CN117113939A - 一种工艺技术文件生成方法、装置、电子设备及存储介质 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种工艺技术文件生成方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：基于用户的第一操作，生成创建界面并展示；基于所述用户在所述创建界面的第二操作，确定至少一个堆叠数据；基于工艺层类型将所述至少一个堆叠数据写入工艺技术文件中的第一预设位置。

Description

一种工艺技术文件生成方法、装置、电子设备及存储介质

技术领域

本申请涉及数据处理、半导体领域，尤其涉及一种工艺技术文件生成方法、装置、电子设备及存储介质。

背景技术

工艺技术文件作为描述半导体制造结构及工艺效应的重要文件，被众多与寄生效应相关的工具所引用，包括寄生参数提取工具、布局布线工具、可靠性分析EMIR工具以及电磁模拟仿真工具。这些工具对工艺技术文件语法要求非常严格，容错率较低。而目前工艺技术文件的全部内容均需技术人员手动填写，错误率较高，且效率较低。

发明内容

本申请提供一种工艺技术文件生成方法、装置、电子设备及存储介质，以解决上述的技术问题。

为此，本申请实施例一方面提供一种工艺技术文件生成方法，所述方法包括：

基于用户的第一操作，生成创建界面并展示；

基于所述用户在所述创建界面的第二操作，确定至少一个堆叠数据；

基于工艺层类型将所述至少一个堆叠数据写入工艺技术文件中的第一预设位置。

其中，所述基于用户的第一操作，生成创建界面并展示，包括：

基于所述第一操作，确定至少一个工艺层类型；

获取所述工艺层类型的至少一个参数名；

基于所述至少一个工艺层类型和每个工艺层类型的至少一个参数名生成创建界面并展示。

其中，所述基于所述用户在所述创建界面的第二操作，确定至少一个堆叠数据，包括：

基于所述第二操作，确定至少一个工艺层名和每个工艺层名的至少一个参数值；

确定所述参数名的数据存储类型，并基于所述数据存储类型读取所述参数名对应的至少一个参数值；

基于所述参数名和对应的至少一个参数值确定参数；

基于所述至少一个工艺层名和每个工艺层名的至少一个参数确定至少一个堆叠数据。

其中，该方法还包括：

基于所述用户的第三操作，从工艺技术文件中读取所述第三操作选取的至少一个堆叠数据；

基于所述至少一个堆叠数据生成第一编辑界面并展示；

基于所述用户在所述第一编辑界面的第四操作，获取修改后的至少一个堆叠数据；

基于所述修改后的至少一个堆叠数据对所述工艺技术文件进行修改。

其中，该方法还包括：

基于所述用户的第五操作，获取至少一个三维结构数据名，并基于所述至少一个三维结构数据名生成第二编辑界面并展示；

基于所述用户在所述第二编辑界面的第六操作，确定至少一个堆叠数据和所述三维结构数据名的三维结构数据值；

基于所述三维结构数据名和所述三维结构数据名对应的三维结构数据值确定至少一个三维结构数据；

基于所述至少一个堆叠数据和所述至少一个三维结构数据生成至少一个三维结构堆叠数据；

将所述至少一个三维结构堆叠数据写入所述工艺技术文件的第二预设位置。

其中，所述基于所述至少一个堆叠数据和所述至少一个三维结构数据生成至少一个三维结构堆叠数据，包括：

基于所述三维结构数据确定对应的至少一个三维结构堆叠数据模板；

基于所述三维结构数据和所述至少一个三维结构堆叠数据模板生成所述三维结构数据的至少一个三维结构堆叠数据。

其中，所述生成创建界面、第一编辑界面或第二编辑界面，包括：

从版图中提取数据，得到所述版图的至少一个参考三维结构数据和至少一个参考参数；

基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个工艺层类型和每个工艺层类型的至少一个参数名生成创建界面并展示；

或，

基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个堆叠数据和每个堆叠数据的至少一个参数名与参数值生成第一编辑界面并展示；

或，

基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个三维结构数据名生成第二编辑界面并展示。

本申请实施例另一方面提供一种工艺技术文件生成装置，所述装置包括：

显示模块，用于基于用户的第一操作，生成创建界面并展示；

处理模块，用于基于所述用户在所述创建界面的第二操作，确定至少一个堆叠数据；

所述处理模块，还用于基于工艺层类型将所述至少一个堆叠数据写入工艺技术文件中的第一预设位置。

根据本申请的另一方面，提供了一种电子设备，包括：

至少一个处理器；以及

与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，

所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行上述任一项所述的方法。

根据本申请的另一方面，提供了一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质，其中，所述计算机指令用于使所述计算机执行上述任一项所述的方法。

根据本申请的另一方面，提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序在被处理器执行时实现上述任一项所述的方法。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1示出了根据本申请的一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；

图2示出了根据本申请的另一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；

图3示出了根据本申请的一个实施例的创建界面的示意图；

图4示出了根据本申请的另一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；

图5示出了根据本申请的另一个实施例的创建界面的示意图；

图6示出了根据本申请的另一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；

图7示出了根据本申请的一个实施例的堆叠数据的示意图；

图8示出了根据本申请的一个实施例的第一编辑界面的示意图；

图9示出了根据本申请的另一个实施例的第一编辑界面的示意图；

图10示出了根据本申请的另一个实施例的堆叠数据的示意图；

图11示出了根据本申请的另一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；

图12示出了根据本申请的一个实施例的第二编辑界面的示意图；

图13示出了根据本申请的另一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；

图14示出了根据本申请的另一个实施例的工艺技术文件生成方法的流程图；

图15示出了根据本申请的一个实施例的工艺技术文件生成装置的结构示意图；

图16示出了根据本申请的一个实施例的一种电子设备的组成结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而非全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

为了降低生成的工艺技术文件的错误率，同时提高生成效率，本申请一实施例提供了一种工艺技术文件生成方法，如图1所示，该方法包括：

步骤101，基于用户的第一操作，生成创建界面并展示。

在生成工艺技术文件时，用户可以通过软件创建堆叠数据。

用户可通过在软件中执行第一操作(如点击软件中的创建按钮)，来生成创建界面并展示。

步骤102，基于所述用户在所述创建界面的第二操作，确定至少一个堆叠数据。

用户在创建界面执行第二操作(如输入堆叠数据的内容)，确定至少一个堆叠数据。

步骤103，基于工艺层类型将所述至少一个堆叠数据写入工艺技术文件中的第一预设位置。

用户在确定堆叠数据的同时，也确定了堆叠数据的工艺层类型，因此，当用户确定完所需的堆叠数据后，基于堆叠数据的工艺层类型将堆叠数据写入工艺技术文件中的第一预设位置。

工艺技术文件需要被各类工具读取，因此，对于工艺技术文件的语法要求非常严格，容错率较低。用户手动填写工艺技术文件的全部内容容易出现语法错误，导致工具无法读取。

而在上述的方案中，在生成工艺技术文件时，用户通过在软件中执行第一操作，生成创建界面并展示。用户仅需在创建界面中执行第二操作(如填写堆叠数据的参数或信息)，即可确定至少一个堆叠数据。在用户确定完所需的堆叠数据后，基于堆叠数据的工艺层类型将堆叠数据写入工艺技术文件中的第一预设位置。使得用户不再需要手动填写工艺技术文件的全部内容。显著降低了生成工艺技术文件的错误率，提高了生成效率。

在本申请一示例中还提供了一种工艺技术文件生成方法，如图2所示，所述基于用户的第一操作，生成创建界面并展示，包括：

步骤201，基于所述第一操作，确定至少一个工艺层类型。

用户在软件上的第一操作，还确定了所需的工艺层类型(如介质层、导电层或通孔层)。

步骤202，获取所述工艺层类型的至少一个参数名。

不同的工艺层类型的参数不同，因此基于用户选择的工艺层类型获取对应的至少一个参数名。

步骤203，基于所述至少一个工艺层类型和每个工艺层类型的至少一个参数名生成创建界面并展示。

基于工艺层类型和该工艺层类型的至少一个参数名生成创建界面并展示。

如图3所示，图3中的创建界面是基于介质层和介质层的多个参数名生成的单个堆叠数据的创建界面，其中，该创建界面中介质层的参数名包括标题RHO中的参数RHO(电阻率)和参数RHO_WIDTH_SPACING(电阻率列表，包含工艺层在多个不同WIDTH(宽度)和SPACING(间隔)时的VALUE(电阻率))。需要指出的是，用户还可以指定需要生成的工艺层类型的堆叠数据的数量，以生成创建对应数量堆叠数据的创建界面。

目前在用户手动填写工艺技术文件时，容易将不同工艺层类型之间的参数误填(如将导电层特有的参数填到了介质层的堆叠数据中)，造成工艺技术文件出现参数错误，导致工具无法读取。

在上述的方案中，基于用户选择的工艺层类型，获取该工艺层类型的至少一个参数名(如通过映射表或模板)，使得最终创建的堆叠数据不会出现参数错误的情况，进一步降低了生成的工艺技术文件的错误率。

在本申请一示例中还提供了一种工艺技术文件生成方法，如图4所示，所述基于所述用户在所述创建界面的第二操作，包括：

步骤301，基于所述第二操作，确定至少一个工艺层名和每个工艺层名的至少一个参数值。

基于用户在软件上的第二操作(如在创建界面填写堆叠数据的工艺层名和参数值)，确定至少一个工艺层名和每个工艺层名的至少一个参数值。

例如，用户在图3所示的创建界面中的工艺层名、参数RHO和RHO_WIDTH_SPACING对应的项中填写对应的参数值，确定了该堆叠数据的工艺层名和参数值。如图5所示，图5示出了用户图3所示的创建界面中填写后的创建界面，用户填写了工艺层名为metal1、参数RHO为3和参数RHO_WIDTH_SPACING为{[spacing：0.04，2.0250，4.0500]，[width：0.04，4.0500]，[VALUE：0.0451，0.0449]}。

步骤302，确定所述参数名的数据存储类型，并基于所述数据存储类型读取所述参数名对应的至少一个参数值；

例如，基于用户在如图5所示的创建界面中填写的内容。参数名RHO的数据存储类型为第一类型(数据存储类型为{数据名：至少一个数据值})，则基于第一类型的数据存储类型对应的读取程序或指令从创建界面用户填写的内容中读取参数名RHO对应的至少一个参数值。

再例如，基于用户在如图5所示的创建界面中填写的内容。参数名RHO_WIDTH_SPACING的数据存储类型为第二类型(数据存储类型为{数据名：[子数据名：至少一个子数据值]，...，[子数据名：至少一个子数据值]})，则基于第二类型的数据存储类型对应的读取程序或指令从创建界面用户填写的内容中读取参数名RHO对应的至少一个参数值。

步骤303，基于所述参数名和对应的至少一个参数值确定参数。

例如，如图5所示，基于用户在创建界面中填写的内容，将RHO作为参数名，填写的3作为参数值确定参数RHO。将RHO_WIDTH_SPACING作为参数名，填写的[SPACING：0.04，2.0250，4.0500]、[WIDTH：0.04，4.0500]和[VALUE：0.0451，0.0449，0.0449，0.0448，0.0445，0.0444]作为参数值确定参数RHO_WIDTH_SPACING。

步骤304，基于所述至少一个工艺层名和每个工艺层名的至少一个参数确定至少一个堆叠数据。

例如，基于用户在如图5所示的创建界面中填写的内容。确定了参数RHO和RHO_WIDTH_SPACING。再基于工艺层名metal1、参数RHO和RHO_WIDTH_SPACING确定工艺层名为metal1的堆叠数据。

需要指出的是，在基于用户在创建界面中填写的内容生成堆叠数据时，仅将用户填写后有参数值的参数作为堆叠数据的数据值写入工艺技术文件中，未填写有参数值的参数则无需写入工艺技术文件中。

在上述的方案中，在生成工艺技术文件时，用户只需选择需要填写的参数名的参数值，无需再手动填写工艺层类型的参数名，填写后也无需进行审核。进一步提高了生成工艺技术文件的效率。

在本申请一示例中还提供了一种工艺技术文件生成方法，如图6所示，该方法还包括：

步骤401，基于所述用户的第三操作，从工艺技术文件中读取所述第三操作选取的至少一个堆叠数据。

用户可通过第三操作(如输入需要编辑的至少一个工艺层名)，从工艺技术文件中读取第三操作选取的至少一个堆叠数据。

需要指出的是，此步骤也可以通过先读取工艺技术文件中的所有堆叠数据，按照堆叠顺序展示给用户，然后用户执行第三操作选取需要编辑的堆叠数据。

步骤402，基于所述至少一个堆叠数据生成第一编辑界面并展示。

例如，用户选取了如图7中所示的堆叠数据，需要对该堆叠数据进行编辑，则获取该堆叠数据的工艺层名via4、参数FROM(表征通孔层的起始位置)为metal4、参数TO(表征通孔层的结束位置)为metal5和参数ETCHC_WIDTH_LENGTH(ETCHC效应值列表，，包含工艺层在多个不同WIDTH(宽度)和LENGTH(长度)时的VALUE(ETCHC效应值))为{[length：0.032，0.08]，[width：0.032]，[VALUE：(-0006，-0.006)，(-0006，-0.006)]}。基于读取图7中所示的堆叠数据，生成了如图8所示的第一编辑界面。

步骤403，基于所述用户在所述第一编辑界面的第四操作，获取修改后的至少一个堆叠数据。

例如，用户在图8所示的第一编辑界面中进行第四操作，修改了参数FROM、TO和ETCHC_WIDTH_LENGTH的参数值。获取修改后的参数FROM为metal2，修改后的参数TO为metal3，修改后的参数ETCHC_WIDTH_LENGTH为{[length：0.02，0.08]，[width：0.02]，[VALUE：(-0002，-0.004)，(-0002，-0.004)]}。

步骤404，基于所述修改后的至少一个堆叠数据对所述工艺技术文件进行修改。

例如，基于用户修改后的，如图9中的第一编辑界面的堆叠数据，对工艺技术文件进行修改，修改后的工艺技术文件中对应的堆叠数据如图10所示。

工艺技术文件在测试或使用时，可能需要频繁进行修改。而目前在用户手动修改工艺技术文件时，容易将不同的参数值填错(如将TO的参数值填到了FROM的参数值中)，造成工艺技术文件出现参数值错误，导致工具无法读取。

在上述的方案中，从工艺技术文件中读取用户选取的堆叠数据，基于这些堆叠数据生成第一编辑界面，使得用户可在第一编辑界面中通过第四操作对选择的堆叠数据的参数值进行修改，使得修改后的堆叠数据减少出现参数值错误的情况，显著降低了修改后的工艺技术文件的错误率。

在本申请一示例中还提供了一种工艺技术文件生成方法，如图11所示，该方法还包括：

步骤501，基于所述用户的第五操作，获取至少一个三维结构数据名，并基于所述至少一个三维结构数据名生成第二编辑界面并展示。

用户可通过第五操作(如点击软件中的编辑按钮，并选择需要编辑的工艺技术文件)来获取至少一个三维结构数据名，并基于至少一个三维结构数据名生成第二编辑界面并展示。

对于比较复杂的三维模型，在工艺技术文件的描述中需要多次逻辑运算，以实现复杂三维结构。三维结构数据是用于实现这种复杂三维结构的描述参数，如gate_profile(栅极结构参数)，gate_profile中还包括多个子参数名，分别为widthlist(宽度列表)、minspace(最小间隔)、thk(厚度)、etchlist(etch效应值列表)。

例如，如图12所示，用户基于第五操作，创建了图12中的第二编辑界面，该第二编辑界面为基于三维结构数据名gate_profile生成的第二编辑界面。其中，modelname为该三维结构数据的模型名称，gatelayer为被选择作为栅极层的导电层的工艺层名，ploylayer为被选择作为多晶硅层的导电层的工艺层名。

步骤502，基于所述用户在所述第二编辑界面的第六操作，确定至少一个堆叠数据和所述三维结构数据名的三维结构数据值。

如图12所示，用户可在图12中的第二编辑界面进行第六操作，填写modelname(模型名称)、gatelayer(作为栅极层的导电层)、ploylayer(作为多晶硅层的导电层)，其中，基于gatelayer和polylayer的参数值，确定选择的堆叠数据(如在gatelayer对应的项中填写matel5，则是选择工艺层名为metal5的堆叠数据作为此次编辑的三维模型结构数据中的栅极层)。填写gate_profile中的多个子三维结构数据值，确定gate_profile的三维结构数据值。

步骤503，基于所述三维结构数据名和所述三维结构数据名对应的三维结构数据值确定至少一个三维结构数据。

例如，基于图12中三维结构数据名gate_profile和用户填写的三维结构数据值，得到三维结构数据gate_profile。

本实施例中的gatelayer、ploylayer和三维结构数据仅作示例，在其他实施方式中，可以获取更多的相关层名来选择相应的堆叠数据，获取更多的三维结构数据名来确定更多的三维结构数据。

步骤504，基于所述至少一个堆叠数据和所述至少一个三维结构数据生成至少一个三维结构堆叠数据。

步骤505，将所述至少一个三维结构堆叠数据写入所述工艺技术文件的第二预设位置。

将生成的至少一个三维结构堆叠数据写入工艺技术文件中的第二预设位置。

第二预设位置可以是工艺技术文件的顶部位置或底部位置。

需要指出的是，在本申请其他实施例中的堆叠数据是描述堆叠结构的平面结构(即二维结构)的，而三维结构堆叠数据则是描述堆叠结构的三维结构的，其中包括半导体复杂工艺结构。

在上述的方案中，通过获取至少一个三维结构数据名生成第二编辑界面，使得用户能在第二编辑界面中选取至少一个堆叠数据，并填写三维结构数据名对应的三维结构数据值生成三维结构数据，从而基于选择的堆叠数据和三维结构数据生成至少一个三维结构堆叠数据，使得编辑后的工艺技术文件能够包含三维结构堆叠数据，以实现复杂三维结构。由于三维结构堆叠数据较为复杂，用户手动填写三维结构堆叠数据的错误率非常高，因此，上述方案使得用户只需填写选择的堆叠数据的工艺层名和需要填写的三维结构数据值来生成三维结构堆叠数据，进一步降低了生成工艺技术文件的错误率。

在本申请一示例中还提供了一种工艺技术文件生成方法，如图13所示，所述基于所述至少一个堆叠数据和所述至少一个三维结构数据生成至少一个三维结构堆叠数据，包括：

步骤601，基于所述三维结构数据确定对应的至少一个三维结构堆叠数据模板。

用户可以预先设置三维结构数据对应的至少一个三维结构堆叠数据模板。

步骤602，基于所述三维结构数据和所述至少一个三维结构堆叠数据模板生成所述三维结构数据的至少一个三维结构堆叠数据。

例如，某个三维结构数据的三维结构数据名为nco，该三维结构数据存在对应的3个三维结构堆叠数据模板，分别为gate、gate_top和gate_bot。则基于该三维结构堆叠数据和选择的堆叠数据生成对应的3个三维结构堆叠数据，分别为nco_gate、nco_gate_top和nco_gate_bot。

在上述的方案中，由于三维结构堆叠数据非常复杂，用户可以预先基于三维结构数据设置对应的至少一个模板(如按数据结构、数据类型进行设置)。因此，在生成三维结构堆叠数据时，按照预设的至少一个模板生成三维结构堆叠数据，可以显著提高生成速度，且进一步降低了错误率。

在本申请一示例中还提供了一种工艺技术文件生成方法，如图14所示，所述生成创建界面、第一编辑界面或第二编辑界面，包括：

步骤701，从版图中提取数据，得到所述版图的至少一个参考三维结构数据和至少一个参考参数。

本实施例提供的软件中配备有参数提取工具，能够利用参数提取工具对版图进行参数的提取，得到版图的三维结构和参考参数。

在步骤701之后，执行步骤702、步骤703或步骤704。

步骤702，基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个工艺层类型和每个工艺层类型的至少一个参数名生成创建界面并展示。

或，

步骤703，基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个堆叠数据和每个堆叠数据的至少一个参数名与参数值生成第一编辑界面并展示。

或，

步骤704，基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个三维结构数据名生成第二编辑界面并展示。

在生成创建界面、第一编辑界面或第二编辑界面时，将从对应的版图中提取出的三维结构和参考参数展示在创建界面、第一编辑界面或第二编辑界面中的侧边。使得用户在对工艺技术文件进行修改或创建时能够实时参考版图的三维结构和参考参数，进一步降低生成的工艺技术文件的错误率，进一步提高生成工艺技术文件的效率。

为了实现上述的工艺技术文件生成方法，如图15所示，本申请一示例来提供了一种工艺技术文件生成装置，包括：

显示模块10，用于基于用户的第一操作，生成创建界面并展示；

处理模块20，用于基于所述用户在所述创建界面的第二操作，确定至少一个堆叠数据；

所述处理模块20，还用于基于工艺层类型将所述至少一个堆叠数据写入工艺技术文件中的第一预设位置。

其中，所述处理模块20，还用于基于所述第一操作，确定至少一个工艺层类型；

所述处理模块20，还用于获取所述工艺层类型的至少一个参数名；

所述显示模块10，还用于基于所述至少一个工艺层类型和每个工艺层类型的至少一个参数名生成创建界面并展示。

其中，其中，所述处理模块20，还用于基于所述第二操作，确定至少一个工艺层名和每个工艺层名的至少一个参数值；

所述处理模块20，还用于基于所述工艺层名的至少一个参数值和每个参数值对应的参数名确定所述工艺层名的至少一个参数；

所述处理模块20，还用于基于所述至少一个工艺层名和每个工艺层名的至少一个参数确定至少一个堆叠数据。

其中，所述处理模块20，还用于基于所述用户的第三操作，从工艺技术文件中读取所述第三操作选取的至少一个堆叠数据；

所述显示模块10，还用于基于所述至少一个堆叠数据生成第一编辑界面并展示；

所述处理模块20，还用于基于所述用户在所述第一编辑界面的第四操作，获取修改后的至少一个堆叠数据；

所述处理模块20，还用于基于所述修改后的至少一个堆叠数据对所述工艺技术文件进行修改。

其中，所述显示模块10，还用于基于所述用户的第五操作，获取至少一个三维结构数据名，并基于所述至少一个三维结构数据名生成第二编辑界面并展示；

所述处理模块20，还用于基于所述用户在所述第二编辑界面的第六操作，确定至少一个堆叠数据和所述三维结构数据名的三维结构数据值；

所述处理模块20，还用于基于至少一个三维结构数据名和每个三维结构数据名对应的三维结构数据值确定至少一个三维结构数据；

所述处理模块20，还用于基于所述至少一个堆叠数据和所述至少一个三维结构数据生成预设数量的三维结构堆叠数据；

所述处理模块20，还用于将所述预设数量的三维结构堆叠数据写入所述工艺技术文件的第二预设位置。

其中，所述处理模块20，还用于基于所述三维结构数据确定对应的至少一个三维结构堆叠数据模板；

所述处理模块20，还用于基于所述三维结构数据和所述至少一个三维结构堆叠数据模板生成所述三维结构数据的至少一个三维结构堆叠数据。

其中，所述处理模块20，还用于从版图中提取数据，得到所述版图的至少一个参考三维结构数据和至少一个参考参数；

所述显示模块10，还用于基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个工艺层类型和每个工艺层类型的至少一个参数名生成创建界面并展示；

所述显示模块10，还用于或，基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个堆叠数据和每个堆叠数据的至少一个参数名与参数值生成第一编辑界面并展示；

所述显示模块10，还用于或，基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个三维结构数据名生成第二编辑界面并展示。

在上述的方案中，在生成工艺技术文件时，用户通过在软件中执行第一操作，生成创建界面并展示。用户仅需在创建界面中执行第二操作(如填写堆叠数据的参数或信息)，即可确定至少一个堆叠数据。在用户确定完所需的堆叠数据后，基于堆叠数据的工艺层类型将堆叠数据写入工艺技术文件中的第一预设位置。使得用户不再需要手动填写工艺技术文件的全部内容。显著降低了生成工艺技术文件的错误率，提高了生成效率。

根据本申请的实施例，本申请还提供了一种电子设备、一种可读存储介质和一种计算机程序产品。

图16示出了可以用来实施本申请的实施例的示例电子设备800的示意性框图。电子设备旨在表示各种形式的数字计算机，诸如，膝上型计算机、台式计算机、工作台、个人数字助理、服务器、刀片式服务器、大型计算机、和其它适合的计算机。电子设备还可以表示各种形式的移动装置，诸如，个人数字处理、蜂窝电话、智能电话、可穿戴设备和其它类似的计算装置。本文所示的部件、它们的连接和关系、以及它们的功能仅仅作为示例，并且不意在限制本文中描述的和/或者要求的本申请的实现。

如图16所示，设备800包括计算单元801，其可以根据存储在只读存储器(ROM)802中的计算机程序或者从存储单元808加载到随机访问存储器(RAM)803中的计算机程序，来执行各种适当的动作和处理。在RAM 803中，还可存储设备800操作所需的各种程序和数据。计算单元801、ROM 802以及RAM 803通过总线804彼此相连。输入/输出(I/O)接口805也连接至总线804。

设备800中的多个部件连接至I/O接口805，包括：输入单元806，例如键盘、鼠标等；输出单元807，例如各种类型的显示器、扬声器等；存储单元808，例如磁盘、光盘等；以及通信单元809，例如网卡、调制解调器、无线通信收发机等。通信单元809允许设备800通过诸如因特网的计算机网络和/或各种电信网络与其他设备交换信息/数据。

计算单元801可以是各种具有处理和计算能力的通用和/或专用处理组件。计算单元801的一些示例包括但不限于中央处理单元(CPU)、图形处理单元(GPU)、各种专用的人工智能(AI)计算芯片、各种运行机器学习模型算法的计算单元、数字信号处理器(DSP)、以及任何适当的处理器、控制器、微控制器等。计算单元801执行上文所描述的各个方法和处理，例如工艺技术文件生成方法。例如，在一些实施例中，工艺技术文件生成方法可被实现为计算机软件程序，其被有形地包含于机器可读介质，例如存储单元808。在一些实施例中，计算机程序的部分或者全部可以经由ROM 802和/或通信单元809而被载入和/或安装到设备800上。当计算机程序加载到RAM 803并由计算单元801执行时，可以执行上文描述的工艺技术文件生成方法的一个或多个步骤。备选地，在其他实施例中，计算单元801可以通过其他任何适当的方式(例如，借助于固件)而被配置为执行工艺技术文件生成方法。

本文中以上描述的系统和技术的各种实施方式可以在数字电子电路系统、集成电路系统、场可编程门阵列(FPGA)、专用集成电路(ASIC)、专用标准产品(ASSP)、芯片上系统的系统(SOC)、负载可编程逻辑设备(CPLD)、计算机硬件、固件、软件、和/或它们的组合中实现。这些各种实施方式可以包括：实施在一个或者多个计算机程序中，该一个或者多个计算机程序可在包括至少一个可编程处理器的可编程系统上执行和/或解释，该可编程处理器可以是专用或者通用可编程处理器，可以从存储系统、至少一个输入装置、和至少一个输出装置接收数据和指令，并且将数据和指令传输至该存储系统、该至少一个输入装置、和该至少一个输出装置。

用于实施本申请的方法的程序代码可以采用一个或多个编程语言的任何组合来编写。这些程序代码可以提供给通用计算机、专用计算机或其他可编程数据处理装置的处理器或控制器，使得程序代码当由处理器或控制器执行时使流程图和/或框图中所规定的功能/操作被实施。程序代码可以完全在机器上执行、部分地在机器上执行，作为独立软件包部分地在机器上执行且部分地在远程机器上执行或完全在远程机器或服务器上执行。

在本申请的上下文中，机器可读介质可以是有形的介质，其可以包含或存储以供指令执行系统、装置或设备使用或与指令执行系统、装置或设备结合地使用的程序。机器可读介质可以是机器可读信号介质或机器可读储存介质。机器可读介质可以包括但不限于电子的、磁性的、光学的、电磁的、红外的、或半导体系统、装置或设备，或者上述内容的任何合适组合。机器可读存储介质的更具体示例会包括基于一个或多个线的电气连接、便携式计算机盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦除可编程只读存储器(EPROM或快闪存储器)、光纤、便捷式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光学储存设备、磁储存设备、或上述内容的任何合适组合。

为了提供与用户的交互，可以在计算机上实施此处描述的系统和技术，该计算机具有：用于向用户显示信息的显示装置(例如，CRT(阴极射线管)或者LCD(液晶显示器)监视器)；以及键盘和指向装置(例如，鼠标或者轨迹球)，用户可以通过该键盘和该指向装置来将输入提供给计算机。其它种类的装置还可以用于提供与用户的交互；例如，提供给用户的反馈可以是任何形式的传感反馈(例如，视觉反馈、听觉反馈、或者触觉反馈)；并且可以用任何形式(包括声输入、语音输入或者、触觉输入)来接收来自用户的输入。

可以将此处描述的系统和技术实施在包括后台部件的计算系统(例如，作为数据服务器)、或者包括中间件部件的计算系统(例如，应用服务器)、或者包括前端部件的计算系统(例如，具有图形用户界面或者网络浏览器的用户计算机，用户可以通过该图形用户界面或者该网络浏览器来与此处描述的系统和技术的实施方式交互)、或者包括这种后台部件、中间件部件、或者前端部件的任何组合的计算系统中。可以通过任何形式或者介质的数字数据通信(例如，通信网络)来将系统的部件相互连接。通信网络的示例包括：局域网(LAN)、广域网(WAN)和互联网。

计算机系统可以包括客户端和服务器。客户端和服务器一般远离彼此并且通常通过通信网络进行交互。通过在相应的计算机上运行并且彼此具有客户端-服务器关系的计算机程序来产生客户端和服务器的关系。服务器可以是云服务器，也可以为分布式系统的服务器，或者是结合了区块链的服务器。

应该理解，可以使用上面所示的各种形式的流程，重新排序、增加或删除步骤。例如，本发公开中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行也可以不同的次序执行，只要能够实现本申请公开的技术方案所期望的结果，本文在此不进行限制。

上述具体实施方式，并不构成对本申请保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是，根据设计要求和其他因素，可以进行各种修改、组合、子组合和替代。任何在本申请的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请保护范围之内。

Claims (11)

1.一种工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述方法包括：

基于用户的第一操作，生成创建界面并展示；

基于所述用户在所述创建界面的第二操作，确定至少一个堆叠数据；

基于工艺层类型将所述至少一个堆叠数据写入工艺技术文件中的第一预设位置。

2.根据权利要求1所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述基于用户的第一操作，生成创建界面并展示，包括：

基于所述第一操作，确定至少一个工艺层类型；

获取所述工艺层类型的至少一个参数名；

基于所述至少一个工艺层类型和每个工艺层类型的至少一个参数名生成创建界面并展示。

3.根据权利要求2所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述基于所述用户在所述创建界面的第二操作，确定至少一个堆叠数据，包括：

基于所述第二操作，确定至少一个工艺层名和每个工艺层名的至少一个参数值；

确定所述参数名的数据存储类型，并基于所述数据存储类型读取所述参数名对应的至少一个参数值；

基于所述参数名和对应的至少一个参数值确定参数；

基于所述至少一个工艺层名和每个工艺层名的至少一个参数确定至少一个堆叠数据。

4.根据权利要求1所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，该方法还包括：

基于所述用户的第三操作，从工艺技术文件中读取所述第三操作选取的至少一个堆叠数据；

基于所述至少一个堆叠数据生成第一编辑界面并展示；

基于所述用户在所述第一编辑界面的第四操作，获取修改后的至少一个堆叠数据；

基于所述修改后的至少一个堆叠数据对所述工艺技术文件进行修改。

5.根据权利要求1所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，该方法还包括：

基于所述用户的第五操作，获取至少一个三维结构数据名，并基于所述至少一个三维结构数据名生成第二编辑界面并展示；

基于所述用户在所述第二编辑界面的第六操作，确定至少一个堆叠数据和所述三维结构数据名的三维结构数据值；

基于所述三维结构数据名和所述三维结构数据名对应的三维结构数据值确定至少一个三维结构数据；

基于所述至少一个堆叠数据和所述至少一个三维结构数据生成至少一个三维结构堆叠数据；

将所述至少一个三维结构堆叠数据写入所述工艺技术文件的第二预设位置。

6.根据权利要求5所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述基于所述至少一个堆叠数据和所述至少一个三维结构数据生成至少一个三维结构堆叠数据，包括：

基于所述三维结构数据确定对应的至少一个三维结构堆叠数据模板；

基于所述三维结构数据和所述至少一个三维结构堆叠数据模板生成所述三维结构数据的至少一个三维结构堆叠数据。

7.根据权利要求2、4或5所述的工艺技术文件生成方法，其特征在于，所述生成创建界面、第一编辑界面或第二编辑界面，包括：

从版图中提取数据，得到所述版图的至少一个参考三维结构数据和至少一个参考参数；

基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个工艺层类型和每个工艺层类型的至少一个参数名生成创建界面并展示；

或，

基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个堆叠数据和每个堆叠数据的至少一个参数名与参数值生成第一编辑界面并展示；

或，

基于所述至少一个参考三维结构数据、所述至少一个参考参数、所述至少一个三维结构数据名生成第二编辑界面并展示。

8.一种工艺技术文件生成装置，其特征在于，所述装置包括：

显示模块，用于基于用户的第一操作，生成创建界面并展示；

处理模块，用于基于所述用户在所述创建界面的第二操作，确定至少一个堆叠数据；

所述处理模块，还用于基于工艺层类型将所述至少一个堆叠数据写入工艺技术文件中的第一预设位置。

9.一种电子设备，包括：

至少一个处理器；以及

与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，

所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行权利要求1-7中任一项所述的方法。

10.一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质，其中，所述计算机指令用于使所述计算机执行根据权利要求1-7中任一项所述的方法。

11.一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序在被处理器执行时实现根据权利要求1-7中任一项所述的方法。