CN117230417A - 磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法，涉及材料工程领域，中央控制器能够根据预设逻辑和操作人员的控制指令输出控制信号，从而实现对执行器的精确控制，提高设备的稳定性和可靠性，同时降低设备维护和运营成本。所述方法包括：数据采集器采集设备运行信息，将设备运行信息发送至中央控制器和交互界面；交互界面展示设备运行信息，以及接收操作人员基于设备运行信息发起的控制指令，将控制指令发送至中央控制器；中央控制器存储设备运行信息，以及根据控制指令和预设逻辑输出控制信号，将控制信号发送至执行器，以使执行器根据控制信号执行对应的动作，执行器包括但不限于阴极、电机、气缸和真空泵。

Description

磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法

技术领域

本申请涉及材料工程领域，特别是涉及一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法。

背景技术

随着科技的不断发展，材料制备技术也在不断创新。磁控溅射旋转靶全自动真空镀膜机控制系统在材料制备过程中起到极为重要的作用。然而，现有设备在运行过程中需要频繁进行参数调整，增加了人工干预的成本和风险，且相关的监测和记录工作需要手动进行，存在误差和漏洞。因此，亟需一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机自动控制系统及方法。

发明内容

有鉴于此，本申请提供了一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法，主要目的在于解决目前现有设备在运行过程中需要频繁进行参数调整，增加了人工干预的成本和风险，且相关的监测和记录工作需要手动进行，存在误差和漏洞的问题。

依据本申请第一方面，提供了一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，该系统包括数据采集器、交互界面、中央控制器和执行器；

所述数据采集器，用于采集设备运行信息，将所述设备运行信息发送至所述中央控制器和所述交互界面；

所述交互界面，用于展示所述设备运行信息，以及接收操作人员基于所述设备运行信息发起的控制指令，将所述控制指令发送至所述中央控制器；

所述中央控制器，用于存储所述设备运行信息，以及根据所述控制指令和预设逻辑输出控制信号，将所述控制信号发送至所述执行器，所述执行器包括但不限于阴极、电机、气缸和真空泵；

所述执行器，用于根据所述控制信号执行对应的动作。

依据本申请第二方面，提供了一种基于磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制方法，该方法包括：

数据采集器采集设备运行信息，将所述设备运行信息发送至所述中央控制器和所述交互界面；

所述交互界面展示所述设备运行信息，以及接收操作人员基于所述设备运行信息发起的控制指令，将所述控制指令发送至所述中央控制器；

所述中央控制器存储所述设备运行信息，以及根据所述控制指令和预设逻辑输出控制信号，将所述控制信号发送至所述执行器，以使所述执行器根据所述控制信号执行对应的动作，所述执行器包括但不限于阴极、电机、气缸和真空泵。

依据本申请第三方面，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述第二方面所述方法的步骤。

依据本申请第四方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述第二方面所述的方法的步骤。

借由上述技术方案，本申请提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法，本申请中的数据采集器采集设备运行信息，将设备运行信息发送至中央控制器和交互界面。随后，交互界面展示设备运行信息，以及接收操作人员基于设备运行信息发起的控制指令，将控制指令发送至中央控制器。接下来，中央控制器存储设备运行信息，以及根据控制指令和预设逻辑输出控制信号。最后，将控制信号发送至执行器，以使执行器根据控制信号执行对应的动作，执行器包括但不限于阴极、电机、气缸和真空泵。本申请实施例提供的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统可以有效地监测设备的运行状态，并及时向中央控制器和操作人员报告设备出现的任何异常问题。此外，中央控制器能够根据预设逻辑和操作人员的控制指令输出控制信号，从而实现对执行器的精确控制，提高设备的稳定性和可靠性，同时降低设备维护和运营成本。因此，该磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统可以提高设备的工作效率，增强操作员的工作安全性和操作便捷性，具有重要的实用性和经济效益。

上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1示出了本申请实施例提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的系统架构示意图；

图2示出了本申请实施例提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的交互界面的真空系统子界面示意图；

图3示出了本申请实施例提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的交互界面的电源运行总览示意图；

图4示出了本申请实施例提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的交互界面的阴极电机运行总览示意图；

图5示出了本申请实施例提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的交互界面的传送系统子界面示意图；

图6示出了本申请实施例提供的一种基于磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制方法流程示意图；

图7示出了本申请实施例提供的一种计算机设备的装置结构示意图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本申请的示例性实施例。虽然附图中显示了本申请的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本申请而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本申请，并且能够将本申请的范围完整的传达给本领域的技术人员。

本申请实施例提供了一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，本申请中的数据采集器采集设备运行信息，将设备运行信息发送至中央控制器和交互界面。随后，交互界面展示设备运行信息，以及接收操作人员基于设备运行信息发起的控制指令，将控制指令发送至中央控制器。接下来，中央控制器存储设备运行信息，以及根据控制指令和预设逻辑输出控制信号。最后，将控制信号发送至执行器，以使执行器根据控制信号执行对应的动作，执行器包括但不限于阴极、电机、气缸和真空泵。本申请实施例提供的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统可以有效地监测设备的运行状态，并及时向中央控制器和操作人员报告设备出现的任何异常问题。此外，中央控制器能够根据预设逻辑和操作人员的控制指令输出控制信号，从而实现对执行器的精确控制，提高设备的稳定性和可靠性，同时降低设备维护和运营成本。因此，该磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统可以提高设备的工作效率，增强操作员的工作安全性和操作便捷性，具有重要的实用性和经济效益，如图1所示，该系统包括：数据采集器11、交互界面12、中央控制器13和执行器14。

在本申请实施例中，磁控溅射旋转靶全自动真空镀膜机控制系统是一种磁控溅射旋转靶自动连续生产线进行操作管理的可视人机交互系统。通过该控制系统，使用者可以灵活的设置各项参数，并直观的获得设备运行信息及数据，从而实现轻松有效的设备操作和管理。此系统具有全自动控制设备功能，人机界面系统清晰且全面的反应了设备的状态，有着集成操作、修改方便、节省空间、节省成本的优点。在实际运行过程中，磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的数据采集器，用于采集设备运行信息，将设备运行信息发送至中央控制器和交互界面。交互界面，用于展示设备运行信息，以及接收操作人员基于设备运行信息发起的控制指令，将控制指令发送至中央控制器。中央控制器，用于存储设备运行信息，以及根据控制指令和预设逻辑输出控制信号，将控制信号发送至执行器，执行器包括但不限于阴极、电机、气缸和真空泵。执行器，用于根据控制信号执行对应的动作。

在另一个实施例中，为了更好的实现磁控溅射旋转靶真空镀膜机自动控制，交互界面中包括菜单栏、主界面和多个子界面。操作人员可以通过触摸菜单栏进入不同的子界面，每个子界面关联不同的设备部件。在实际运行过程中，操作设备开机后进入交互界面的初始画面，触摸初始画面的任一位置进入主界面。需要说明的是，主界面用于展示设备运行信息中的状态信息和设备组件信息，其中，状态信息包括但不限于真空度，压力值，传送速度，风机运行时间、设备的指标数据。设备组件信息包括但不限于磁控溅射旋转靶真空镀膜机的全部设备部件、全部设备部件之间的位置逻辑关系、全部设备部件中可操作设备部件的操作按钮。中央控制器控制有多个系统主要包括真空系统、传送系统，磁控溅射旋转靶镀膜系统。真空系统子界面如图2所示，交互界面将每个系统对应的界面标签放置于菜单栏中，菜单栏用于切换进入多个子界面，在实际运行时，菜单栏包括但不限于真空系统子界面选项、传送系统子界面选项、参数设置子界面选项、历史数据子界面选项、警报系统子界面选项、动作条件子界面选项、传送线体子界面选项和盘编号子界面选项。需要说明的是，真空系统包括机械泵、罗茨泵、各种阀门等执行器。传送系统包括各个室传送电机、伺服电机等传送器。磁控溅射旋转靶镀膜系统包括阴极电机、磁控溅射电源等执行器。另外，执行器还包括手自动控制执行器、动作强制执行器、报警复位执行器等。本申请对执行器包括的具体内容不进行限定。

主界面中每个操作按钮的左上方设置有动作条件许可信息指示灯，当操作按钮对应的设备部件满足运行条件时，操作按钮对应的动作条件许可信息指示灯切换为指定颜色。此时，如果操作人员想要操作指定按钮则可以启动或停止指定按钮对应的执行器。具体地，用户触摸机械泵按钮，启动该机械泵，交互界面接收到启动机械泵的指令后，将该指令传递至中央控制器。由中央控制器输出控制信号至机械泵，机械泵根据控制信号执行开启动作。每个控制系统对应的子界面中的右侧分别设有报警复位和警铃停止按钮。触摸“警铃停止”按钮，机械响铃会停止。触摸“警报复位”按钮，已经被处理完成，恢复正常的警报会复位消失。画面上部，设备各室示意图的中部区域，显示了设备运行中真空度，压力值，传送速度，风机运行时间等相关信息，可以实时获得设备的各项指标数据，使使用者能更好的监视设备和产品的状态，以便做出及时正确的决策。当确认设备无任何故障性警报后，长按“本体手动”按钮5s可以实现全自动等更多功能。另外，触摸屏幕右上角“翻页”按钮，如图3和图4所示，可以打开“电源运行总览”界面和“阴极电机运行总览”界面。通过这两个界面可以清楚直观地看到镀膜系统靶机旋转电机和磁控溅射电源的运行状态，报警点。

磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统中的传送系统以传送生产物料和物料托盘为主，包括传送电机执行器、伺服电机执行器、位置开关执行器和气动缸执行器。如图5所示，操作人员在传送系统子页面触摸各个电机的“正转”、“反转”“上升”“下降”按钮，可以启动停止相应传送电机，完成料板的传送工作。在传送方向上有相应的位置开关，显示料盘的位置，方便使用者操作。当交互界面检测到操作人员在传送系统子界面触发中预约功能按钮时，将中预约功能按钮对应的控制指令发送至中央控制器，以使中央控制器，根据控制指令输出控制信号，将控制信息发送至传送电机执行器、伺服电机执行器、位置开关执行器和气动缸执行器，以使传送系统控制物料托盘在中部等待未镀膜的产品；当交互界面检测到操作人员在传送系统子界面触发下预约功能按钮时，将下预约功能按钮对应的控制指令发送至中央控制器，以使中央控制器，根据控制指令输出控制信号，将控制信息发送至传送电机执行器、伺服电机执行器、位置开关执行器和气动缸执行器，以使传送系统控制物料托盘在下部等待已镀膜的产品。屏幕下部显示的是每个料盘已经镀膜的次数。需要说明的是，传送线体也是传送系统的一部分，主要负责生产过的料盘回传以及料盘镀膜次数的判断。触摸各“正转”、“反转”“上升”“下降”按钮，可以启动停止相应传送电机、气动缸作，完成料板的传送、翻转、拍照功能。

磁控溅射旋转靶全自动真空镀膜机一般工作在全自动状态下，能够正常自动运行条件之一就是工艺参数的正确设定。为方便用户使用，降低仪表操作的难度，此系统将所有需要设置的工艺参数集合到了可视系统内。在参数设置子界面中触摸界面下方菜单按钮“参数设置”，进入密码界面，包括系统参数设置、靶极参数设置和密码更改功能。在需要设置的项目对应框内输入密码，触摸“OK”，进入设置画面。在实际运行过程中，靶极电源设置尤为重要，在这里可以设置功率、电流大小以及电源、靶极电机是否使用。在实际运行过程中，当交互界面检测到操作人员在参数设置子界面触发任一功能项时，获取操作人员输入的功能项对应的指定修改密码，以及获取预设修改密码，以及在指定修改密码与预设修改密码一致时，交互界面切换进入系统参数设置功能项对应的设置界面。交互界面获取待修改项和待修改参数，将待修改参数与待修改项对应的预设参数范围进行比对。若修改参数命中预设参数范围，则交互界面将修改参数发送至中央控制器。若修改参数未命中预设参数范围，则交互界面将修改参数删除并获取待修改项对应的默认参数，将待修改项对应的参数设置为默认参数。

交互界面还包括记录数据及历时曲线的查看与分析，为方便使用者查看历史数据及进行数据分析，该控制系统对电流，电压，功率，真空度等数据记录。具体地，操作人员触摸“历史数据”按钮，进入历史查询界面。操作日志可以在人机界面内读取中央控制器内的文件。在实时记录显示的同时，系统还会向外部存储器U盘转存数据，使用者可以通过外部存储器将数据移至个人电脑等，进行更精准的数据分析。另外，触摸菜单栏中的“动作条件”，系统会进入设备主要部件动作条件界面。界面包含了所有部件的动作条件。包括抽空系统，传送系统，阴极镀膜系统。方便操作人员查看各个部件的是否达到运行条件。

本申请实施例提供了一种基于磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制方法，如图6所示，该方法包括：

S1、数据采集器采集设备运行信息，将设备运行信息发送至中央控制器和交互界面。

在本申请实施例中，数据采集器是一种用于采集设备的运行信息的设备或系统。它通过连接到各种设备的传感器或监控接口，收集设备的各种参数和状态信息。采集的信息可以包括设备的温度、压力、电流、速度、位置等等。一般情况下，数据采集器会将采集到的数据发送至中央控制器和交互界面。中央控制器是用于集中管理和控制设备的系统，它可以接收并处理从各个数据采集器发送过来的数据，进行数据分析、报警处理、设备调度等操作。交互界面是用户与系统进行交互的界面，可以是电脑端的软件界面。通过交互界面，用户可以实时监视设备的运行状态、查看历史数据、设定参数、下发指令等操作。数据采集器将设备运行信息发送至中央控制器和交互界面的方式可以采用各种通信协议和网络技术，例如以太网、无线通信(如Wi-Fi、蓝牙、LoRa等)，甚至可以通过物联网技术进行数据传输。

S2、交互界面展示设备运行信息，以及接收操作人员基于设备运行信息发起的控制指令，将控制指令发送至中央控制器。

交互界面将获取到的设备运行信息展示给操作人员。这可以通过图表、表格、文字描述等形式呈现，以便操作人员能够直观地了解设备的状态。在展示设备运行信息的界面上，操作人员可以选择相应的控制选项或输入控制参数，然后通过按钮、滑块或文本框等方式发起控制指令。这些指令可能包括启动设备、停止设备、调整参数设置等。一旦操作人员发起控制指令，交互界面将这些指令发送至中央控制器。中央控制器接收并解析来自交互界面的控制指令。进而验证指令的合法性、逻辑性。

S3、中央控制器存储设备运行信息，以及根据控制指令和预设逻辑输出控制信号，将控制信号发送至执行器，以使执行器根据控制信号执行对应的动作，执行器包括但不限于阴极、电机、气缸和真空泵。

中央控制器根据预设的逻辑和算法，对接收到的控制指令进行处理。这可能包括对指令进行验证、决策、调度，还可能涉及到与其他系统的交互。中央控制器根据处理后的控制指令，生成相应的控制信号。控制信号可以是数字信号、模拟信号、开关信号等，根据被控制设备的不同，发送的形式也会有所不同。进一步地，中央控制器将生成的控制信号发送到相应的执行器，具体可以通过网络通信或者专用的控制接口进行传输。执行器可能是设备的阴极、电机、气缸、真空泵等，它们接收控制信号，并执行相应的动作或控制操作。通过以上具体的过程，操作人员可以通过交互界面展示设备运行信息，并发起控制指令，中央控制器接收并处理控制指令，并最终通过控制信号实现对设备的控制。这样的架构可以实现设备的远程监控和控制，提高操作的便利性和效率。

本申请实施例提供的方法，本申请中的数据采集器采集设备运行信息，将设备运行信息发送至中央控制器和交互界面。随后，交互界面展示设备运行信息，以及接收操作人员基于设备运行信息发起的控制指令，将控制指令发送至中央控制器。接下来，中央控制器存储设备运行信息，以及根据控制指令和预设逻辑输出控制信号。最后，将控制信号发送至执行器，以使执行器根据控制信号执行对应的动作，执行器包括但不限于阴极、电机、气缸和真空泵。本申请实施例提供的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统可以有效地监测设备的运行状态，并及时向中央控制器和操作人员报告设备出现的任何异常问题。此外，中央控制器能够根据预设逻辑和操作人员的控制指令输出控制信号，从而实现对执行器的精确控制，提高设备的稳定性和可靠性，同时降低设备维护和运营成本。因此，该磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统可以提高设备的工作效率，增强操作员的工作安全性和操作便捷性，具有重要的实用性和经济效益。

基于上述如图6所示方法，相应的，本实施例还提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现所述的基于磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制方法的步骤。

基于这样的理解，本申请的技术方案可以以软件产品的形式体现出来，该待识别软件产品可以存储在一个非易失性存储介质(可以是CD-ROM，U盘，移动硬盘等)中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本申请各个实施场景所述的方法。

参见图7，还提供了一种设备，该设备包括通信总线、处理器、存储器和通信接口，还可以包括输入输出接口和显示设备，其中，各个功能单元之间可以通过总线完成相互间的通信。该存储器存储有计算机程序，处理器，用于执行存储器上所存放的程序，执行上述实施例中的基于磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制方法。

可选的，该实体设备还可以包括用户接口、网络接口、摄像头、射频(RadioFrequency，RF)电路，传感器、音频电路、WI-FI模块等等。用户接口可以包括显示屏(Display)、输入单元比如键盘(Keyboard)等，可选用户接口还可以包括USB接口、读卡器接口等。网络接口可选的可以包括标准的有线接口、无线接口(如WI-FI接口)等。

本领域技术人员可以理解，本实施例提供的一种基于磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制方法的实体设备结构并不构成对该实体设备的限定，可以包括更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。

存储介质中还可以包括操作系统、网络通信模块。操作系统是管理上述实体设备硬件和待识别软件资源的程序，支持信息处理程序以及其它待识别软件和/或程序的运行。网络通信模块用于实现存储介质内部各组件之间的通信，以及与信息处理实体设备中其它硬件和软件之间通信。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到本申请可以借助软件加必要的通用硬件平台的方式来实现，也可以通过硬件实现。

本领域技术人员可以理解附图只是一个优选实施场景的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本申请所必须的。

本领域技术人员可以理解实施场景中的装置中的模块可以按照实施场景描述进行分布于实施场景的装置中，也可以进行相应变化位于不同于本实施场景的一个或多个装置中。上述实施场景的模块可以合并为一个模块，也可以进一步拆分成多个子模块。

Claims (10)

1.一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，其特征在于，包括：数据采集器、交互界面、中央控制器和执行器；

所述数据采集器，用于采集设备运行信息，将所述设备运行信息发送至所述中央控制器和所述交互界面；

所述交互界面，用于展示所述设备运行信息，以及接收操作人员基于所述设备运行信息发起的控制指令，将所述控制指令发送至所述中央控制器；

所述中央控制器，用于存储所述设备运行信息，以及根据所述控制指令和预设逻辑输出控制信号，将所述控制信号发送至所述执行器，所述执行器包括但不限于阴极、电机、气缸和真空泵；

所述执行器，用于根据所述控制信号执行对应的动作。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，其特征在于，所述交互界面，包括菜单栏、主界面和多个子界面；

所述主界面用于展示设备运行信息中的状态信息和设备组件信息，所述状态信息包括但不限于真空度，压力值，传送速度，风机运行时间、设备的指标数据，所述设备组件信息包括但不限于所述磁控溅射旋转靶真空镀膜机的全部设备部件、所述全部设备部件之间的位置逻辑关系、所述全部设备部件中可操作设备部件的操作按钮；

所述菜单栏，用于切换进入所述多个子界面，所述菜单栏包括但不限于真空系统子界面选项、传送系统子界面选项、参数设置子界面选项、历史数据子界面选项、警报系统子界面选项、动作条件子界面选项、传送线体子界面选项和盘编号子界面选项。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述主界面中每个所述操作按钮的左上方设置有动作条件许可信息指示灯；

当所述操作按钮对应的设备部件满足运行条件时，所述操作按钮对应的动作条件许可信息指示灯切换为指定颜色。

4.根据权利要求2所述的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，其特征在于，所述主界面，还用于响应于所述操作人员发起的翻页指令，展示电源运行总览界面和阴极电机运行总览界面，所述电源运行总览界面用于展示所述磁控溅射旋转靶真空镀膜机的磁控溅射电源的运行状态和报警点，所述阴极电机运行总览界面用于展示所述磁控溅射旋转靶真空镀膜机的靶机旋转电机的运行状态和报警点。

5.根据权利要求2所述的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，其特征在于，所述传送系统，包括传送电机执行器、伺服电机执行器、位置开关执行器和气动缸执行器，用于传送生产物料和物料托盘；

当所述交互界面检测到操作人员在传送系统子界面触发中预约功能按钮时，将所述中预约功能按钮对应的控制指令发送至所述中央控制器，以使所述中央控制器，根据所述控制指令输出控制信号，将所述控制信息发送至所述传送电机执行器、所述伺服电机执行器、所述位置开关执行器和所述气动缸执行器，以使所述传送系统控制所述物料托盘在中部等待未镀膜的产品；

当所述交互界面检测到操作人员在传送系统子界面触发下预约功能按钮时，将所述下预约功能按钮对应的控制指令发送至所述中央控制器，以使所述中央控制器，根据所述控制指令输出控制信号，将所述控制信息发送至所述传送电机执行器、所述伺服电机执行器、所述位置开关执行器和所述气动缸执行器，以使所述传送系统控制所述物料托盘在下部等待已镀膜的产品。

6.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，其特征在于，所述数据采集器，用于通过数据采集器采集所述设备运行信息，所述数据采集器包括但不限于压力传感器、位置开关和速度编码器。

7.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，其特征在于，所述参数设置子界面，包括：系统参数设置功能项和靶极参数设置功能项；

当所述交互界面检测到操作人员在参数设置子界面触发任一功能项时，获取所述操作人员输入的所述功能项对应的指定修改密码，以及获取预设修改密码，以及在所述指定修改密码与所述预设修改密码一致时，所述交互界面切换进入所述系统参数设置功能项对应的设置界面；

所述交互界面获取待修改项和待修改参数，将所述待修改参数与所述待修改项对应的预设参数范围进行比对；

若所述修改参数命中所述预设参数范围，则所述交互界面将所述修改参数发送至所述中央控制器；

若所述修改参数未命中所述预设参数范围，则所述交互界面将所述修改参数删除并获取所述待修改项对应的默认参数，将所述待修改项对应的参数设置为所述默认参数。

8.一种基于磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制方法，包括：

数据采集器采集设备运行信息，将所述设备运行信息发送至所述中央控制器和所述交互界面；

所述交互界面展示所述设备运行信息，以及接收操作人员基于所述设备运行信息发起的控制指令，将所述控制指令发送至所述中央控制器；

所述中央控制器存储所述设备运行信息，以及根据所述控制指令和预设逻辑输出控制信号，将所述控制信号发送至所述执行器，以使所述执行器根据所述控制信号执行对应的动作，所述执行器包括但不限于阴极、电机、气缸和真空泵。

9.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求8所述方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求8所述的方法的步骤。