CN116819909B - 一种数据压缩方法、装置、曝光设备及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明涉及光刻计算技术领域，公开了一种数据压缩方法、装置、曝光设备及存储介质，本发明在获取到掩模面任一预设区域对应的点扩散函数之后，首先判断点扩散函数是否具备对称性。通过判断对称性方可得知数据间是否存在变换关系，从而确定是否可以对数据进行压缩。当点扩散函数具备对称性时，表示数据可以进行压缩，然后确定点扩散函数对应的对称特征。基于对称特征对所有满足点扩散函数的衍射数据进行压缩，从而得到目标衍射数据，目标衍射数据即与对称特征结合可以通过对称变换得到满足点扩散函数所有衍射数据的基础数据。本实施例通过上述方式，即可将待存储的数据量至少缩减至原来的一半，实现了对数据的压缩，降低了空间占用率。

Description

一种数据压缩方法、装置、曝光设备及存储介质

技术领域

本发明涉及光刻计算技术领域，具体涉及一种数据压缩方法、装置、曝光设备及存储介质。

背景技术

全息掩模是实现高分辨率芯片制造的关键，对于复振幅全息图，很难同时对振幅和相位进行调节。因此，在实际制造的过程中，只能选择振幅型全息掩模和相位型全息掩模。相位型全息掩模相对于振幅型全息掩模具有更高的编码效率，所以常用纯相位型全息掩模。

但是，纯相位型全息掩模由很多方孔构成，在用纯相位型全息掩模衍射成像时，常常将每个方孔的衍射叠加起来实现整张掩模的成像。由于每个方孔的大小几乎一样，因此常常将单个方孔的衍射数据先存储下来。但是，在掩模合成的过程中，随着全息掩模成像范围的扩大，需要存储的数据量急速增加，占用的存储空间也越来越大。

那么，如何对急剧增长的数据量进行存储成为目前亟需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种数据压缩方法、装置、曝光设备及存储介质，以解决存储空间占用较大的问题。

第一方面，本发明提供了一种数据压缩方法，应用于芯片制备工艺的曝光设备，方法包括：

获取掩模面任一预设区域对应的点扩散函数；判断点扩散函数是否具备对称性，当点扩散函数具备对称性时，确定点扩散函数的对称特征；基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据。

本实施例提供的数据压缩方法，在获取到掩模面任一预设区域对应的点扩散函数之后，首先判断点扩散函数是否具备对称性。通过判断对称性方可得知数据间是否存在变换关系，从而确定是否可以对数据进行压缩。当点扩散函数具备对称性时，表示数据可以进行压缩，然后确定点扩散函数对应的对称特征。基于对称特征对所有满足点扩散函数的衍射数据进行压缩，从而得到目标衍射数据，目标衍射数据即与对称特征结合可以通过对称变换得到满足点扩散函数所有衍射数据的基础数据。本实施例通过上述方式，即可将待存储的数据量至少缩减至原来的一半，实现了对数据的压缩，降低了空间占用率。

在一种可选实施方式中，判断点扩散函数是否具备对称性，当点扩散函数具备对称性时，确定点扩散函数的对称特征，包括：

判断点扩散函数是否满足预设转换原则，得到判断结果；基于判断结果，确定点扩散函数是否具备对称性；当点扩散函数具备对称性时，将对称性对应的特征确定为点扩散函数的对称特征。

本实施例提供的数据压缩方法，通过预设转换规则确定点扩散函数所具备的对称特性，相较于其它方式而言准确性更高，间接保证了后续压缩过程中目标衍射数据的准确性。

在一种可选实施方式中，基于判断结果，确定点扩散函数是否具备对称性，包括：

当点扩散函数满足预设转换规则时，确定点扩散函数具备与预设转换规则对应的对称性。

在一种可选实施方式中，基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据，包括：

基于对称特征对点扩散函数进行分段，得到至少两个子函数；将至少两个子函数中的任一子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据，以完成对所有衍射数据的压缩。

本实施例提供的数据压缩方法，基于对称特征对点扩散函数进行分段，并将任一子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据。通过这样的方式，即可基于点扩散函数的对称特性确定出待存储的目标衍射数据，从而实现数据的压缩，降低待存储的数据量，减少对空间的占用，以使存储空间可以容纳更多数据。

在一种可选实施方式中，对称性为旋转对称或轴对称。

在一种可选实施方式中，在基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据之后，还包括：

对目标衍射数据进行坐标转换；存储经坐标转换之后的目标衍射数据。

本实施例提供的数据压缩方法，之所以先对目标衍射数据进行坐标转换然后进行存储，其目的是，对于旋转对称而言，衍射数据之间的对称变换更多的是基于旋转角度对应的，因此，将目标衍射数据以极坐标方式进行存储可以使后续基于目标衍射数据对其余衍射数据进行还原时的还原效率更高。

第二方面，本发明提供了一种数据压缩装置，应用于芯片制备工艺的曝光设备，装置包括：

获取模块，用于获取掩模面任一预设区域对应的点扩散函数；第一确定模块，用于判断点扩散函数是否具备对称性，当点扩散函数具备对称性时，确定点扩散函数的对称特征；第二确定模块，用于基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据。

在一种可选实施方式中，第一确定模块包括：

判断单元，用于判断点扩散函数是否满足预设转换原则，得到判断结果；第一确定单元，用于基于判断结果，确定点扩散函数是否具备对称性；第二确定单元，用于当点扩散函数具备对称性时，将对称性对应的特征确定为点扩散函数的对称特征。

第三方面，本发明提供了一种曝光设备，应用于芯片制备工艺，包括：存储器和处理器，存储器和处理器之间互相通信连接，存储器中存储有计算机指令，处理器通过执行计算机指令，从而执行上述第一方面或其对应的任一实施方式的数据压缩方法。

第四方面，本发明提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机指令，计算机指令用于使计算机执行上述第一方面或其对应的任一实施方式的数据压缩方法。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本发明实施例的数据压缩方法的流程示意图；

图2是根据本发明实施例的另一数据压缩方法的流程示意图；

图3是根据本发明实施例的点扩散函数对应衍射数据的可视化示意图；

图4是根据本发明实施例的另一点扩散函数对应衍射数据的可视化示意图；

图5是根据本发明实施例的又一数据压缩方法的流程示意图；

图6是根据本发明实施例的数据压缩装置的结构框图；

图7是本发明实施例的曝光设备的硬件结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

随着全息掩模成像范围的扩大，需要存储的数据量急速增加，占用的存储空间也越来越大。因此，本发明提供了一种数据压缩方法，当点扩散函数具备对称性时，基于点扩散函数的对称特征确定需要存储的目标衍射数据，从而实现对数据的压缩，减小空间占用问题。

根据本发明实施例，提供了一种数据压缩方法实施例，需要说明的是，在附图的流程图示出的步骤可以在诸如一组计算机可执行指令的计算机系统中执行，并且，虽然在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可以以不同于此处的顺序执行所示出或描述的步骤。

在本实施例中提供了一种数据压缩方法，应用于芯片制备工艺的曝光设备，图1是根据本发明实施例的数据压缩方法的流程图，如图1所示，该流程包括如下步骤：

步骤S101，获取掩模面任一预设区域对应的点扩散函数。

具体地，在掩模面上具备至少一个预设区域，每一个预设区域分别对应一个点扩散函数。由于每个预设区域的大小并无差异，因此，各预设区域对应的点扩散函数也相同。本实施例中仅获取掩模面任一预设区域对应的点扩散函数。

具体地，掩模面即掩模版表面，预设区域即掩模面上的小孔所对应的设定区域。其中，掩模面上可以具有多个小孔，每个小孔对应一个预设区域。

步骤S102，判断点扩散函数是否具备对称性，当点扩散函数具备对称性时，确定点扩散函数的对称特征。

示例性地，对称性可以为旋转对称或轴对称。旋转对称包括但不限于中心对称，轴对称包括但不限于关于横轴对称、关于纵轴对称、关于直线对称等。对称特征则与对称性相对应，用于描述与之对应的对称性的特征。如，对称性为旋转对称时，对称特征可以是旋转中心、旋转方向和旋转角；当对称性为轴对称时，对称特征可以是对称轴。

步骤S103，基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据。

具体地，目标衍射数据为满足点扩散函数的所有衍射数据中的部分数据。可以理解的是，符合点扩散函数衍射数据存在若干，在若干衍射数据中，包括一部分基础衍射数据，通过对基础衍射数据进行对称变换即可得到所有衍射数据中除基础衍射数据之外的其余数据，该实施例中的目标衍射数据即为基础衍射数据。

本实施例提供的数据压缩方法，在获取到掩模面任一预设区域对应的点扩散函数之后，首先判断点扩散函数是否具备对称性。通过判断对称性方可得知数据间是否存在变换关系，从而确定是否可以对数据进行压缩。当点扩散函数具备对称性时，表示数据可以进行压缩，然后确定点扩散函数对应的对称特征。基于对称特征对所有满足点扩散函数的衍射数据进行压缩，从而得到目标衍射数据，目标衍射数据即与对称特征结合可以通过对称变换得到满足点扩散函数所有衍射数据的基础数据。本实施例通过上述方式，即可将待存储的数据量至少缩减至原来的一半，实现了对数据的压缩，降低了空间占用率。

在本实施例中提供了一种数据压缩方法，应用于芯片制备工艺的曝光设备，图2是根据本发明实施例的数据压缩方法的流程图，如图2所示，该流程包括如下步骤：

步骤S201，获取掩模面任一预设区域对应的点扩散函数。详细请参见图1所示实施例的步骤S101，在此不再赘述。

步骤S202，判断点扩散函数是否具备对称性，当点扩散函数具备对称性时，确定点扩散函数的对称特征。

具体地，上述步骤S202包括：

步骤S2021，判断点扩散函数是否满足预设转换原则，得到判断结果。

具体地，预设转换原则是用于验证函数具备对称性的验证关系式，预设转换原则与对称类型一一对应，本实施例中，预设转换原则为至少一种。

示例性地，预设转换原则可以是旋转对称对应的预设转换原则，也可以是关于横轴对称对应的预设转换原则，还可以是关于纵轴对称对应的预设转换原则。

如，旋转对称对应的预设转换原则为：

；

其中，（）为转换后的数据坐标，（/>）为转换前的数据坐标，/>为旋转角。

如，关于横轴对称对应的预设转换原则为：

；

如，关于纵轴对称对应的预设转换原则为：

；

示例性地，点扩散函数是否满足预设转换原则的判断方式如下：

以旋转对称为例，将（）用（/>）表示，并代入点扩散函数/>中。如果，/>，那么，表示点扩散函数满足旋转对称对应的预设转换原则。反之，如果/>，那么，表示点扩散函数不满足旋转对称的预设转换原则，此时，可依据上述判断方式重新判断点扩散函数是否满足其余对称类型对应的预设转换原则。

步骤S2022，基于判断结果，确定点扩散函数是否具备对称性。

具体地，当点扩散函数满足预设转换规则时，确定点扩散函数具备与预设转换规则对应的对称性。当点扩散函数不满足预设转换规则时，确定点扩散函数不具备与预设转换规则对应的对称性。

如，当点扩散函数满足某一对称类型对应的预设转换原则时，表示点扩散函数具备对应的对称性，可以进行数据压缩。当点扩散函数不满足任一对称类型对应的预设转换原则时，表示点扩散函数不具备对称性，则无法进行数据压缩。

示例性地，如点扩散函数满足旋转对称对应的预设转换原则，那么，确定点扩散函数满足旋转对称，预设转换原则中的即被确定为点扩散函数的旋转角。

仍以旋转对称为例，当时，将/>代入/>中，得到：

；

由上式可知，不论旋转角度取何值，/>始终与/>相等。因此，具备旋转对称性，旋转角为任一角度。本实施例中函数/>对应的数据可视化后如图3所示。

当时，将/>代入/>中，得到：

；

当时，上式为：

；

因此可知，该函数生成的数据具有旋转对称性，且旋转角为。本实施例中函数/>对应的数据可视化后如图4所示。

步骤S2023，当点扩散函数具备对称性时，将对称性对应的特征确定为点扩散函数的对称特征。

具体的，对称特征与对称性一一对应，用以表征点扩散函数所具备的对称性的特征信息，特征信息包括如旋转中心、旋转角度、旋转方向、对称轴等。

步骤S203，基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据。详细请参见图1所示实施例的步骤S103，在此不再赘述。

本实施例提供的数据压缩方法，通过预设转换规则确定点扩散函数所具备的对称特性相较于其它方式而言准确性更高，间接保证了后续压缩过程中目标衍射数据的准确性。

在本实施例中提供了一种数据压缩方法，应用于芯片制备工艺的曝光设备，图5是根据本发明实施例的数据压缩方法的流程图，如图5所示，该流程包括如下步骤：

步骤S501，获取掩模面任一预设区域对应的点扩散函数。详细请参见图1所示实施例的步骤S101，在此不再赘述。

步骤S502，判断点扩散函数是否具备对称性，当点扩散函数具备对称性时，确定点扩散函数的对称特征。详细请参见图2所示实施例的步骤S202，在此不再赘述。

步骤S503，基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据。

具体地，上述步骤S503包括：

步骤S5031，基于对称特征对点扩散函数进行分段，得到至少两个子函数。

示例性地，如对称特征为x轴，即说明点扩散函数关于x轴对称。那么，以x轴为分割线，将点扩散函数分为y轴正半轴对应的第一子函数和y轴负半轴对应的第二子函数。

示例性地，如对称特征为，旋转中心为坐标原点，旋转角度为90°，即说明点扩散函数具有旋转对称性。假设，点扩散函数对应的衍射数据分布在坐标系四个象限内，那么，按照象限，将点扩散函数分别分为第一子函数、第二子函数、第三子函数和第四子函数。

步骤S5032，将至少两个子函数中的任一子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据，以完成对所有衍射数据的压缩。

示例性地，仍以步骤S5031中的实施例为例。当点扩散函数被分为y轴正半轴对应的第一子函数和y轴负半轴对应的第二子函数时，可以将第一子函数或第二子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据，目标衍射数据即待存储的基础衍射数据，该基础衍射数据通过与点扩散函数对称性对应的预设转换规则转换即可得到其余衍射数据。如将第一子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据，则按照关于x轴对称的预设转换规则对目标衍射数据一一进行转换，即可得到第二子函数对应的衍射数据。

本实施例提供的数据压缩方法，基于对称特征对点扩散函数进行分段，并将任一子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据。通过这样的方式，即可基于点扩散函数的对称特性确定出待存储的目标衍射数据，从而实现数据的压缩，降低待存储的数据量，减少对空间的占用，以使存储空间可以容纳更多数据。

在一可选实施例中，在步骤S503之后，还包括：

步骤S504，对目标衍射数据进行坐标转换。

步骤S505，存储经坐标转换之后的目标衍射数据。

具体地，将目标衍射数据存储至预设存储位置中。预设存储位置可以是存储器，也可以是某一指定的存储区域。此处对预设存储位置不作具体限定，本领域技术人员可根据实际情况确定。

具体地，当点扩散函数具备旋转对称性时，在得到目标衍射数据之后，先将目标衍射数据的坐标转换为极坐标，然后再将目标衍射数据以极坐标的形式进行存储。之所以先对目标衍射数据进行坐标转换然后进行存储，其目的是，对于旋转对称而言，衍射数据之间的对称变换更多的是基于旋转角度对应的，因此，将目标衍射数据以极坐标方式进行存储可以使后续基于目标衍射数据对其余衍射数据进行还原时的还原效率更高。

在本实施例中还提供了一种数据压缩装置，该装置用于实现上述实施例及优选实施方式，已经进行过说明的不再赘述。如以下所使用的，术语“模块”可以实现预定功能的软件和/或硬件的组合。尽管以下实施例所描述的装置较佳地以软件来实现，但是硬件，或者软件和硬件的组合的实现也是可能并被构想的。

本实施例提供一种数据压缩装置，应用于芯片制备工艺的曝光设备，如图6所示，包括：

获取模块601，用于获取掩模面任一预设区域对应的点扩散函数。

第一确定模块602，用于判断点扩散函数是否具备对称性，当点扩散函数具备对称性时，确定点扩散函数的对称特征。

第二确定模块603，用于基于对称特征，将满足点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据。

在一些可选实施方式中，第一确定模块602包括：

判断单元，用于判断点扩散函数是否满足预设转换原则，得到判断结果。

第一确定单元，用于基于判断结果，确定点扩散函数是否具备对称性。

第二确定单元，用于当点扩散函数具备对称性时，将对称性对应的特征确定为点扩散函数的对称特征。

在一些可选实施方式中，第一确定单元包括：

确定子单元，用于当点扩散函数满足预设转换规则时，确定点扩散函数具备与预设转换规则对应的对称性。

在一些可选实施方式中，第二确定模块603包括：

分段单元，用于基于对称特征对点扩散函数进行分段，得到至少两个子函数。

第三确定单元，用于将至少两个子函数中的任一子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据，以完成对所有衍射数据的压缩。

在一些可选实施方式中，第一确定模块602中的对称性为旋转对称或轴对称。

在一些可选实施方式中，在第二确定模块603之后，还包括：

转换模块，用于对目标衍射数据进行坐标转换。

存储模块，用于存储经坐标转换之后的所述目标衍射数据。

上述各个模块和单元的更进一步的功能描述与上述对应实施例相同，在此不再赘述。

本实施例中的数据压缩装置是以功能单元的形式来呈现，这里的单元是指专用集成电路（Application Specific Integrated Circuit，即ASIC）电路，执行一个或多个软件或固定程序的处理器和存储器，和/或其他可以提供上述功能的器件。

本发明实施例还提供一种曝光设备，该曝光设备可以应用于芯片制备工艺，具体可以是具有计算机处理功能的光刻机，也可以是具有光刻功能的曝光设备。该曝光设备具有上述图6所示的数据压缩装置。

请参阅图7，图7是本发明可选实施例提供的一种曝光设备的结构示意图，如图7所示，该曝光设备包括：一个或多个处理器10、存储器20，以及用于连接各部件的接口，包括高速接口和低速接口。各个部件利用不同的总线互相通信连接，并且可以被安装在公共主板上或者根据需要以其它方式安装。处理器可以对在曝光设备内执行的指令进行处理，包括存储在存储器中或者存储器上以在外部输入/输出装置(诸如，耦合至接口的显示设备)上显示GUI的图形信息的指令。在一些可选的实施方式中，若需要，可以将多个处理器和/或多条总线与多个存储器和多个存储器一起使用。同样，可以连接多个曝光设备，各个设备提供部分必要的操作(例如，作为服务器阵列、一组刀片式服务器、或者多处理器系统)。图7中以一个处理器10为例。

处理器10可以是中央处理器，网络处理器或其组合。其中，处理器10还可以进一步包括硬件芯片。上述硬件芯片可以是专用集成电路，可编程逻辑器件或其组合。上述可编程逻辑器件可以是复杂可编程逻辑器件，现场可编程逻辑门阵列，通用阵列逻辑或其任意组合。

其中，所述存储器20存储有可由至少一个处理器10执行的指令，以使所述至少一个处理器10执行实现上述实施例示出的方法。

存储器20可以包括存储程序区和存储数据区，其中，存储程序区可存储操作系统、至少一个功能所需要的应用程序；存储数据区可存储根据曝光设备的使用所创建的数据等。此外，存储器20可以包括高速随机存取存储器，还可以包括非瞬时存储器，例如至少一个磁盘存储器件、闪存器件、或其他非瞬时固态存储器件。在一些可选的实施方式中，存储器20可选包括相对于处理器10远程设置的存储器，这些远程存储器可以通过网络连接至该曝光设备。上述网络的实例包括但不限于互联网、企业内部网、局域网、移动通信网及其组合。

存储器20可以包括易失性存储器，例如，随机存取存储器；存储器也可以包括非易失性存储器，例如，快闪存储器，硬盘或固态硬盘；存储器20还可以包括上述种类的存储器的组合。

该曝光设备还包括通信接口30，用于该曝光设备与其他设备或通信网络通信。

本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，上述根据本发明实施例的方法可在硬件、固件中实现，或者被实现为可记录在存储介质，或者被实现通过网络下载的原始存储在远程存储介质或非暂时机器可读存储介质中并将被存储在本地存储介质中的计算机代码，从而在此描述的方法可被存储在使用通用计算机、专用处理器或者可编程或专用硬件的存储介质上的这样的软件处理。其中，存储介质可为磁碟、光盘、只读存储记忆体、随机存储记忆体、快闪存储器、硬盘或固态硬盘等；进一步地，存储介质还可以包括上述种类的存储器的组合。可以理解，计算机、处理器、微处理器控制器或可编程硬件包括可存储或接收软件或计算机代码的存储组件，当软件或计算机代码被计算机、处理器或硬件访问且执行时，实现上述实施例示出的方法。

虽然结合附图描述了本发明的实施例，但是本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下做出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。

Claims (6)

1.一种数据压缩方法，应用于芯片制备工艺的全息曝光设备，其特征在于，所述方法包括：

获取全息掩模面任一预设区域对应的点扩散函数；

判断所述点扩散函数是否具备对称性，当所述点扩散函数具备对称性时，确定所述点扩散函数的对称特征；

基于所述对称特征，将满足所述点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据；

其中，所述判断所述点扩散函数是否具备对称性，当所述点扩散函数具备对称性时，确定所述点扩散函数的对称特征，包括：

判断所述点扩散函数是否满足预设转换原则，得到判断结果，所述预设转换规则为用于验证函数具备对称性的验证关系式；

基于所述判断结果，确定所述点扩散函数是否具备对称性；

其中，当所述点扩散函数具备对称性时，将所述对称性对应的特征确定为所述点扩散函数的对称特征，所述对称特征用以表征所述点扩散函数所具备的对称性的特征信息，所述特征信息包括旋转中心、旋转角度、旋转方向、对称轴；

其中，所述基于所述判断结果，确定所述点扩散函数是否具备对称性，包括：

当所述点扩散函数满足预设转换规则时，确定所述点扩散函数具备与所述预设转换规则对应的对称性；

其中，所述基于所述对称特征，将满足所述点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据，包括：

基于所述对称特征对所述点扩散函数进行分段，得到至少两个子函数；

将所述至少两个子函数中的任一子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据，以完成对所述所有衍射数据的压缩。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对称性为旋转对称或轴对称。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述基于所述对称特征，将满足所述点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据之后，所述方法还包括：

对所述目标衍射数据进行坐标转换；

存储经坐标转换之后的目标衍射数据。

4.一种数据压缩装置，应用于芯片制备工艺的全息曝光设备，其特征在于，所述装置包括：

获取模块，用于获取全息掩模面任一预设区域对应的点扩散函数；

第一确定模块，用于判断所述点扩散函数是否具备对称性，当所述点扩散函数具备对称性时，确定所述点扩散函数的对称特征；

第二确定模块，用于基于所述对称特征，将满足所述点扩散函数的所有衍射数据压缩为目标衍射数据；

所述第一确定模块包括：

判断单元，用于判断点扩散函数是否满足预设转换原则，得到判断结果，所述预设转换规则为用于验证函数具备对称性的验证关系式；

第一确定单元，用于基于判断结果，确定点扩散函数是否具备对称性；

第二确定单元，用于当点扩散函数具备对称性时，将对称性对应的特征确定为点扩散函数的对称特征，所述对称特征用以表征所述点扩散函数所具备的对称性的特征信息，所述特征信息包括旋转中心、旋转角度、旋转方向、对称轴；

所述第一确定单元包括：

确定子单元，用于当点扩散函数满足预设转换规则时，确定点扩散函数具备与预设转换规则对应的对称性；

所述第二确定模块包括：

分段单元，用于基于对称特征对点扩散函数进行分段，得到至少两个子函数；

第三确定单元，用于将至少两个子函数中的任一子函数对应的衍射数据确定为目标衍射数据，以完成对所有衍射数据的压缩。

5.一种曝光设备，应用于芯片制备工艺的全息曝光，其特征在于，包括：

存储器和处理器，所述存储器和所述处理器之间互相通信连接，所述存储器中存储有计算机指令，所述处理器通过执行所述计算机指令，从而执行权利要求1至3中任一项所述的数据压缩方法。

6.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机指令，所述计算机指令用于使计算机执行权利要求1至3中任一项所述的数据压缩方法。