CN117284939B - 一种智能晶圆自动搬运装置速度控制系统及方法 - Google Patents

一种智能晶圆自动搬运装置速度控制系统及方法 Download PDF

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Abstract

本发明属于天车控制系统领域，公开了一种智能晶圆自动搬运装置速度控制系统及方法，包括：采集天车运行过程中的数据信息；对数据信息进行数据处理，获取天车的路径信息，以及相邻两辆天车之间的距离；根据路径信息将相邻两辆天车之间的距离与预设安全距离阈值范围进行比对，并根据比对结果判定是否生成控制指令。本发明通过实时获取相邻两个天车在行进轨道上的距离，并根据天车的路径信息，精准化制定天车在不同路径情况下的安全距离，可以控制天车在不同路径情况下根据具体的安全距离进行减速报警或停车报警，提高天车的运行效率。

Description

一种智能晶圆自动搬运装置速度控制系统及方法
技术领域
本发明属于天车控制系统技术领域，具体涉及一种智能晶圆自动搬运装置速度控制系统及方法。
背景技术
晶圆的生产过程在无尘厂房中进行，装载有多片晶圆的晶圆盒通过天车运输，将晶圆盒运送至不同的位置或装载端口中，当天车在天轨上移动时，如果在移动路径上与其他天车之间的距离过近，或其他天车出现故障等因素，可能会引发意外碰撞，造成晶圆损坏，带来经济损失，影响生产进程。
如申请公开号为CN114104635A的专利公开了一种晶圆自动搬运天车，其通过优化天车的移动驱动机构，在提高天车运行稳定性的同时，可以适当提高天车的运行速度，提高晶圆搬运效率。
上述专利虽然可以实现对晶圆搬运时天车速度的控制，但还存在如下问题：
在利用天车搬运晶圆时，不能实时获取相邻两个天车之间的距离，容易因前置天车故障，导致后置天车与前置天车发生碰撞，由于天车运行轨道的路径有直线和弯道，且天车在直线轨道上的移动速度比天车在弯道轨道上的移动速度要快，因此天车在直线轨道上的危险距离与弯道轨道上的危险距离也不相同，若采用统一的危险距离对天车进行停车控制，过早地控制后置天车停车，若前置天车重启后，后置天车也需要再次重启，如此，则会导致天车搬运效率低，需要进行改进。
发明内容
本发明的目的在于提供一种智能晶圆自动搬运装置速度控制系统及方法，用于解决背景技术中提出的技术问题。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法，包括：采集天车运行过程中的数据信息；对数据信息进行数据处理，并获取天车的路径信息，以及相邻两辆天车之间的距离；根据路径信息将相邻两辆天车之间的距离与预设安全距离阈值范围进行比对，并根据比对结果判定是否生成控制指令；根据数据分析模块生成的控制指令对天车的移动速度进行控制。
优选的，所述天车运行过程中的数据信息包括天车的移动速度和路径信息；所述移动速度通过设置在天车上的光电速度传感器获取；所述路径信息通过设置在天车上的标签读取单元读取RFID标签，获取天车的路径信息。
优选的，天车的路径信息包括：第一路径信息、第二路径信息与第三路径信息，第一路径信息为两辆天车同在直线轨道上；第二路径信息为一辆天车在直线轨道上，另一辆天车在弯道轨道上；第三路径信息为两辆天车均在弯道轨道上。
优选的，相邻两辆天车之间的距离的获取方法如下：在天车轨道的起始端、轨道上弯道开始端和轨道上弯道结束端均设有RFID标签，并标记为；获取前置天车最新一次读取标签/>的时间/>，/>为前置天车读取天车轨道上序号为/>的RFID标签；/>为前置天车读取序号为/>的RFID标签对应的时间；获取后置天车最近一次读取标签/>的时间/>，为后置天车读取天车轨道上序号为/>的RFID标签；/>为后置天车读取序号为/>的RFID标签对应的时间；获取标签/>与标签/>之间的距离/>；
；
式中，为相邻两辆天车之间的距离，/>为当前时间，/>为前置天车经过标签后的移动速度，所述平均移动速度为前置天车经过标签/>的时间至当前时间/>之间移动速度的平均值，/>为后置天车经过标签/>后的平均移动速度，所述平均移动速度为后置天车经过标签/>的时间至当前时间/>之间移动速度的平均值。
优选的，天车的路径信息的生成方法如下：获取前置天车和后置天车最新一次读取的标签和标签/>；若/>与/>相同，则获取/>的位置信息（位置信息即RFID位于天车轨道上的位置），若/>为轨道起始端或轨道上弯道结束端的RFID标签，则判定生成第一路径信息；若/>为轨道上弯道开始端的RFID标签，则判定生成第三路径信息；若/>与/>不相同，则获取/>和/>的位置信息，并判断/>和/>是否相邻，若/>和/>相邻，则判定生成第二路径信息；若/>和/>不相邻，则不生成路径信息。
优选的，将安全距离阈值范围标记为，具体生成方法如下：
根据历史碰撞事故的两辆天车之间的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为历史碰撞事故的两辆天车之间的平均距离；
根据历史两辆天车之间正常行驶距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为历史两辆天车之间正常行驶的平均距离。
优选的，所述安全距离阈值范围具体包括如下几种：若两辆天车的路径信息为第一路径信息，则安全距离阈值范围为，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；若两辆天车的路径信息为第二路径信息，则安全距离阈值范围为/>，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；若两辆天车的路径信息为第三路径信息，则安全距离阈值范围为/>，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；其中/>且/>。
优选的，所述控制指令的生成方式如下：若两辆天车的路径信息为第一路径信息，且，则生成控制指令；若两辆天车的路径信息为第二路径信息，且，则生成控制指令；若两辆天车的路径信息为第三路径信息，且/>，则生成控制指令。
优选的，所述控制指令包括减速报警指令和停车报警指令，所述减速报警指令的生成方法如下：当两辆天车的路径信息为第一路径信息时，若，则生成减速报警指令；当两辆天车的路径信息为第二路径信息时，若/>，则生成减速报警指令；当两辆天车的路径信息为第三路径信息时，若/>，则生成减速报警指令。
优选的，所述停车报警指令的生成方法如下：当两辆天车的路径信息为第一路径信息时，若且/>，则生成停车报警指令；当两辆天车的路径信息为第二路径信息时，若/>且/>，则生成停车报警指令；当两辆天车的路径信息为第三路径信息时，若/>且/>，则生成停车报警指令。
一种智能晶圆自动搬运装置速度控制系统，实施所述的智能晶圆自动搬运装置速度控制方法，包括：
数据采集模块，用于采集天车运行过程中的数据信息；
数据处理模块，用于对数据信息进行数据处理，获取天车的路径信息，以及相邻两辆天车之间的距离；
数据分析模块，用于根据路径信息将相邻两辆天车之间的距离与预设安全距离阈值范围进行比对，并根据比对结果判定是否生成控制指令；
控制模块，用于根据控制指令对天车的移动速度进行控制。
一种电子设备，包括存储器、处理器以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现所述的一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法。
一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现所述的一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
1、本发明通过实时获取相邻两个天车在行进轨道上的距离，并根据天车的路径信息，精准化制定天车在不同路径情况下的安全距离，可以控制天车在不同路径情况下根据具体的安全距离进行减速报警或停车报警，避免后置天车在运行过程中因前置天车故障过早停车导致影响工作效率的问题。
2、本发明通过在轨道上设置若干个RFID标签，实时对天车的位置和相邻两个天车的距离进行监测，并根据具体情况对天车的移动速度进行控制，达到以防碰撞的目的，可以适用于多种天车轨道。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了本发明的方法流程图；
图2示出了本发明的系统模块图；
图3示出了本发明的电子设备示意图。
附图标记：100、数据采集模块；200、数据处理模块；300、数据分析模块；400、控制模块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1
如图2所示，一种智能晶圆自动搬运装置速度控制系统，包括数据采集模块100、数据处理模块200、数据分析模块300和控制模块400；
数据采集模块100，用于采集天车运行过程中天车的移动速度和路径信息；其中，天车的移动速度由光电速度传感器采集，光电传感器安装在天车上；天车的路径信息通过天车轨道上设置的RFID标签反映，天车上设有标签读取单元，具体可以为RFID读卡器，用于读取设置在天车轨道上的RFID标签；
数据处理模块200用于对数据采集模块100采集的数据进行数据处理，获取天车的路径信息，以及相邻两辆天车之间的距离；
天车的路径信息包括：第一路径信息、第二路径信息与第三路径信息；
具体的，第一路径信息为两辆天车同在直线轨道上；第二路径信息为一辆天车在直线轨道上，另一辆天车在弯道轨道上；第三路径信息为两辆天车均在弯道轨道上；
相邻两辆天车之间的距离的获取方法如下：在天车轨道的起始端、轨道上弯道开始端和轨道上弯道结束端均设有RFID标签，并标记为；获取前置天车最新（最近）一次读取标签/>的时间/>，/>为前置天车读取天车轨道上序号为/>的RFID标签；/>为前置天车读取序号为/>的RFID标签对应的时间；
获取后置天车最近一次读取标签的时间/>，/>为后置天车读取天车轨道上序号为/>的RFID标签；/>为后置天车读取序号为/>的RFID标签对应的时间；获取标签与标签/>之间的距离/>；
；
式中，为相邻两辆天车之间的距离，/>为当前时间，/>为前置天车经过标签后的平均移动速度，所述平均移动速度为前置天车经过标签/>的时间至当前时间/>之间移动速度的平均值，/>为后置天车经过标签/>后的平均移动速度，所述平均移动速度为后置天车经过标签/>的时间至当前时间/>之间移动速度的平均值；其中/>越大，则表示两辆天车之间越安全；
具体的，的获取方法如下：
多次采集前置天车经过标签的时间至当前时间/>之间移动速度，标记为/>，为1、2、3.../>，则：
；
式中，为前置天车经过标签/>后的平均移动速度；
具体的，的获取方法如下：
多次采集前置天车经过标签的时间至当前时间/>之间的移动速度，标记为/>，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为后置天车经过标签/>后的平均移动速度。
进一步的，天车的路径信息具体生成方法如下：
获取前置天车和后置天车最近（最新）一次读取的标签和标签/>；若/>与/>相同（/>与/>的序号相同即/>与/>在天车轨道上的位置相同），则获取/>的位置信息，即标签/>位于天车轨道上的位置，若/>为天车轨道起始端或轨道上弯道结束端的RFID标签，则判定生成两辆天车同在直线轨道上的路径信息；
若为轨道上弯道开始端的RFID标签，则判定生成两辆天车都在弯道轨道上的路径信息；
若与/>不相同，则通过系统获取/>和/>的位置信息，并判断/>和/>是否相邻，若/>和/>相邻，则判定生成一辆天车在直线轨道上，另一辆天车在弯道轨道上的路径信息；若/>和/>不相邻，则不生成路径信息。
数据分析模块300根据路径信息，将相邻两辆天车之间的距离与预设安全距离阈值范围进行比对，并根据比对结果判定是否生成控制指令；
将安全距离阈值范围标记为，具体生成方法如下：
根据历史碰撞事故的两辆天车之间的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为历史碰撞事故的两辆天车之间的平均距离；
最后，根据历史两辆天车之间正常行驶距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为历史两辆天车之间正常行驶的平均距离，得到安全距离阈值范围/>。
由于在不同路径信息情况下，天车的移动速度不同，因此相对的安全距离阈值范围也不同，具体包括如下几种：若两辆天车的路径信息为第一路径信息，则安全距离阈值范围为，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；若两辆天车的路径信息为第二路径信息，则安全距离阈值范围为/>，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；若两辆天车的路径信息为第三路径信息，则安全距离阈值范围为，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；其中/>且/>。
其中安全距离阈值范围为的具体生成方法如下：
根据历史直线轨道上发生碰撞事故的两辆天车之间的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为直线轨道上碰撞事故的两辆天车之间的平均距离；
最后，根据历史直线轨道上两辆天车之间正常行驶的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为直线轨道上两辆天车之间正常行驶的平均距离，得到安全距离阈值范围/>；
安全距离阈值范围为的具体生成方法如下：
根据历史直线和弯道轨道上发生碰撞事故的两辆天车之间的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为直线和弯道轨道上碰撞事故的两辆天车之间的平均距离；
最后，根据历史直线和弯道轨道上两辆天车之间正常行驶的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为直线和弯道轨道两辆天车之间正常行驶的平均距离，得到安全距离阈值范围/>；
安全距离阈值范围为的具体生成方法如下：
根据历史弯道轨道上发生碰撞事故的两辆天车之间的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为弯道轨道上碰撞事故的两辆天车之间的平均距离；
最后，根据历史弯道轨道上两辆天车之间正常行驶的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为弯道轨道两辆天车之间正常行驶的平均距离，得到安全距离阈值范围。
控制指令的生成方式如下：若两辆天车的路径信息为第一路径信息时，且，则生成控制指令；若两辆天车的路径信息为第二路径信息时，且，则生成控制指令；若两辆天车的路径信息为第三路径信息时，且，则生成控制指令。
控制模块400，用于根据数据分析模块300生成的控制指令对天车的移动速度进行控制；
其中，控制指令包括减速报警指令和停车报警指令，减速报警指令和停车报警指令的生成方法如下：当两辆天车的路径信息为第一路径信息时，若，则生成减速报警指令，此时控制模块控制后置天车减速并报警，此时工作人员可以重启前置天车或对前置天车出现的故障进行维修；若前置天车故障未解除，此时/>持续减小，且/>时，也即/>无限趋近于/>时，则表明后置天车与前置天车之间的距离越来越小并且即将达到碰撞，则生成停车报警指令，控制后置天车停车并报警；
当两辆天车的路径信息为第二路径信息时，若，则生成减速报警指令，此时控制模块控制后置天车减速并报警，此时工作人员可以重启前置天车或对前置天车出现的故障进行维修；若前置天车故障未解除，此时/>持续减小，且/>时，则生成停车报警指令，控制后置天车停车并报警；
当两辆天车的路径信息为第三路径信息时，若，则生成减速报警指令，此时控制模块控制后置天车减速并报警，此时工作人员可以重启前置天车或对前置天车出现的故障进行维修；若前置天车故障未解除，此时/>持续减小，且/>时，则生成停车报警指令，控制后置天车停车并报警。
综上，本发明可以根据相邻两辆天车在不同路径情况下，确定不同的安全距离，精准化控制天车之间的距离，避免出现碰撞现象，同时可以避免后置天车在运行过程中因前置天车故障过早停车导致影响工作效率的问题。
实施例2
如图1所示，一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法，基于所述的智能晶圆自动搬运装置速度控制系统来实现，包括如下步骤：
步骤一：采集天车运行过程中的数据信息；
具体的，数据信息包括天车的移动速度和路径信息；移动速度通过设置在天车上的光电速度传感器获取；路径信息通过设置在天车上的标签读取单元读取天车轨道上的RFID标签，获取天车的路径信息；
天车的路径信息包括第一路径信息、第二路径信息与第三路径信息，第一路径信息为两辆天车同在直线轨道上；第二路径信息为一辆天车在直线轨道上，另一辆天车在弯道轨道上；第三路径信息为两辆天车均在弯道轨道上；
步骤二：对数据信息进行数据处理，获取天车的路径信息，以及相邻两辆天车之间的距离；
相邻两辆天车之间的距离的获取方法如下：
在天车轨道的起始端、轨道上弯道开始端和轨道上弯道结束端均设有RFID标签，并标记为；获取前置天车最新（最近）一次读取标签/>的时间/>，/>为前置天车读取天车轨道上序号为/>的RFID标签；/>为前置天车读取序号为/>的RFID标签对应的时间；
获取后置天车最近一次读取标签的时间/>，/>为后置天车读取天车轨道上序号为/>的RFID标签；/>为后置天车读取序号为/>的RFID标签对应的时间；获取标签与标签/>之间的距离/>；
；
式中，为相邻两辆天车之间的距离，/>为当前时间，/>为前置天车经过标签后的平均移动速度，所述平均移动速度为前置天车经过标签/>的时间至当前时间/>之间移动速度的平均值，/>为后置天车经过标签/>后的平均移动速度，所述平均移动速度为后置天车经过标签/>的时间至当前时间/>之间移动速度的平均值；其中/>越大，则表示两辆天车之间越安全；
具体的，的获取方法如下：
多次采集前置天车经过标签的时间至当前时间/>之间移动速度，标记为/>，为1、2、3.../>，则：
；
式中，为前置天车经过标签/>后的平均移动速度；
具体的，的获取方法如下：
多次采集前置天车经过标签的时间至当前时间/>之间的移动速度，标记为/>，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为后置天车经过标签/>后的平均移动速度。
进一步的，天车的路径信息具体生成方法如下：
获取前置天车和后置天车最近（最新）一次读取的标签和标签/>；若/>与/>相同（/>与/>的序号相同即/>与/>在天车轨道上的位置相同），则获取/>的位置信息，即标签/>位于天车轨道上的位置，若/>为天车轨道起始端或轨道上弯道结束端的RFID标签，则判定生成两辆天车同在直线轨道上的路径信息；
若为轨道上弯道开始端的RFID标签，则判定生成两辆天车都在弯道轨道上的路径信息；
若与/>不相同，则通过系统获取/>和/>的位置信息，并判断/>和/>是否相邻，若/>和/>相邻，则判定生成一辆天车在直线轨道上，另一辆天车在弯道轨道上的路径信息；若/>和/>不相邻，则不生成路径信息。
步骤三：根据路径信息将相邻两辆天车之间的距离与预设安全距离阈值范围进行比对，并根据比对结果判定是否生成控制指令；
具体的，将安全距离阈值范围标记为，具体生成方法如下：
根据历史碰撞事故的两辆天车之间的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为历史碰撞事故的两辆天车之间的平均距离；
最后，根据历史两辆天车之间正常行驶距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为历史两辆天车之间正常行驶的平均距离，得到安全距离阈值范围/>；
由于在不同路径信息情况下，天车的移动速度不同，因此相对的安全距离阈值范围也不同，具体包括如下几种：若两辆天车的路径信息为第一路径信息，则安全距离阈值范围为，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；若两辆天车的路径信息为第二路径信息，则安全距离阈值范围为/>，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；若两辆天车的路径信息为第三路径信息，则安全距离阈值范围为/>，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；其中/>且。
其中安全距离阈值范围为的具体生成方法如下：
根据历史直线轨道上发生碰撞事故的两辆天车之间的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为直线轨道上碰撞事故的两辆天车之间的平均距离；
最后，根据历史直线轨道上两辆天车之间正常行驶的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；/>
式中，为直线轨道上两辆天车之间正常行驶的平均距离，得到安全距离阈值范围/>；
安全距离阈值范围为的具体生成方法如下：
根据历史直线和弯道轨道上发生碰撞事故的两辆天车之间的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为直线和弯道轨道上碰撞事故的两辆天车之间的平均距离；
最后，根据历史直线和弯道轨道上两辆天车之间正常行驶的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为直线和弯道轨道两辆天车之间正常行驶的平均距离，得到安全距离阈值范围/>；
安全距离阈值范围为的具体生成方法如下：
根据历史弯道轨道上发生碰撞事故的两辆天车之间的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为弯道轨道上碰撞事故的两辆天车之间的平均距离；
最后，根据历史弯道轨道上两辆天车之间正常行驶的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为弯道轨道两辆天车之间正常行驶的平均距离，得到安全距离阈值范围；
控制指令的生成方式如下：若两辆天车的路径信息为第一路径信息时，且，则生成控制指令；若两辆天车的路径信息为第二路径信息时，且，则生成控制指令；若两辆天车的路径信息为第三路径信息时，且/>，则生成控制指令；
步骤四：根据控制指令对天车的移动速度进行控制；
其中，控制指令包括减速报警指令和停车报警指令，减速报警指令和停车报警指令的生成方法如下：当两辆天车的路径信息为第一路径信息时，若，则生成减速报警指令，此时控制模块控制后置天车减速并报警，此时工作人员可以重启前置天车或对前置天车出现的故障进行维修；若前置天车故障未解除，此时/>持续减小，且/>时，则生成停车报警指令，控制后置天车停车并报警；
当两辆天车的路径信息为第二路径信息时，若，则生成减速报警指令，此时控制模块控制后置天车减速并报警，此时工作人员可以重启前置天车或对前置天车出现的故障进行维修；若前置天车故障未解除，此时/>持续减小，且/>时，则生成停车报警指令，控制后置天车停车并报警；
当两辆天车的路径信息为第三路径信息时，若，则生成减速报警指令，此时控制模块控制后置天车减速并报警，此时工作人员可以重启前置天车或对前置天车出现的故障进行维修；若前置天车故障未解除，此时/>持续减小，且/>时，则生成停车报警指令，控制后置天车停车并报警。
实施例3
请参阅图3所示，本实施例公开提供了一种电子设备，包括存储器、处理器以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述各方法所提供的所述一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法。
实施例4
本实施例公开提供了一种计算机可读存储介质，包括存储器、处理器以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述各方法所提供的所述一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法。
上述实施例，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或其他任意组合来实现。当使用软件实现时，上述实施例可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令或计算机程序。在计算机上加载或执行所述计算机指令或计算机程序时，全部或部分地产生按照本发明实施例所述的流程或功能。所述计算机可以为通用计算机、专用计算机、计算机网络或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一个计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线网络或无线网络方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集合的服务器、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质（例如，软盘、硬盘、磁带）、光介质（例如，DVD）或者半导体介质。半导体介质可以是固态硬盘。
本领域普通技术人员可意识到，结合本发明中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件或者计算机软件和电子硬件的结合来实现。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本发明的范围。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统、装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
在本发明所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其他的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分为，仅仅为一种，实际实现时可以有另外的划分为方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其他的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
最后：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法，其特征在于，包括：
采集天车运行过程中的数据信息；
对数据信息进行数据处理，获取天车的路径信息，以及相邻两辆天车之间的距离；
根据路径信息将相邻两辆天车之间的距离与预设安全距离阈值范围进行比对，并根据比对结果判定是否生成控制指令；
根据控制指令对天车的移动速度进行控制；
所述数据信息包括天车的移动速度和路径信息；
所述移动速度通过设置在天车上的光电速度传感器获取；
所述路径信息通过设置在天车上的标签读取单元读取天车轨道上的RFID标签，获取天车的路径信息；
天车的路径信息包括：第一路径信息、第二路径信息与第三路径信息，第一路径信息为两辆天车同在直线轨道上；第二路径信息为一辆天车在直线轨道上，另一辆天车在弯道轨道上；第三路径信息为两辆天车均在弯道轨道上；
相邻两辆天车之间的距离的获取方法如下：
在天车轨道的起始端、轨道上弯道开始端和轨道上弯道结束端均设有RFID标签，并标记为；
获取前置天车最新一次读取标签的时间/>；/>为前置天车读取天车轨道上序号为/>的RFID标签；/>为前置天车读取序号为/>的RFID标签对应的时间；
获取后置天车最近一次读取标签的时间/>，/>为后置天车读取天车轨道上序号为/>的RFID标签；/>为后置天车读取序号为/>的RFID标签对应的时间；
获取标签与标签/>之间的距离/>；
；
式中，为相邻两辆天车之间的距离，/>为当前时间，/>为前置天车经过标签/>后的平均移动速度，所述平均移动速度为前置天车经过标签/>的时间至当前时间/>之间移动速度的平均值，/>为后置天车经过标签/>后的平均移动速度，所述平均移动速度为后置天车经过标签/>的时间至当前时间/>之间移动速度的平均值；
天车的路径信息的生成方法如下：
获取前置天车和后置天车最新一次读取的标签和/>标签；
若与/>相同，则获取/>的位置信息，若/>为轨道起始端或轨道上弯道结束端的RFID标签，则判定生成第一路径信息；若/>为轨道上弯道开始端的RFID标签，则判定生成第三路径信息；
若与/>不相同，则获取/>和/>的位置信息，并判断/>和/>是否相邻，若/>和/>相邻，则判定生成第二路径信息；若/>和/>不相邻，则不生成路径信息；
将安全距离阈值范围标记为，具体生成方法如下：
根据历史碰撞事故的两辆天车之间的距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为历史碰撞事故的两辆天车之间的平均距离；
根据历史两辆天车之间正常行驶距离进行多次采集，标记为，/>为1、2、3.../>，则：
；
式中，为历史两辆天车之间正常行驶的平均距离；
所述安全距离阈值范围包括：
若两辆天车的路径信息为第一路径信息，则安全距离阈值范围为，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；
若两辆天车的路径信息为第二路径信息，则安全距离阈值范围为，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；
若两辆天车的路径信息为第三路径信息，则安全距离阈值范围为，其中，/>为当前阈值范围的最小值，/>为当前阈值范围的最大值；
其中且/>。
2.如权利要求1所述的一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法，其特征在于，所述控制指令的生成方式如下：
若两辆天车的路径信息为第一路径信息，且，则生成控制指令；
若两辆天车的路径信息为第二路径信息，且，则生成控制指令；
若两辆天车的路径信息为第三路径信息，且，则生成控制指令。
3.如权利要求2所述的一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法，其特征在于，所述控制指令包括减速报警指令和停车报警指令，所述减速报警指令的生成方法如下：
当两辆天车的路径信息为第一路径信息时，若，则生成减速报警指令；
当两辆天车的路径信息为第二路径信息时，若，则生成减速报警指令；
当两辆天车的路径信息为第三路径信息时，若，则生成减速报警指令。
4.如权利要求3所述的一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法，其特征在于，所述停车报警指令的生成方法如下：
当两辆天车的路径信息为第一路径信息时，若且/>，则生成停车报警指令；
当两辆天车的路径信息为第二路径信息时，若且/>，则生成停车报警指令；
当两辆天车的路径信息为第三路径信息时，若且/>，则生成停车报警指令。
5.一种智能晶圆自动搬运装置速度控制系统，实施权利要求1-4任一项所述的一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法，其特征在于，包括：
数据采集模块(100)，用于采集天车运行过程中的数据信息；
数据处理模块(200)，用于对数据信息进行数据处理，获取天车的路径信息，以及相邻两辆天车之间的距离；
数据分析模块(300)，用于根据路径信息将相邻两辆天车之间的距离与预设安全距离阈值范围进行比对，并根据比对结果判定是否生成控制指令；
控制模块(400)，用于根据控制指令对天车的移动速度进行控制。
6.一种电子设备，包括存储器、处理器以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至4任一项所述的一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法。
7.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至4任一项所述的一种智能晶圆自动搬运装置速度控制方法。
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