CN220523892U - 采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，属于半导体设备领域。被冷却装置分别接入冷却水输入管路及冷却水输出管路，位于冷却水输入管路中接入可拆卸式吸附装置；可拆卸式吸附装置的输入端、输出端还并联旁路管路；可拆卸式吸附装置通过卡套接头方式与前后水路进行连接，同时内置空心的永磁体圆环,将原本会被磁性浮子水流量开关的铁屑吸附收集，能够有效保护磁性浮子流量开关。空心的永磁体圆环内径不小于水流外径，新增装置不至于降低其流速。螺纹可拆卸式结构在维护期间可拆下来清洁，十分便捷。该装置主体材质采用透明有机玻璃，便于观察铁屑积累情况。外置一进水短接支路，在此装置清洁期间，不影响设备正常使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，属于半导体设备领域。
背景技术
在一些半导体设备中，通常用循环厂务水对设备的局部进行冷却，以便设备的工作温度在合理范围内。当厂务供水系统出现故障，如果水流停止，则会导致设备局部温度过高，影响设备的正常工作，严重可能导致设备局部部件损坏。
因此，正常情况下，会在厂务给设备供水系统中安装一个水浮子流量开关，用来检测冷却循环水的流动状态。一旦冷却厂务供水停止流动，浮子流量开关给机台报警信号，以便相关人员及时处置，避免事故的发生。
但是，这种浮子流量开关里面磁芯在循环厂务水路中长时间使用时，磁芯会把厂务循环水路中的铁屑吸附在其四周，时间越长，吸附铁屑越多。如果此时，厂务供水突然停止或流量减少，浮子流量开关里的磁芯上不去下不来，失去其应有的功能。
实用新型内容
本实用新型针对上述问题，提供了采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，已达到保护水路中的浮子流量开关，使其能够长时间正常工作。
本实用新型采用如下技术方案：
本实用新型采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路；被冷却装置分别接入冷却水输入管路及冷却水输出管路，位于冷却水输入管路中接入可拆卸式吸附装置；可拆卸式吸附装置的输入端、输出端还并联旁路管路；所述旁路管路上设有旁路手阀。
本实用新型所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，所述可拆卸式吸附装置包括前接口，前壳体，后壳体，环形永磁体，后接口；后壳体内置环形永磁铁，后壳体轴向一端为中心开孔的半封闭式结构、其另一端为开放式端口，后壳体的开放式端口的外壁设有螺纹；
前壳体为中心开孔的盖体结构，前壳体与后壳体开放式端口的螺纹相配合与后壳体旋合；
前壳体中心开孔处及后壳体半封闭式结构中心开孔处分别设有轴向外延的螺纹帽；相对位置的螺纹帽分别旋合前接口及后接口；通过前接口、后接口与冷却水输入管路相连通。
本实用新型所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，位于前接口与后接口前段的冷却水输入管路上分别设有手阀一、手阀二。
本实用新型所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，旁路管路的输入端与输出端分别位于手阀一前段冷却水输入管路及手阀二后段冷却水输入管路上。
本实用新型所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，可拆卸式吸附装置的前接口、后接口通过卡套接头接入冷却水输入管路。
本实用新型所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，所述后壳体采用透明有机玻璃材料制成。
有益效果
本实用新型提供的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，可拆卸式吸附装置采用内置空心的永磁体圆环，将原本会被磁性浮子水流量开关吸附的铁屑收集，能够有效保护磁性浮子流量开关。使磁性浮子流量开关内的磁芯不会因为长时间使用而被冷却水中的铁屑堵塞，致使磁芯无法顺畅上下活动，甚至卡死，而导致其功能丧失。
本实用新型提供的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，在可拆卸式吸附装置需要维护时，设立的旁路管路形成外置进水短接支路，在可拆卸式吸附装置清洁期间，不影响设备正常使用。
本实用新型提供的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，在可拆卸式吸附装置，通过卡套接头方式与前后水路进行连接，使用卡套接头方式具有连接牢靠、耐压能力高、耐温性、密封性和反复性好、安装检修方便。
本实用新型提供的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，在可拆卸式吸附装置，空心的永磁体圆环内径不小于水流外径，新增装置不至于降低其流速。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型水流流向状态工作示意图。
图3为本实用新型在清洁状态下水流流向状态工作示意图。
图4为本实用新型的可拆卸式吸附装置结构。
图5为本实用新型可拆卸式吸附装置剖面结构剖面图。
图6为本实用新型可拆卸式吸附装置爆炸结构示意图。
图中：1-手阀一，2-旁路手阀，3-可拆卸式吸附装置，4-手阀二，5-回水手阀，6-磁性浮子流量开关，7-被冷却装置，8-前接口，9-前壳体，10-后壳体，11-环形永磁体，12-后接口。
实施方式
为使本实用新型实施例的目的和技术方案更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示：本实用新型的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路；被冷却装置7分别接入冷却水输入管路及冷却水输出管路，位于冷却水输入管路中接入可拆卸式吸附装置3；可拆卸式吸附装置3的输入端、输出端还并联旁路管路；旁路管路上设有旁路手阀2；冷却水输出管路上设有回水手阀5。
如图2-图3所示工作原理：厂务水中铁屑会被可拆卸式吸附装置3里内置永磁体吸附住。使用一段时间，例如半年一个周期，对可拆卸式吸附装置3进行定期清洁，这时为了保证在清洁期间不影响设备正常使用，打开旁路手阀2，关闭手阀一1和手阀二4，回水手阀5继续打开，厂务水沿着旁路手阀2、磁性浮子流量开关6进入被冷却装置7，从回水手阀5流出，此时冷却装置7仍然能够得到有效冷却。
因为清洁时间很短，厂务水中微量铁屑对水浮子流量开关里磁芯影响极小。此时，手阀一1和手阀二4关闭，前接口8、后接口12分别与前壳体9、后壳体10通过螺纹连接，拧开后，本装置可与原来水路脱离，前壳体9与后壳体10同样通过螺纹连接，再将其拧开，取出内置的环形永磁体11，清洁掉永磁体表面吸附的铁屑后，原路装回，螺纹复原。整个清洁工作完成后，将本装置3装回去，打开手阀一1和手阀二4，关闭旁路手阀2 ，设备恢复最初的工作状态。
采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，通过卡套接头方式与前后水路进行连接，替其吸附厂务水中微量的铁屑，定期对其进行清洁。使用卡套接头方式具有连接牢靠、耐压能力高、耐温性、密封性和反复性好、安装检修方便等特点。
采用本实用新型提供的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，清洁时耗时较短，对可拆卸式吸附装置流量开关里磁芯影响极小。同时，将此可拆卸式吸附装置从水路中拆下，然后再将此装置拆开，取出里面的永磁体进行清洁，清洁干净装好后，全部原路装回，通过手阀关和开，恢复最初正常工作状态。
如图4、图5、图6所示：可拆卸式吸附装置3包括前接口8，前壳体9，后壳体10，环形永磁体11，后接口12；后壳体10内置环形永磁铁11，后壳体10轴向一端为中心开孔的半封闭式结构、其另一端为开放式端口，后壳体的开放式端口的外壁设有螺纹；
前壳体9为中心开孔的盖体结构，前壳体9与后壳体10开放式端口的螺纹相配合与后壳体旋合；前壳体9中心开孔处及后壳体10半封闭式结构中心开孔处分别设有轴向外延的螺纹帽；相对位置的螺纹帽分别旋合前接口及后接口；通过前接口、后接口与冷却水输入管路相连通。位于前接口8与后接口12前段的冷却水输入管路上分别设有手阀一1、手阀二4。旁路管路的输入端与输出端分别位于手阀一1前段冷却水输入管路及手阀二后段冷却水输入管路上。
后壳体10的主体材质采用透明有机玻璃，材质轻便且坚固，同时便于观察铁屑积累情况，能够及时清洁。装置两端螺纹采用不锈钢材质，不具有磁性，不会与永磁铁互相干扰。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
Claims (7)
1.采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路；被冷却装置分别接入冷却水输入管路及冷却水输出管路，其特征在于：位于冷却水输入管路中接入可拆卸式吸附装置；可拆卸式吸附装置的输入端、输出端还并联旁路管路；所述旁路管路上设有旁路手阀。
2.根据权利要求1所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：所述可拆卸式吸附装置包括前接口，前壳体，后壳体，环形永磁体，后接口；后壳体内置环形永磁铁，后壳体轴向一端为中心开孔的半封闭式结构、其另一端为开放式端口，后壳体的开放式端口的外壁设有螺纹；
前壳体为中心开孔的盖体结构，前壳体与后壳体开放式端口的螺纹相配合与后壳体旋合；
前壳体中心开孔处及后壳体半封闭式结构中心开孔处分别设有轴向外延的螺纹帽；相对位置的螺纹帽分别旋合前接口及后接口；通过前接口、后接口与冷却水输入管路相连通。
3.根据权利要求2所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：位于前接口与后接口前段的冷却水输入管路上分别设有手阀一、手阀二。
4.根据权利要求1或3所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：旁路管路的输入端与输出端分别位于手阀一前段冷却水输入管路及手阀二后段冷却水输入管路上。
5.根据权利要求2所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：可拆卸式吸附装置的前接口、后接口通过卡套接头接入冷却水输入管路。
6.根据权利要求2所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：所述后壳体采用透明有机玻璃材料制成。
7.根据权利要求2所述的采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，其特征在于：所述环形永磁体的内径大于水流外径。
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