CN117101363A - 一种籽晶粘贴室用新风装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种籽晶粘贴室用新风装置，涉及新风技术领域。该籽晶粘贴室用新风装置包括主体及一级除湿模块，主体具有新风通道，新风通道具有进风端与出风端；一级除湿模块包括集风罩、空压机、压缩机、冷媒冷凝器、冷媒蒸发器及匀流罩，集风罩、空压机、冷媒蒸发器在新风通道内由进风端至出风端依次排布；集风罩用于将新风导入空压机，匀流罩用于将空压机输出的新风均匀扩散入新风通道并流向出风端；压缩机、冷媒冷凝器及冷媒蒸发器通过冷媒管路依次连接形成循化回路，冷媒蒸发器具有组成新风管路一部分的新风管段，以及组成冷媒管路一部分的第一冷媒管段。本发明提供的籽晶粘贴室用新风装置能够为籽晶粘贴室提供满足要求的低湿度新风。
Description
技术领域
本发明涉及新风技术领域，具体而言，涉及一种籽晶粘贴室用新风装置。
背景技术
在碳化硅晶体生长工艺中，籽晶粘贴室对环境湿度要求较高，目前市面上的新风装置除湿效果不够理想，基本无法满足籽晶粘贴室的湿度要求，将此类新风装置直接应用到籽晶粘贴室，导致籽晶粘贴质量不够理想，对碳化硅晶体的生长质量造成一定影响。
发明内容
本发明的目的在于提供一种籽晶粘贴室用新风装置，其能够为籽晶粘贴室提供满足要求的低湿度新风，提升籽晶粘贴质量，进而提升碳化硅晶体生长质量。
本发明提供一种技术方案：
一种籽晶粘贴室用新风装置，包括主体及一级除湿模块，所述主体具有向籽晶粘贴室输送新风的新风通道，所述新风通道具有进风端与出风端；所述一级除湿模块包括集风罩、空压机、压缩机、冷媒冷凝器、冷媒蒸发器及匀流罩，所述集风罩、所述空压机、所述冷媒蒸发器及所述匀流罩均容置于所述新风通道内，并由所述进风端至所述出风端依次排布；
所述集风罩与所述空压机的输入端连接，用于将流入所述进风端的新风导流进入所述空压机；
所述空压机的输出端通过新风管路与所述匀流罩连接，所述匀流罩用于引导流入的新风均匀扩散进入所述新风通道并流向所述出风端；
所述压缩机、所述冷媒冷凝器及所述冷媒蒸发器通过冷媒管路依次连接形成供冷媒循环流动的循化回路，所述冷媒蒸发器具有相互换热的新风管段与第一冷媒管段，所述新风管段组成所述新风管路的一部分，所述第一冷媒管段组成所述冷媒管路的一部分。
进一步地，所述匀流罩的输出端设置有第一湿度传感器，所述新风管路的输出端设置有电控开度阀，所述籽晶粘贴室用新风装置还包括控制器，所述控制器与所述第一湿度传感器及所述电控开度阀电连接，用于根据所述第一湿度传感器的检测结果调节所述电控开度阀的开度，以调节所述新风管路中的压力。
进一步地，所述新风管路上设置有压力计，所述控制器与所述压力计电连接，所述控制器还用于根据所述压力计的检测结果调节所述电控开度阀的开度。
进一步地，所述籽晶粘贴室用新风装置还包括二级除湿模块，所述二级除湿模块包括再生吸湿器及再生管路，所述再生吸湿器处于所述匀流罩与所述出风端之间并封堵所述新风通道，所述再生吸湿器内填充有再生吸湿剂，所述再生管路的一端与所述出风端连通，所述再生管路的另一端与所述再生吸湿器连通，用于将流至所述出风端的新风导流进入所述再生吸湿器，以吹干所述再生吸湿剂；
所述再生管路上设置有加热器，所述加热器具有第二冷媒管段，所述第二冷媒管段组成所述冷媒管路处于所述压缩机与所述冷媒冷凝器之间的一部分，用于加热流经所述加热器的新风。
进一步地，所述再生吸湿器设置有分布于所述新风通道同一横截面上的多个再生吸湿单元，多个所述再生吸湿单元均填充有所述再生吸湿剂，多个所述再生吸湿单元均具有与所述新风通道轴向平行的吸湿通道以及与所述新风通道轴向垂直的再生通道，各所述吸湿通道的输入端均设置有第一风阀，各所述再生通道的输入端均与所述再生管路连通并设置有第二风阀，各所述再生通道的输出端与外界连通。
进一步地，所述出风端设置有第二湿度传感器，所述籽晶粘贴室用新风装置还包括控制器，所述控制器与所述第二湿度传感器、多个所述第一风阀及多个所述第二风阀电连接；
所述控制器用于根据所述第二湿度传感器的检测结果调节多个所述第一风阀的开启数量，还用于在任意所述第一风阀关闭后控制对应的所述第二风阀开启，并用于在任意所述第一风阀开启后控制对应的所述第二风阀关闭。
进一步地，所述再生吸湿器设置有圆柱形的再生风腔，所述再生风腔的轴线与所述新风通道的轴线重合，多个所述再生吸湿单元在所述再生风腔的周向上均匀分布，所述再生风腔的一端封闭，另一端与所述再生管路的输出端连通，多个所述第二风阀均设置于所述再生风腔的周向腔壁上，多个所述再生通道的输出端均开设于所述主体上，并在所述主体的同一横截面上均匀分布。
进一步地，由所述匀流罩的输入端至输出端，所述匀流罩逐渐扩张，且所述匀流罩的输出端的周缘与所述新风通道的内侧壁周向贴合，所述匀流罩内设置有多个匀流板，多个所述匀流板沿所述匀流罩的轴向依次间隔排布，多个所述匀流板上均贯穿设有多个匀流孔，任意相邻的两个所述匀流板之间填充有消音填充物。
进一步地，所述新风管段呈U型，且所述新风管段的两端开口均竖直朝上，所述新风管段的弯曲部设置有排水阀，所述第一冷媒管段绕设在所述新风管段的外表面。
进一步地，所述籽晶粘贴室用新风装置还包括调温盘管及热量回收管路，所述调温盘管设置于所述新风通道内，并处于所述匀流罩的下游，所述热量回收管路处于所述空压机内，所述调温盘管与所述热量回收管路连通并组成供水流动的循环回路，所述热量回收管路用于吸收所述空压机内部的热量。
相比现有技术，本发明提供的籽晶粘贴室用新风装置，其新风通道中的一级除湿模块中配置有空压机，空压机首先对进入新风通道的进风端的新风进行压缩，降低新风露点温度，使得新风以高压低露点的状态在冷媒蒸发器处释放热量给冷媒，从而完成冷凝除湿。通过空压机降低新风露点温度后进行冷凝除湿，相较于对常压正常露点温度的新风进行冷凝除湿的现有技术，除湿效果显著提升。因此，本发明提供的籽晶粘贴室用新风装置的有益效果包括：能够为籽晶粘贴室提供满足要求的低湿度新风，提升籽晶粘贴质量，进而提升碳化硅晶体生长质量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明的实施例提供的籽晶粘贴室用新风装置的结构示意图；
图2为图1中匀流罩的剖视示意图；
图3为图1中再生吸湿器的结构示意图；
图4为图1中再生吸湿器的剖视示意图。
图标：100-籽晶粘贴室用新风装置；110-主体；111-新风通道；1111-进风端；1112-出风端；120-一级除湿模块；121-集风罩；122-空压机；123-压缩机；124-冷媒冷凝器；125-冷媒蒸发器；1251-新风管段；1252-第一冷媒管段；1253-排水阀；126-匀流罩；1261-匀流板；1262-消音填充物；127-第一湿度传感器；128-电控开度阀；129-压力计；130-二级除湿模块；131-再生吸湿器；1311-再生吸湿单元；1312-吸湿通道；1313-再生通道；1314-第一风阀；1315-第二风阀；1316-再生风腔；132-再生管路；133-加热器；1331-第二冷媒管段；134-第二湿度传感器；140-调温盘管。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细说明。
实施例
请参阅图1，图1所示为本实施例提供的籽晶粘贴室用新风装置100的结构示意图。
本实施例提供的籽晶粘贴室用新风装置100专用于对籽晶粘贴室提供新风，能够提供满足籽晶粘贴需求的低湿度新风，从而提升籽晶粘贴质量，进而提升碳化硅晶体生长质量。
本实施例提供的籽晶粘贴室用新风装置100，包括主体110、一级除湿模块120、控制器及二级除湿模块130。主体110具有向籽晶粘贴室输送新风的新风通道111，新风通道111具有进风端1111与出风端1112，进风端1111与外界连通，出风端1112与籽晶粘贴室连通，一级除湿模块120与二级除湿模块130用于在控制器的控制下对流经新风通道111的新风进行分级除湿。
一级除湿模块120包括集风罩121、空压机122、压缩机123、冷媒冷凝器124、冷媒蒸发器125及匀流罩126，集风罩121、空压机122、冷媒蒸发器125及匀流罩126均容置于新风通道111内，并由进风端1111至出风端1112依次排布。
集风罩121与空压机122的输入端连接，用于将流入进风端1111的新风导流进入空压机122。空压机122的输出端通过新风管路与匀流罩126连接，匀流罩126用于引导流入的新风均匀扩散进入新风通道111并流向出风端1112。
压缩机123、冷媒冷凝器124及冷媒蒸发器125通过冷媒管路依次连接形成供冷媒循环流动的循化回路，冷媒蒸发器125具有相互换热的新风管段1251与第一冷媒管段1252，新风管段1251组成新风管路的一部分，第一冷媒管段1252组成冷媒管路的一部分。
集风罩121的输入端朝向新风通道111的进风端1111，且由输入端至输出端，集风罩121逐渐收缩，集风罩121的输入端的周缘与新风通道111的内侧壁周向贴合，集风罩121的输出端通过管路与空压机122的输入端连接。在空压机122运行的状态下，空压机122的输入端通过集风罩121吸入外界的新风。在实际应用中，集风罩121的进风端1111还设置有过滤网，对吸入的新风进行过滤。
空压机122吸入新风后，对新风进行压缩，降低新风露点温度，使得新风以高压低露点的状态到达冷媒蒸发器125。压缩机123处于运行状态下，冷媒管路中的冷媒循环流动，压缩机123输出的高温冷媒经过冷媒冷凝器124的降温后，以低温状态到达冷媒蒸发器125的第一冷媒管段1252，与流经新风管段1251的高压低露点的新风进行换热，吸收新风温度，实现对新风的冷凝除湿。
可以理解的是，本实施例中，在冷媒蒸发器125对新风进行冷凝除湿之前，通过配置的空压机122压缩新风，降低新风露点温度，使得高压低露点的新风在冷媒蒸发器125内能够实现更大程度的冷凝除湿，相较于对常压正常露点温度的新风进行冷凝除湿的现有技术，除湿效果显著提升。
本实施例中，冷媒冷凝器124设置于主体110外部，其通过配置的风机与空气换热实现对冷媒的降温。新风管段1251呈U型，且新风管段1251的两端开口均竖直朝上，新风管段1251的弯曲部设置有排水阀1253，第一冷媒管段1252绕设在新风管段1251的外表面。在冷凝除湿的过程中，经过新风管段1251的新风凝露并汇集到新风管段1251的弯曲部，通过新风管段1251的弯曲部设置有排水阀1253能够及时排放积水。
在新风管段1251完成冷凝除湿的新风继续沿新风管路流动至匀流罩126的输入端，匀流罩126的输入端朝向新风通道111的进风端1111，其输出端朝向出风端1112，由输入端至输出端，匀流罩126逐渐扩张，且匀流罩126的输出端的周缘与新风通道111的内侧壁周向贴合。
可以理解的是，经过冷凝除湿后的新风流出新风管路后过于集中，会产生较大噪音，并且不便于进行后续的二级除湿以及温度调节，直接排入籽晶粘贴室还会导致室内湿度极度不均匀。因此，本实施例中，在新风管路的输出端配置有匀流罩126对高压的集中新风气流进行降噪、降压、扩散，使得新风以低压均匀的状态沿新风通道111继续流向二级除湿模块130。
具体的，请结合参阅图2，图2所示为匀流罩126的剖视示意图。本实施例中，匀流罩126内设置有多个匀流板1261，多个匀流板1261沿匀流罩126的轴向依次间隔排布，多个匀流板1261上均贯穿设有多个匀流孔，任意相邻的两个匀流板1261之间填充有消音填充物1262。
本实施例中，消音填充物1262为消音棉，在其他实施例中，也可以根据实际应用条件进行选型。新风进入匀流罩126后，由其输出端向输出端流动的过程中，穿过多个匀流板1261及多层消音填充物1262。多个匀流板1261实现对新风的多极匀流，保证新风流出匀流罩126时，均匀扩散在新风通道111的横截面内。多层消音填充物1262实现对新风降噪，并且新风受到多层消音棉的阻力作用，压力衰减，最终以静音、平稳、均匀的状态流向二级除湿模块130。
本实施例中，通过一级除湿模块120与二级除湿模块130实现对新风湿度的两级调节。对于第一级调节，匀流罩126的输出端设置有第一湿度传感器127，新风管路的输出端设置有电控开度阀128，籽晶粘贴室用新风装置100还包括控制器，控制器与第一湿度传感器127及电控开度阀128电连接，用于根据第一湿度传感器127的检测结果调节电控开度阀128的开度，以调节新风管路中的压力。
可以理解的是，第一湿度传感器127的检测结果表征第一级调节的结果是否达标，本实施例中，以25％为第一级调节的达标值。当第一湿度传感器127的检测结果表征湿度处于25％以上时，表征冷凝除湿不够理想，在此情况下，控制器控制电控开度阀128降低开度，使得新风管路中的压力上升，新风露点温度进一步降低，且流经新风管段1251的流速降低，从而提升冷凝除湿效果。
为了避免新风管路中的压力过大发生安全事故，本实施例中，新风管路上设置有压力计129，控制器与压力计129电连接，控制器还用于根据压力计129的检测结果调节电控开度阀128的开度。可以理解的是，当压力计129检测到新风管路中的压力达到安全阈值时，控制器控制电控开度阀128调大开度，以降低管路压力。
本实施例中，二级除湿模块130包括再生吸湿器131及再生管路132，再生吸湿器131处于匀流罩126与出风端1112之间并封堵新风通道111，再生吸湿器131内填充有再生吸湿剂，再生管路132的一端与出风端1112连通，再生管路132的另一端与再生吸湿器131连通，用于将流至出风端1112的新风导流进入再生吸湿器131，以吹干再生吸湿剂。
再生管路132上设置有加热器133，加热器133具有第二冷媒管段1331，第二冷媒管段1331组成冷媒管路处于压缩机123与冷媒冷凝器124之间的一部分，用于加热流经加热器133的新风。
具体的，请结合参阅图3，图3所示为再生吸湿器131的结构示意图，图4所示为再生吸湿器131的剖视示意图。
本实施例中，再生吸湿器131设置有分布于新风通道111同一横截面上的多个再生吸湿单元1311，多个再生吸湿单元1311均填充有再生吸湿剂，多个再生吸湿单元1311均具有与新风通道111轴向平行的吸湿通道1312以及与新风通道111轴向垂直的再生通道1313，各吸湿通道1312的输入端均设置有第一风阀1314，各再生通道1313的输入端均与再生管路132连通并设置有第二风阀1315，各再生通道1313的输出端与外界连通。
再生吸湿剂可以采用沸石、氯化锂等，可以理解的是，对于任意再生吸湿单元1311，其第一风阀1314开启时，吸湿通道1312为通路，新风能够通过吸湿通道1312流向出风端1112，在穿过吸湿通道1312的过程中被再生吸湿剂吸附除湿。为了避免再生气流对吸附除湿造成影响，在任意再生吸湿单元1311的第一风阀1314开启的状态下，其第二风阀1315处于关闭状态。在其第一风阀1314关闭后，第二风阀1315打开以进行反吹再生，反吹气流携带再生吸湿剂吸收的水分流出主体110，完成对再生吸湿剂的再生。
在实际应用中，多个第一风阀1314中开启的数量越多，则参与吸附除湿的再生吸湿单元1311越过，再生吸湿器131的吸湿效果越好。当全部第一风阀1314均开启时，流出匀流罩126的新风能够通过所有再生吸湿单元1311进行吸附除湿，此时再生吸湿器131的吸湿效果最强。
本实施例中，再生吸湿器131设置有圆柱形的再生风腔1316，再生风腔1316的轴线与新风通道111的轴线重合，多个再生吸湿单元1311在再生风腔1316的周向上均匀分布，再生风腔1316的一端封闭，另一端与再生管路132的输出端连通，多个第二风阀1315均设置于再生风腔1316的周向腔壁上，多个再生通道1313的输出端均开设于主体110上，并在主体110的同一横截面上均匀分布。
可以理解的是，到达出风端1112的部分新风通过再生管路132流向再生风腔1316，将这部分新风称为反吹气流。反吹气流在进入再生风腔1316之前，经过加热器133，与加热器133内的第二冷媒管段1331进行换热，第二冷媒管段1331中流过的是高温冷媒，即高温冷媒对反吹气流进行加热。经过加热后的高温反吹气流进入再生风腔1316，通过再生风腔1316的周向腔壁上开启的第二风阀1315进入对应的再生吸湿单元1311，并沿对应的再生通道1313流出主体110，从而完成对再生吸湿剂的再生。
对于由二级除湿模块130完成的第二级调节，本实施例中，出风端1112设置有第二湿度传感器134，籽晶粘贴室用新风装置100还包括控制器，控制器与第二湿度传感器134、多个第一风阀1314及多个第二风阀1315电连接。控制器用于根据第二湿度传感器134的检测结果调节多个第一风阀1314的开启数量，还用于在任意第一风阀1314关闭后控制对应的第二风阀1315开启，并用于在任意第一风阀1314开启后控制对应的第二风阀1315关闭。
可以理解的是，第二湿度传感器134的检测结果表征第二级调节的结果是否达标，本实施例中，以3％至10％为第二级调节的达标值。当第二湿度传感器134的检测结果表征湿度处于10％以上时，表征吸附除湿不够理想，在此情况下，控制器控制更多数量的第一风阀1314开启，从而提升再生吸湿器131的除湿能力，从而提升吸附除湿效果。并且，当第二湿度传感器134的检测结果表征湿度处于3％以下时，再生吸湿器131的除湿能力过剩，此时控制器控制关闭一定数量的第一风阀1314，以使更多的再生吸湿单元1311进行再生。
考虑到空压机122工作过程中会产生一定热量，并且经过两级除湿后的新风温度较低，为了实现对空压机122热量的回收利用并实现对新风的温度恢复，本实施例提供的籽晶粘贴室用新风装置100还包括调温盘管140及热量回收管路，调温盘管140设置于新风通道111内，并处于再生吸湿器131的下游，热量回收管路处于空压机122内，调温盘管140与热量回收管路连通并组成供水流动的循环回路，热量回收管路用于吸收空压机122内部的热量。
可以理解的是，空压机122内部设置有换热器，热量回收管路即为该换热器的一侧流路。若空压机122为喷油螺杆原理，则将空压机122的高温油引入该换热器的另一侧流路，高温油与流经热量回收管路中的水换热，即可实现热量回收。换热完成后的高温水流经调温盘管140时，对流经的新风进行加热，使低温的新风升温至满足籽晶粘贴室的温度要求。
综上，本实施例提供的籽晶粘贴室用新风装置100，通过两级除湿，以及在一级除湿模块120中配置空压机122降低新风露点温度，使得除湿效果大幅提升，能够为籽晶粘贴室提供满足湿度需求的新风。并且，空压机122的热量得到回收利用，二级除湿模块130利用压缩机123输出的冷媒热量加热反吹气流，实现对冷媒热量的利用，使得整体能耗被大幅降低，节约使用成本。
因此，本实施例提供的籽晶粘贴室用新风装置100，能够为籽晶粘贴室提供满足要求的低湿度新风，提升籽晶粘贴质量，且能耗更低。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种籽晶粘贴室用新风装置，其特征在于，包括主体(110)及一级除湿模块(120)，所述主体(110)具有向籽晶粘贴室输送新风的新风通道(111)，所述新风通道(111)具有进风端(1111)与出风端(1112)；所述一级除湿模块(120)包括集风罩(121)、空压机(122)、压缩机(123)、冷媒冷凝器(124)、冷媒蒸发器(125)及匀流罩(126)，所述集风罩(121)、所述空压机(122)、所述冷媒蒸发器(125)及所述匀流罩(126)均容置于所述新风通道(111)内，并由所述进风端(1111)至所述出风端(1112)依次排布；
所述集风罩(121)与所述空压机(122)的输入端连接，用于将流入所述进风端(1111)的新风导流进入所述空压机(122)；
所述空压机(122)的输出端通过新风管路与所述匀流罩(126)连接，所述匀流罩(126)用于引导流入的新风均匀扩散进入所述新风通道(111)并流向所述出风端(1112)；
所述压缩机(123)、所述冷媒冷凝器(124)及所述冷媒蒸发器(125)通过冷媒管路依次连接形成供冷媒循环流动的循化回路，所述冷媒蒸发器(125)具有相互换热的新风管段(1251)与第一冷媒管段(1252)，所述新风管段(1251)组成所述新风管路的一部分，所述第一冷媒管段(1252)组成所述冷媒管路的一部分。
2.根据权利要求1所述的籽晶粘贴室用新风装置，其特征在于，所述匀流罩(126)的输出端设置有第一湿度传感器(127)，所述新风管路的输出端设置有电控开度阀(128)，所述籽晶粘贴室用新风装置(100)还包括控制器，所述控制器与所述第一湿度传感器(127)及所述电控开度阀(128)电连接，用于根据所述第一湿度传感器(127)的检测结果调节所述电控开度阀(128)的开度，以调节所述新风管路中的压力。
3.根据权利要求2所述的籽晶粘贴室用新风装置，其特征在于，所述新风管路上设置有压力计(129)，所述控制器与所述压力计(129)电连接，所述控制器还用于根据所述压力计(129)的检测结果调节所述电控开度阀(128)的开度。
4.根据权利要求1所述的籽晶粘贴室用新风装置，其特征在于，所述籽晶粘贴室用新风装置(100)还包括二级除湿模块(130)，所述二级除湿模块(130)包括再生吸湿器(131)及再生管路(132)，所述再生吸湿器(131)处于所述匀流罩(126)与所述出风端(1112)之间并封堵所述新风通道(111)，所述再生吸湿器(131)内填充有再生吸湿剂，所述再生管路(132)的一端与所述出风端(1112)连通，所述再生管路(132)的另一端与所述再生吸湿器(131)连通，用于将流至所述出风端(1112)的新风导流进入所述再生吸湿器(131)，以吹干所述再生吸湿剂；
所述再生管路(132)上设置有加热器(133)，所述加热器(133)具有第二冷媒管段(1331)，所述第二冷媒管段(1331)组成所述冷媒管路处于所述压缩机(123)与所述冷媒冷凝器(124)之间的一部分，用于加热流经所述加热器(133)的新风。
5.根据权利要求4所述的籽晶粘贴室用新风装置，其特征在于，所述再生吸湿器(131)设置有分布于所述新风通道(111)同一横截面上的多个再生吸湿单元(1311)，多个所述再生吸湿单元(1311)均填充有所述再生吸湿剂，多个所述再生吸湿单元(1311)均具有与所述新风通道(111)轴向平行的吸湿通道(1312)以及与所述新风通道(111)轴向垂直的再生通道(1313)，各所述吸湿通道(1312)的输入端均设置有第一风阀(1314)，各所述再生通道(1313)的输入端均与所述再生管路(132)连通并设置有第二风阀(1315)，各所述再生通道(1313)的输出端与外界连通。
6.根据权利要求5所述的籽晶粘贴室用新风装置，其特征在于，所述出风端(1112)设置有第二湿度传感器(134)，所述籽晶粘贴室用新风装置(100)还包括控制器，所述控制器与所述第二湿度传感器(134)、多个所述第一风阀(1314)及多个所述第二风阀(1315)电连接；
所述控制器用于根据所述第二湿度传感器(134)的检测结果调节多个所述第一风阀(1314)的开启数量，还用于在任意所述第一风阀(1314)关闭后控制对应的所述第二风阀(1315)开启，并用于在任意所述第一风阀(1314)开启后控制对应的所述第二风阀(1315)关闭。
7.根据权利要求5所述的籽晶粘贴室用新风装置，其特征在于，所述再生吸湿器(131)设置有圆柱形的再生风腔(1316)，所述再生风腔(1316)的轴线与所述新风通道(111)的轴线重合，多个所述再生吸湿单元(1311)在所述再生风腔(1316)的周向上均匀分布，所述再生风腔(1316)的一端封闭，另一端与所述再生管路(132)的输出端连通，多个所述第二风阀(1315)均设置于所述再生风腔(1316)的周向腔壁上，多个所述再生通道(1313)的输出端均开设于所述主体(110)上，并在所述主体(110)的同一横截面上均匀分布。
8.根据权利要求1所述的籽晶粘贴室用新风装置，其特征在于，由所述匀流罩(126)的输入端至输出端，所述匀流罩(126)逐渐扩张，且所述匀流罩(126)的输出端的周缘与所述新风通道(111)的内侧壁周向贴合，所述匀流罩(126)内设置有多个匀流板(1261)，多个所述匀流板(1261)沿所述匀流罩(126)的轴向依次间隔排布，多个所述匀流板(1261)上均贯穿设有多个匀流孔，任意相邻的两个所述匀流板(1261)之间填充有消音填充物(1262)。
9.根据权利要求1所述的籽晶粘贴室用新风装置，其特征在于，所述新风管段(1251)呈U型，且所述新风管段(1251)的两端开口均竖直朝上，所述新风管段(1251)的弯曲部设置有排水阀(1253)，所述第一冷媒管段(1252)绕设在所述新风管段(1251)的外表面。
10.根据权利要求1所述的籽晶粘贴室用新风装置，其特征在于，所述籽晶粘贴室用新风装置(100)还包括调温盘管(140)及热量回收管路，所述调温盘管(140)设置于所述新风通道(111)内，并处于所述匀流罩(126)的下游，所述热量回收管路处于所述空压机(122)内，所述调温盘管(140)与所述热量回收管路连通并组成供水流动的循环回路，所述热量回收管路用于吸收所述空压机(122)内部的热量。
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