CN117185378A - 用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统及方法 - Google Patents
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 84
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 80
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 claims abstract description 44
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 40
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 34
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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Abstract
本发明提出了一种用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统及方法，该系统包括保护单元，用于吸附水中铁屑以保护水浮子流量开关，其包括：电磁铁和壳体，电磁铁置于壳体内，壳体的一端和进水端之间设置电磁阀一，另一端和流量开关的输入端之间设置电磁阀二；第一支路，在清洁保护单元时，用于输入冷却水以冷却设备，其上设置支路电磁阀，第一支路的输入端连通进水端，其输出端设置在电磁阀二和流量开关之间；第二支路，在清洁保护单元时，用于将壳体内的铁屑输送至气液回收箱；冲洗单元，用于冲洗电磁铁上的铁屑。本发明中浮子流量开关不受铁屑的影响，且可长时间正常工作。
Description
技术领域
本发明属于半导体设备技术领域，尤其涉及一种用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统及方法。
背景技术
一些半导体设备中，会在设备供水系统中安装一个水浮子流量开关，用来检测冷却循环水的流动状态。一旦冷却厂务供水停止流动，浮子流量开关给机台报警信号，以便相关人员及时处置。水浮子流量开关里面磁芯在循环厂务水路中长时间使用时，磁芯会把厂务循环水路中的铁屑吸附在其四周，时间越长，吸附铁屑越多。
如果此时，厂务供水突然停止，浮子流量开关里的磁芯上不去下不来（处于供水停之前的位置），失去其应有的功能。需要一种全自动电磁可控式用于保护水浮子流量开关的系统，保护水路中的浮子流量开关，使其能够长时间正常工作。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统及方法，浮子流量开关不受铁屑的影响，且可长时间正常工作。为实现上述目的，采用的技术方案如下：
一种用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统，包括：
保护单元2，靠近水浮子流量开关4的输入端设置，用于吸附水中铁屑以保护水浮子流量开关4，其包括：电磁铁和壳体，所述电磁铁置于壳体内，所述壳体的一端和进水端之间设置电磁阀一1，另一端和流量开关4的输入端之间设置电磁阀二3；
第一支路，在清洁保护单元2时，用于输入冷却水以冷却设备，其上设置支路电磁阀7，所述第一支路的输入端连通进水端，其输出端设置在电磁阀二3和流量开关4之间；
第二支路，在清洁保护单元2时，用于将壳体内的铁屑输送至气液回收箱10，其上设置气液回收电磁阀9，第二支路的输入端设置在壳体和电磁阀二3之间，其输出端连通气液回收箱10；
冲洗单元，用于冲洗电磁铁上的铁屑，其输入端设置于电磁阀一1和壳体之间；
所述电磁铁失电时，电磁阀一1和电磁阀二3均关闭，支路电磁阀7打开，冷却水由进水端，经第一支路、流量开关4进入设备后回水；
气液回收电磁阀9、冲洗单元均打开，冲洗介质经冲洗单元进入壳体，冲洗介质带动铁屑，经壳体、第二支路后进入气液回收箱10；
所述电磁铁得电时，电磁阀一1和电磁阀二3均打开，支路电磁阀7、气液回收电磁阀9、冲洗单元均关闭，冷却水由进水端，经壳体、流量开关4进入设备后回水。
优选地，所述冲洗单元包括共用一个输出端的N2管路和DI水管路；
所述N2管路上设置N2冲洗电磁阀12；所述DI水管路上设置DI水路电磁阀8；DI水路电磁阀8、N2冲洗电磁阀12按照先后顺序打开。
优选地，所述电磁铁设置于电回路上，所述电回路位于壳体外，所述电回路上设置电源13、电路可控开关14和工作指示灯15。
优选地，所述气液回收箱10内设置滤芯11。
优选地，回水端和设备之间设置回水手阀6。
一种用于保护水浮子流量开关的控制方法，包括以下吸附铁屑的步骤，具体包括：
首先，电路开关14闭合，电磁铁得电；
之后，打开电磁阀一1和电磁阀二3，关闭支路电磁阀7、气液回收电磁阀9、DI水路电磁阀8和N2冲洗电磁阀12；
冷却水由进水端，经壳体、流量开关4进入设备后回水；同时，电磁铁吸附进入壳体内冷却水中的铁屑，冷却水经过电磁铁后流入流量开关4，防止流量开关4中的磁芯吸附铁屑。
优选地，还包括清理保护单元2的步骤，具体包括：
首先，电路开关14断开，电磁铁失电；
之后，关闭电磁阀一1和电磁阀二3，打开支路电磁阀7；冷却水由进水端，经第一支路、流量开关4进入设备以对对设备进行冷却；
同时，先打开气液回收电磁阀9，再打开DI水路电磁阀8将壳体内收集的铁屑及电磁铁上的铁屑，经第二支路冲洗到含滤芯11的气液回收箱10中；最后，关闭DI水路电磁阀8，打开N2冲洗电磁阀12。
与现有技术相比，本发明的优点为：
1、靠近水浮子流量开关的进水端设置保护单元，电磁铁吸附进入壳体内冷却水中的铁屑，冷却水经过电磁铁后流入流量开关，防止流量开关（4）中的磁芯吸附铁屑，从而保护流量开关中的磁芯。
2、用DI水和氮气将原本吸附在电磁铁周围的铁屑反复冲洗，从而可对保护单元进定期清理，从而保证流量开关及保护单元可长时间正常运行。
3、定期对该装置维护时，不需要将该装置从原有的水路中拆下。
4、在定期维护期间，打开支路电磁阀，保证设备在此期间也能够得到有效冷却，不影响设备使用。
附图说明
图1为用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统的结构图；
图2为清洁保护单元时设备冷却水流向图；
图3为清洁保护单元时冲洗介质的流向图；
图4为保护单元正常工作时的冷却水流向图。
1-电磁阀一，2-保护单元，3-电磁阀二，4-水浮子流量开关，5-设备，6-回水手阀，7-支路电磁阀，8-DI水路电磁阀，9-气液回收电磁阀，10-气液收集箱，11-滤芯，12-N2冲洗电磁阀，13-电源，14-电路可控开关，15-工作指示灯，16-控制模块。
实施方式
下面将结合示意图对本发明的用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统及方法进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
如图1所示，一种用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统，内置一块电磁铁，正常工作时，保护单元得电，电磁铁通电产磁，吸附设备水路中的铁屑。定期对该装置清洁时，保护单元失电，电磁铁失磁，用DI水和氮气对其进行清洁，不需要将该装置从原有的水路中拆下。
增设第一支路，在该装置定期维护（清洁）时，通过第一支路进水对设备进行冷却。
装置内采用了数个电磁阀，控制模块16通过控制电磁阀的开关、开关时长设置、开关的先后顺序等，可以实现全自动运行。
具体包括：
保护单元2，靠近水浮子流量开关4的输入端设置，用于吸附水中铁屑以保护水浮子流量开关4，其包括：电磁铁和壳体，电磁铁置于壳体内，壳体的一端和进水端之间设置电磁阀一1，另一端和流量开关4的输入端之间设置电磁阀二3。
电磁铁设置于电回路上，电回路位于壳体外，电回路上设置电源13、电路可控开关14和工作指示灯15。
第一支路，在清洁保护单元2时，用于输入冷却水以冷却设备，其上设置支路电磁阀7，第一支路的输入端连通进水端，其输出端设置在电磁阀二3和流量开关4之间。在保护单元2定期维护时，支路电磁阀7打开，保证设备在此期间也能够得到有效冷却，不影响设备使用。
第二支路，在清洁保护单元2时，用于将壳体内的铁屑输送至气液回收箱10，其上设置气液回收电磁阀9，第二支路的输入端设置在壳体和电磁阀二3之间，其输出端连通气液回收箱10；气液回收箱10内设置滤芯11。
冲洗单元，用于冲洗电磁铁上的铁屑，其输入端设置于电磁阀一1和壳体之间。
具体的，冲洗单元包括共用一个输出端的N2管路和DI水管路。
N2管路上设置N2冲洗电磁阀12；DI水管路上设置DI水路电磁阀8；DI水路电磁阀8、N2冲洗电磁阀12按照先后顺序打开。
如图2~3所示，电磁铁失电时：
电磁阀一1和电磁阀二3均关闭，支路电磁阀7打开，冷却水由进水端，经第一支路、流量开关4进入设备后回水；回水端和设备之间设置回水手阀6。
气液回收电磁阀9、冲洗单元均打开，冲洗介质经冲洗单元进入壳体，冲洗介质带动铁屑，经壳体、第二支路后进入气液回收箱10。
即定期对该装置维护时，不需要将该装置从原有的水路中拆下。
如图4所示，电磁铁得电时：
电磁阀一1和电磁阀二3均打开，支路电磁阀7、气液回收电磁阀9、冲洗单元均关闭，冷却水由进水端，经壳体、流量开关4进入设备后回水。即电磁铁通电产生磁场，吸附设备水路中的铁屑，保护水浮子流量开关的磁芯 ，使其磁芯不会因长时间使用被铁屑“包围”，导致磁芯上不去下不来，使其原本功能失效。
用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统的工作原理：
（1）吸附铁屑，具体包括：
首先，电路开关14闭合，电磁铁得电，工作指示灯15亮。
之后，打开电磁阀一1和电磁阀二3，关闭支路电磁阀7、气液回收电磁阀9、DI水路电磁阀8和N2冲洗电磁阀12。
冷却水由进水端，经壳体、流量开关4进入设备后回水；同时，电磁铁吸附进入壳体内冷却水中的铁屑，冷却水经过电磁铁后流入流量开关4，防止流量开关4中的磁芯吸附铁屑。
（2）清理保护单元2，具体包括：
首先，电路开关14断开，电磁铁失电，电磁铁磁场消失。
之后，关闭电磁阀一1和电磁阀二3，打开支路电磁阀7；冷却水由进水端，经第一支路、流量开关4进入设备以对对设备进行冷却；
同时，先打开气液回收电磁阀9，再打开DI水路电磁阀8，将壳体内收集的铁屑及电磁铁上的铁屑，经第二支路冲洗到含滤芯11的气液回收箱10中。
冲洗一会后，关闭DI水路电磁阀8，打开N2冲洗电磁阀12，用氮气继续对装置冲洗至气液回收箱10中。
反复DI水、氮气冲洗几次后，先关闭DI水路电磁阀8和N2冲洗电磁阀12，再关闭气液回收电磁阀9。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统，其特征在于，包括：
保护单元（2），靠近水浮子流量开关（4）的输入端设置，用于吸附水中铁屑以保护水浮子流量开关（4），其包括：电磁铁和壳体，所述电磁铁置于壳体内，所述壳体的一端和进水端之间设置电磁阀一（1），另一端和流量开关（4）的输入端之间设置电磁阀二（3）；
第一支路，在清洁保护单元（2）时，用于输入冷却水以冷却设备，其上设置支路电磁阀（7），所述第一支路的输入端连通进水端，其输出端设置在电磁阀二（3）和流量开关（4）之间；
第二支路，在清洁保护单元（2）时，用于将壳体内的铁屑输送至气液回收箱（10），其上设置气液回收电磁阀（9），第二支路的输入端设置在壳体和电磁阀二（3）之间，其输出端连通气液回收箱（10）；
冲洗单元，用于冲洗电磁铁上的铁屑，其输入端设置于电磁阀一（1）和壳体之间；
所述电磁铁失电时，电磁阀一（1）和电磁阀二（3）均关闭，支路电磁阀（7）打开，冷却水由进水端，经第一支路、流量开关（4）进入设备后回水；
气液回收电磁阀（9）、冲洗单元均打开，冲洗介质经冲洗单元进入壳体，冲洗介质带动铁屑，经壳体、第二支路后进入气液回收箱（10）；
所述电磁铁得电时，电磁阀一（1）和电磁阀二（3）均打开，支路电磁阀（7）、气液回收电磁阀（9）、冲洗单元均关闭，冷却水由进水端，经壳体、流量开关（4）进入设备后回水。
2.根据权利要求1所述的用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统，其特征在于，所述冲洗单元包括共用一个输出端的N2管路和DI水管路；
所述N2管路上设置N2冲洗电磁阀（12）；所述DI水管路上设置DI水路电磁阀（8）；DI水路电磁阀（8）、N2冲洗电磁阀（12）按照先后顺序打开。
3.根据权利要求1所述的用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统，其特征在于，所述电磁铁设置于电回路上，所述电回路位于壳体外，所述电回路上设置电源（13）、电路可控开关（14）和工作指示灯（15）。
4.根据权利要求1所述的用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统，其特征在于，所述气液回收箱（10）内设置滤芯（11）。
5.根据权利要求1所述的用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统，其特征在于，回水端和设备之间设置回水手阀（6）。
6.一种用于保护水浮子流量开关的控制方法，其特征在于，包括以下吸附铁屑的步骤，具体包括：
首先，电路开关（14）闭合，电磁铁得电；
之后，打开电磁阀一（1）和电磁阀二（3），关闭支路电磁阀（7）、气液回收电磁阀（9）、DI水路电磁阀（8）和N2冲洗电磁阀（12）；
冷却水由进水端，经壳体、流量开关（4）进入设备后回水；同时，电磁铁吸附进入壳体内冷却水中的铁屑，冷却水经过电磁铁后流入流量开关（4），防止流量开关（4）中的磁芯吸附铁屑。
7.根据权利要求6所述的用于保护水浮子流量开关的控制方法，其特征在于，还包括清理保护单元（2）的步骤，具体包括：
首先，电路开关（14）断开，电磁铁失电；
之后，关闭电磁阀一（1）和电磁阀二（3），打开支路电磁阀（7）；冷却水由进水端，经第一支路、流量开关（4）进入设备以对对设备进行冷却；
同时，先打开气液回收电磁阀（9），再打开DI水路电磁阀（8）将壳体内收集的铁屑及电磁铁上的铁屑，经第二支路冲洗到含滤芯（11）的气液回收箱（10）中；最后，关闭DI水路电磁阀（8），打开N2
冲洗电磁阀（12）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311224268.9A CN117185378A (zh) | 2023-09-21 | 2023-09-21 | 用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311224268.9A CN117185378A (zh) | 2023-09-21 | 2023-09-21 | 用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统及方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117185378A true CN117185378A (zh) | 2023-12-08 |
Family
ID=88997708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311224268.9A Pending CN117185378A (zh) | 2023-09-21 | 2023-09-21 | 用于保护水浮子流量开关的全自动电磁可控式系统及方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117185378A (zh) |
-
2023
- 2023-09-21 CN CN202311224268.9A patent/CN117185378A/zh active Pending
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| PB01 | Publication | ||
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