CN117174616A - 产线派工方法、电子信息系统和计算机可读存储介质 - Google Patents

Abstract

本申请实施例涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种产线派工方法、电子信息系统和存储介质。该产线派工方法包括：针对排程清单中的各待制品批，将工艺配方适用于待制品批的可作业腔室确定为待制品批的匹配作业腔室；按照各匹配作业腔室的腔室优先级生成腔室表单；匹配作业腔室对应的待制品批的批数量越多，对应的腔室优先级越低；获取排程清单中各待制品批的排程优先级，按照腔室表单中各匹配作业腔室的腔室优先级，依次确定各匹配作业腔室对应的排程优先级最高的待制品批，并将排程优先级最高的待制品批作为匹配作业腔室的目标制品批；将各匹配作业腔室及其对应的目标制品批增加或更新至当前派工单。

Description

产线派工方法、电子信息系统和计算机可读存储介质

技术领域

本申请涉及半导体生产技术领域，具体地，涉及一种产线派工方法、电子信息系统和计算机可读存储介质。

背景技术

目前大多晶圆制造厂都上线了自动化派工系统，通过该派工系统对线上的产品批次进行实时合理的派工，相比于传统的人为派工方式，这种派工方式效率更高。但是，晶圆的生产制造工艺十分复杂，而且机台的作业能力逐渐趋向多样化，对派工排程的影响因素也越来越多，使得生产调度工作变得日益复杂。

首先，面对产品质量、产品工期、产线均衡等需要相互协调的多生产目标问题，需要考虑多方面的排程影响因素，制定更加完善的指标体系，以期通过更为合理有效的排程实现多派工目标的优化。其次，排程指标优先级多依赖于生产调度人员自身经验给定，难以进行客观的量化评定。此外，派工规则的制定，因其Area特征(即不同区域自身的属地特征)的不同而不尽相同，尤其是随着机台作业能力由专一化向多能化转变，传统的派工规则已经无法保证机台的稼动率。例如在晶圆成膜工序中，成膜设备属于腔室型机台，部分机台工艺腔室可独立作业，即不同腔室可以同时加工不同配方制品，如果仍然采用传统派工方法，以机台为单位分配制品，可能导致部分腔室空载运行。

因此，如何在保证机台稼动率的同时，实现产品工期、产线均衡等多生产目标的优化，已经成为本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

本申请实施例中提供了一种产线派工方法、电子信息系统和存储介质。

第一方面，本申请实施例中提供了一种产线派工方法，包括：

针对排程清单中的各待制品批，将工艺配方适用于所述待制品批的可作业腔室确定为所述待制品批的匹配作业腔室；其中，所述可作业腔室是指腔室与腔室所在半导体设备的作业状态均为可用状态的腔室；

按照各所述匹配作业腔室的腔室优先级生成腔室表单；其中，匹配作业腔室对应的待制品批的批数量越多，对应的腔室优先级越低；

获取所述排程清单中各待制品批的排程优先级，按照所述腔室表单中各匹配作业腔室的腔室优先级，依次确定各匹配作业腔室对应的排程优先级最高的待制品批，并将排程优先级最高的待制品批作为匹配作业腔室的目标制品批；

将各匹配作业腔室及其对应的目标制品批增加或更新至当前派工单。

第二方面，本申请实施例中提供了一种电子信息系统，包括：存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器能够执行所述计算机程序以实现前述任一项所述产线派工方法。

第三方面，本申请实施例中提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现前述任一项所述的产线派工方法。

本申请实施例提供的产线派工方法，第一方面，在匹配可作业腔室与待制品批的过程中，按照腔室表单中各匹配作业腔室的腔室优先级依次进行目标制品批的确认匹配，优先为对应待制品批数量较少的匹配作业腔室进行待制品批的分配，从而实现对各作业腔室的制品批分配的均衡化，提高各作业腔室的利用率以及生产线的效率；第二方面，针对匹配作业腔室可执行待制品批数量大于等于两个批次的情况，将排程优先级最高的待制品批确定为对应匹配作业腔室的目标制品批，即优先将排程优先的待制品批分配给批数量较少的匹配作业腔室，从而在提高制品生产效率的前提下进一步优化生产排程。综上，本申请实施例从提高腔室利用率、生产效率，以及优化生产排程等多个维度实现派工单的优化，达到了提高机台稼动率的技术效果。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请一个实施例提供的产线派工方法的流程图；

图2为本申请另一个实施例提供的产线派工方法的流程图；

图3为本申请一个实施例提供的产线派工方法指标权重确定层级示意图；

图4为本申请又一个实施例提供的产线派工方法的流程图；

图5为本申请再一个实施例提供的产线派工方法的流程图；

图6为本申请实施例提供的派工事项的流程框图；

图7为本申请一个实施例提供的电子信息系统的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明。显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

本申请实施例提供的产线派工方法应用于产线自动派工系统，该产线自动派工系统至少涉及控制设备和多个半导体设备机台；其中，机台用于对晶圆进行具体工艺作业，本实施例主要针对腔室型机台，一台腔室型机台一般具有一个或多个作业腔室，不同的作业腔室对晶圆所执行的工艺配方不尽相同；控制设备可以为移动电子设备、笔记本电脑、计算机设备、服务器、PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)等，在此不作穷举，能够生成派工单并实现自动派工即可。

请参照图6，派工事项一般包括信息获取、信息整合、信息存储、规则配置、结果输出等多个环节。其中：

1、信息获取：获取包括但不限于排程指标信息、设备信息、工艺条件和作业记录。其中，

1.1排程指标信息：主要来源于MES(Manufacturing Execution System，制造执行系统)线上晶圆批次信息、生产调度临时管控信息、以及上下游工艺关联关系信息，具体包括待制品批及其优先级、到达本工步的时间、紧迫系数、许容时间、是否属于加急批次、是否在月入库批次清单内、是否在下一工序(工步)排程清单内等。

1.2设备信息：设备状态、设备保全信息、设备故障率等。

1.3工艺条件：工艺配方(各项工艺参数以及对应的数值)与设备腔室对应清单、腔室作业时间等。

1.4作业记录：机台作业制品批的历史信息等。

2、信息整合：主要包括依据获取的排程指标信息进行整合，确定最终的排程指标；然后依据派工目标，可利用层次分析法的两两对比矩阵，由生产调度人员以及有关工程师进行多人打分，计算出各排程指标的指标权重，排程指标包括但不限于：许容时间、是否属于加急批次、制品优先级别、是否在下一工序排程清单内、是否在月入库批次清单内、紧迫系数、到达本工步时间等。

按需求进行统计汇总，具体依据设备状态信息判定并生成可作业腔室清单，依据保全信息、工艺配方与设备腔室对应清单、待制品批作业配方，获取当前待制品批与所有可作业腔室匹配清单，并依据腔室历史信息，计算同一腔室作业不同配方产品的偏好值。

3、规则配置

3.1、排程规则配置：配置排程规则，依据排程目标及指标对当前工序所有待制品批进行排程，根据排程结果对待制品批配置唯一识别编号，生成待制品批排程清单。

3.2、派工(腔室分配)规则配置：依据派工目标及获取的相关信息，制定合理的分配规则。

4、信息存储：对信息获取、信息整合以及规则配置环节形成的相关信息进行实时存储，以备后续步骤调用以及最终派工结果的输出。

5、信息输出：将派工结果，也即对生成的派工单依据生产实际需要的内容及格式进行输出。

下面以晶圆的成膜工序为示例对本申请实施例提供的派工方法进行具体说明。

成膜设备为腔室型机台，机台各腔室可独立作业，即不同腔室可以同时加工不同工艺配方的制品，因此本申请实施例将待派工机台细化至腔室，按可作业腔室进行待制品批的分配，从而能够提高腔室和整个机台的利用率。

请参见图1，本申请实施例提供的产线派工方法包括如下步骤101至104。

步骤101、针对排程清单中的各待制品批(或称为在制品批)，将工艺配方(recipe)适用于待制品批的可作业腔室确定为待制品批的匹配作业腔室。

排程清单是对各待制品批按照预设的排程优先级进行排序后形成的清单。该排程清单中的每一待制品批具有一个唯一的排程识别码，该排程识别码是根据设定的排程指标通过数理统计方法生成的，表征待制品批的加工优先顺序。表1提供了一种示例性的排程清单，其中排程识别码越小，代表待制品批的加工优先级越高。

可作业腔室是指腔室与腔室所在机台的作业状态均为可用状态的腔室，可用状态是指除了故障、保全(包括点检)之外的设备状态，当然，如果距离保全开始时间小于待制品批作业所需时间，则不应视为可用状态。表2提供了一种示例性的腔室表单。

在步骤101中，针对排程清单中的待制品批，确定与待制品批相匹配的可作业腔室，将其作为待制品批的匹配作业腔室。其中，排程清单中可以具有一个或多个在制品批，在排程清单中具有多个在制品批时，可以按照排程识别码，按照加工优先级由高到低的顺序依次确定各在制品批的匹配作业腔室。每一在制品批可以对应一个或多个匹配作业腔室。一个可作业腔室也可以适用于一个或多个在制品批。表3提供了一种示例性的匹配作业腔室列表。

表1

表2

表3

步骤102、按照各匹配作业腔室的腔室优先级生成腔室表单；其中，匹配作业腔室对应的待制品批的批数量越多，对应的腔室优先级越低。

在步骤102中，为了保证尽可能多的匹配作业腔室能够被分配到待制品批，可以采用为能够加工的待制品批的批次数量较少的匹配作业腔室优先分配的策略。具体的，本申请实施例中的腔室优先级是根据该腔室能够加工的待制品批的总数量即批数量设定的，批数量越少，腔室优先级越高；相反，批数量越多，腔室优先级越低。比如表3所示的三个匹配作业腔室C1至C3中，C1能够加工的待制品批的总数量最少，C2能够加工的待制品批的总数量最多，因此C1的优先级大于C3，且C3的优先级大于C2。本申请实施例基于各腔室对应的批数量进行优先级排列，并生成腔室表单。表4提供了一种示例性的按优先级排序的腔室清单。

表4

步骤103、获取排程清单中各在制品批的排程优先级，按照腔室表单中各匹配作业腔室的腔室优先级，依次确定各匹配作业腔室对应的排程优先级最高的在制品批，并将排程优先级最高的在制品批作为匹配作业腔室的目标制品批。

举例来说，腔室表单4中，匹配作业腔室C3对应的待制品批包括：Lot7和Lot8；而在排程清单中，参考表1，由于Lot7的排程优先级高于Lot8，所以C3的目标制品批即为Lot7；同理，按照该腔室优先级的顺序依次匹配C2的目标制品批为Lot5。

步骤104、将各匹配作业腔室及其对应的目标制品批增加或更新至当前派工单。

本申请实施例提供的产线派工方法，第一方面，在匹配可作业腔室与待制品批的过程中，按照腔室表单中各匹配作业腔室的腔室优先级依次进行目标制品批的匹配确认，优先为对应待制品批数量较少的匹配作业腔室进行待制品批的分配，从而实现对各作业腔室待制品批的均衡化分配，提高各作业腔室的利用率，以及生产线的效率。第二方面，针对匹配作业腔室可能对应不止一个待制品批的场景，本申请实施例将匹配作业腔室对应的各待制品批中排程优先级最高的待制品批确定为匹配作业腔室的目标制品批，即将排程优先的待制品批优先分配给批数量较少的匹配作业腔室，从而在提高生产效率的前提下达到进一步优化生产排程的目的。

综上，本申请实施例从提高腔室利用率，以及优化生产排程等多个维度实现派工单的优化，从而解决了目前机台稼动率较低的技术问题，也提高了作业效率。

请参见图2，在本申请一个可选实施例中，该产线派工方法还包括确定排程清单的过程，具体包括如下步骤201至203。

步骤201、确定排程指标以及对应的指标权重。

排程指标可以根据实际情况具体设定，排程指标相关信息主要来源于MES系统线上晶圆批次信息、生产调度临时管控信息、以及上下游工序关联关系信息，例如包括但不限于如图3中执行层的：许容时间(Queue Time，也称限制等待时间)、紧迫系数(CriticalRatio)、是否属于加急批次、制品优先级别、是否在月入库批清单内、到达本工步时间、是否在下一工步排程清单内等。

本申请实施例中，将“是否在下一工步排程清单内”作为排程指标之一。对于成膜工序，其下游工步(或称为：下游工序)主要为光刻或者扩散。其中对于扩散工序，其具有同期加工批次多、时间周期长的特点；对于光刻工序，其往往是整个产线的限速工序。本实施例将“是否在下一工步排程清单内”作为排程指标之一，就可以在派工过程中充分考虑下游工序的实际加工需求，尽量满足下游工序的组批要求和加工要求，即相当于下游工序对上游工序实施了拉动式生产，最终能够达到提高本工序和下一工序作业效率的效果。

如图3中的准则层以及下表5，可以设定3个评估指标：产品质量B1、产品工期B2和产线均衡B3，针对这三个评估指标，比如相对重要性，由生产调度人员以及有关工程师多人进行量化打分，然后利用层次分析法的两两对比矩阵，计算得到各排程指标对应的指标权重。表5提供了一种示例性的获取的准则层中各评估指标的数据。需要解释的是，表5中的数据可以根据不同时段的管控要求定期或不定期更新。

表5

	产品质量B1	产品工期B2	产线均衡B3
				产品质量B1	1	3	5
产品工期B2	1/3	1	3
				产线均衡B3	1/5	1/3	1

得到准则层中评估指标对应的权重的具体过程如下：

生成对比矩阵M1：

分别对对比矩阵M1中的列进行归一化处理，得到对比矩阵M1的列归一结果，基于列归一结果进行求行和计算并得到行和结果，基于行和结果进行计算得到准则层中评估指标对应的权重W_B，具体如下：

列归一：

行和：

权重

本实施例还可以对对比矩阵M1进行一致性检验，以判断数据是否可用。其中，矩阵阶数不超过最大特征值视为一致性检验合格，数据可用；否则视为不合格，数据不可用。具体的，可基于上述生成的对比矩阵M1，进行最大特征值计算：

因此，上述3.037>3，一致性检验合格，该数据可用。

经过上述计算，得到目标层中A目标下准则层3个评估指标的相应权重；依次类推，可计算出最终的执行层中各排程指标的指标权重。

以下对执行层指标权重计算过程进行示例性描述。其中，执行层的排程指标包括：D1(许容时间)、D2(紧迫系数)、D3(是否属于加急批次)、D4(制品优先级别)、D5(是否在月入库批次清单内)、D6(到达本工步时间)、D7(是否在下一工步排程清单内)。表6提供了一种示例性的获取的执行层中各排程指标的数据。

表6

对B1(产品质量)下的执行层中排程指标的指标权重进行计算：

生成对比矩阵M2：

分别对对比矩阵M2的行列进行归一化处理，得到B1下，执行层的权重W_B1C：

列归一：

行和：

执行层的权重W_B1C：

基于上述生成的对比矩阵M2，进行最大特征值计算，得到最大特征值为7.517，矩阵阶数不超过最大特征值视为一致性检验合格，数据可用。所以，上述B1下执行层的指标权重W_B1C可用。

同理：得到B2目标下执行层的权重W_B2C以及B3目标下执行层的权重W_B3C分别为：

所以A目标下最终的执行层的指标权重为：

步骤202、根据排程指标及指标权重计算各待制品批的排程优先级，生成排程识别码，该排程识别码用以表征待制品批的排程优先级，其中，排程识别码越小，则排程优先级越高。

步骤203、按照排程优先级生成排程清单。

优先级越高的待制品批在排程清单中的排序越靠前，相反，优先级越低的待制品批在排程清单中排序越靠后。

本申请实施例先确定排程指标以及指标权重，然后根据各指标权重计算当前工序中各待制品批的排程优先级，最后按照排程优先级生成当前工序中各待制品批的排程清单，第一方面，可以自动生成排程清单，第二方面，根据实际需要设定的各指标权重确定该排程优先级，最终得到的派工单也更加科学、合理，进而能够提高产线的生产效率。

在本申请一个可选实施例中，上述步骤101、将工艺配方适用于待制品批的可作业腔室确定为待制品批的匹配作业腔室，具体包括如下步骤：

若可作业腔室与待制品批的工艺配方相适配，且可作业腔室所在半导体设备的剩余作业时长大于待制品批的预设工艺时长，则将此可作业腔室确定为待制品批的匹配作业腔室。

其中，该剩余作业时长是指当前时刻距离下次维修保养开始时间的时间长度；当然若此时可作业腔室中有正在作业的制品批，则剩余作业时长还应减去此可作业腔室完成当前制品批所需剩余时间。待制品批的预设工艺时长，指的是在待制品批次完成本次腔室作业的时长，可以根据历史数据估算。

本实施例中，在确定匹配作业腔室的过程中考虑了半导体设备的剩余作业时长，可以保证该可作业腔室在下一时刻或者下一阶段可以对在制品批进行作业，可靠性更高。

请参见图4，在本申请一个可选实施例中，若存在目标制品批对应多个匹配作业腔室的情况，则可采用如下方式对产线派工方法进行优化。

在其中一种实现方式中，上述产线派工方法还包括如下步骤401至404：

步骤401、确定各目标制品批所对应的匹配作业腔室的数量。

一个待制品批的工艺配方可能与多个可作业腔室适配，也就是说，该多个可作业腔室均可以对该待制品批进行作业，在这种情况下，可以基于匹配作业腔室列表进行统计，得到每个目标制品批对应的匹配作业腔室的数量。比如上述实施例的表3中，目标制品批Lot5仅对应C2一个匹配作业腔室，Lot6对应C1和C2两个匹配作业腔室。

步骤402、若匹配作业腔室的数量为多个(也即大于1个)，则确定目标制品批对应的各匹配作业腔室的偏好值。

本实施例中，可以根据目标制品批对应的各匹配作业腔室的历史数据确定匹配作业腔室的偏好值。在本申请一个可选实施例中，该步骤402可以具体包括如下步骤4021-4023：

步骤4021、确定各匹配作业腔室中，与目标制品批为同一工艺配方的历史制品批；

步骤4022、获得各匹配作业腔室中各历史制品批的作业参数，该作业参数具体可以包括作业效率、腔室故障率、累计过片量系数与累计作业时间系数；

其中，作业效率指的是同一工艺配方在不同腔室的作业效率；腔室故障率指的是腔室故障发生频率；累计过片量系数＝本腔室累计过片量/max(本机台各腔室累计过片量)；累计作业时间系数＝本腔室累计作业时间/max(本机台各腔室累计作业时间)。

步骤4023、根据各匹配作业腔室的作业参数，确定目标制品批对应的各匹配作业腔室的偏好值。

具体地，该偏好值可以通过如下方式确定得到：

偏好值＝a₁×作业效率+a₂×腔室故障率+a₃×累计过片量系数+a₄×累计作业时间系数

其中：a₁、a₂、a₃、a₄分别为作业效率、腔室故障率、累计过片量系数、累计作业时间系数这四个指标的权值，具体可以为获取的由相关人员依据派工目标设定的值。

步骤403、将偏好值最高的匹配作业腔室确定为目标制品批的目标派工腔室。

也就是将偏好值最高的匹配作业腔室确定为该目标制品批的目标派工腔室，可以进一步提高制品批的作业效率，进而提高生产效率。

当采用偏好值不能确定唯一腔室时，还可以采用随机函数确定唯一的目标派工腔室。

步骤404(对应步骤104)、将各匹配作业腔室及其对应的目标制品批增加或更新至当前派工单。

本申请实施例在目标制品批对应的匹配作业腔室数量大于1的情况下，根据各匹配作业腔室偏好值确定一个最优的目标作业腔室，可以确保为目标制品批匹配唯一且相对最优的目标派工腔室，可以进一步提高实际生产效率。

在其中一种实现方式中，上述产线派工方法还包括如下步骤：

若偏好值最高的匹配作业腔室为多个，则从目标制品批对应的多个匹配作业腔室中随机选择一个腔室作为目标制品批的目标派工腔室。

与之对应的，还包括：将目标制品批以及对应的目标派工腔室更新至当前派工单。

在基于步骤S401至步骤S404仍旧不能确定唯一的目标派工腔室时，可以采用随机选取方式为目标制品批确定一个唯一的目标派工腔室。具体的，可以从偏好值最高的多个匹配作业腔室中随机选取，当然也可以从目标制品批对应的各匹配作业腔室中随机选取。

在其它实施例中，在目标制品批对应的匹配作业腔室数量大于1的情况下，也可以直接采用随机函数的选取方式为目标制品批确定一个唯一的目标派工腔室，无需历史数据的支持与计算比对，节省了较多的数据调取与计算时间，在一定程度上提高了派工单的更新效率。

在本申请一个可选实施例中，上述产线派工方法还包括如下步骤：

将目标制品批对应的匹配作业腔室的作业状态更新为腔室已分配状态。

在对待制品批与对应的匹配作业腔室进行匹配后，将匹配作业腔室的状态标记为已分配状态，使其不再参与后续的分配过程，以免造成混乱。该分配状态的标识可根据实际情况具体设定，例如可以标记为T，本申请实施例不作具体限定。

在本申请一个可选实施例中，在将匹配作业腔室及其对应的目标制品批增加或更新当前派工单之后，上述产线派工方法还包括如下步骤：

若当前的匹配作业腔室的腔室优先级最低，则将当前派工单确定为最终派工单。

也就是说，在派工单生成过程中按照腔室表单的腔室优先级依次对每个匹配作业腔室进行待制品批的分配，优先级最低的腔室就是腔室表单中被最后分配的腔室。在基于当前的匹配作业腔室及其对应的目标制品批增加或更新当前派工单之后，可以判断当前的匹配作业腔室的腔室优先级是否为最低，若是，则表示已经完成对所有腔室的派工，此时得到的实时更新的派工单，为最终派工单。

在本申请一个可选实施例中，请参照图5，上述产线派工方法中，确定匹配作业腔室的目标制品批的过程，还包括如下步骤501至507：

步骤501、确定腔室表单中各匹配作业腔室的腔室类型。

其中，腔室类型至少包括多向作业腔室(记为I类腔室)与单向作业腔室(记为II类腔室)。多向作业腔室是指既可以进行前道工艺作业又可以进行后道工艺作业的腔室。单向作业腔室是指要么只可以进行前道工艺作业，要么只可以进行后道工艺作业的腔室。最近作业工艺配方属于后道工艺的多向作业腔室的腔室优先级高于其它作业腔室的腔室优先级。

由前道工艺切换至后道工艺的耗时较短，可忽略不计，但是由于后道工艺可能涉及金属污染，因此在由后道工艺序切换至前道工艺时需要进行切换评估，甚至需要进行清洁处理，耗时较长。

步骤501中，若确定匹配作业腔室为多向作业腔室(I类腔室)，则执行步骤502；若确定匹配作业腔室为单向作业腔室(II类腔室)，则执行步骤507。

步骤502、获取腔室表单中各所多向作业腔室最近作业记录的工艺配方类型，其中，最近作业记录的工艺配方类型为前道工艺配方及后道工艺配方中的一个；

步骤502中，若确定多向作业腔室最近作业记录的工艺配方类型为后道工艺配方，则执行步骤503；若确定多向作业腔室最近作业记录的工艺配方类型为前道工艺配方，则执行步骤506。

步骤503、若多向作业腔室最近作业记录的工艺配方类型为后道工艺配方，则将多向作业腔室与具有后道工艺配方的待制品批进行匹配；

步骤504、若匹配成功，则将排程优先级最高的待制品批作为多向作业腔室的目标制品批；

步骤505、若未匹配成功，则将多向作业腔室的腔室类型更新为单向作业腔室；

步骤506、若多向作业腔室最近作业记录的工艺配方类型为前道工艺配方，则将多向作业腔室更新为单向作业腔室；

步骤507、根据排程优先级，依次将单向作业腔室对应的排程优先级最高的待制品批作为单向作业腔室的目标制品批。

其中，最近作业记录是指上一次作业记录，也即历史作业记录中记录时间与当前时间最近的作业记录。针对最近作业的工艺配方类型属于后道工序的各I类腔室，根据排程优先级以及待制品批工艺配方，依次将I类腔室所匹配到的后道工序待制品批中排程优先级最高的待制品批确定为I类腔室的目标制品批。若存在I类腔室未成功匹配到目标制品批，也即若I类腔室未被派工，则将该I类腔室更新为II类腔室。另外，还将工艺配方类型为前道工艺配方的I类腔室也更新为II类腔室。接着，针对各II类腔室，根据排程优先级，依次将II类腔室对应的排程优先级最高的待制品批确定为II类腔室的目标制品批。

也就是说，待制品批与最近作业工艺配方属于后道工艺的I类腔室分配完成后，将剩余未被匹配制品批的I类腔室与未被分配的II类腔室进行整合，继续进行目标制品批的分配，通过这种方式，可以大大提高所有作业腔室的利用率，进而提高制品批的生产效率。

在本申请一个可选实施例中，半导体设备为成膜设备；可作业腔室为成膜工序中的腔室；待制品批为待成膜在制品批。

应该理解的是，虽然流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，图中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段，这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些子步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。

在一个实施例中，提供了一种电子信息系统，该电子信息系统的构成可以如图7所示。该电子信息系统包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口、输入输出设备。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力；该电子信息系统的存储器包括非易失性存储介质、内存储器；该非易失性存储介质存储有操作系统、计算机程序和数据库；该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供临时存储；该电子信息系统的网络接口用于与外部的终端通过网络连接通信；该计算机程序被处理器执行时能够实现如上的一种产线派工方法。

在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时可以实现如上产线派工方法中的任一步骤。

本领域内的技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序的形式。

本申请实施例的方法、设备(系统)等是参照计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框及其结合。这些计算机程序可由通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器执行以实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，通过读取并执行该计算机程序可实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (11)

1.一种产线派工方法，其特征在于，包括：

针对排程清单中的各待制品批，将工艺配方适用于所述待制品批的可作业腔室确定为所述待制品批的匹配作业腔室；其中，所述可作业腔室是指腔室与腔室所在半导体设备的作业状态均为可用状态的腔室；

按照各所述匹配作业腔室的腔室优先级生成腔室表单；其中，匹配作业腔室对应的待制品批的批数量越多，对应的腔室优先级越低；

获取所述排程清单中各待制品批的排程优先级，按照所述腔室表单中各匹配作业腔室的腔室优先级，依次确定各匹配作业腔室对应的排程优先级最高的待制品批，并将排程优先级最高的待制品批作为匹配作业腔室的目标制品批；

将各匹配作业腔室及其对应的目标制品批增加或更新至当前派工单。

2.根据权利要求1所述的产线派工方法，其特征在于，在获取所述排程清单中各待制品批的排程优先级之前，所述方法还包括：

确定排程指标以及对应的指标权重；其中所述排程指标包括如下至少一种：许容时间、紧迫系数、是否属于加急批次、制品优先级别、是否在月入库批次清单内、到达本工步时间、是否在下一工步排程清单内；

根据各指标权重确定当前工序中各所述待制品批的排程优先级；

按照所述排程优先级生成所述排程清单。

3.根据权利要求2所述的产线派工方法，其特征在于，确定排程指标对应的指标权重，包括：

基于层次分析法确定排程指标对应的指标权重；其中，层级分析法中的层级结构模型包括：目标层、准则层及执行层，所述准则层的因素包括如下至少一种：产品质量、产品工期、产线均衡，所述执行层的因素包括所述排程指标。

4.根据权利要求1所述的产线派工方法，其特征在于，还包括：

确定各目标制品批所对应的匹配作业腔室的数量；

若所述匹配作业腔室的数量为多个，则确定所述目标制品批对应的各所述匹配作业腔室的偏好值，将偏好值最高的匹配作业腔室确定为所述目标制品批的目标派工腔室；并将所述目标制品批以及对应的所述目标派工腔室更新至所述当前派工单。

5.根据权利要求4所述的产线派工方法，其特征在于，所述确定目标制品批对应的各匹配作业腔室的偏好值，包括：

确定各所述匹配作业腔室中，与所述目标制品批为同一工艺配方的历史制品批；

获得各所述匹配作业腔室中各所述历史制品批的作业参数，所述作业参数包括作业效率、腔室故障率、累计过片量系数与累计作业时间系数；

根据各所述匹配作业腔室的作业参数，确定目标制品批与对应的各匹配作业腔室的所述偏好值。

6.根据权利要求4所述的产线派工方法，其特征在于，还包括：

若偏好值最高的所述匹配作业腔室为多个，则从偏好值最高的多个匹配作业腔室中随机选择一个作为所述目标制品批的目标派工腔室；

并将所述目标制品批以及对应的所述目标派工腔室更新至所述当前派工单。

7.根据权利要求1所述的产线派工方法，其特征在于，还包括：

确定所述腔室表单中各所述匹配作业腔室的腔室类型；其中，所述腔室类型包括多向作业腔室与单向作业腔室，所述多向作业腔室是指适用于前道工艺配方以及后道工艺配方的腔室，所述单向作业腔室是指适用于前道工艺配方以及后道工艺配方中的一类的腔室；

获取所述腔室表单中各所多向作业腔室最近作业记录的工艺配方类型，其中，所述最近作业记录的工艺配方类型为前道工艺配方及后道工艺配方中的一个；

若所述多向作业腔室最近作业记录的工艺配方类型为后道工艺配方，则将所述多向作业腔室与具有后道工艺配方的待制品批进行匹配；若匹配成功，则将排程优先级最高的所述待制品批作为所述多向作业腔室的目标制品批；若未匹配成功，则将所述多向作业腔室的腔室类型更新为单向作业腔室；

根据所述排程优先级，依次将所述单向作业腔室对应的排程优先级最高的待制品批作为所述单向作业腔室的所述目标制品批。

8.根据权利要求7所述的产线派工方法，其特征在于，在依次将所述单向作业腔室对应的排程优先级最高的待制品批作为所述单向作业腔室的所述目标制品批之前，还包括：

若所述多向作业腔室最近作业记录的工艺配方类型为前道工艺配方，则将所述多向作业腔室更新为单向作业腔室。

9.根据权利要求1至8任一项所述的产线派工方法，其特征在于，所述半导体设备为成膜设备；所述待制品批为待成膜在制品批。

10.一种电子信息系统，包括：存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器能够执行所述计算机程序以实现权利要求1至9中任一项所述产线派工方法。

11.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至9中任一项所述的产线派工方法。