CN116893479A - 基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器，该结构包括由入射波导、耦合波导和出射波导依次相连构成的边耦合波导，以及位于纳米梁波导上的左侧布拉格反射镜孔阵列、拉锥渐变型孔阵列、反向拉锥渐变型孔阵列、右侧布拉格反射镜孔阵列。左侧布拉格反射镜孔阵列的周期和右侧布拉格反射镜孔阵列的周期不同，两者形成的布拉格重叠带与纳米梁谐振腔的自由光谱范围满足一定的条件。本发明将波导耦合器与非对称纳米梁谐振腔结合，通过调整左右两侧布拉格反射镜形成的布拉格重叠禁带，使其小于纳米梁谐振腔的自由光谱范围，可实现全光谱范围单纵模激励，从而实现单通道信号滤波。
Description
技术领域
本发明涉及光学滤波器领域，具体涉及一种基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器。
背景技术
波分复用技术是指在共享信道中使用多个波长的光，从而提高通光信容量，在过去几十年中被认为是长距离和短距离光通信的经典技术。它为超高容量数据传输提供了最优的解决方案，不仅为运营商和服务提供商所采用，也适用于企业、组织和数据中心。其中，光学滤波器广泛促进了波分复用技术的发展，激活了各种信息处理领域。比如在一条光链路上集成多个光学滤波器，可以单独调制或处理不同的波长通道。这种多波长调制可以显著提高光通信容量或提高光并行计算的速率和能量效率。此外，波分复用技术可能会产生许多新型多位点和多参量的光学传感应用。工作在不同波长的传感单元按照特定规则排列，可以检索温度、浓度、应变甚至超声波等各种物理量的空间分布信息，实现准分布式传感。
关键的挑战是实现一种具有超宽自由光谱范围和紧凑的光学滤波器。自由光谱范围越大意味着可以支持越多独立的波长通道且通道之间互不干扰。采用大自由光谱范围的滤波器可以有效增加单个传感链路上彼此独立传感器的数量，实现更多位点和多参量的同时传感。目前已有大量的研究工作。传统方案包括布拉格光栅波导、布拉格光栅辅助反向耦合器和具有游标效应的级联微环谐振器，在带宽、器件尺寸和制造容差方面的性能难以令人满意。侧耦合布拉格光栅辅助F-P腔通过压缩布拉格发射镜的阻带，可以使其小于F-P腔的自由光谱范围。但是这种方案通过降低光栅强度来压缩布拉格发射镜的阻带，需要更多的周期来实现高反射，因此整个过滤器的长度通常>100μm。理想的集成滤波器应充分发挥光学器件的带宽优势，具有小尺寸、大自由光谱范围、高抑制比和大工艺容差，以避免精确的波长对准。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提出一种基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器，该滤波器结构不仅能在宽谱范围内实现单通道信号滤波，同时滤波器的尺寸远小于现有的无限自由光谱范围滤波器。
本发明的目的通过如下的技术方案来实现：
一种基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器，该滤波器结构为左右非对称结构，其包括入射波导、出射波导、耦合波导、纳米梁波导，左侧布拉格反射镜孔阵列、右侧布拉格反射镜孔阵列、拉锥渐变型孔阵列、反向拉锥渐变型孔阵列，其中：
所述入射波导、耦合波导和出射波导依次相连；
所述左侧布拉格反射镜孔阵列、拉锥渐变型孔阵列、反向拉锥渐变型孔阵列、右侧布拉格反射镜孔阵列依次布置在所述纳米梁波导上；所述左侧布拉格反射镜孔阵列、拉锥渐变型孔阵列、反向拉锥渐变型孔阵列、右侧布拉格反射镜孔阵列均为周期性结构，所述左侧布拉格反射镜孔阵列与右侧布拉格反射镜孔阵列的周期不同，拉锥渐变型孔阵列、反向拉锥渐变型孔阵列的周期是渐变的；
所述耦合波导的最低点靠近所述拉锥渐变型孔阵列、反向拉锥渐变型孔阵列的连接点且与所述连接点存在间隙，构成侧边耦合波导结构；
所述左侧布拉格反射镜孔阵列、拉锥渐变型孔阵列、反向拉锥渐变型孔阵列、右侧布拉格反射镜孔阵列共同构成纳米梁F-P谐振腔；
所述左侧布拉格反射镜孔阵列和右侧布拉格反射镜孔阵列的布拉格禁带带宽的重叠值为Δλover，所述纳米梁F-P谐振腔的自由光谱范围FSRFP，两者需满足如下条件之一：
条件一：Δλover＜2FSRFP，且所述纳米梁F-P谐振腔的谐振波长靠近所述的左侧布拉格反射镜孔阵列和右侧布拉格反射镜孔阵列的禁带重叠带的中部；
条件二：Δλover≤FSRFP，且所述纳米梁F-P谐振腔的谐振波长靠近所述的左侧布拉格反射镜孔阵列和右侧布拉格反射镜孔阵列的禁带重叠带的边缘。
进一步地，所述拉锥渐变型孔阵列、反向拉锥渐变型孔阵列的周期和占空比均遵循渐变函数的变化规律，所述渐变函数选自一次函数、二次函数、高斯函数、洛伦兹函数中的任意一种。
进一步地，所述拉锥渐变型孔阵列、反向拉锥渐变型孔阵列的阵列个数需要分别根据左侧布拉格反射镜孔阵列、右侧布拉格反射镜孔阵列的周期以及所采用的渐变函数来调整，从而最大限度地减少反射腔界面的散射损失，以提高滤波器的品质因子。
进一步地，Δλover与FSRFP之间满足条件一或条件二的实现方法为：
先保证所述左侧布拉格反射镜孔阵列、右侧布拉格反射镜孔阵列周期相同，逐渐增大左侧布拉格反射镜孔阵列或右侧布拉格反射镜孔阵列其中一个的周期，使得所述纳米梁F-P腔的谐振模式只有一个。
进一步地，所述纳米梁波导为直波导，所述耦合波导为弯曲波导；或者，所述纳米梁波导为弯曲波导，所述耦合波导为直波导。
本发明的有益效果如下：
(1)本发明的基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器，通过使用非对称的布拉格反射镜孔阵列调节纳米梁F-P谐振腔的禁带带宽，从而实现超大自由光谱范围操作和亚纳米光带宽，可以支持更多独立的波长通道且通道之间互不干扰。
(2)通过使用布拉格反射镜孔阵列，提高布拉格反射镜的反射能力，从而减小了滤波器的尺寸。
(3)本发明的基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器在光通信领域和分布式传感方面有着极大的应用价值。
附图说明
图1为本发明的实施例一的超大自由光谱范围的滤波器结构的示意图；
图2为本发明的实施例一的超大自由光谱范围的滤波器的工作原理图；
图3为实施例一的滤波器在1300-1650nm波长范围内的透射率示意图，其中左侧布拉格反射镜阵列周期固定在340nm，右侧布拉格反射镜阵列周期分别为340nm、360nm、380nm、400nm、420nm、480nm。其中，灰色实线代表左侧布拉格禁带，灰色虚线代表右侧布拉格禁带；
图4为实施例一中实现单纵模激励的滤波器(右侧布拉格反射镜周期阵列为420nm)在1400nm、1460nm、1513.76nm、1540nm、1600nm处的模拟电场分布示意图。其中，白色箭头表示注入光的方向；
图5为对比例一的超大自由光谱范围的滤波器结构的示意图；
图6为对比例二的超大自由光谱范围的滤波器结构的示意图；
图7为实施例二的超大自由光谱范围的滤波器结构的示意图；
图8为实施例三的超大自由光谱范围的滤波器结构的示意图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器进行更详细的描述，其中示意图表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向”、“纵向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本发明的具体保护范围。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
如图1所示，本发明的基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器，包括入射波导101、出射波导102、耦合波导103、纳米梁波导104，左侧布拉格反射镜孔阵列105、右侧布拉格反射镜孔阵列106、拉锥渐变型孔阵列107、反向拉锥渐变型孔阵列108。
其中，入射波导101、耦合波导103和出射波导102依次相连。左侧布拉格反射镜孔阵列105、拉锥渐变型孔阵列107、反向拉锥渐变型孔阵列108、右侧布拉格反射镜孔阵列106依次相连，均布置在纳米梁波导104上，优选四个孔阵列在纳米梁波导104上同轴布置，共同构成纳米梁F-P谐振腔。耦合波导103的最低点靠近拉锥渐变型孔阵列107、反向拉锥渐变型孔阵列108的连接点且与连接点存在间隙，构成侧边耦合波导结构。
此外，入射波导101、耦合波导103、出射波导102、纳米梁波导104均为单模波导，且左侧布拉格反射镜孔阵列105、拉锥渐变型孔阵列107、反向拉锥渐变型孔阵列108、右侧布拉格反射镜孔阵列106均为周期性结构，且左侧布拉格反射镜孔阵列105与右侧布拉格反射镜孔阵列106的周期不同，拉锥渐变型孔阵列107与所述反向拉锥渐变型孔阵列108的周期是渐变的。
优选地，拉锥渐变型孔阵列107、反向拉锥渐变型孔阵列108的周期和占空比均遵循渐变函数的变化规律，所述渐变函数选自一次函数、二次函数、高斯函数、洛伦兹函数中的任意一种。拉锥渐变型孔阵列107、反向拉锥渐变型孔阵列108的阵列个数需要分别根据左侧布拉格反射镜孔阵列105、右侧布拉格反射镜孔阵列106的周期以及所采用的渐变函数来调整，从而最大限度地减少反射腔界面的散射损失，以提高滤波器的品质因子。
具体地，在滤波器在使用时，激光注入到滤波器的入射波导101中，激光通过耦合波导103耦合到纳米梁F-P谐振腔中。非谐振波长从纳米梁F-P谐振腔耦合到出射波导102中，谐振波长耦合进入在纳米梁F-P谐振腔中并增强，直到输入功率、外耦合功率、腔损耗功率达到动态平衡，光像是被腔体束缚住，无法从纳米梁F-P谐振腔耦合到出射波导102，从而实现特定波长光的滤波。通过在左侧布拉格反射镜孔阵列105和右侧布拉格反射镜孔阵列106之间引入拉锥渐变型孔阵列107和反向拉锥渐变型孔阵列108，降低左侧布拉格反射镜孔阵列105和右侧布拉格反射镜孔阵列106的模式失配，从而降低腔内损耗，抑制边带抖动和增加谐振腔的品质因子。具体的方法是通过控制拉锥渐变型孔阵列107和反向拉锥渐变型孔阵列108周期和占空比的渐变函数以及孔阵列个数，使左右两侧渐变区的模场尽可能对称，这样可以最大限度地减少反射腔界面的散射损失。通过控制左侧布拉格反射镜孔阵列105和右侧布拉格反射镜孔阵列106的周期，可以自由调控两侧布拉格禁带的重叠带。如图2所示，如果左侧布拉格反射镜孔阵列105和右侧布拉格反射镜孔阵列106禁带的重叠带小于纳米梁F-P谐振腔腔的自由光谱范围，便只有一个纵模能在此谐振腔里面工作，从而实现全光谱范围单个峰或者单个谷超大自由光谱范围的滤波器。其中，Δλover表示左侧布拉格反射镜孔阵列105和右侧布拉格反射镜孔阵列106的布拉格禁带的重叠值，FSRFP为F-P腔的自由光谱范围，两者需满足如下条件之一：
条件一：Δλover＜2FSRFP，且纳米梁F-P谐振腔的谐振波长靠近左侧布拉格反射镜孔阵列105和右侧布拉格反射镜孔阵列106的禁带重叠带的中部；
条件二：Δλover≤fSRFP，且纳米梁F-P谐振腔的谐振波长靠近左侧布拉格反射镜孔阵列105和右侧布拉格反射镜孔阵列106的禁带重叠带的边缘。
下面给出本发明的滤波器结构的实施例。
实施例一
基于220nm绝缘层上硅平台制备集成的超大自由光谱范围的滤波器。耦合波导103为弯曲波导，纳米梁波导104为直波导，左侧布拉格反射镜孔阵列105和右侧布拉格反射镜孔阵列106上的孔为方孔。耦合波导103的最低点切线与纳米梁波导104平行且存在间隙，构成侧边耦合波导结构；耦合波导103的最低点到纳米梁波导104的垂线过拉锥渐变型孔阵列107和反向拉锥渐变型孔阵列108的连接点。
入射波导101、出射波导102、耦合波导103和纳米梁波导104宽度为500nm，波导为全刻蚀波导，耦合波导103的弯曲半径为10μm。左侧布拉格反射镜孔阵列105的周期始终固定在340nm，周期数为15。右侧布拉格反射镜孔阵列106的周期分别为340nm、360nm、380nm、400nm、420nm、480nm，周期数为15。拉渐变型孔阵列107和反向拉渐变型孔阵列108的周期渐变采用抛物线函数，最小的方孔的周期为240nm，耦合波导103和纳米梁波导104的间隙为230nm。此时，对应于6个右侧布拉格反射镜孔阵列106的6个滤波器的长度均小于23μm。实施例一中的孔在y方向的尺寸是250nm，x方向的尺寸为周期和占空比的乘积，最小尺寸为170nm。
在本实施例中，滤波器在使用时，扫频连续激光注入到滤波器的入射波导101中，激光通过边耦合波导结构耦合到纳米梁F-P谐振腔中。谐振波长一直在谐振腔中振荡无法从谐振腔耦合到出射波导102，非谐振波长从F-P谐振腔耦合到出射波导102中，以实现对谐振波长激光的滤除。
图3给出了实施例一的滤波器的光谱传输图，从图中可以看出，当右侧周期增加到420nm之后，在250nm的超大波长范围内，只能看到在1513.76nm有一个深的凹陷，而在非共振波长处平坦的响应。图4展示了对应的滤波器在工作波长为1400nm、1460nm、1513.76nm、1540nm和1600nm时整个结构的电场分布。
对于在左侧布拉格发射镜阻带内但在右侧布拉格发射镜阻带外的1400nm波长，耦合进腔的光被左侧布拉格发射镜反射，但可以通过右侧布拉格发射镜传播。因此，从入射波导101注入的光传输到纳米梁波导的右侧端口。相反，对于波长为1600nm的波长，光被传输到纳米梁波导的左侧端口，因为它在右侧布拉格发射镜的阻带内，但在左侧布拉格发射镜外。在1460nm和1540nm这两个处于布拉格重叠波段但不共振的波长，光被耦合到腔内，然后被左右布拉格镜反射，最后传输到直通端口。由于耦合长度很短，非谐振波长的插入损耗可以忽略不计。对于1513.76nm的谐振波长，光耦合进入腔内，增强腔内的功率，直到耦合功率、外耦合功率和损耗功率之间实现动态平衡。因此，光就像被困在腔内，几乎没有功率耦合到直通端口。
为了进一步证明本发明的超大自由光谱范围的滤波器的小尺寸，选用发明人在专利CN2020112788641中公开的实施例作为对比例一和对比例二。
对比例一
如图5所示，基于220nm绝缘层上硅平台制备集成的超大自由光谱范围的滤波器。入射波导101、出射波导102、耦合波导103和单模波导108宽度为500nm。波导为脊波导，刻蚀深度(波导高度)为150nm，耦合波导103的弯曲半径为20μm。左侧布拉格波导光栅104和右侧布拉格波导光栅105由宽波导和窄波导周期性交替而成，宽波导宽度为500nm，窄波导为300nm，周期数为150，周期为317nm。拉锥渐变型波导光栅106由宽波导和窄波导周期性交替而成，宽波导宽度为500nm，宽度不变，窄波导宽度从300nm线性变宽至500nm，周期数为5，周期为317nm；反向拉锥渐变型波导光栅107由宽波导和窄波导周期性交替而成，宽波导宽度为500nm，宽度不变，窄波导宽度从500nm线性变为300nm，周期数为5，周期为317nm；单模波导108长度为零，耦合波导103和单模波导108的间隙为250nm。
实施例一与对比例一的不同之处在于实施例一采用的是布拉格反射镜孔阵列105，106，107，108，它相比于对比例一中的布拉格光栅105，106，107，108具有更高的反射能力。为了达到相同的反射率，本发明实施例一的滤波器所需要的总周期数远小于对比例一中的周期数。实施例一中工作在1513.76nm的器件，左侧布拉格反射镜孔阵列105的周期是340nm，周期数是15。右侧布拉格反射镜孔阵列106的周期是420nm，周期数是15。孔阵列在x方向和y方向的占空比均为0.5。整个滤波器的长度小于20μm。对比例一中工作在1521nm的器件，左侧布拉格波导光栅104和右侧布拉格波导光栅105由宽波导和窄波导周期性交替而成，在x方向的占空比为0.5。宽波导宽度为500nm，窄波导为300nm，周期数为150，周期为317nm。整个滤波器的长度大于98μm。
对比例二
如图6所示，对比例二中的滤波器参数与对比例一相同，不同之处在于左侧布拉格波导光栅104、右侧布拉格波导光栅105、拉锥渐变型波导光栅106和反向拉锥渐变型波导光栅107由宽波导和窄波导交替的方案更改为波导内刻蚀小孔的方案。左侧布拉格波导光栅104和右侧布拉格波导光栅105均由普通单模波导和打孔的单模波导周期性交替形成；拉锥渐变型波导光栅106由单模波导和打孔的单模波导周期性交替而成，单模波导宽度不变，圆孔的半径逐渐变小；反向拉锥渐变型波导光栅107由单模波导和打孔的单模波导周期性交替而成，单模波导宽度不变，圆孔的半径逐渐变大。
实施例一与对比例二的不同之处在于，为了达到在相同波长下均实现无限自由光谱范围，实施例一采用的布拉格反射镜的孔阵列105，106，107，108的孔尺寸更大，对比例二中的孔尺寸设计需要尽可能的小，从而大大增加了对加工精度的要求。同时，实施例一比对比例二中的孔阵列105，106，107，108具有更高的反射能力。为了达到相同的反射率，实施例一中所需要的周期数远小于对比例二中的周期数，实施例一制成的滤波器的长度远小于对比例二。
实施例二
实施例二与实施例一不同之处在于将实施例一中的入射波导101、出射波导102、耦合波导103均改为直波导。如图7所示，纳米梁波导104为弯曲纳米梁波导。弯曲波导的半径(R)可以缩小到4.5μm以下，相比于实施例一，大大缩减了占地面积，为后续的更紧凑的大规模级联器件的设计奠定了基础。
实施例三
实施例三与实施例一不同之处在于，将实施例一中的左侧布拉格反射镜孔阵列105，右侧布拉格反射镜孔阵列106，拉渐变型孔阵列107和反向拉渐变型孔阵列108的周期均保持不变。而拉渐变型孔阵列107和反向拉渐变型孔阵列108的宽度遵循二次函数，如图8所示。
在上述三个实施例中，左侧布拉格反射镜孔阵列105、右侧布拉格反射镜孔阵列106、拉渐变型孔阵列107和反向拉渐变型孔阵列108中的小孔可以是矩形，方形，圆形，椭圆形。此外，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，采用其他集成光学平台，如绝缘层上硅平台、无机硫系玻璃平台、氧化钛平台、氮化硅平台、绝缘层上铌酸锂平台和三五族磷化铟平台等；采用不同的光学工作波段，比如紫外波段、可见光波段、近红外波导、中红外波导和远红外波段等。
综上，在本实施例中，提出的超大自由光谱范围的滤波器结构，本发明将波导耦合器与纳米梁F-P谐振腔结合，通过调整左右两侧布拉格反射镜形成的布拉格重叠带，使其小于纳米梁谐振腔的自由光谱范围，便可以实现单纵模的激发，从而实现全光谱范围单个峰或者单个谷超大自由光谱范围的滤波器。
本领域普通技术人员可以理解，以上所述仅为发明的优选实例而已，并不用于限制发明，尽管参照前述实例对发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实例记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在发明的精神和原则之内，所做的修改、等同替换等均应包含在发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器，其特征在于，该滤波器结构为左右非对称结构，其包括入射波导(101)、出射波导(102)、耦合波导(103)、纳米梁波导(104)，左侧布拉格反射镜孔阵列(105)、右侧布拉格反射镜孔阵列(106)、拉锥渐变型孔阵列(107)、反向拉锥渐变型孔阵列(108)，其中：
所述入射波导(101)、耦合波导(103)和出射波导(102)依次相连；
所述左侧布拉格反射镜孔阵列(105)、拉锥渐变型孔阵列(107)、反向拉锥渐变型孔阵列(108)、右侧布拉格反射镜孔阵列(106)依次布置在所述纳米梁波导(104)上；所述左侧布拉格反射镜孔阵列(105)、拉锥渐变型孔阵列(107)、反向拉锥渐变型孔阵列(108)、右侧布拉格反射镜孔阵列(106)均为周期性结构，所述左侧布拉格反射镜孔阵列(105)与右侧布拉格反射镜孔阵列(106)的周期不同，拉锥渐变型孔阵列(107)、反向拉锥渐变型孔阵列(108)的周期是渐变的；
所述耦合波导(103)的最低点靠近所述拉锥渐变型孔阵列(107)、反向拉锥渐变型孔阵列(108)的连接点且与所述连接点存在间隙，构成侧边耦合波导结构；
所述左侧布拉格反射镜孔阵列(105)、拉锥渐变型孔阵列(107)、反向拉锥渐变型孔阵列(108)、右侧布拉格反射镜孔阵列(106)共同构成纳米梁F-P谐振腔；
所述左侧布拉格反射镜孔阵列(105)和右侧布拉格反射镜孔阵列(106)的布拉格禁带带宽的重叠值为Δλover，所述纳米梁F-P谐振腔的自由光谱范围FSRFP，两者需满足如下条件之一：
条件一：Δλover＜2FSRFP，且所述纳米梁F-P谐振腔的谐振波长靠近所述的左侧布拉格反射镜孔阵列(105)和右侧布拉格反射镜孔阵列(106)的禁带重叠带的中部；
条件二：Δλover≤FSRFP，且所述纳米梁F-P谐振腔的谐振波长靠近所述的左侧布拉格反射镜孔阵列(105)和右侧布拉格反射镜孔阵列(106)的禁带重叠带的边缘。
2.根据权利要求1所述的基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器，其特征在于，所述拉锥渐变型孔阵列(107)、反向拉锥渐变型孔阵列(108)的周期和占空比均遵循渐变函数的变化规律，所述渐变函数选自一次函数、二次函数、高斯函数、洛伦兹函数中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器，其特征在于，所述拉锥渐变型孔阵列(107)、反向拉锥渐变型孔阵列(108)的阵列个数需要分别根据左侧布拉格反射镜孔阵列(105)、右侧布拉格反射镜孔阵列(106)的周期以及所采用的渐变函数来调整，从而最大限度地减少反射腔界面的散射损失，以提高滤波器的品质因子。
4.根据权利要求1所述的基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器，其特征在于，Δλover与FSRFP之间满足条件一或条件二的实现方法为：
先保证所述左侧布拉格反射镜孔阵列(105)、右侧布拉格反射镜孔阵列(106)周期相同，逐渐增大左侧布拉格反射镜孔阵列(105)或右侧布拉格反射镜孔阵列(106)其中一个的周期，使得所述纳米梁F-P腔的谐振模式只有一个。
5.根据权利要求1所述的基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器，其特征在于，所述纳米梁波导(104)为直波导，所述耦合波导(103)为弯曲波导；或者，所述纳米梁波导(104)为弯曲波导，所述耦合波导(103)为直波导。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202310733289.7A CN116893479A (zh) | 2023-06-20 | 2023-06-20 | 基于纳米梁谐振腔的超小尺寸超大自由光谱范围滤波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (1)
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| CN116893479A true CN116893479A (zh) | 2023-10-17 |
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Family Applications (1)
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| CN (1) | CN116893479A (zh) |
-
2023
- 2023-06-20 CN CN202310733289.7A patent/CN116893479A/zh active Pending
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