CN117189914A - 一种多出气口节流阀及抽真空方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多出气口节流阀及抽真空方法，包括阀芯、阀杆、阀体外壳和在阀体外壳中的流体通道，所述节流阀的流体通道包括多个出气口，流体通道与出气口之间的间隙封闭，所述出气口大小相同，所述出气口靠近流体通道壁，并在流体通道内呈均匀分布。本发明通过在节流阀流体通道的出气口处设置多个出气口，将传统的节流阀的一个压力转移点变成多个压力转移点，避免压力朝一边倾斜，还能够通过调节设置于每一个出气口上的蝶阀的开闭程度来调节节流阀各个方向的气体压力大小，让气体平稳地从节流阀的多个方向流动，提升节流阀气压均匀度。

Description

一种多出气口节流阀及抽真空方法

技术领域

本发明属于节流阀技术领域，尤其涉及一种多出气口节流阀及抽真空方法。

背景技术

在半导体刻蚀工艺设备中，节流阀是常见的组件之一。节流阀是通过改变节流截面或节流长度以控制流体流量的阀门。

传统的半导体刻蚀工艺设备在工艺腔抽气时，气体从节流阀阀门口的一侧出入，因此会出现压力向一边倾斜的问题，节流阀的气压无法稳定控制。

发明内容

本发明的目的在于，为克服现有技术缺陷，提供了一种多出气口节流阀及抽真空方法,通过在节流阀流体通道的出气口处设置多个出气口，将传统的节流阀的一个压力转移点变成多个压力转移点，避免压力朝一边倾斜，还能够通过调节设置于每一个出气口上的蝶阀的开闭程度来调节节流阀各个方向的气体压力大小，让气体平稳地从节流阀的多个方向流动，提升节流阀气压均匀度。

本发明目的通过下述技术方案来实现：

一种多出气口节流阀，包括阀芯、阀杆、阀体外壳和在阀体外壳中的流体通道，所述节流阀的流体通道包括多个出气口，流体通道与出气口之间的间隙封闭，所述出气口大小相同，所述出气口靠近流体通道壁，并在流体通道内呈均匀分布。

进一步的，所述出气口均装设有相同的蝶阀。

进一步的，所述出气口的数量为四个。

进一步的，所述出气口均设置有压力传感器。

进一步的，所述蝶阀为电动蝶阀。

另一方面，本发明还提供了一种抽真空方法，采用前述任一种节流阀，包括以下步骤：

打开全部蝶阀对目标腔室进行抽真空；

当目标腔室气压降低至预设压力值后停止抽真空。

进一步的，所述方法还包括：

在气压下降过程中，实时监测每一个出气口的气压；

当任一个出气口的气压发生变化时，通过调节蝶阀进行压力补偿，保持气压稳定。

本发明的有益效果在于：

(1)本发明对传统节流阀的出气口进行改进，通过在节流阀流体通道的出气口处设置多个出气口，将传统的节流阀的一个压力转移点变成多个压力转移点，能够避免气体流出时压力朝一边倾斜，保持气流均匀。

(2)本发明通过在多个出气口处设置蝶阀，能够通过调节各个出气口的蝶阀的开闭程度来调节节流阀各个方向的气体压力大小，让气体平稳地从节流阀的多个方向流动，提升节流阀气压均匀度。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种多出气口节流阀截面示意图；

图2是本发明实施例提供的另一种多出气口节流阀截面示意图；

图3是本发明实施例提供的蝶阀关闭状态的截面示意图；

图4是本发明实施例提供的蝶阀打开状态的截面示意图；

图5是本发明提供的抽真空方法流程示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

传统的半导体刻蚀工艺设备在工艺腔抽气时，气体从节流阀阀门口的一侧出入，因此会出现压力向一边倾斜的问题，节流阀的气压无法稳定控制。

为了解决上述问题，提出了本发明一种多出气口节流阀及抽真空方法的各个实施例。

通过在节流阀流体通道的出气口处设置多个出气口，将传统的节流阀的一个压力转移点变成多个压力转移点，避免压力朝一边倾斜，还能够通过调节设置于每一个出气口上的蝶阀的开闭程度来调节节流阀各个方向的气体压力大小，让气体平稳地从节流阀的多个方向流动，提升节流阀气压均匀度。

实施例1

参照图1，如图1所示是本实施例提供的一种多出气口节流阀截面示意图。

该节流阀包括阀芯、阀杆、阀体外壳和在阀体外壳中的流体通道，节流阀的流体通道包括四个出气口，出气口大小相同，出气口靠近流体通道壁，出气口与流体通道间的间隙封闭，气体仅能从出气口抽出。出气口在流体通道内呈均匀分布，将流体通道原本的单个出气口四等分。根据实际需要，可以在设计时调节出气口的数量。

本实施例中节流阀其他组件与常规节流阀相同不再进行赘述。

传统的节流阀打开阀门进行抽气时，气体从阀门与流体管道出气口之间的缝隙流出，因此气体压力集中在阀门打开的缝隙侧，而通过本实施例提供的节流阀，在进行抽气时，原本的气体压力转移点由一个变为四个，使气体从整个阀门的四个方向向外流动，能够保持气流均衡。

本实施例提供的多出气口节流阀通过在节流阀流体通道的出气口处设置多个出气口，将传统的节流阀的一个压力转移点变成多个压力转移点，避免压力朝一边倾斜。

实施例2

参照图2，如图2所示是本实施例提供的另一种多出气口节流阀截面示意图。

该节流阀包括阀芯、阀杆、阀体外壳和在阀体外壳中的流体通道，节流阀的流体通道包括四个出气口，出气口大小相同，出气口靠近流体通道壁，出气口在流体通道内呈均匀分布，将流体通道原本的单个出气口四等分。

需要说明的是，根据实际需要，可以在设计时选择不同的出气口的数量，以适应于不同的应用场景。

本实施例提供的多出气口节流阀在每个出气口上均装设有规格一样的蝶阀。蝶阀具有结构简单、体积小、重量轻、材料耗用省，安装尺寸小，开关迅速、90°往复回转，驱动力矩小等特点，用于截断、接通、调节管路中的介质，具有良好的流体控制特性和关闭密封性能。

此外，蝶阀在低压下，可以实现良好的密封。因此本实施例提供的多出气口节流阀尤其适用于半导体刻蚀工艺设备等存在低真空环境的设备。

参照图3和图4，如图3所示是本实施例提供的蝶阀在关闭状态的示意图，如图4所示是本实施例提供的蝶阀在打开状态的示意图，蝶阀的转轴位于整个出气口的直径，通过翻转阀门可调节蝶阀的开闭程度，进而补偿抽气时的压力。

作为一种实施方式，在每一个出气口均设置有压力传感器，以便于实时监测每一个出气口的压力，当任意一个出气口的气压变动导致整个节流阀的压力不均匀时，可以调节通过调节蝶阀的开闭程度来改善节流阀的气压均匀度。

作为一种实施方式，本实施例采用的蝶阀为电动蝶阀，电动蝶阀能够更精准地控制开闭幅度，进而更精准地控制整个节流阀的气压均匀度，使节流阀在抽气时更稳定。

本实施例提供的多出气口节流阀通过在节流阀流体通道的出气口处设置多个出气口，将传统的节流阀的一个压力转移点变成多个压力转移点，避免压力朝一边倾斜，还能够通过调节设置于每一个出气口上的蝶阀的开闭程度来调节节流阀各个方向的气体压力大小，让气体平稳地从节流阀的多个方向流动，提升节流阀气压均匀度。

实施例3

参照图5，如图5所示是本实施例提供的抽真空方法流程示意图。

本实施例采用前述实施例2提供的多出气口节流阀，以半导体刻蚀设备在工艺室和涡轮分子泵之间将低真空变为高真空的过程为例，该方法具体包括以下步骤：

步骤S100：打开全部蝶阀对目标腔室进行抽真空。

需要说明的是，根据实际需要，可以选择打开任意数量的蝶阀，以适用于不同流量的抽真空场景。

步骤S200：在气压下降过程中，实时监测每一个出气口的气压。

步骤S300：当任一个出气口的气压发生变化时，通过调节蝶阀进行压力补偿，保持气压稳定。

步骤S400：当目标腔室气压降低至预设压力值后停止抽真空。

本实施例提供的抽真空方法，在工艺室和涡轮分子泵之间将低真空变为高真空进行压力控制的节流阀中，将传统的单个压力转移点变为四个方向开闭可控的转移点，能够均匀地进行压力控制。

通过调节设置于每一个出气口上的蝶阀的开闭程度来调节节流阀各个方向的气体压力大小，让气体平稳地从节流阀的多个方向流动，提升节流阀气压均匀度。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种多出气口节流阀，包括阀芯、阀杆、阀体外壳和在阀体外壳中的流体通道，其特征在于，所述节流阀的流体通道包括多个出气口，流体通道与出气口之间的间隙封闭，所述出气口大小相同，所述出气口靠近流体通道壁，并在流体通道内呈均匀分布。

2.如权利要求1所述的多出气口节流阀，其特征在于，所述出气口均装设有相同的蝶阀。

3.如权利要求2所述的多出气口节流阀，其特征在于，所述出气口的数量为四个。

4.如权利要求3所述的多出气口节流阀，其特征在于，所述出气口均设置有压力传感器。

5.如权利要求2所述的多出气口节流阀，其特征在于，所述蝶阀为电动蝶阀。

6.一种抽真空方法，采用如权利要求2-5任一所述的节流阀，其特征在于，包括以下步骤：

打开全部蝶阀对目标腔室进行抽真空；

当目标腔室气压降低至预设压力值后停止抽真空。

7.如权利要求6所述的抽真空方法，其特征在于，所述方法还包括：

在气压下降过程中，实时监测每一个出气口的气压；

当任一个出气口的气压发生变化时，通过调节蝶阀进行补偿，保持气压稳定。