、强度以及较轻的重量来实现高速旋转运动，它的精度对切割材料的精度起着至关重要的作用。现有技术中，通常采用车刀加工主辊上的线槽，且自动化程度较低，人为操作失误较多，加工精度难以保证，槽型也不工整，形状和精度都比较差，目前多线切割机主辊加工时的基准难以统一，也就难以保证图纸要求的各项形位精度。
因此，亟需一种多线切割机主辊的集成式加工装置来解决上述问题。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种多线切割机主辊的集成式加工装置。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种多线切割机主辊的集成式加工装置，包括机身，所述机身内壁设置有线槽加工机构，所述线槽加工机构包括安装于机身顶部的第一导轨组，所述第一导轨组活动连接有第一位移板与第二位移板，所述第一位移板顶部固接有夹持卡盘，所述第二位移板顶端固接有尾顶架，所述机身顶部安装有平行于第一导轨组的第二导轨组，所述第二导轨组活动连接有第三位移板，所述第三位移板的顶端活动安装有刀架，所述第三位移板与刀架之间共同连接有第三导轨组，所述所述第三位移板与刀架之间共同连接有液压伸缩器；
同轴度调节组件，所述同轴度调节组件设置在线槽加工机构上，所述线槽加工机构内设置有用于检测加工精度的激光测量传感器。
优选地，所述刀架一侧上安装有用于磨削工件的磨片，所述磨片通过刀架驱动旋转磨削工件。
优选地，所述夹持卡盘卡接与工件的一侧，所述夹持卡盘通过伺服电机驱动带动工件转动。
优选地，所述机身一侧壁固定连接有数字控制面板，所述数字控制面板用于控制线槽加工机构的运动。
优选地，所述激光测量传感器通过距离监测用于控制液压伸缩器的进给量，所述激光测量传感器通过检测工件轮廓用于检测工件的加工精度。
优选地，所述激光测量传感器探测口安装有用于格挡碎屑的挡板。
优选地，所述同轴度调节组件包括尾顶杆，所述尾顶杆侧壁上安装有相同的四个第一距离探测器，所述相同的四个第一距离探测器分别两两呈90°，所述尾顶杆的一侧安装有相同的四个液压调节杆，所述相同的四个液压调节杆分别两两呈90°，所述夹持卡盘上固定安装有的探测杆，所述探测杆上安装有相同的四个第二距离探测器，所述相同的四个第二距离探测器分别两两呈90°。
优选地，所述尾顶杆与探测杆位于同一水平直线。
优选地，所述相同的四个第一距离探测器与相同的四个液压调节杆一一对应分布，所述相同的四个第一距离探测器与相同的四个第二距离探测器一一对应分布。
优选地，所述尾顶杆上安装有用于转动的滚珠轴承。
本发明的有益效果：
1、通过线槽加工机构模块化，夹持卡盘与尾顶架可纵向运动，刀架可纵向与横向运动，当工件长度较小时可通过工件移动磨削，当工件长度较大时，可通过刀架移动磨削加工，提高了整机的工作效率与加工精度，提升了设备适应范围。
2、通过同轴度调节组件的自动调整工件的同轴度，由距离探测器实时探测工件内壁两侧的位置，并由液压调节杆调节工件两端的位置，达到处于水平直线，自动调节工件同轴度，确保加工精度，提高工作效率，减少人为失误。
3、通过激光测量传感器检测工件轮廓用于检测工件的加工精度，通过激光测量传感器的精确定位，大大的提高了价格效率。
附图说明
图1为本发明提出的一种多线切割机主辊的集成式加工装置的整体结构示意图；
图2为本发明提出的一种多线切割机主辊的集成式加工装置的线槽加工机构示意图；
图3为本发明提出的一种多线切割机主辊的集成式加工装置的夹持卡盘示意图；
图4为本发明提出的一种多线切割机主辊的集成式加工装置的尾顶架示意图。
图中：1、机身；2、线槽加工机构；21、第一导轨组；22、第一位移板；23、第二位移板；24、夹持卡盘；25、尾顶架；26、第二导轨组；27、第三位移板；28、刀架；29、第三导轨组；210、液压伸缩器；3、同轴度调节组件；31、尾顶杆；32、液压调节杆；33、探测杆；34、第二距离探测器；35、第一距离探测器；4、激光测量传感器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
参照图1-4，一种多线切割机主辊的集成式加工装置，包括机身1，机身1内壁设置有线槽加工机构2，线槽加工机构2包括安装于机身1顶部的第一导轨组21，第一导轨组21活动连接有第一位移板22与第二位移板23，第一位移板22顶部固接有夹持卡盘24，第二位移板23顶端固接有尾顶架25，机身1顶部安装有平行于第一导轨组21的第二导轨组26，第二导轨组26活动连接有第三位移板27，第三位移板27的顶端活动安装有刀架28，第三位移板27与刀架28之间共同连接有第三导轨组29，第三位移板27与刀架28之间共同连接有液压伸缩器210，通过线槽加工机构2磨削加工，保证了工件精度，且该结构简单，通过数控操控，提高效率；
同轴度调节组件3，同轴度调节组件3设置在线槽加工机构2上，线槽加工机构2内设置有用于检测加工精度的激光测量传感器4。
具体的，刀架28一侧上安装有用于磨削工件的磨片，磨片通过刀架28驱动旋转磨削工件，通过磨削加工，保证了工件精度。
具体的，夹持卡盘24卡接工件的一侧，夹持卡盘24通过伺服电机驱动带动工件转动，通过伺服电机提高该装置的加工效率与加工精度。
具体的，机身1一侧壁固定连接有数字控制面板，数字控制面板用于控制线槽加工机构2的运动，通过数控操控，提高效率与精度，减少人为操作带来的失误。
具体的，激光测量传感器4通过距离监测用于控制液压伸缩器210的进给量，激光测量传感器4通过检测工件轮廓用于检测工件的加工精度，通过激光测量传感器4的精确定位，大大的提高了价格效率。
具体的，激光测量传感器4探测口安装有用于格挡碎屑的挡板，通过增设挡板，减少碎屑的影响，提高激光测量传感器4的监测精度。
具体的，同轴度调节组件3包括尾顶杆31，尾顶杆31侧壁上安装有相同的四个第一距离探测器35，相同的四个第一距离探测器35分别两两呈90°，尾顶杆31的一侧安装有相同的四个液压调节杆32，相同的四个液压调节杆32分别两两呈90°，夹持卡盘24上固定安装有的探测杆33，探测杆33上安装有相同的四个第二距离探测器34，相同的四个第二距离探测器34分别两两呈90°，通过同轴度调节组件3提高该设备的自动化程度，提高工作效率与加工精度。
具体的，尾顶杆31与探测杆33位于同一水平直线，通过提前设置基准，减少操作步骤，提高工作效率。
具体的，相同的四个第一距离探测器35与相同的四个液压调节杆32一一对应分布，相同的四个第一距离探测器35与相同的四个第二距离探测器34一一对应分布，通过第一距离探测器35与二距离探测器34以及液压调节杆32的对应分布，设置基准参数，减少操作步骤，提高工作效率。
具体的，尾顶杆31上安装有用于转动的滚珠轴承，通过滚珠轴承减少了摩擦，提高加工精度。
工作原理：本发明使用时，将工件通过夹持卡盘24与尾顶架25装夹固定，并通过同轴度调节组件3调节工件的同轴度，通过对应的同一水平直线且相互对应的第二距离探测器34与第一距离探测器35，分别确定四个液压调节杆32的伸缩距离，完成调节后，通过移动刀架28对刀，对刀完成后，工件开始转动，通过激光测量传感器4控制，确保加工精度，对刀后，通过激光测量传感器4控制液压伸缩器210推动磨刀片进给量，加工运动方式：当工件长度较小时可通过工件移动磨削，当工件长度较大时，可通过刀架移动磨削加工。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于，包括：
机身（1），所述机身（1）内壁设置有线槽加工机构（2），所述线槽加工机构（2）包括安装于机身（1）顶部的第一导轨组（21），所述第一导轨组（21）活动连接有第一位移板（22）与第二位移板（23），所述第一位移板（22）顶部固接有夹持卡盘（24），所述第二位移板（23）顶端固接有尾顶架（25），所述机身（1）顶部安装有平行于第一导轨组（21）的第二导轨组（26），所述第二导轨组（26）活动连接有第三位移板（27），所述第三位移板（27）的顶端活动安装有刀架（28），所述第三位移板（27）与刀架（28）之间共同连接有第三导轨组（29），所述所述第三位移板（27）与刀架（28）之间共同连接有液压伸缩器（210）；
同轴度调节组件（3），所述同轴度调节组件（3）设置在线槽加工机构（2）上，所述线槽加工机构（2）内设置有用于检测加工精度的激光测量传感器（4）。
2.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述刀架（28）一侧上安装有用于磨削工件的磨片，所述磨片通过刀架（28）驱动旋转磨削工件。
3.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述夹持卡盘（24）卡接与工件的一侧，所述夹持卡盘（24）通过伺服电机驱动带动工件转动。
4.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述机身（1）一侧壁固定连接有数字控制面板，所述数字控制面板用于控制线槽加工机构（2）的运动。
5.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述激光测量传感器（4）通过距离监测用于控制液压伸缩器（210）的进给量，所述激光测量传感器（4）通过检测工件轮廓用于检测工件的加工精度。
6.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述激光测量传感器（4）探测口安装有用于格挡碎屑的挡板。
7.根据权利要求1所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述同轴度调节组件（3）包括尾顶杆（31），所述尾顶杆（31）侧壁上安装有相同的四个第一距离探测器（35），所述相同的四个第一距离探测器（35）分别两两呈90°，所述尾顶杆（31）的一侧安装有相同的四个液压调节杆（32），所述相同的四个液压调节杆（32）分别两两呈90°，所述夹持卡盘（24）上固定安装有的探测杆（33），所述探测杆（33）上安装有相同的四个第二距离探测器（34），所述相同的四个第二距离探测器（34）分别两两呈90°。
8.根据权利要求6所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述尾顶杆（31）与探测杆（33）位于同一水平直线。
9.根据权利要求6所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述相同的四个第一距离探测器（35）与相同的四个液压调节杆（32）一一对应分布，所述相同的四个第一距离探测器（35）与相同的四个第二距离探测器（34）一一对应分布。
10.根据权利要求6所述的一种多线切割机主辊的集成式加工装置，其特征在于：所述尾顶杆（31）上安装有用于转动的滚珠轴承。
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