CN116734036A - 密封阀门及半导体检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请属于密封阀门技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。该密封阀门包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，驱动装置的部分设置于第一筒体组件内并与第一筒体组件活动连接，密封组件位于第一筒体组件外并连接于驱动装置，驱动装置能够驱动密封组件沿第一方向远离第一筒体组件运动至换向位置；在密封组件处于换向位置的状态下，驱动装置能够相对于第一筒体组件运动，并带动密封组件沿第二方向运动。将该密封阀门应用于发射源腔室的密封，能够将发射源腔室在打开状态与密封状态之间切换，通过第一筒体组件与驱动装置配合活动实现密封组件的方向切换以达到密封过道的目的，具备更好的密封效果及使用寿命。

Description

密封阀门及半导体检测设备

技术领域

本申请属于密封阀门技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。

背景技术

随着半导体产业链中的半导体检测设备的快速发展，其对真空的要求也越来越高，尤其是扫描电镜中的电子枪对真空的要求更是严格。

目前，采用密封阀门对电子枪所处环境进行密封，以使电子枪所处环境在密封状态与非密封状态之间切换。在现有的密封阀门中，电子束过道处设有压块，通过驱动密封块抵接于压块，在压块的反向作用力下使得密封块盖合电子束过道，如此以达到密封目的。

然而，压块与密封块之间滑动摩擦，如此易因摩擦导致碎屑，碎屑易附着在密封块上从而降低密封性。

发明内容

本申请提供了一种密封阀门及半导体检测设备，以解决现有技术提出的因摩擦产生的碎屑而导致降低密封性的技术问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种密封阀门，包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，驱动装置的部分设置于第一筒体组件内并与第一筒体组件活动连接，密封组件位于第一筒体组件外并连接于驱动装置，驱动装置能够驱动密封组件沿第一方向远离第一筒体组件运动至换向位置；在密封组件处于换向位置的状态下，驱动装置能够相对于第一筒体组件运动，并带动密封组件沿第二方向运动。

在本申请可选的方案中，驱动装置包括驱动机构以及补偿机构，驱动机构的部分设置于第一筒体组件内，补偿机构设置于第一筒体组件内并在第一方向上连接于第一筒体组件与驱动机构之间；密封组件连接于驱动机构，驱动机构能够驱动密封组件沿第一方向移动至换向位置；在密封组件处于换向位置的状态下，驱动机构能够相对于第一筒体组件运动并使补偿机构动作、且带动密封组件沿第二方向运动。

在本申请可选的方案中，驱动机构包括第二筒体组件以及活动杆组，第二筒体组件设置于第一筒体组件内并活动连接于第一筒体组件，密封组件连接于活动杆组；活动杆组穿设于第一筒体组件及第二筒体组件，并能够沿第一方向运动至抵接于第一筒体组件，使得密封组件处于换向位置；在密封组件处于换向位置的状态下，第二筒体组件能够相对于第一筒体组件沿第三方向运动并使补偿机构动作，以限定活动杆组沿第二方向运动；其中，第一方向与第二方向垂直，第三方向与第一方向及第二方向交叉。

在本申请可选的方案中，补偿机构包括活动板以及第二弹性件，活动板设置于第一筒体组件与第二筒体组件之间并抵接于第一筒体组件，第二弹性件在第一方向上夹设于活动板与第二筒体组件之间。

在本申请可选的方案中，驱动机构还包括第一弹性件以及控制阀，活动杆组包括活塞杆，活塞杆穿设于第二筒体组件并包括活塞段；活塞段设置于第二筒体组件内并将第二筒体组件的筒腔分隔为第一腔室及第二腔室；第一弹性件设置于第一腔室内并夹设于活塞段及第二筒体组件之间，控制阀连接于第二筒体组件并连通第二腔室。

在本申请可选的方案中，活动杆组还包括抵接件，抵接件连接于活塞杆；在换向位置，抵接件抵接于第一筒体组件。

在本申请可选的方案中，第二筒体组件的侧壁设有导向槽，导向槽沿第三方向延伸；第一筒体组件包括第一筒体、封盖组件、导向柱以及形变套管，封盖组件连接于第一筒体远离密封组件的一端，形变套管连接于第一筒体靠近密封组件的一端，活动杆组穿过形变套管并连接形变套管；导向柱连接于第一筒体的侧壁并收容于导向槽中、且能够沿导向槽移动。

在本申请可选的方案中，封盖组件包括第一封盖以及多个滚动件，多个滚动件均设置于第一封盖；补偿机构抵接于滚动件。

在本申请可选的方案中，密封组件包括密封块以及第一密封圈；密封块连接于驱动装置，第一密封圈连接于密封块在第二方向上的侧壁。

根据本申请的另一个方面，提供了一种半导体检测设备，包括转接腔室、发射源腔室、样品检测腔室以及上述的密封阀门；转接腔室包括主通道以及分通道，主通道内设有隔板以将主通道分隔为第一主通道以及第二主通道，分通道连通第二主通道；第一主通道连通发射源腔室，第二主通道连通样品检测腔室，隔板设有过道以连通第一主通道以及第二主通道；第一筒体组件连接于转接腔室的侧壁且部分位于转接腔室外，驱动装置的部分伸入于第二主通道内，密封组件位于第二主通道内，在换向位置，密封组件在第二方向的投影覆盖过道。

在本申请提供的密封阀门中，驱动装置提供动力驱动密封组件沿第一方向运动至换向位置，密封组件处于换向位置的状态下，驱动装置与第一筒体组件能够相对运动以带动密封组件沿第二方向运动，进而使得密封组件在第一方向运动与第二方向运动之间切换，如此安装有该密封阀门的转接腔室能够开合过道，以使发射源腔室在打开状态与密封状态之间切换。

相较于现有技术，不须在隔板的过道处增设压块以配合密封组件，因而避免出现因摩擦产生碎屑的情况，进而本申请提供的密封阀门具备更好的密封效果及使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为根据本申请其中一个实施例提供的半导体检测设备的示意简图；

图2为图1中密封阀门与转接腔室配合结构的剖视图；

图3为图2中密封阀门的剖视图；

图4为图3中的密封阀门在另一状态下的示意图；

图5为图1中的密封阀门的立体图；

图6为图5中密封阀门的爆炸图。

附图标记如下：

100、密封阀门；10、密封组件；11、密封块；12、第一密封圈；

20、第一筒体组件；21、第一筒体；22、封盖组件；221、第一封盖；222、滚动件；23、导向柱；24、形变套管；25、限位件；26、盖板；

30、驱动装置；31、驱动机构；311、第二筒体组件；3111、第二筒体；3112、第二封盖；3113、第四密封圈；312、活动杆组；3121、活塞杆；31211、活塞段；31212、第二密封圈；3122、第一转接杆；3123、第二转接杆；3124、抵接件；313、第一弹性件；314、控制阀；

32、补偿机构；321、活动板；322、第二弹性件；

40、第三密封圈；51、螺栓；52、螺钉；60、转接块；71、第五密封圈；72、第六密封圈；80、堵头

A1、安装腔；A2、环腔；B、导向槽；R1、第一腔室；R2、第二腔室；H0、通孔；

201、隔板；D、过道；C1、发射源腔室；C2、样品检测腔室；C3、转接腔室；C31、主通道；C311、第一主通道；C312、第二主通道；C32、分通道。

具体实施方式

在本申请的描述中，需要理解的是，如出现术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示方位或位置关系的描述，若无特殊的说明，则理解为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

另外，如出现限定有“第一”、“第二”仅用于描述目的的特征，不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该被限定的特征。如出现“多个”的描述，一般含义是至少包括两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，如出现“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语，应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，如出现术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

图1为根据本申请其中一个实施例提供的半导体检测设备的示意简图，图2为图1中密封阀门100与转接腔室C3配合结构的剖视图。请参阅图1及图2，该半导体检测设备包括密封阀门100、转接腔室C3、发射源腔室C1、样品检测腔室C2。

转接腔室C3包括主通道C31以及分通道C32，主通道C3内设有隔板201以将主通道C31分隔为第一主通道C311以及第二主通道C312，分通道C32连通所述第二主通道C312。

第一主通道C311连通发射源腔室C1，第二主通道C312连通样品检测腔室C2。隔板201设有过道D以连通第一主通道C311以及第二主通道C312。

具体地，电子枪为扫描电镜的主要组成构件之一并安装于发射源腔室C1中，待检测样品能够放置于样品检测腔室C2中，例如晶圆等。电子枪发出的电子束经过加速、偏转后通过第一主通道C311、过道D以及第二主通道C312后照射于位于样品检测腔室R2中的待检测样品上。

可见，发射源腔室C1与样品检测腔室C2通过转接腔室C3连通。在具体应用中，其中一种场景是在将发射源腔室C1与样品检测腔室C2连通之前调试扫描电镜，需要密封发射源腔室C1以进行抽真空。另一种场景是在待检测样品检测完成后更换样品时，需要对发射源腔室C1进行密封以确保真空。

在具体应用中，发射源腔室C1连接有一离子泵以进行抽真空，确保位于发射源腔室C1中的电子枪处于真空环境中。样品检测腔室C2应连接有一真空泵以进行抽真空，以确保位于检测腔室C2中的半导体样品处于真空环境中。

在本实施例中，通过密封阀门100闭合过道D从而密封对发射源腔室C1，分通道C32连通另一真空泵，即可实现对第一主通道C311进行抽真空，避免转接腔室C3污染发射源腔室C1，以确保电子枪处于真空环境。在密封阀门100打开过道D的情况下，即可允许电子束穿过以照射于样品检测腔室C2中的待检测样品。

图3为图2中密封阀门100的剖视图，结合图1可知，图3所示中密封阀门100中的密封组件10处于打开位置，在打开位置，密封组件10并未盖合过道D。请参阅图1至图3，该密封阀门100包括密封组件10、第一筒体组件20以及驱动装置30。驱动装置30的部分设置于第一筒体组件20内并与第一筒体组件20活动连接，密封组件10位于第一筒体组件20外并连接于驱动装置30。

第一筒体组件20连接于转接腔室C3的侧壁且部分位于转接腔室C3外，设置于第一筒体组件20内的驱动装置30的一部分位于转接腔室C3外，驱动装置30的另一部分伸出于第一筒体组件20外并伸入于第二主通道C312内，密封组件10连接于驱动装置30伸出于第一筒体组件20外的部分并位于转接腔室第二主通道C312内。

其中，该驱动装置30能够驱动密封组件10沿第一方向远离第一筒体组件20运动至换向位置，在换向位置，密封组件10在第二方向上位于过道D的一侧，密封组件10在第二方向上的投影至少覆盖过道D。另外，在密封组件10处于换向位置的状态下，驱动装置30能够相对于第一筒体组件20运动，并带动密封组件10沿第二方向运动。

在本实施例中，第一筒体组件20能够固定安装在转接腔室C3的侧壁上，实现将该密封阀门100安装在转接腔室C3的侧壁上。驱动装置30的部分能够穿过第一筒体组件20以及转接腔室C3，以与第二主通道C312内的密封组件10连接，驱动装置30提供活动自由度以带动密封组件10运动。

具体地，驱动装置30能够带动密封组件10沿第一方向运动至换向位置，应理解地，该换向位置为密封组件10在第一方向上远离第一筒体组件20所能运动到的极限位置。在该换向位置，密封组件10无法继续沿第一方向远离第一筒体组件20运动，且密封组件10在第二方向上的投影覆盖过道D。随着驱动装置30的继续作用，驱动装置30与第一筒体组件20相对运动进而带动密封组件10沿第二方向运动以密封过道D。

可见，在本申请提供的密封阀门100中，驱动装置30为动力源并配合第一筒体组件20驱动密封组件10直接开合过道D，使得发射源腔室C1在打开状态与密封状态之间切换。相较于现有技术，不须在隔板201的过道D处增设压块以配合密封组件10，因而避免出现因摩擦产生碎屑的情况，进而本申请提供的密封阀门100具备更好的密封效果及使用寿命。

在一些可选的实施例中，驱动装置30包括驱动机构31以及补偿机构32，驱动机构31的部分设置于第一筒体组件20内，补偿机构32设置于第一筒体组件20内并在第一方向上连接于第一筒体组件20与驱动机构31之间。

密封组件10连接于驱动机构31，驱动机构31能够驱动密封组件10沿第一方向运动至换向位置。在密封组件10处于换向位置的状态下，驱动机构31能够相对于第一筒体组件20运动并使补偿机构32动作、且带动密封组件10沿第二方向运动。

在本实施例中，驱动装置30主要由驱动机构31和补偿机构32构成，驱动机构31用于提供第一方向驱动力，使得密封组件10沿第一方向运动至换向位置。由上述可知，密封组件10处于换向位置后，密封组件10无法继续沿第一方向运动，随着驱动机构31继续提供第一方向驱动力，驱动机构31相对于第一筒体组件20运动，并使得夹设在第一筒体组件20与驱动机构31之间的补偿机构32动作，补偿机构32配合驱动机构31以及第一筒体组件20，使得驱动机构31给密封组件10提供的第一方向自由度转换为第二方向自由度。

图4为图3中的密封阀门100在另一状态下的示意图，该状态下的密封阀门100中的密封组件10处于闭合位置，在闭合位置的情况下，密封组件10盖合过道D，发射源腔室C1处于密封状态。进一步地，驱动机构31包括第二筒体组件311以及活动杆组312，第二筒体组件311设置于第一筒体组件20内并活动连接于第一筒体组件20，密封组件10连接于活动杆组312。活动杆组312穿设于第一筒体组件20及第二筒体组件311，并能够沿第一方向运动至抵接于第一筒体组件20，使得密封组件10处于换向位置。

在密封组件10处于换向位置的状态下，第二筒体组件311能够相对于第一筒体组件20沿第三方向运动并使补偿机构32动作，以限定活动杆组312沿第二方向运动。其中，第一方向与第二方向垂直，第三方向与第一方向及第二方向交叉。

上述驱动装置30位于第一筒体组件20内的部分是指补偿机构32、第二筒体组件311以及活动杆组312的部分，驱动装置30位于第一筒体组件20外的部分是指活动杆组312伸出于第一筒体组件20外的部分。

活动杆组312能够沿第一方向运动，因而能够带动密封组件10沿第一方向运动。活动杆组312与第一筒体组件20配合限位，确定活动杆组312沿第一方向朝远离第一筒体组件20所能运动的极限位置，即密封组件10的换向位置

在换向位置，随着驱动机构31的继续作用，活动杆组312无法继续沿第一方向运动，第一筒体组件20与第二筒体组件311活动连接，因而二者能够在第三方向上发生相对运动。

第一筒体组件20与第二筒体组件311在第三方向上的相对运动过程中，第二筒体组件311带动活动杆组312沿第二方向运动，并且作用于补偿机构32以使得补偿机构32动作。换言之，第一筒体组件20与第二筒体组件311在第三方向上的运动可分解为活动杆组312在第二方向上的运动以及补偿机构32的运动。

可见，在本实施例中，活动杆组312具备第一方向自由度以及第二方向自由度，以带动密封组件10在第一方向以及第二方向运动，通过活动杆组312与第一筒体组件20配合实现确定换向位置，以切换第一方向运动与第二方向运动。

进一步地，驱动机构31还包括第一弹性件313以及控制阀314，活动杆组312包括活塞杆3121，活塞杆3121穿设于第二筒体组件311并包括活塞段31211。活塞段31211设置于第二筒体组件311内并将第二筒体组件311的筒腔分隔为第一腔室R1及第二腔室R2。

第一弹性件313设置于第一腔室R1内并夹设于活塞段31211及第二筒体组件311之间，控制阀314连接于第二筒体组件311并连通第二腔室R2。

应理解地，第一腔室R1中的第一弹性件313作用于活塞段31211上的压力与第二腔室R2中流体作用于活塞段31211上的压力需要保持平衡，因而，通过控制阀314控制进入第二腔室R2中的流体即可调节第二腔室R2中的流体压力，使得第一弹性件313发生形变，以确保二者作用于活塞段31211上的压力保持平衡。相应地，活塞段31211在第一方向上发生位移，即活塞杆3121能够沿第一方向运动。

图5为图1中的密封阀门100的立体图，图6为图5中密封阀门100的爆炸图。请参阅图4及图5，在具体应用中，活塞杆3121还包括第二密封圈31212，第二密封圈31212外套于活塞段31211，确保第一腔室R1与第二腔室R2彼此独立，避免第二腔室R2中流体泄露至第一腔室R1中。另外，控制阀314为调速阀，控制流体进出第二腔室R2的速度，即密封阀门100的开合速度，控制阀314通过转接块60配合第五密封圈71以安装在第二筒体组件311上。

可见，在本实施例中，该驱动机构31利用第一腔室R1中的第一弹性件313的弹力与第二腔室R2中的流体压力配合驱动活塞杆3121。在具体应用中，通过控制阀314进入第二腔室R2的为空气，即该驱动机构31为气动机构，具体为单作用气缸，当然也可为液动机构、双作用气缸等。

请参阅图4，在一些可选的实施例中，活动杆组312还包括抵接件3124，抵接件3124连接于活塞杆3121。在换向位置，抵接件3124抵接于第一筒体组件20。

具体地，抵接件3124外套于活塞杆3121靠近密封组件10的一端，抵接件3124能够随活塞杆3121在第一方向上运动。在抵接件3124抵接于第一筒体组件20的状态下，使得活塞杆3121无法继续沿第一方向运动，但活塞杆3121能够沿第二方向运动。

在具体应用中，抵接件3124为塑料垫环，活塞杆3121带动抵接件3124抵接于第一筒体组件20后，抵接件3124能够起到缓冲作用，避免活塞杆3121冲击第一筒体组件20，以起到缓冲作用。当然，在活塞杆3121沿第二方向运动的过程中，抵接件3124与第一筒体组件20之间滑动摩擦，因而需要确保抵接件3124具备一定耐磨性。

在一些可选的实施例中，补偿机构32包括活动板321以及第二弹性件322，活动板321设置于第一筒体组件20与第二筒体组件311之间并抵接于第一筒体组件20，第二弹性件322在第一方向上夹设于活动板321与第二筒体组件311之间。

由上述可知，密封组件10处于换向位置的情况下，活动杆组312无法继续驱动密封组件10沿第一方向朝远离第一筒体组件20运动，第二筒体组件311相对于第一筒体组件20在第三方向上相对运动，此时第二弹性件322被压缩，以吸收第二筒体组件311与第一筒体组件20之间的相对运动在第一方向上的运动分量，使得第二筒体组件311仅体现在第二方向上的运动分量，以使得第二筒体组件311带动活动杆组312沿第二方向运动，进而使得密封组件10沿第二方向运动。可见，补偿机构32通过第二弹性件322以补偿在第一方向上的运动分量。

请参阅图5和图6，在一些可选的实施例中，第二筒体组件311的侧壁设有导向槽B，导向槽B沿第三方向延伸。第一筒体组件20包括第一筒体21、封盖组件22、导向柱23以及形变套管24，封盖组件22连接于第一筒体21远离密封组件10的一端，形变套管24连接于第一筒体21靠近密封组件10的一端，活动杆组312穿过形变套管24并连接形变套管24。导向柱23连接于第一筒体21的侧壁并收容于导向槽B中、且能够沿导向槽B移动。

在本实施例中，通过设置于第一筒体21上的导向柱23与设置于第二筒体组件311上的导向槽B之间的配合，使得第二筒体组件311相对于第一筒体组件20在第三方向上具备活动自由度。

需要说明的是，形变套管24能够伸缩以及摆动，因而，在活动杆组312沿第一方向的运动过程，形变套管24能够沿第一方向伸缩；在活动杆组312沿第二方向的运动过程中，形变套管24能够摆动。

请参阅图5，在具体应用中，形变套管24为波纹管，当然并不局限于此，例如还可为橡胶管等。另外，第一筒体21靠近密封组件10的一端为法兰结构设计，形变套管24连接于第一筒体21的法兰端。

请结合图2，转接腔室C3的侧壁上设有通孔H0，第一筒体21的法兰端通过螺栓51连接于转接腔室C3的侧壁，并使得形变套管24伸入于通孔H0中，活动杆组312穿过通孔H0以伸入于第二主通道C312内。形变套管24将第一筒体组件20的内腔与第二主通道C312分隔开来，确保转接腔室C3的气密性。另外，在第一筒体21的法兰端与转接腔室C3的侧壁之间还夹设有第三密封圈40，以保证气密性。

进一步地，导向槽B的数量为多个，多个导向槽B平行间隔设置。导向柱23的数量也为多个且一一对应收容于相应的导向槽B中。在本实施例中，通过多个导向柱23与导向槽B的配合保证第二筒体组件311与第一筒体组件20在第三方向上运动的稳定性。

请参阅图5及图6，在具体应用中，第二筒体组件311相对的两侧壁分别设有多个导向槽B，第一筒体组件20还包括盖板26，盖板26设置于第一筒体21相对的两侧壁，第一筒体21相对的两侧壁设有通孔以用于安装导向柱23，盖板26能够盖合用于安装导向柱23的通孔，保证第一筒体组件20的密封性。

为了便于理解本方案，下述结合附图详细说明本方案。请参阅图1至图3，在图示实施例中，密封组件10处于打开位置，即密封组件10完全打开过道D，随着第二腔室R2中流体压力降低，第一弹性件313展开使得活塞杆3121沿第一方向运动，即活动杆组312带动密封组件10沿第一方向运动，相应地形变套管24伸长，直至抵接件3124抵接于第一筒体21。

在抵接件3124抵接于第一筒体21的情况下，活动杆组312无法继续沿第一方向运动，随着第二腔室R2中流体压力继续降低，第一弹性件313作用于第二筒体组件311上，使得第二筒体组件311与第一筒体组件20在第三方向上相对移动，即第一筒体21上的导向柱23在第二筒体组件311上的导向槽B中滑移。

请参阅图4，在第二筒体组件311的作用下，第二弹性件322被压缩，第二筒体组件311在第一方向上的运动被第二弹性件322吸收，使得第二筒体组件311仅体现出第二方向的运动，相应地带动活动杆组312、第二弹性件322以及活动板321在第二方向运动，活动杆组312带动密封组件10沿第二方向运动，使得密封组件10盖合过道D，即密封组件10处于闭合位置。

可见，上述实施例中说明了该发射源腔室C1由打开状态切换至密封状态的过程，当然，由密封状态切换至打开状态是一个反向过程，在此不做重复赘述。

在一些可选的实施例中，封盖组件22包括第一封盖221以及多个滚动件222，多个滚动件222均设置于第一封盖221。补偿机构32抵接于滚动件222。

由上述可知，补偿机构32包括活动板321以及第二弹性件322，其中活动板321抵接于滚动件222上，从而降低摩擦力，保证该密封阀门100的使用寿命。

请参阅图4，在一些可选的实施例中，第二筒体组件311包括第二筒体3111以及第二封盖3112。第二封盖3112连接于第二筒体3111远离密封组件10的一端并设有安装腔A1以及环腔A2，环腔A2环绕于安装腔A1的外侧。第一弹性件313的部分设置于环腔A2内，第二弹性件322的部分设置于安装腔A1，活塞杆3121的一端穿过安装腔A1以及第二弹性件322。

具体地，第二封盖3112上设有内外两层腔且分别为安装腔A1及环腔A2，第一弹性件313的一端抵接于活塞段31211，另一端抵接于第二封盖3112并收容于环腔A2中以进行限位，避免第一弹性件313晃动。

第二弹性件322的一端抵接于活动板321，另一端抵接于第二封盖3112并收容于安装腔室A1中以进行限位，避免第二弹性件322晃动。另外，第二弹性件322外套于活塞杆3121上，通过活塞杆3121进行导向。

在具体应用中，第二弹性件322为压缩弹簧，并不局限于此，例如还可为橡胶弹性垫等。第二筒体组件311还包括第四密封圈3113，第四密封圈3113设置于第二筒体3111并外套于活塞杆3121，以确定腔室R2的密封性能。

在一些可选的实施例中，活动杆组312还包括第一转接杆3122以及第二转接杆3123，活塞杆3121、第一转接杆3122以及第二转接杆3123沿第一方向依次拼接。密封组件10连接于第二转接杆3123，第一转接杆3122与第一筒体组件20活动连接。

在本实施例中，活动杆组312为三段式拼接结构，第一转接杆3122的两端分别连接于活塞杆3121以及第二转接杆3123，且第一转接杆3122连接于形变套管24，从而实现与第一筒体组件20活动连接，密封组件10连接于第二转接杆3123远离第一筒体组件20的一端。

请参阅图5，在一些可选的实施例中，密封组件10包括密封块11以及第一密封圈12。密封块11连接于驱动装置30，第一密封圈12连接于密封块11在第二方向上的侧壁。

发射源腔室C1处于密封状态下，密封组件10盖合过道D，第一密封圈12夹设在密封块11与隔板201之间，以确保密封性。在具体应用中，密封组件10通过螺钉52与第二转接杆3123相连。

在一些可选的实施例中，第一筒体组件20还包括限位件25，限位件25连接于第一筒体21并抵接于第二筒体组件311，具体抵接于第二筒体3111。

在具体应用中，限位件25数量为多个且为顶丝，在第二筒体组件311带动活动杆组312，以使密封组件10处于闭合位置后，拧入限位件25直至抵接于第二筒体组件311即可限定第二筒体组件311在第二方向上的位置，使得密封组件10保持在闭合位置，提高密封稳定性。

在具体应用中，第二筒体3111的侧壁上设有备用入口，通过堵头80配合第六密封圈72进行密封。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种密封阀门，其特征在于，包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，所述驱动装置的部分设置于所述第一筒体组件内并与所述第一筒体组件活动连接，所述密封组件位于所述第一筒体组件外并连接于所述驱动装置，所述驱动装置能够驱动所述密封组件沿第一方向远离所述第一筒体组件运动至换向位置；

在所述密封组件处于所述换向位置的状态下，所述驱动装置能够相对于所述第一筒体组件运动，并带动所述密封组件沿第二方向运动。

2.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动装置包括驱动机构以及补偿机构，所述驱动机构的部分设置于所述第一筒体组件内，所述补偿机构设置于所述第一筒体组件内并在所述第一方向上连接于所述第一筒体组件与所述驱动机构之间；

所述密封组件连接于所述驱动机构，所述驱动机构能够驱动所述密封组件沿所述第一方向移动至所述换向位置；

在所述密封组件处于所述换向位置的状态下，所述驱动机构能够相对于所述第一筒体组件运动并使所述补偿机构动作、且带动所述密封组件沿所述第二方向运动。

3.根据权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动机构包括第二筒体组件以及活动杆组，所述第二筒体组件设置于所述第一筒体组件内并活动连接于所述第一筒体组件，所述密封组件连接于所述活动杆组；

所述活动杆组穿设于所述第一筒体组件及所述第二筒体组件，并能够沿所述第一方向运动至抵接于所述第一筒体组件，使得所述密封组件处于所述换向位置；

在所述密封组件处于所述换向位置的状态下，所述第二筒体组件能够相对于所述第一筒体组件沿第三方向运动并使所述补偿机构动作，以限定所述活动杆组沿所述第二方向运动；

其中，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第三方向与所述第一方向及所述第二方向交叉。

4.根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，所述补偿机构包括活动板以及第二弹性件，所述活动板设置于所述第一筒体组件与所述第二筒体组件之间并抵接于所述第一筒体组件，所述第二弹性件在所述第一方向上夹设于所述活动板与所述第二筒体组件之间。

5.根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动机构还包括第一弹性件以及控制阀，所述活动杆组包括活塞杆，所述活塞杆穿设于所述第二筒体组件并包括活塞段；

所述活塞段设置于所述第二筒体组件内并将所述第二筒体组件的筒腔分隔为第一腔室及第二腔室；

所述第一弹性件设置于所述第一腔室内并夹设于所述活塞段及所述第二筒体组件之间，所述控制阀连接于所述第二筒体组件并连通所述第二腔室。

6.根据权利要求5所述的密封阀门，其特征在于，所述活动杆组还包括抵接件，所述抵接件连接于所述活塞杆；

在所述换向位置，所述抵接件抵接于所述第一筒体组件。

7.根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，所述第二筒体组件的侧壁设有导向槽，所述导向槽沿所述第三方向延伸；

所述第一筒体组件包括第一筒体、封盖组件、导向柱以及形变套管，所述封盖组件连接于所述第一筒体远离所述密封组件的一端，所述形变套管连接于所述第一筒体靠近所述密封组件的一端，所述活动杆组穿过所述形变套管并连接所述形变套管；

所述导向柱连接于所述第一筒体的侧壁并收容于所述导向槽中、且能够沿所述导向槽移动。

8.根据权利要求7所述的密封阀门，其特征在于，所述封盖组件包括第一封盖以及多个滚动件，多个所述滚动件均设置于所述第一封盖；

所述补偿机构抵接于所述滚动件。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的密封阀门，其特征在于，所述密封组件包括密封块以及第一密封圈；

所述密封块连接于所述驱动装置，所述第一密封圈连接于所述密封块在所述第二方向上的侧壁。

10.一种半导体检测设备，其特征在于，包括转接腔室、发射源腔室、样品检测腔室以及根据权利要求1至9中任一项所述的密封阀门；

所述转接腔室包括主通道以及分通道，所述主通道内设有隔板以将所述主通道分隔为第一主通道以及第二主通道，所述分通道连通所述第二主通道；

所述第一主通道连通所述发射源腔室，所述第二主通道连通所述样品检测腔室，所述隔板设有过道以连通第一主通道以及第二主通道；

所述第一筒体组件连接于所述转接腔室的侧壁且部分位于所述转接腔室外，所述驱动装置的部分伸入于所述第二主通道内，所述密封组件位于所述第二主通道内，在所述换向位置，所述密封组件在所述第二方向的投影覆盖所述过道。