CN116741664A - 一种单晶硅片清洗用槽式清洗机 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及硅片清洗机技术领域，且公开了包括外壳、控制面板、电磁门、电动机、清洗机主体、放置板、花篮、超声波清洗盒和喷水管，所述外壳前端上侧安装有控制面板，所述外壳前端安装有电磁门，所述外壳右端安装有电动机，所述外壳内部安装有清洗机主体，所述清洗机主体顶端中间位置滑动安装有放置板，且放置板顶端对称放置两个花篮，所述清洗机主体内部安装有超声波清洗盒和喷水管。本发明不仅能够通过移动支架移动推动推杆移动，进而推动转动盖转动开启，同时能够通过移动框移动对斜面块进行挤压，进而带动堵块移动对排水管进行封堵，还能够通过螺纹块移动带动空心杆二和移动杆移动，使得压辊移动将转动盖挤压闭合。
Description
技术领域
本发明涉及硅片清洗机技术领域，具体为一种单晶硅片清洗用槽式清洗机。
背景技术
对硅片进行清洗时，首先将硅片放置在花篮中，通过夹具将花篮夹持至超声波清洗盒中对硅片进行清洗，超声波清洗盒就是是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对金属零件直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。
目前使用的槽式清洗机存在一定缺陷，缺少超声波清洗盒转动盖便捷开启功能，在对花篮内部的硅片进行清洗前后，转动盖不能够及时的开启以及闭合，进而降低了硅片的清洗效率，同时不方便对超声波清洗盒进行防尘保护，因此，提出一种单晶硅片清洗用槽式清洗机显得非常必要。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，主要为解决对花篮内部的硅片进行清洗前后，转动盖不能够及时的开启以及闭合，降低硅片的清洗效率的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，包括外壳、控制面板、电磁门、电动机、清洗机主体、放置板、花篮、超声波清洗盒和喷水管，所述外壳前端上侧安装有控制面板，所述外壳前端安装有电磁门，所述外壳右端安装有电动机，所述外壳内部安装有清洗机主体，所述清洗机主体顶端中间位置滑动安装有放置板，且放置板顶端对称放置两个花篮，所述清洗机主体顶端对称开设两个方槽，且两个方槽位于放置板左右两侧，两个所述方槽内部均安装有超声波清洗盒，且两个方槽内部均对称安装两个喷水管，所述喷水管一端与超声波清洗盒对齐，所述清洗机主体前端固定安装有矩形框，且矩形框内部转动安装有螺杆，所述螺杆环形侧面上安装有螺纹块，且螺纹块上下两端分别与矩形框内部顶端以及内部底端相贴合，所述螺杆右端延伸至外壳外侧与电动机相连接，所述螺纹块前端固定安装有移动框，且移动框后端与矩形框前端相贴合，所述移动框内部安装有电动推杆一，且电动推杆一顶端穿过移动框并固定安装有移动支架，所述移动支架顶端安装有夹具，且夹具与花篮上下对齐，所述清洗机主体顶端对称转动安装两个转动盖，且转动盖与超声波清洗盒上下对齐，所述清洗机主体前端对称滑动安装两个推杆，且两个推杆相互靠近一端与移动支架相贴合，所述推杆顶端固定安装有空心杆一，所述空心杆一内部滑动安装有压杆，所述压杆顶端与转动盖底端相贴合。
进一步的，所述矩形框顶端中间位置开设有通槽，且通槽内部对称滑动安装两个空心杆二，且两个空心杆二底端均固定安装在螺纹块上，两个所述空心杆二分别位于两个推杆下侧。
在前述方案的基础上，两个所述空心杆二相互远离一端均滑动安装有移动杆，且移动杆一端延伸至空心杆二内部，所述移动杆另一端固定安装有磁块，所述移动杆外侧安装有弹簧二，且弹簧二左右两端分别固定安装在磁块上以及空心杆二上。
进一步的，所述清洗机主体顶端后侧镶嵌有磁条，所述磁条顶端与转动盖底端吸附贴合，所述清洗机主体顶端左右两侧对称安装两个以上弹簧合页，且弹簧合页另一端固定安装在转动盖上，且弹簧合页初始位置处于压缩状态，所述清洗机主体前端对称固定安装两个T型卡块，所述推杆前端开设有矩形通槽，所述T型卡块前端穿过矩形通槽与推杆前端相贴合，所述T型卡块底端固定安装有弹簧六，且弹簧六底端固定安装在矩形通槽内部底端。
进一步的，所述空心杆一底端对称滑动安装两个T型圆块，且T型圆块顶端穿过空心杆一并固定安装在压杆底端，所述T型圆块环形侧面上安装有弹簧一，且弹簧一上下两端分别固定安装在空心杆一底端以及T型圆块上。
进一步的，所述矩形框顶端左右两侧对称开设有矩形槽，且矩形槽内部固定安装有导杆一，所述导杆一环形侧面上滑动安装有T型滑块，所述T型滑块顶端安装有压辊，所述压辊环形侧面下侧与转动盖顶端平齐，所述导杆一环形侧面上安装有弹簧三，且弹簧三左右两端分别固定安装在T型滑块上以及矩形槽内壁上。
在前述方案的基础上，两个所述空心杆二相互靠近一端均转动安装有绳轮，所述绳轮环形侧面上缠绕有拉绳，所述拉绳一端穿过空心杆二并固定安装移动杆上，所述绳轮后端固定安装有齿轮。
进一步的，所述移动支架后端下侧对称固定安装两个齿条，两个所述齿条分别与两个齿轮环形侧面相啮合，所述矩形框内部底端对称开设两个凹槽，且凹槽内部固定安装有T型导杆，所述T型导杆环形侧面上滑动安装有滑杆，所述T型导杆环形侧面上安装有弹簧四，且弹簧四上下两端分别固定安装在滑杆底端以及凹槽内部底端，所述滑杆后端穿过清洗机主体延伸至方槽内部，且滑杆后端下侧固定安装有移动条，所述移动条顶端对称固定安装两个堵块，所述超声波清洗盒底端对称安装两个排水管，且排水管底端与堵块上下对齐，所述方槽内部底端加工有斜面，所述清洗机主体后端对称安装两个方管，且方管前端延伸至方槽内部，所述方管后端延伸至外壳外侧，所述方管内部安装有防尘网。
在前述方案的基础上，所述凹槽内部滑动安装有斜面块，所述斜面块后端与滑杆底端前侧相贴合，所述斜面块前端延伸至矩形框前侧，所述斜面块底端开设有方孔槽，且方孔槽内部固定安装有导杆二，所述导杆二环形侧面上安装有支撑块，且支撑块底端固定安装在凹槽内部底端，所述导杆二环形侧面上安装有弹簧五，且弹簧五两端分别固定安装在支撑块上以及方孔槽内壁上。
进一步的，所述夹具包括支撑杆、电动推杆二和L型杆，所述移动支架顶端固定安装有支撑杆，且支撑杆内部为空心结构，所述支撑杆内部固定安装有电动推杆二，且电动推杆二后端固定安装有锥形块，所述支撑杆左右两端对称滑动安装有L型杆，两个所述L型杆相互靠近一端均延伸至支撑杆内部与锥形块左右两端相贴合，所述L型杆底端固定安装有夹杆，所述夹杆与花篮相贴合，所述支撑杆左右两端对称固定安装两个拉簧，且拉簧另一端固定安装在L型杆上。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，具备以下有益效果：
1、通过移动支架移动推动推杆移动，进而推动转动盖转动开启，电动推杆一工作带动移动支架向上移动，移动支架向上移动带动夹具移动，进而将花篮夹取向上移动，移动支架向上移动带动推杆沿着T型卡块向上移动，推杆向上移动带动空心杆一向上移动，因为压杆顶端与转动盖贴合，转动盖初始位置被磁条吸附固定，所以空心杆一向上移动对弹簧一进行拉伸，使得弹簧一产生弹力，当空心杆一向上移动与转动盖底端贴合时，此时弹簧一拉伸至最大长度，此时弹簧一的弹力大于磁条与转动盖之间的吸附力，弹簧一的弹力相对于空心杆一是向下的拉力，相对于压杆是向上的推力，进而推杆移动推动转动盖转动与磁条分离，在弹簧合页扭力的作用下，转动盖转动开启，该设计便于转动盖的自动开启，进而便于将花篮放置在超声波清洗盒内部，提高了硅片的清洗效率。
2、通过移动框移动对斜面块进行挤压，进而带动堵块移动对排水管进行封堵，在螺纹块沿着螺杆左右移动过程中，螺纹块移动带动移动框移动，移动框移动对斜面块进行挤压，使得斜面块向后移动，斜面块向后移动对滑杆进行挤压，使得滑杆沿着T型导杆向上移动，进而带动移动条向上移动，移动条向上移动带动堵块移动对排水管进行封堵，进而便于超声波清洗盒内部存水，进而方便对花篮内部的硅片进行清洗。
3、通过螺纹块移动带动空心杆二和移动杆移动，进而通过磁块带动T型滑块移动，使得压辊移动将转动盖挤压闭合，在螺纹块沿着螺杆移动过程中带动空心杆二沿着通槽移动，进而带动移动杆移动，移动杆移动带动磁块移动，使得磁块移动与T型滑块吸附贴合，螺纹块反向移动过程中带动空心杆二和移动杆反向移动，移动杆移动通过磁块带动T型滑块移动，因为弹簧二的弹力远大于弹簧三的弹力，所以移动杆带动T型滑块移动过程中不会对弹簧二进行拉伸，T型滑块移动对弹簧三进行拉伸，同时T型滑块移动带动压辊水平移动，进而推动转动盖转动闭合，转动盖与磁条吸附贴合，转动盖转动闭合过程中对压杆进行挤压，压杆受到挤压移动至空心杆一内部，并带动T型圆块移动移动对弹簧一进行拉伸，使得弹簧一产生弹力，因为此时压辊仍处于转动盖顶端，对转动盖进行压持，所以弹簧一的弹力不会推动转动盖转动开启，此时T型滑块移动至矩形槽尽头，与矩形槽内壁贴合，电动推杆一工作带动移动支架向下移动，进而带动夹具向下移动，进而将花篮放置在放置板上，在移动支架向下移动过程中带动齿条移动，齿条移动带动齿轮转动，进而带动绳轮转动，绳轮转动对拉绳进行缠绕，使得拉绳一端移动拉动移动杆移动，移动杆移动带动磁块移动与T型滑块分离，在弹簧三弹力的作用下，T型滑块移动复位带动压辊移动复位与转动盖分离，在移动支架向下移动过程中，移动支架与推杆分离，在弹簧一和弹簧六弹力的作用下，推杆向下移动复位，弹簧一的弹力得到释放，进而压杆不会推动转动盖展开，使得转动盖保持闭合状态，同时对超声波清洗盒进行防尘保护。
4、通过移动框移动复位，便于移动条移动带动堵块移动与排水管分离，移动框移动与斜面块分离，在弹簧五弹力的作用下，斜面块移动复位与滑杆分离，在弹簧四弹力的作用下，滑杆向下移动带动移动条向下移动，进而带动堵块移动与排水管分离，进而便于排出超声波清洗盒内部的污水，进而提高了清洗机主体的实用性。
5、通过电动推杆二工作带动锥形块移动，拉簧的弹力便于L型杆移动，L型杆移动带动夹杆移动对花篮进行夹持，电动推杆二工作推动锥形块移动，锥形开移动对两个L型杆进行挤压，L型杆移动带动夹杆移动，使得两个夹杆之间的距离增加，L型杆移动对拉簧进行拉伸，锥形块反向移动与L型杆分离，在拉簧弹力的作用下，L型杆移动带动夹杆移动对花篮进行夹持，该设计便于对花篮进行夹持固定，进而便于对花篮进行夹取。
附图说明
图1为本发明提出的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机的立体结构示意图；
图2为本发明提出的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机的清洗机主体结构示意图；
图3为本发明提出的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机的A处局部放大结构示意图；
图4为本发明提出的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机的夹具结构示意图；
图5为本发明提出的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机的推杆装配结构示意图；
图6为本发明提出的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机的B处局部放大结构示意图；
图7为本发明提出的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机的堵块装配结构示意图；
图8为本发明提出的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机的C处局部放大结构示意图。
图中：1、外壳；2、控制面板；3、电磁门；4、电动机；5、清洗机主体；6、矩形框；7、螺杆；8、螺纹块；9、移动框；10、电动推杆一；11、移动支架；12、推杆；13、空心杆一；14、压杆；15、T型圆块；16、弹簧一；17、放置板；18、花篮；19、夹具；20、超声波清洗盒；21、喷水管；22、转动盖；23、弹簧合页；24、磁条；25、空心杆二；26、移动杆；27、弹簧二；28、磁块；29、压辊；30、T型滑块；31、导杆一；32、弹簧三；33、齿条；34、齿轮；35、绳轮；36、拉绳；37、方管；38、排水管；39、堵块；40、移动条；41、斜面块；42、滑杆；43、T型导杆；44、弹簧四；45、导杆二；46、支撑块；47、弹簧五；48、T型卡块；49、弹簧六；50、支撑杆；51、电动推杆二；52、锥形块；53、L型杆；54、夹杆；55、拉簧。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参照图1-图8，一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，包括外壳1、控制面板2、电磁门3、电动机4、清洗机主体5、放置板17、花篮18、超声波清洗盒20和喷水管21，外壳1前端上侧安装有控制面板2，控制面板2的设计便于控制清洗机主体5的工作状态，外壳1前端转动安装有电磁门3，电磁门3的设计便于对外壳1进行密封，外壳1右端通过螺栓安装有电动机4，外壳1内部通过螺栓有清洗机主体5，清洗机主体5顶端中间位置活动安装有放置板17，且放置板17顶端对称放置两个花篮18，放置板17的设计便于将花篮18拉动至外壳1外侧，进而便于花篮18的放置，清洗机主体5顶端对称加工两个方槽，且两个方槽位于放置板17左右两侧，两个方槽内部均安装有超声波清洗盒20，超声波清洗盒20的设计便于对花篮18内部的硅片进行清洗，且两个方槽内部均对称安装两个喷水管21，喷水管21一端与超声波清洗盒20对齐，喷水管21的设计便于向超声波清洗盒20内部冲水，清洗机主体5前端焊接有矩形框6，且矩形框6内部通过轴承转动安装有螺杆7，螺杆7环形侧面上安装有螺纹块8，且螺纹块8上下两端分别与矩形框6内部顶端以及内部底端相贴合，该设计便于螺纹块8沿着螺杆7滑动，同时避免螺纹块8随着螺杆7发生转动，螺杆7右端延伸至外壳1外侧与电动机4通过联轴器相连接，便于电动机4工作带动螺杆7转动，螺纹块8前端通过螺栓固定安装有移动框9，且移动框9后端与矩形框6前端相贴合，移动框9内部通过螺钉安装有电动推杆一10，且电动推杆一10顶端穿过移动框9并安装有移动支架11，电动推杆一10工作带动移动支架11上下移动，移动支架11顶端安装有夹具19，且夹具19与花篮18上下对齐，夹具19的设计便于对花篮18进行夹取，清洗机主体5顶端对称转动安装两个转动盖22，且转动盖22与超声波清洗盒20上下对齐，转动盖22的设计便于对超声波清洗盒20进行防尘保护，清洗机主体5前端对称滑动安装两个推杆12，且两个推杆12相互靠近一端与移动支架11相贴合，推杆12顶端固定安装有空心杆一13，空心杆一13内部活动安装有压杆14，压杆14顶端与转动盖22底端相贴合，该设计便于推动转动盖22转动开启。
本发明中，需要说明的是，矩形框6顶端中间位置加工有通槽，且通槽内部对称滑动安装两个空心杆二25，且两个空心杆二25底端均焊接在螺纹块8上，两个空心杆二25分别位于两个推杆12下侧，两个空心杆二25相互远离一端均活动安装有移动杆26，且移动杆26一端延伸至空心杆二25内部，移动杆26另一端通过螺钉安装有磁块28，移动杆26外侧装配有弹簧二27，且弹簧二27左右两端分别焊接在磁块28上以及空心杆二25上，弹簧二27的设计便于移动杆26的移动复位，清洗机主体5顶端后侧镶嵌有磁条24，磁条24顶端与转动盖22底端吸附贴合，磁条24的设计便于对转动盖22进行吸附固定，使得转动盖22处于闭合状态，清洗机主体5顶端左右两侧通过螺钉对称安装两个以上弹簧合页23，且弹簧合页23另一端通过螺钉安装在转动盖22上，且弹簧合页23初始位置处于压缩状态，弹簧合页23的设计便于转动盖22的转动开启，清洗机主体5前端对称焊接两个T型卡块48，推杆12前端加工有矩形通槽，T型卡块48前端穿过矩形通槽与推杆12前端相贴合，T型卡块48和通槽的设计便于将推杆12滑动安装在清洗机主体5前端，T型卡块48底端焊接有弹簧六49，且弹簧六49底端焊接在矩形通槽内部底端，弹簧六49的设计便于推杆12的移动复位，空心杆一13底端对称活动安装两个T型圆块15，且T型圆块15顶端穿过空心杆一13并焊接在压杆14底端，该设计便于将压杆14滑动安装在空心杆一13内部，T型圆块15环形侧面上装配有弹簧一16，且弹簧一16上下两端分别焊接在空心杆一13底端以及T型圆块15上，弹簧一16的设计便于T型圆块15的移动复位。
尤其的，矩形框6顶端左右两侧对称加工有矩形槽，且矩形槽内部焊接有导杆一31，导杆一31环形侧面上活动安装有T型滑块30，T型滑块30顶端通过连接杆安装有压辊29，压辊29环形侧面下侧与转动盖22顶端平齐，压辊29的设计便于推动转动盖22转动闭合，导杆一31环形侧面上装配有弹簧三32，且弹簧三32左右两端分别焊接在T型滑块30上以及矩形槽内壁上，弹簧三32的设计便于压辊29移动复位与转动盖22分离，两个空心杆二25相互靠近一端均转动安装有绳轮35，绳轮35环形侧面上缠绕有拉绳36，拉绳36一端穿过空心杆二25并固定安装移动杆26上，拉绳36的设计便于拉动移动杆26移动，进而拉动磁块28移动，绳轮35后端焊接有齿轮34，移动支架11后端下侧对称固定安装两个齿条33，两个齿条33分别与两个齿轮34环形侧面相啮合，齿条33移动便于带动齿轮34转动，进而带动绳轮35转动对拉绳36进行收卷，进而拉动拉绳36移动，矩形框6内部底端对称加工两个凹槽，且凹槽内部焊接有T型导杆43，T型导杆43环形侧面上活动安装有滑杆42，T型导杆43环形侧面上装配有弹簧四44，且弹簧四44上下两端分别焊接在滑杆42底端以及凹槽内部底端，弹簧四44的设计便于滑杆42的移动复位，滑杆42后端穿过清洗机主体5延伸至方槽内部，且滑杆42后端下侧通过螺钉安装有移动条40，滑杆42移动便于带动移动条40移动，移动条40顶端对称固定安装两个堵块39，超声波清洗盒20底端对称安装两个排水管38，且排水管38底端与堵块39上下对齐，排水管38的设计便于清理超声波清洗盒20内部的污水，堵块39的设计便于对排水管38进行封堵，方槽内部底端加工有斜面，斜面的设计便于排出方槽内部的污水，清洗机主体5后端对称安装两个方管37，且方管37前端延伸至方槽内部，方管37后端延伸至外壳1外侧，方管37的设计便于将污水排放至外壳1外侧，方管37内部安装有防尘网，防尘网的设计避免外界灰尘进入方槽内部，凹槽内部滑动安装有斜面块41，斜面块41后端与滑杆42底端前侧相贴合，斜面块41移动挤压滑杆42，进而推动滑杆42向上移动，斜面块41前端延伸至矩形框6前侧，该设计移动框9移动对斜面块41进行挤压，斜面块41底端加工有方孔槽，且方孔槽内部焊接有导杆二45，导杆二45环形侧面上安装有支撑块46，且支撑块46底端焊接在凹槽内部底端，支撑块46和导杆二45的设计便于将斜面块41滑动安装在凹槽内部，导杆二45环形侧面上装配有弹簧五47，且弹簧五47两端分别焊接在支撑块46上以及方孔槽内壁上，弹簧五47的设计便于斜面块41的移动复位，夹具19包括支撑杆50、电动推杆二51和L型杆53，移动支架11顶端通过螺栓有支撑杆50，且支撑杆50内部为空心结构，支撑杆50内部通过螺钉安装有电动推杆二51，且电动推杆二51后端通过螺钉安装有锥形块52，支撑杆50左右两端对称活动安装有L型杆53，两个L型杆53相互靠近一端均延伸至支撑杆50内部与锥形块52左右两端相贴合，锥形块52移动便于对L型杆53进行挤压，使得两个L型杆53相背移动，L型杆53底端焊接有夹杆54，夹杆54与花篮18相贴合，夹杆54的设计便于对花篮18进行夹取，支撑杆50左右两端对称焊接两个拉簧55，且拉簧55另一端焊接在L型杆53上，拉簧55的设计便于L型杆53以及夹杆54的移动复位。
本实施例工作原理：当需要对花篮18进行夹取时，电动推杆二51工作推动锥形块52移动，锥形块52移动对两个L型杆53进行挤压，L型杆53移动带动夹杆54移动，使得两个夹杆54之间的距离增加，L型杆53移动对拉簧55进行拉伸，使得拉簧55产生弹力，启动电动机4，电动机4工作带动螺杆7转动，进而使得螺纹块8沿着螺杆7移动，螺纹块8沿着螺杆7移动带动移动框9移动，进而带动夹具19在水平方向上水平移动，同时启动电动推杆一10，电动推杆一10带动两个夹杆54向上移动，使得两个夹杆54向上移动至花篮18上侧，两个夹杆54水平移动至花篮18左右两侧，然后通过电动推杆一10工作带动两个夹杆54向下移动与花篮18在水平方向上对齐，启动电动推杆二51，使得锥形块52反向移动与L型杆53分离，在拉簧55弹力的作用下，L型杆53移动带动夹杆54移动对花篮18进行夹持，电动推杆一10工作带动移动支架11向上移动，移动支架11向上移动带动夹具19移动，进而将花篮18夹取向上移动，移动支架11向上移动带动推杆12沿着T型卡块48向上移动，并对弹簧六49进行挤压，使得弹簧六49产生弹力，弹簧六49的弹力便于推杆12的移动复位，推杆12向上移动带动空心杆一13向上移动，因为压杆14顶端与转动盖22贴合，转动盖22初始位置被磁条24吸附固定，所以空心杆一13向上移动对弹簧一16进行拉伸，使得弹簧一16产生弹力，当空心杆一13向上移动与转动盖22底端贴合时，此时弹簧一16拉伸至最大长度，弹簧一16的弹力相对于空心杆一13是向下的拉力，相对于压杆14是向上的推力，此时弹簧一16的弹力大于磁条24与转动盖22之间的吸附力，进而推杆14移动推动转动盖22转动与磁条24分离，在弹簧合页23扭力的作用下，转动盖22转动开启，移动支架11向上移动过程中通过齿条33和齿轮34带动绳轮35转动，使得拉绳36从绳轮35上展开，在弹簧二27弹力的作用下，移动杆26移动带动磁块28移动，使得移动杆26处于完全展开状态，通过螺杆7和螺纹块8带动夹具19左右移动，进而将花篮18夹取至超声波清洗盒20上侧，通过电动推杆一10工作带动夹具19向下移动，进而将花篮18放置在超声波清洗盒20内部，在螺纹块8沿着螺杆7左右移动过程中，螺纹块8移动带动移动框9移动，移动框9移动对斜面块41进行挤压，使得斜面块41向后移动，斜面块41沿着支撑块46向后移动过程中对弹簧五47进行挤压，使得弹簧五47产生弹力，弹簧五47的弹力便于斜面块41移动复位，斜面块41向后移动对滑杆42进行挤压，使得滑杆42沿着T型导杆43向上移动，进而带动移动条40向上移动，移动条40向上移动带动堵块39移动对排水管38进行封堵，此时喷水管21对超声波清洗盒20内部进行喷水，超声波清洗盒20工作对花篮18内部的硅片进行清洗，在螺纹块8沿着螺杆7移动过程中带动空心杆二25沿着通槽移动，进而带动移动杆26移动，移动杆26移动带动磁块28移动，使得磁块28移动与T型滑块30吸附贴合。
当硅片清洗完成后，利用电动推杆一10工作带动夹具19向上移动，夹具19向上移动，进而将花篮18夹出超声波清洗盒20，通过螺杆7和螺纹块8带动移动框9反向移动，进而带动花篮18移动至放置板17上侧，螺纹块8反向移动过程中带动空心杆二25和移动杆26反向移动，移动杆26移动通过磁块28带动T型滑块30移动，因为弹簧二27的弹力远大于弹簧三32的弹力，所以移动杆26带动T型滑块30移动过程中不会对弹簧二27进行拉伸，T型滑块30移动对弹簧三32进行拉伸，同时T型滑块30移动带动压辊29水平移动，进而推动转动盖22转动闭合，使得转动盖22与磁条24吸附贴合，转动盖22转动闭合过程中对压杆14进行挤压，压杆14受到挤压移动至空心杆一13内部，并带动T型圆块15移动移动对弹簧一16进行拉伸，使得弹簧一16产生弹力，因为此时压辊29仍处于转动盖22顶端，对转动盖22进行压持，所以弹簧一16的弹力不会推动转动盖22转动开启，此时T型滑块30移动至矩形槽尽头，与矩形槽内壁贴合，电动推杆一10工作带动移动支架11向下移动，进而带动夹具19向下移动，进而将花篮18放置在放置板17上，在移动支架11向下移动过程中带动齿条33移动，齿条33移动带动齿轮34转动，进而带动绳轮35转动，绳轮35转动对拉绳36进行缠绕，使得拉绳36一端移动拉动移动杆26移动，移动杆26移动带动磁块28移动与T型滑块30分离，在弹簧三32弹力的作用下，T型滑块30移动复位带动压辊29移动复位与转动盖22分离，在移动支架11向下移动过程中，移动支架11与推杆12分离，在弹簧一16和弹簧六49弹力的作用下，推杆12向下移动复位，弹簧一16的弹力得到释放，进而压杆14不会推动转动盖22展开，使得转动盖22保持闭合状态，移动框9移动与斜面块41分离，在弹簧五47弹力的作用下，斜面块41移动复位与滑杆42分离，在弹簧四44弹力的作用下，滑杆42向下移动带动移动条40向下移动，进而带动堵块39移动与排水管38分离，进而便于排出超声波清洗盒20内部的污水。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
在该文中的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在该文中的描述中，需要说明的是，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，包括外壳(1)、控制面板(2)、电磁门(3)、电动机(4)、清洗机主体(5)、放置板(17)、花篮(18)、超声波清洗盒(20)和喷水管(21)，所述外壳(1)前端上侧安装有控制面板(2)，所述外壳(1)前端安装有电磁门(3)，所述外壳(1)右端安装有电动机(4)，所述外壳(1)内部安装有清洗机主体(5)，所述清洗机主体(5)顶端中间位置滑动安装有放置板(17)，且放置板(17)顶端对称放置两个花篮(18)，所述清洗机主体(5)顶端对称开设两个方槽，且两个方槽位于放置板(17)左右两侧，两个所述方槽内部均安装有超声波清洗盒(20)，且两个方槽内部均对称安装两个喷水管(21)，所述喷水管(21)一端与超声波清洗盒(20)对齐，其特征在于，所述清洗机主体(5)前端固定安装有矩形框(6)，且矩形框(6)内部转动安装有螺杆(7)，所述螺杆(7)环形侧面上安装有螺纹块(8)，且螺纹块(8)上下两端分别与矩形框(6)内部顶端以及内部底端相贴合，所述螺杆(7)右端延伸至外壳(1)外侧与电动机(4)相连接，所述螺纹块(8)前端固定安装有移动框(9)，且移动框(9)后端与矩形框(6)前端相贴合，所述移动框(9)内部安装有电动推杆一(10)，且电动推杆一(10)顶端穿过移动框(9)并固定安装有移动支架(11)，所述移动支架(11)顶端安装有夹具(19)，且夹具(19)与花篮(18)上下对齐，所述清洗机主体(5)顶端对称转动安装两个转动盖(22)，且转动盖(22)与超声波清洗盒(20)上下对齐，所述清洗机主体(5)前端对称滑动安装两个推杆(12)，且两个推杆(12)相互靠近一端与移动支架(11)相贴合，所述推杆(12)顶端固定安装有空心杆一(13)，所述空心杆一(13)内部滑动安装有压杆(14)，所述压杆(14)顶端与转动盖(22)底端相贴合。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，其特征在于，所述矩形框(6)顶端中间位置开设有通槽，且通槽内部对称滑动安装两个空心杆二(25)，且两个空心杆二(25)底端均固定安装在螺纹块(8)上，两个所述空心杆二(25)分别位于两个推杆(12)下侧。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，其特征在于，两个所述空心杆二(25)相互远离一端均滑动安装有移动杆(26)，且移动杆(26)一端延伸至空心杆二(25)内部，所述移动杆(26)另一端固定安装有磁块(28)，所述移动杆(26)外侧安装有弹簧二(27)，且弹簧二(27)左右两端分别固定安装在磁块(28)上以及空心杆二(25)上。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，其特征在于，所述清洗机主体(5)顶端后侧镶嵌有磁条(24)，所述磁条(24)顶端与转动盖(22)底端吸附贴合，所述清洗机主体(5)顶端左右两侧对称安装两个以上弹簧合页(23)，且弹簧合页(23)另一端固定安装在转动盖(22)上，且弹簧合页(23)初始位置处于压缩状态，所述清洗机主体(5)前端对称固定安装两个T型卡块(48)，所述推杆(12)前端开设有矩形通槽，所述T型卡块(48)前端穿过矩形通槽与推杆(12)前端相贴合，所述T型卡块(48)底端固定安装有弹簧六(49)，且弹簧六(49)底端固定安装在矩形通槽内部底端。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，其特征在于，所述空心杆一(13)底端对称滑动安装两个T型圆块(15)，且T型圆块(15)顶端穿过空心杆一(13)并固定安装在压杆(14)底端，所述T型圆块(15)环形侧面上安装有弹簧一(16)，且弹簧一(16)上下两端分别固定安装在空心杆一(13)底端以及T型圆块(15)上。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，其特征在于，所述矩形框(6)顶端左右两侧对称开设有矩形槽，且矩形槽内部固定安装有导杆一(31)，所述导杆一(31)环形侧面上滑动安装有T型滑块(30)，所述T型滑块(30)顶端安装有压辊(29)，所述压辊(29)环形侧面下侧与转动盖(22)顶端平齐，所述导杆一(31)环形侧面上安装有弹簧三(32)，且弹簧三(32)左右两端分别固定安装在T型滑块(30)上以及矩形槽内壁上。
7.根据权利要求3所述的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，其特征在于，两个所述空心杆二(25)相互靠近一端均转动安装有绳轮(35)，所述绳轮(35)环形侧面上缠绕有拉绳(36)，所述拉绳(36)一端穿过空心杆二(25)并固定安装移动杆(26)上，所述绳轮(35)后端固定安装有齿轮(34)。
8.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，其特征在于，所述移动支架(11)后端下侧对称固定安装两个齿条(33)，两个所述齿条(33)分别与两个齿轮(34)环形侧面相啮合，所述矩形框(6)内部底端对称开设两个凹槽，且凹槽内部固定安装有T型导杆(43)，所述T型导杆(43)环形侧面上滑动安装有滑杆(42)，所述T型导杆(43)环形侧面上安装有弹簧四(44)，且弹簧四(44)上下两端分别固定安装在滑杆(42)底端以及凹槽内部底端，所述滑杆(42)后端穿过清洗机主体(5)延伸至方槽内部，且滑杆(42)后端下侧固定安装有移动条(40)，所述移动条(40)顶端对称固定安装两个堵块(39)，所述超声波清洗盒(20)底端对称安装两个排水管(38)，且排水管(38)底端与堵块(39)上下对齐，所述方槽内部底端加工有斜面，所述清洗机主体(5)后端对称安装两个方管(37)，且方管(37)前端延伸至方槽内部，所述方管(37)后端延伸至外壳(1)外侧，所述方管(37)内部安装有防尘网。
9.根据权利要求8所述的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，其特征在于，所述凹槽内部滑动安装有斜面块(41)，所述斜面块(41)后端与滑杆(42)底端前侧相贴合，所述斜面块(41)前端延伸至矩形框(6)前侧，所述斜面块(41)底端开设有方孔槽，且方孔槽内部固定安装有导杆二(45)，所述导杆二(45)环形侧面上安装有支撑块(46)，且支撑块(46)底端固定安装在凹槽内部底端，所述导杆二(45)环形侧面上安装有弹簧五(47)，且弹簧五(47)两端分别固定安装在支撑块(46)上以及方孔槽内壁上。
10.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用槽式清洗机，其特征在于，所述夹具(19)包括支撑杆(50)、电动推杆二(51)和L型杆(53)，所述移动支架(11)顶端固定安装有支撑杆(50)，且支撑杆(50)内部为空心结构，所述支撑杆(50)内部固定安装有电动推杆二(51)，且电动推杆二(51)后端固定安装有锥形块(52)，所述支撑杆(50)左右两端对称滑动安装有L型杆(53)，两个所述L型杆(53)相互靠近一端均延伸至支撑杆(50)内部与锥形块(52)左右两端相贴合，所述L型杆(53)底端固定安装有夹杆(54)，所述夹杆(54)与花篮(18)相贴合，所述支撑杆(50)左右两端对称固定安装两个拉簧(55)，且拉簧(55)另一端固定安装在L型杆(53)上。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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